JP5635985B2 - 金属ケイ素から非金属不純物を除去する方法 - Google Patents
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- 金属ケイ素から非金属不純物を除去する方法であって、
金属ケイ素に、ハロゲン元素を含む固体のケイ素を混合する工程と、
前記金属ケイ素および前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素からなる混合物を融解させ、この融解液から、非金属不純物をハロゲン化物の形で気化させることにより、非金属不純物を除去する工程と、を含み、
前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素として、ケイ素フラクションとハロシランフラクションからなるケイ素混合物を用いる、方法。 - 金属ケイ素から非金属不純物を除去する方法であって、
金属ケイ素を融解させる工程と、
前記未精製のシリコン融液に、ハロゲン元素を含む固体のケイ素を添加し、この融解液から、非金属不純物をハロゲン化物の形で気化させることにより、非金属不純物を除去する工程と、を含み、
前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素として、ケイ素フラクションとハロシランフラクションからなるケイ素混合物を用いる、方法。 - 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素は、1〜50原子%のハロゲン元素を含んでいることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素の顆粒は、微細な顆粒であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素の微細な顆粒は、密度が0.2〜1.5g/cm3であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素の微細な顆粒は、粒径が50〜20000μmであることを特徴とする請求項4または5に記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素として、ケイ素の多孔性の顆粒が、ハロシラン(Si n X 2n+2 (Xはハロゲン元素))を気泡の形で包含しているケイ素混合物を用いることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素として、ハロゲン元素原子と化学結合をしているケイ素を用いることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の方法。
- 前記金属ケイ素を含む融解液に、前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素を、後から添加するようになっていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の方法。
- 金属ケイ素から、人為的に添加されたドーパントを除去するために用いられることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。
- 金属ケイ素から、リンまたはホウ素を除去するために用いられることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素として、塩素を含むケイ素を用いることを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の方法。
- 前記金属ケイ素と前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素とからなる混合物の融解液を均一化する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の方法。
- インゴットキャスティング法、ブリッジマン法、チョクラルスキー法、EFG法、ストリングリボン法、およびRGS法を含む、方向性凝固法におけるケイ素の結晶化プロセスにおいて用いることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の方法。
- 前記ハロゲン元素を含む固体のケイ素は、ハロゲン化ポリシランの熱分解により得るようになっていることを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の方法。
- 金属ケイ素の半製品からの非金属不純物の除去、一定の精製を経て純度が高められたケイ素(UMGケイ素)の半製品からの非金属不純物の除去、または一定の精製を経て純度が高められたケイ素(UMGケイ素)からの非金属不純物の除去を行う際に用いられることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の方法。
- 一定の精製を経て純度が高められたケイ素(UMGケイ素)の電気抵抗の制御および/または設定と、一定の精製を経て純度が高められたケイ素(UMGケイ素)もしくはこの半製品のインゴットまたは結晶の電気抵抗の制御および/または設定とのうちいずれかを行うために用いられることを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載の方法。
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