JP5635645B2 - ビームシステムのビームカラムを傾動する装置並びにビームシステム - Google Patents
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Description
18 ビーム
2000 傾動装置
2100 第1のサブアセンブリ
2200 第2のサブアセンブリ
2220 モーター
2212,2215,2216 ギア
2240 ギアユニット
2250 光学センサー
Claims (11)
- ビームシステムのビームカラムが角変位する期間を通じて該ビームカラムを移動する装置であって、
真空チャンバに固設された第1のサブアセンブリであって、第1の開口を有するものと、
第2のサブアセンブリであって、第2の開口を有するものと、
ビームを集束する集束部材を有し、前記第2のサブアセンブリに取り付けられるビームカラムであって、前記集束部材が第2の開口内に延在していないものと、
前記第1のサブアセンブリの位置に対する円弧状の前記ビームカラムの経路に従って前記第2のサブアセンブリを電気機械的に少なくとも5°駆動する電気機械的な駆動システムと、
前記第1の開口と第2の開口の間に真空シールドを作る蛇腹装置であって、その内部に円筒形の穴を有し、前記ビームカラムによって生成されたビームが前記円筒形の穴を通過して前記真空チャンバに至り、前記ビームが真空チャンバ内でワークピース上に集束できるようにするものとからなり、
前記ビームを傾動することによって前記ビームカラムが角変位するその全範囲に亘って前記ワークピース上に前記ビームを集束できるようにする装置。 - 前記ビームカラムの角度が角変位している最中、前記蛇腹装置の真空シールドにより真空が維持されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記電気機械的な駆動システムが、更に、
前記二つのサブアセンブリの一方に取り付けられたモータであって、該モータの回転軸に取り付けられた第1のギアを装着したものと、
前記第1のギアに噛み合わされた第2のギアであって、前記モータが取り付けられているサブアセンブリに対向する他方のサブアセンブリに取り付けられたものを装備しており、
前記モータの回転軸が回転して前記両サブアセンブリ間の相対的な運動を引き起こすことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記モータが制御自在に、連続的に、又は、段階的に前記ビームカラムを電気機械的に駆動することを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 更に、
前記ビームカラムの角変位の範囲を制限する機構を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 更に、
前記機構が前記ビームカラムの角変位の範囲を検出するセンサーを有することを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームカラムの一端が真空チャンバの外側に延在し、そして、前記ビームカラムの他端が真空チャンバの内側に延在することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- ワークピースと相互作用するビームシステムであって、
真空チャンバに固設された第1のサブアセンブリであって、第1の開口を有するものと、
ビームカラムが取り付けられた第2のサブアセンブリであって、第2の開口を有するものと、
前記第1のサブアセンブリの位置に対する円弧状の前記ビームカラムの経路に従って前記第2のサブアセンブリを電気機械的に少なくとも5°駆動する電気機械的な駆動システムと、
第2のサブアセンブリに取り付けられて、ビームを発生して前記ワークピースと相互作用するためのビームカラムであって、前記第2の開口内に延在していないものと、
前記第1の開口と第2の開口の間に真空シールドを作り出す蛇腹装置であって、その内部に円筒形の穴を有しており、前記ビームカラムによって生成されたビームが前記円筒形の穴を通過して前記真空チャンバに至り、前記ビームが真空チャンバ内でワークピース上に集束できるようにするものとからなり、
前記ビームを傾動することによって前記ビームカラムが角変位するその全範囲に亘って前記ワークピース上に前記ビームを集束できるようにするビームシステム。 - 前記ビームカラムの角度が角変位している最中、前記蛇腹装置の真空シールドにより真空が維持されることを特徴とする請求項8に記載のビームシステム。
- ビームカラムが予め決めることができる角変位の範囲内で駆動可能であることを特徴とする請求項8に記載のビームシステム。
- 更に、ビームカラムの角変位の速度を制御するプロセッサを装備していることを特徴とする請求項10に記載のビームシステム。
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