JP2011520763A5 - - Google Patents
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Claims (23)
- １ａｔ％〜５０ａｔ％の含有量のハロゲン化合物を有するハロゲン化ポリシランを熱分解して得られたことを特徴とするハロゲン含有シリコン。
- 粉粒状の形態をなしていることを特徴とする請求項１に記載のハロゲン含有シリコン。
- ０．２〜１．５ｇ／ｃｍ3の嵩密度を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のハロゲン含有シリコン。
- ５０μｍ〜２００００μｍの粒子サイズを有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のハロゲン含有シリコン。
- ハロゲン含有シリコン粒子の隙間にハロシラン（ＳｉnＸ2n+2（Ｘ＝ハロゲン））を含むことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のハロゲン含有シリコン。
- Ｓｉ原子に化学的にしっかりと結合されたハロゲンを含むことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のハロゲン含有シリコン。
- 塩化物を含むことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のハロゲン含有シリコン。
- 請求項１〜７の何れかに記載のハロゲン含有シリコンを製造する方法において、前記ハロゲン化ポリシランが反応器内に連続的に加えられ、熱分解されることを特徴とするハロゲン含有シリコンの製造方法。
- 前記ハロゲン化ポリシランが反応器内に滴状にして導入されることを特徴とする請求項８に記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- ３５０℃〜１２００℃の温度範囲で熱分解を実施することを特徴とする請求項８又は９に記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- ハロゲン化ポリシランの熱分解温度は４００℃よりも低いことを特徴とする請求項１０に記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- １０-3ｍｂａｒ〜３００ｍｂａｒの圧力で前記熱分解を実施することを特徴とする請求項８〜１１の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- 前記熱分解に使用される反応器内が不活性ガス雰囲気、特にアルゴン雰囲気で維持されていることを特徴とする請求項８〜１２の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- 得られたハロゲン含有シリコンにおけるハロゲン化合物の含有量がハロゲン含有シリコンの後処理によって設定されることを特徴とする請求項８〜１３の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの製造方法。
- 請求項１〜１４の何れかに記載のハロゲン含有シリコンを使用する方法において、金属シリコンを精製するために、
ハロゲン含有シリコンと精製すべき金属シリコンとを混合する工程と、
混合物を溶解して、不純物を昇華する工程と
を備えることを特徴するハロゲン含有シリコンの使用方法。 - 請求項１〜１４の何れかに記載のハロゲン含有シリコンを使用する方法において、金属シリコンを精製するために、
精製すべき金属シリコンを溶融する工程と、
湯中にハロゲン含有シリコンを導入し、不純物を昇華する工程と
を備えることを特徴とするハロゲン含有シリコンの使用方法。 - 使用されたハロゲン含有シリコンは、Ｓｉ片が混合されたハロシラン片を含むハロゲン含有シリコンであることを特徴とする請求項１５又は１６に記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- 使用されたハロゲン含有シリコンは、Ｓｉ原子に化学的に結合されたハロゲンを含むハロゲン含有シリコンであることを特徴とする請求項１５〜１７の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- 粉粒状、特に細かな粉粒状のハロゲン含有シリコンが使用されることを特徴とする請求項１５〜１８の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- 前記湯にハロゲン含有シリコンが補充されることを特徴とする請求項１５〜１９の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- 前記湯は均質化されていることを特徴とする請求項１５〜２０の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- Ｓｉ結晶化法、特に、インゴット鋳込み法、チョクラルスキー法、EFG法、ストリングリボン法、RSG法に使用されることを特徴とする請求項１５〜２１の何れかに記載のハロゲン含有シリコンの使用方法。
- 請求項１５又は請求項１６の使用方法によって得られた精製シリコン。
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