JP5638070B2 - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は走査型電子顕微鏡の試料移動ステージに関するものである。

走査型電子顕微鏡において、通常、観察対象は試料台に載置され、更に試料台はパルスモータやピエゾ素子などにより駆動される試料ステージにより移動される。例えば、特許文献１には、ステージのバックラッシュや送りねじのピッチ誤差がある場合でも正確に視野移動を行うための発明が開示されている。

従来の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を図１に、図１の試料移動ステージの詳細を図２に、図２のＡーＡ線に沿う横断面図を図３に、図２のＢ−Ｂ線矢視図を図４に示す。走査型電子顕微鏡は電子銃１で発生した電子ビームをコンデンサレンズ２，対物レンズ３を通して試料室４内の試料移動ステージ５の上に取り付けられた試料６上を走査しながら照射し、試料から出てくる２次電子を２次電子検出器７でとらえて試料表面の形状を観察する。図１の９〜１３は試料室４，電子銃室８等を真空に引く真空ポンプである。試料室４にステージケース１４が取り付けられ、ｚテーブル１５がクロスローラ軸受１６ａ，１６ｂを介してステージケース１４に連結されている。ｚテーブル１５はバネ１７で上方向に引っ張られ、クロスローラガイド１６ａ，１６ｂに案内され、ｚパルスモータ１８の回転によってｚ移動軸１９のオネジ部とｚテーブル１５に取り付けられたメネジ部６４の作用でｚ方向に移動し、試料６をｚ方向に移動する。チルトテーブル２０の一端にはチルト軸２１が取り付けられ、チルト軸２１はころがり軸受２２，２３を介して回転自在にｚテーブル１５に連結されている。チルトテーブル２０の他端はロック板２４が取り付けられ、試料室４に取り付けられたステージロック機構２５により押されている。

チルト軸２１にはウォームホィール２６ａが取り付けられ、これと組み合わされるウォームギヤ２６ｂは玉軸受２７，２８で支持され、軸受ハウジング２９，３０でｚテーブル１５に取り付けられている。ウォームホィール２６ａとウォームギヤ２６ｂを回転させるＴパルスモータ３１はスプライン軸３２ａ，３２ｂによって連結され、ｚ移動部材１５のｚ方向移動に追随可能となっている。Ｔパルスモータ３１を回すことによりチルト軸２１が回転し試料６を傾斜させ、一定の傾斜角に保持される。試料６をｘ方向に移動するｘテーブル３３はクロスローラガイド３４を介してチルトテーブル２０に取り付けられている。ｘテーブル３３はｘボールネジ３５とｘボールネジナット３６の送り作用で駆動する。ｘボールネジナット３６はｘテーブル３３に固定されている。ｘボールネジ３５は両端を玉軸受３７，３８で支持され、軸受ハウジング３９，４０でチルトテーブル２０に取り付けられている。ｘボールネジ３５とこれを回転させるｘパルスモータ４１はｘステージジョイント４２で連結されている。ｘステージジョイント４２は角度追随用の一対のジョイント部４２ａ，４２ｂおよびボールスプラインを用いた長さ調整用の伸縮部４２ｃからなる。

ｘテーブル３３はｘパルスモータ４１を駆動してｘステージジョイント４２を介してｘボールネジ３５を回転させてｘボールネジナット３６を移送することによりｘ方向に移動し、試料をｘ方向に移動する。ｙテーブル４３はクロスローラガイド４４ａ，４４ｂを介してｘテーブル３３に取り付けられている。ｙテーブル４３はｙボールメネジ４５とｙボールネジナット４６の送り作用で駆動する。ｙボールネジナット４６はｙテーブル４３に固定されている。ｙボールネジ４５は両端を玉軸受４７，４８で支持され、軸受ハウジング４９，５０でｘテーブル３３に取り付けられている。ｙボールネジ４６の一端には傘歯車５１ａが取り付けられ、これと噛み合う傘歯車５１ｂは玉軸受（図示せず）で支持され、軸受ハウジング５３でｘテーブルに固定される。傘歯車５１ｂとｙボールネジ４５を回転させるｙパルスモータ５４はｙステージジョイント５５で連結されている。

ｙステージジョイント５５は角度追随用の一対のジョイント部５５ａ，５５ｂおよびボールスプラインを用いた長さ調整用の伸縮部５５ｃからなる。ｙテーブル４３はパルスモータ５４を駆動しｙステージジョイント５５を介して傘歯車５１ａ，５１ｂ、ｙボールネジ４５を回転させてｙボールネジナット４６を移送することによりｙ方向に移動し、試料をｙ方向に移動する。ローテーションテーブル５６にはウォームホィール５７ａが取り付けられ、玉軸受５８によってｙテーブル４３に回転自在に結合されている。ウォームギヤ５７ｂは両端を玉軸受５９，６０で支持され、軸受ハウジング６１，６２でｙテーブル４３に取り付けられている。

ウォームギヤ５７ｂはＤＣモータ６３によって回転させる。ローテーションテーブル５６はＤＣモータ６３を回してウォームギヤ５７ｂ，ウォームホィール５７ａを回転させることにより回転し、試料を回転させる。試料６は試料ホルダ６５に接着され、試料ホルダ６５はローテーションテーブル５６に取り付けられたホルダ台６６に挿入，固定されている。このようにして試料はｘ，ｙ，ｚ方向に移送され、回転され、そして傾斜を与えられる。

特開平８−１２９９８５号公報

従来技術ではｘおよびｙテーブルを駆動するパルスモータは真空外のステージケースに取り付けられる。ｘパルスモータの出力軸とｘボールネジの間にはｘステージジョイント等の伝達系が入っているため、この部分のバックラッシュ、そしてねじり変形が発生し、ｘ，ｙテーブルの特に動かし始めや逆方向に動かそうとしたときの応答性が悪い。

例えばトラックボールによって操作する場合は、像が動き始めるまでにボールを空回しさせなければならず、テーブル駆動すなわち像を移動させるための操作性が悪かった。ｙテーブルに関しては、駆動系にさらにバックラッシュを持つ傘歯車が加わるため、ｘテーブルよりさらに応答性が悪くなり、操作性が悪化する。ｘおよびｙテーブルはクロスローラガイドで案内され、ボールネジの作用でｘおよびｙテーブルを移送する。

これらはころがり摩擦を利用した要素部品であるが、ころがり接触は摩擦が小さいために動きやすく、テーブルの動きに小さなふらつきが入って不安定な動きになる。この小さなふらつきは高倍率下で像を移動させるときに見えてしまうために操作に支障をきたし、位置決めを不安定にさせる。ボールネジは送り精度が良いために通常のネジ送りに替わって用いられるようになったのであるが、ネジ送りの場合はすべり摩擦を利用しているのでこのような不安定性は生じなかった。また、以前はつまみを手で回すことによってテーブルを操作していたが、そのときは手で操作しているということでこのような不安定性は許容されていた。しかし、操作もトラックボールやジョイスティックを使って行うようになり、微妙な位置決めが可能となったが、この不安定性が操作性を悪くしていた。

上記の問題点は、試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすｘ方向に移動するｘテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動し、前記ｘテーブルの上に取り付けられるｙテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のｚ方向に移動するｚテーブルと、前記試料をｘｙ平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記ｘテーブルは前記チルトベースの上に取り付けられ、前記ｘテーブルおよびｙテーブルがそれぞれクロスローラガイド等のころがり摩擦要素で案内され、かつボールネジにカップリングを介して連結したパルスモータによって移動させられ、前記パルスモータは試料室内に配置され、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、ｘテーブルとｙテーブルの間およびチルトベースとｘテーブルの間で、ボールネジに近い位置にすべり摩擦要素を配置することにより解決できる。

テーブルを移動するボールネジを直接パルスモータで駆動することにより駆動系で生じていたバックラッシュを低減することができ、テーブルの応答性が良くなり操作性が向上する。テーブルを移動させるボールネジやクロスローラガイドは摩擦の小さいころがり要素であり、動きやすいためにテーブルの動きに不安定性を与えていたが、ｘテーブルについてはＴベースとの間に、ｙテーブルについてはｘテーブルとの間にすべり摩擦要素である摺動子をボールネジの直近に配置し、さらに摺動子の形状，構造を適切なものとして、ころがり要素が発生させるテーブルの不安定な動きを防止し、かつテーブルの動きの遅れや不安定性を効果的に防止することができ、操作性が向上する。そのためトラックボールやジョイスティックを使った微妙な位置決めも安定してできるようになる。

従来の走査型電子顕微鏡の一実施例の縦断面側面図。 従来の試料移動ステージの一実施例を示す図。 図２のＡ−Ａ線矢視図。 図２のＢ−Ｂ線矢視図。 本発明の第一の実施例の試料移動ステージを示す図。 図５のＣ−Ｃ線矢視図。 図６のＤ−Ｄ線矢視図でｘ摺動子の一実施例を示す図。 図７の側面図。 図８の平面図。 図６のＥ−Ｅ線矢視図でｙ摺動子の一実施例を示す図。 図１０の側面図。 図１０の平面図。 摩擦力調整摺動子を示す図。

以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。図５に本発明の実施例を示す。図６は図５のＣ−Ｃ線矢視図を示す。試料室１０４にステージケース１１４が取り付けられ、ステージケース１１４に取り付けられたｚテーブル系とチルトテーブル駆動系は従来技術と基本的に同じである。ｚテーブル１１５がクロスローラ軸受（図示せず）を介してステージケース１１４に連結されている。ｚテーブ１１５はバネ１１７で上方向に引っ張られ、ｚパルスモータ１１８によってｚ移動軸１１９を上下させることによりクロスローラ軸受に案内されてｚ方向に移動し、試料１０６をｚ方向に移動する。ｚ移動軸１１９にはオネジが切られ、ｚテーブル１１５の上下はｚ移動軸１１９のオネジ部とｚテーブル１１５に取り付けられたメネジ部１１６の作用で行う。

チルトテーブル１２０の一端にはチルト軸１２１が取り付けられ、チルト軸１２１はころがり軸受１２２，１２３を介して回転自在にｚテーブル１１５に連結されている。チルトテーブル１２０の他端はロック板１２４が取り付けられ、試料室１０４に取り付けられたステージロック機構１２５により押されている。チルト軸１２１にはウォームホィール１２６ａが取り付けられ、これと組み合わされるウォームギヤ１２６ｂは玉軸受１２７，１２８で支持され、軸受ハウジング１２９，１３０でｚテーブル１１５に取り付けられている。ウォームホィール１２６ａとウォームギヤ１２６ｂを回転させるＴパルスモータ１３１はスプライン軸１３２ａ，１３２ｂによって連結され、ｚテーブル１１５のｚ方向移動に追随可能となっている。Ｔパルスモータ１３１を回すことによりチルト軸１２１が回転し試料１０６を傾斜させ、一定の傾斜角に保持される。試料１０６をｘ方向に移動するｘテーブル１３３はクロスローラガイド１３４を介してチルトテーブル１２０に取り付けられている。

ｘテーブル１３３はｘボールネジ１３５とｘボールネジナット１３６の送り作用で駆動する。ｘボールネジナット１３６はｘツギテ１４２，ｘ摺動子１４３を介してｘテーブル１３３に固定されている。ｘボールネジ１３５は両端を玉軸受１３７，１３８で支持され、軸受ハウジング１３９，１４０でチルトテーブル１２０に取り付けられている。ｘボールネジ１３５はｘパルスモータ１４１とｘカップリング１４４で連結され、ｘパルスモータ１４１はｘブラケット１４５に取り付けられ、ｘブラケット１４５はチルトテーブル１２０に固定される。ｘテーブル１３３はｘパルスモータ１４１を駆動してｘボールネジ１３５を回転させてｘボールネジナット１３６を移送することによりｘ方向に移動し、試料１０６をｘ方向に移動する。

ｙテーブル１５３はクロスローラガイド１５４ａ，１５４ｂを介してｘテーブル１３３に取り付けられている。ｙテーブル１５３はｙボールネジ１５５とｙボールネジナット１５６の送り作用で駆動する。ｙボールネジナット１５６はｙツギテ１４８，ｙボールネジベース１４９を介してｙテーブル１５３に固定されている。ｙボールネジ１５５は両端を玉軸受１５７，１５８で支持され、軸受ハウジング１５９，１６０でｘテーブル１３３に取り付けられている。ｙボールネジ１５５はｙパルスモータ１６１とｙカップリング１６２で連結され、ｙパルスモータ１６１はｙブラケット１６３に取り付けられ、ｙブラケット１６３はｘテーブル１３３に固定される。ｙテーブル１５３はｙパルスモータ１６１を駆動してｙボールネジ１５５を回転させてｙボールネジナット１５６を移送することによりｙ方向に移動し、試料１０６をｙ方向に移動する。ｙ摺動子１６４はｙボールネジナット１５６に向き合うようにｙテーブル１５３に取り付けられる。ローテーションテーブル１６６はウォームホィール１６７ａが取り付けられ、玉軸受１６８によってｙテーブル１５３に回転自在に結合されている。

ウォームギヤ１６７ｂは両端を玉軸受１６９，１７０で支持され、軸受ハウジング１７１，１７２でｙテーブル１５３に取り付けられている。ウォームギヤ１６７ｂはＤＣモータ１７３によって回転させる。ローテーションテーブル１６６にはＤＣモータ１７３を回してウォームギヤ１６７ｂ，ウォームホィール１６７ａを回転させることにより回転し、試料１０６を回転させる。試料１０６は試料ホルダ１０７に接着され、試料ホルダ１０７はローテーションテーブル１６６に取り付けられたホルダ台１０８に挿入，固定されている。

図７は図６のＤ−Ｄ線矢視図を示し、ｘ摺動子の一実施例を示す。図８は図７の側面図を示し、図９は図８の平面図を示す。ｘ摺動子１４３のｘ摺動子ベース１８０がｘ板バネ１８１を挟んでｘテーブル１３３にボルトによって固定される。ｘボールネジ１３５のｘボールネジナット１３６はｘツギテ１４２を介してｘ摺動子ベース１８０に固定される。ｘ板バネ１８１の先端部分の一面にはチルトテーブル１２０に取り付けられたｘ相手板１８２と摺動するｘ摩擦材１８３、他面にはｘバネ座板１８４が接着される。ｘ摺動子ベース１８０とｘバネ座板１８４の間にｘバネ１８５を入れ、ｘ摩擦材１８３をｘ相手板１８２に押圧する力を与える。ｘバネ１８５はコイルバネでｘ摩擦材１８３の両端に１８５ａ，１８５ｂの２個装着される。ｘ摩擦材１８３は高分子材料の薄い板材で作られている。ｘバネ座板１８４はｘ摩擦材１８３の平面を保つために設けられたものである。ｘ摩擦材１８３とｘバネ座板１８４は接着によって作成されるのでｘ摺動子１４３を薄い構造とすることができる。ｘボールネジ１３５がｘボールネジナット１３６を駆動してｘテーブル１３３を移動させるとき、ｘボールネジ１３５およびｘクロスローラガイド１３４ａはころがり摩擦接触をしているので摩擦が小さく動きやすいので逆にｘテーブル１３３の動きに不安定性、すなわち像を移動させているとき細かなふらつきが入り、特に高倍で観察する場合見にくさが生じる。ｘ摩擦材１８３はｘバネ１８５によってチルトテーブル１２０のｘ相手板１８２に押圧され、ｘ摩擦材１８３とｘ相手板１８２との間ですべり摩擦を発生させてこの不安定性を防止する。ころがり摩擦要素の動きやすさによる不安定性を防止するだけであるのですべり摩擦は小さい値で良い。ｘ摩擦材１８３とｘ相手板１８２との間のすべり摩擦が小さいのでそれによって発生する駆動系のねじれ変形を小さく押えられるので、ｘテーブル１３３の移動し始めの遅れを小さくすることができる。ｘ摺動子１４３をｘボールネジ１３５と反対側のｘテーブル面に設置すると設置が容易であるが、摩擦が小さいといってもｘボールネジ１３５との距離が大きくなり、ｘテーブル１３３が移動する面と平行な面内の摩擦力によって生じるモーメントは大きくなって、ボールネジ１３５に曲げ変形が生じ、クロスローラガイド１３４のローラが変形し、始動時にｘテーブル１３３の遅れが生じてしまう。ボールネジ１３５，クロスローラガイド１３４の変形は僅かなものであるが、高倍率下で像を動かす場合にはこれらの変形が操作に現れてしまう。すなわち、トラックボールのボールを回してｘパルスモータ１４１を回転させ、ボールネジ１３５が回転しても、ボールネジ１３５，クロスローラガイド１３４の変形によって、ｘテーブル１３３が始動時に動かない時間が生じる。方向を反転させたときの動き始めにも同じ現象が生じる。そのため高倍率での微妙な位置決めがしにくくなる。

本発明ではｘボールネジ１３５の直近にｘ摺動子１４３を配置し、さらに薄く作られているので、ｘ摺動子１４３の摩擦力Ｆ_x1によるモーメントＭ_x1が小さくなり、ｘボールネジ１３５などの変形が小さくなって始動時にｘテーブル１３３の遅れが生じることを防止することができる。ｘ板バネ１８１はすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの２倍以上と大きくし、図８の紙面と平行な面内で発生するモーメントＭ_x1によるｘ板バネ１８１の変形を小さくしてｘ板バネ１８１の変形によるｘテーブル１３３の始動の遅れを防止している。

Ｐｘはｘボールネジ１３５とｘボールネジナット１３６によってｘテーブル１３３に作用する駆動力である。ｘ摩擦材１８３はすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの２倍以上と大きくし、図９の紙面と平行な面内で発生するモーメントＭ_x2によるｘ摩擦材１８３とｘ相手板１８２との接触の不安定性を防ぎ、さらにｘ摩擦材１８３は薄いためにＭ_x2が小さくなり、Ｍ_x2によるｘ板バネ１８１の変形を小さくしてｘ摩擦材のｘ相手板との摩擦の不安定性を防止する。このようにｘ摺動子１４３によって動きの良すぎによる不安定性をすべり摩擦を付与して防止し、かつｘ摺動子１４３が入ることによって生じるｘテーブル１３３の動き始めの遅れや不安定性をｘ摺動子１４３を薄くし、かつボールネジ１３５の直近に配置することにより防止する。

図１０は図６のＥ−Ｅ線矢視図を示し、ｙ摺動子の一実施例を示す。図１１は図１０の側面図を示し、図１２は図１０の平面図を示す。ｘ摺動子１４３は垂直に配置したが、ｙテーブル１５３が薄いために垂直に配置できず、ｙ摺動子１６４は水平に配置した。ｙ摺動子ベース１９０がｙ板バネ１９１を挟んでｙテーブル１５３にボルトによって固定される。ｙボールネジ１５５のｙボールネジナット１５６はｙツギテ１４８を介してｙテーブル１５３に固定されている。ｙ板バネ１９１の先端部分の一面にはｘテーブル１３３に取り付けられたｙ相手板１９２と摺動するｙ摩擦材１９３、他面にはｙバネ座板１９４が接着される。ｙ摩擦材１９３は高分子材料の薄板で作られている。ｙ摺動子ベース１９０とｙバネ座板１９４の間にｙバネ１９５を入れ、ｙ摩擦材１９３をｙ相手板１９２に押圧する力を与える。ｙバネ１９５はコイルバネでｙ摩擦材１９３の両端に１９５ａ，１９５ｂの２個装着される。ｙバネ座板１９４はｙ摩擦材１９３の平面を保つために設けられたものである。ｙボールネジ１５５がｙボールネジナット１５６を駆動してｙテーブル１５３を移動させるとき、ｙボールネジ１５５およびｙクロスローラガイド１５４ａ，１５４ｂはころがり摩擦接触をしているので摩擦が小さく動きやすいので逆にｙテーブル１５３の動きに不安定性が生じる。この不安定性をｙ摺動子で除去するが、ｙ摺動子１６４の機能や効果はｘ摺動子１４３と同じである。またｙ板バネ１９１はｘ板バネ１８１と同じようにすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの２倍以上と大きくし、またｙ摩擦材１９３はｘ摩擦材１８３と同じようにすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの２倍以上と大きくしている。従って、ｘテーブル１３３におけるＦ_x1とＭ_x1，Ｍ_x2の関係は、ｙテーブル１５３におけるＦ_y1とＭ_y1，Ｍ_y2の関係と同じである。

図１３は摩擦材と相手板との間の摩擦係数が経時的に変化する場合について、摩擦力を調整して常にテーブルの動きに適切な安定性を与えるために考案されたものである。ｘテーブルについて説明することにする。ｘ摺動子ベース２００がｘ板バネ２０１を挟んでｘテーブル２０２のボルトによって固定される。ｘボールネジ２０３のｘボールネジナット２０４はｘツギテ２０５を介してｘ摺動子ベース２００に固定される。ｘ板バネ２０１の先端部分の一面にはチルトテーブル２０６に取り付けられたｘ相手板２０７と摺動するｘ摩擦材２０８、他面にはバネ座板２０９が接着される。ｘバネ座板２０９はｘ摩擦材２０８の平面を保つために設けられたものである。ｘ摺動子ベース２００とｘバネ座板２０９の間にｘバネ２１０を入れ、ｘバネ座２１１を摺動子ベース２００から調整ネジ２１２で押すことにより、ｘ摺動材２０８をｘ相手板２０７に押圧する。押圧する力は調整ネジ２１２のネジ込み量で調整する。

１ 電子銃
３ 対物レンズ
４ 試料室
５ 試料移動ステージ
６，１０６ 試料
１４，１１４ ステージケース
１５ ｚテーブル
１６ａ，１６ｂ クロスローラガイド
１８ ｚパルスモータ
１９ ｚ移動軸
２０，１２０ チルトテーブル
２１ チルト軸
２２，２３ ころがり軸受
２６ａ ウォームホィール
２６ｂ ウォームギヤ
３１ Ｔパルスモータ
３２ａ，３２ｂ スプライン軸
３３，１３３ ｘテーブル
４１，１４１ ｘパルスモータ
４２ ｘステージジョイント
４３，１５３ ｙテーブル
５４，１６１ ｙパルスモータ
５５ ｙステージジョイント
５６，１６６ ローテーションテーブル
６３，１７３ ＤＣモータ
１３５ ｘボールネジ
１４３ ｘ摺動子
１５５ ｙボールネジ
１６４ ｙ摺動子
１８０ ｘ摺動子ベース
１８１ ｘ板バネ
１８２ ｘ相手板
１８３ ｘ摩擦材
１９０ ｙ摺動子ベース
１９１ ｙ板バネ
１９２ ｙ相手板
１９３ ｙ摩擦材

Claims (5)

1. 試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすｘ方向に移動するｘテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動し、前記ｘテーブルの上に取り付けられるｙテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のｚ方向に移動するｚテーブルと、前記試料をｘｙ平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記ｘテーブルは前記チルトテーブル上に取り付けられ、前記ｘテーブルおよびｙテーブルがそれぞれクロスローラガイド等のころがり摩擦要素で案内され、かつ試料室内に配置されてボールネジにカップリングを介して連結したパルスモータによって移動させられ、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、
   ｘテーブルとｙテーブルの間で、試料に対してボールネジと同じ側に摩擦材を相手板に一定の力で押圧し、ｙ方向に摺動するすべり摩擦要素と、
   チルトテーブルとｘテーブルの間で、試料に対してボールネジと同じ側に摩擦材を相手板に一定の力で押圧し、ｘ方向に摺動するすべり摩擦要素とを配置したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
2. 請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
   前記すべり摩擦要素は、相対的に移動する一方のテーブルあるいはベースに板バネの一端を挟んで摺動子ベースの一端を固定し、前記板バネの他端の一面で、他方のテーブルあるいはベースに取り付けた相手板に対向して薄い板状の摩擦材を接着し、もう一つの面にバネ座板を接着し、前記摺動子ベースとバネ座板との間に一つまたは複数のコイルバネを入れて、摩擦材を相手板に押圧したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
3. 請求項１または２に記載の走査型電子顕微鏡において、
   前記すべり摩擦要素は、ｘテーブルとチルトテーブルの間では前記摩擦材の平面が垂直方向となるように配置し、ｙテーブルとｘテーブルの間では前記摩擦材の平面が水平方向となるように配置したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
4. 請求項２に記載の走査型電子顕微鏡において、
   前記板バネおよび摩擦材のテーブルの移動方向の長さをそれと直角方向の長さの２倍以上にしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
5. 請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
   前記テーブルを駆動するボールネジのナットが連結部材を介してすべり摩擦要素に取り付けられたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

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