JP5636837B2 - 太陽電池バックシート - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度が5g/m2/day以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池バックシートである。
請求項3に記載の発明は、該透明樹脂フィルムの一方、又は両方が、紫外線カット機能を有する透明樹脂フィルムを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池バックシートである。
図2に示すような太陽電池バックシートを作成した。透明樹脂フィルム(10a)、(10b)に50μm厚のPETフィルムを用い、透明樹脂フィルム(10a)上に、接着剤(20a)、透明ガスバリアフィルム(30a)、接着剤(20b)、透明樹脂フィルム(10b)をこの順で積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりSiO材料を蒸発させ、その蒸発材料をマイクロ波放電の高密度プラズマを用い、厚み30nmのSiOx膜(32a)を12μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させたものである。
図2に示すような太陽電池バックシートを作成した。透明樹脂フィルム(10a)、(10b)に50μm厚のPETフィルムを用い、透明樹脂フィルム(10a)上に、接着剤(20a)、透明ガスバリアフィルム(30a)、接着剤(20b)、透明樹脂フィルム(10b)をこの順で積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりSiO材料を蒸発させ、その蒸発材料をホロカソード放電の高密度プラズマを用い、厚み30nmのSiOx膜(32a)を12μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させたものである。
図2に示すような太陽電池バックシートを作成した。透明樹脂フィルム(10a)、(10b)に100μm厚のPETフィルムを用い、透明樹脂フィルム(10a)上に、接着剤(20a)、透明ガスバリアフィルム(30a)、接着剤(20b)、透明樹脂フィルム(10b)をこの順で積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりSiO材料を蒸発させ、その蒸発材料をホロカソード放電の高密度プラズマを用い、厚み30nmのSiOx膜(32a)を12μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させたものである。
図2に示すような太陽電池バックシートを作成した。透明樹脂フィルム(10a)、(10b)に50μm厚のPETフィルムを用い、透明樹脂フィルム(10a)上に、接着剤(20a)、透明ガスバリアフィルム(30a)、接着剤(20b)、透明樹脂フィルム(10b)をこの順で積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりSiO材料を蒸発させ、厚み30nmのSiOx膜(32a)を12μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させたものである。
図2に示すような太陽電池バックシートを作成した。透明樹脂フィルム(10a)、(10b)に100μm厚のPETフィルムを用い、透明樹脂フィルム(10a)上に、接着剤(20a)、透明ガスバリアフィルム(30a)、接着剤(20b)、透明樹脂フィルム(10b)をこの順で積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりSiO材料を蒸発させ、厚み30nmのSiOx膜(32a)を12μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させたものである。
水蒸気透過度をMOCON法により測定した。用いた測定器はMOCON PERMATRAN3/33であり、40℃、90%Rhにて測定した。
また耐久性加速試験として、高度加速寿命装置(ESPEC社製)を用い、温度:120℃、湿度100%RH、時間:96hで試験した後に、水蒸気透過度をMOCON法により測定した。
10a、10b・・・PETフィルム
20、20a、20b・・・接着剤
30、30a・・・透明ガスバリアフィルム
31a・・・PETフィルム
32a・・・SiOx蒸着膜
Claims (3)
- 透明樹脂フィルムと、接着剤と、基材としてポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレンナフタレートを使用した透明ガスバリアフィルムと、接着剤と、透明樹脂フィルムとをこの順で積層した太陽電池バックシートにおいて、
前記透明ガスバリアフィルムを構成するバリア層が、SiOx、SiNx、SiOxNy、SiOxNyCz、AlOx、AlNx、AlOxNy、AlOxNyCz(x、y、zは、0.01以上2.00以下の値を示す)から選択される少なくとも一の組成を有する化合物からなり、
該バリア層が、該化合物を抵抗加熱法により蒸発させ、この蒸発した粒子をホロカソード放電による高密度プラズマ領域を通過させた蒸着粒子により形成された層である
ことを特徴とする太陽電池バックシート。 - 該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度が5g/m2/day以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池バックシート。
- 該透明樹脂フィルムの一方、又は両方が、紫外線カット機能を有する透明樹脂フィルムを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池バックシート。
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