JP5657998B2 - 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 - Google Patents

液滴塗布装置及び液滴塗布方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5657998B2
JP5657998B2 JP2010243548A JP2010243548A JP5657998B2 JP 5657998 B2 JP5657998 B2 JP 5657998B2 JP 2010243548 A JP2010243548 A JP 2010243548A JP 2010243548 A JP2010243548 A JP 2010243548A JP 5657998 B2 JP5657998 B2 JP 5657998B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
discharge
droplet
application
droplets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010243548A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012098337A (ja
JP2012098337A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
梓 平野
梓 平野
鶴岡 保次
保次 鶴岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Mechatronics Corp
Original Assignee
Shibaura Mechatronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibaura Mechatronics Corp filed Critical Shibaura Mechatronics Corp
Priority to JP2010243548A priority Critical patent/JP5657998B2/ja
Publication of JP2012098337A publication Critical patent/JP2012098337A/ja
Publication of JP2012098337A5 publication Critical patent/JP2012098337A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5657998B2 publication Critical patent/JP5657998B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
JP2010243548A 2010-10-29 2010-10-29 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 Expired - Fee Related JP5657998B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010243548A JP5657998B2 (ja) 2010-10-29 2010-10-29 液滴塗布装置及び液滴塗布方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010243548A JP5657998B2 (ja) 2010-10-29 2010-10-29 液滴塗布装置及び液滴塗布方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012098337A JP2012098337A (ja) 2012-05-24
JP2012098337A5 JP2012098337A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2013-12-26
JP5657998B2 true JP5657998B2 (ja) 2015-01-21

Family

ID=46390354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010243548A Expired - Fee Related JP5657998B2 (ja) 2010-10-29 2010-10-29 液滴塗布装置及び液滴塗布方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5657998B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5716876B2 (ja) 2012-10-04 2015-05-13 大日本印刷株式会社 インプリント方法およびインプリント装置
JP6742177B2 (ja) * 2016-07-15 2020-08-19 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法
US10468247B2 (en) * 2016-12-12 2019-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Fluid droplet methodology and apparatus for imprint lithography

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004004915A (ja) * 2003-06-30 2004-01-08 Seiko Epson Corp フィルター製造装置、フィルター製造方法、このフィルターを備えた表示装置の製造方法、インクジェットパターニング装置及びインクジェットパターニング方法
JP2008299041A (ja) * 2007-05-31 2008-12-11 Seiko Epson Corp 吐出量測定方法、吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法
JPWO2010005011A1 (ja) * 2008-07-08 2012-01-05 株式会社アルバック インクジェット式印刷装置、吐出量検査方法
JP2010194465A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Shibaura Mechatronics Corp 液滴塗布方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012098337A (ja) 2012-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008264608A (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
JP2009117141A (ja) 液状体の塗布方法、有機el素子の製造方法
JP7710196B2 (ja) 印刷装置及び印刷方法
JP2008209218A (ja) 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP5657998B2 (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
JP5309519B2 (ja) 画像形成装置
JP2004148180A (ja) インクジェット塗布装置
US10847723B2 (en) Droplet discharge method, program, manufacturing method of organic el device, forming method of color filter
JP4901214B2 (ja) インクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法、並びに噴射液の噴射方法
JP2007229958A (ja) 液滴吐出装置およびその制御方法
JP4449602B2 (ja) 液滴吐出装置及び膜パターン形成方法
CN110385926B (zh) 印刷方法、印刷装置、el和太阳能电池的制造方法
JP2005238787A (ja) インク吐出量測定方法と、これを用いたインク吐出量制御方法及びインクジェット装置
JP2008221183A (ja) 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法
KR20090011589A (ko) 잉크젯 장치, 잉크젯 장치의 구동방법 및 이를 이용한표시장치의 제조방법
JP5121425B2 (ja) 配向膜塗布装置
JP4363094B2 (ja) 液滴吐出装置の液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びにカラーフィルタ表示装置の製造方法、エレクトロルミネッサンス表示装置の製造方法、プラズマ表示装置の製造方法
JP2017094235A (ja) 液滴吐出方法および液滴吐出プログラム
JP2009248045A (ja) インク塗布方法及びインク塗布装置
JP2010194465A (ja) 液滴塗布方法及び装置
JP4907947B2 (ja) 塗布装置及び塗布装置の調整方法
JP4994094B2 (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
JP2005262450A (ja) インクジェット塗布装置
JP2009028675A (ja) 薄膜形成装置
JP2009101265A (ja) 液滴量測定方法、液滴吐出量測定方法、液滴量測定用治具、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131029

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131111

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140812

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140813

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141014

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141117

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141127

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5657998

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees