JP5656886B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- (a)オブジェクトを受けるためのオブジェクトテーブルと、
(b)オブジェクトテーブルを動かすためのアクチュエータと、
(c)オブジェクトをオブジェクトテーブルへ移送するまたはオブジェクトをオブジェクトテーブルから移送するためのハンドラと、
(d)アクチュエータおよび/またはハンドラと接続されたコントローラと、を備え、
コントローラは、オブジェクトテーブルおよびハンドラが、オブジェクトテーブルへのまたはオブジェクトテーブルからのオブジェクトの移送方向における移送の間、その移送方向に直交する方向において互いに実質的に追従することが提供されるよう、アクチュエータおよびハンドラを駆動するようプログラムされおよび/または構成され、
アクチュエータは、移送方向に直交する方向にオブジェクトテーブルを動かすためのショートストロークアクチュエータおよび移送方向に直交する方向にオブジェクトテーブルを動かすためのロングストロークアクチュエータを含み、
ハンドラはロングストロークアクチュエータによって可動とされるロングストロークフレームに取り付けられ、
ロングストロークフレームの動きがオブジェクトテーブルのロングストロークフレームに対する位置に大きな誤差を生じさせないように、ロングストロークアクチュエータからショートストロークアクチュエータへのフィードフォワードを有する、リソグラフィ装置。 - ハンドラは移送方向にオブジェクトを動かすよう構成され、
コントローラは、移送方向に直交する方向にアクチュエータを駆動し、その直交する方向においてハンドラの動きに追従させるよう構成される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - ハンドラは、移送方向に直交する方向においてオブジェクトテーブルに追従する間、移送方向にオブジェクトを動かすよう構成される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- コントローラは、オブジェクトテーブルがハンドラに追従するようにショートストロークアクチュエータを制御するためのショートストロークコントローラを含む、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- ショートストロークコントローラは、ロングストロークフレームの予めプログラムされた位置に対する位置誤差を表す入力信号を受けるための入力を備える、請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- ロングストロークの位置誤差は、移送方向に直交するXおよびY方向、ならびに移送方向の周りの回転方向(RZ)におけるものである、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- ショートストロークコントローラは、ショートストロークアクチュエータをロングストロークの位置誤差を表す入力信号の関数として制御するための出力信号を計算する計算部を含む、請求項4または5に記載のリソグラフィ装置。
- ショートストロークコントローラの計算部は、ショートストロークアクチュエータをロングストロークの位置誤差を表す入力信号の関数として制御するために、移送方向に直交するXおよびY方向、ならびに移送方向の周りの回転方向(RZ)における出力信号を計算するよう構成される、請求項7に記載のリソグラフィ装置。
- 計算部は、ショートストロークアクチュエータを制御するための出力信号を計算するために、ロングストロークモータの位置誤差を表す入力信号の1次、2次、3次および4次の導関数を計算するようプログラムされおよび/または構成される、請求項7または8に記載のリソグラフィ装置。
- ショートストロークコントローラは、ショートストロークアクチュエータを制御するための出力信号を計算するために、1次、2次、3次および4次の導関数の3X3ゲイン行列でプログラムされおよび/または構成される、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- オブジェクトテーブルのロングストロークフレームに対する位置を測定するための差分位置センサをさらに備える、請求項1から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- ショートストロークコントローラは、差分位置センサと接続された入力を備える、請求項10に記載のリソグラフィ装置。
- (a)ハンドラからオブジェクトテーブルへオブジェクトを移送方向において移送するまたはその逆を行うことと、
(b)オブジェクトテーブルおよびハンドラが移送方向に直交する方向において互いに追従するよう、移送方向に直交する方向におけるハンドラおよび/またはオブジェクトテーブルの位置を移送中にアクチュエータを使用して制御することと、を含み、
アクチュエータは、移送方向に直交する方向にオブジェクトテーブルを動かすためのショートストロークアクチュエータおよび移送方向に直交する方向にオブジェクトテーブルを動かすためのロングストロークアクチュエータを含み、
ハンドラはロングストロークアクチュエータによって可動とされるロングストロークフレームに取り付けられ、
ロングストロークフレームの動きがオブジェクトテーブルのロングストロークフレームに対する位置に大きな誤差を生じさせないように、ロングストロークアクチュエータからショートストロークアクチュエータへのフィードフォワードを有するデバイス製造方法。
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