JP5628815B2 - エッジ加重による液滴パターン生成 - Google Patents
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Description
本出願は、2008年10月21日に出願された米国仮出願第61/107,105号と2009年10月16日に出願された米国出願第12/580,813号に対する優先権を主張しかつこれらの出願と関連し、これらの出願は両方とも、参照により本明細書に組み込まれる。
ボクセルkの(x、y)位置はXk であり、
液滴iの体積加重重心zi は、次式で表される。
ここで
3.l=0と設定し、収束するまで繰り返す。
1. マップMの場合のPl のパワー図を計算する。
2. P'l+1 を各領域の体積加重重心に設定する。
3. Pl+1 をGのスナップP'l+1 に設定する。
4. lを増分する
‖Pi−xk‖2 (5)
‖Pi−xk‖2+λi (6)
2.インポート・フィーチャのサブセットを対象とする第1のルール・セットrlを適用する。Ll=r1(Lall)
3.非凸状フィーチャを識別する第2のルール・セットrncを適用する。Lnc=rnc(Ll)
その結果、次の関係が得られる。Ll=Lc∪Lnc
4.Lnc内の各非凸状フィーチャに関して、
i. フィーチャを凸状サブフィーチャに分割することを試みる。Lsub=ncut(Lnc)
ii. rlをLsに適用してLsublを求める。Lsubl=rl(Lsub)
iii.非凸状フィーチャを識別するrncを再び適用する。全てのフィーチャが凸状になるまでステップiとiiを繰り返す。
iv. 新しい組の凸状サブフィーチャを1組のすべての凸状フィーチャに追加する。
Lc=Lc∪Lsubl
5.Lc内の各フィーチャのF’={}を設定する。
i. 第3のルール・セットrsを適用してフィーチャをサブフィーチャの規則格子に分割する。
ii. 液滴dを個々サブフィーチャの重心に配置する。
iii.液滴位置を1組のフィーチャ液滴に追加する。F’=F’∪d
6.FをGのスナップ液滴位置F’に設定する。
7.Mの体積要件を満たすのに必要な追加の液滴数mを計算する。
9.P0=F∪R0
10.l=0に設定し次に収束するまで繰り返す。
i. 生成元Plを有する所定のマップMのパワー図を計算する。
ii. R'l+lをR0内の液滴の各領域の体積加重重心に設定する。
iii.Rl+lをGのスナップR'l+l 位置に設定する。
iv. Pl+1=F∪Rl+1
v. lを増分する
画素近傍関数Ω
デフォルトは北、南、東、西である。
n=r×c個のボクセルを有する流体マップM
体積変化しきい値σ
出力:
各カラムの和が1の場合にn個の非ゼロ値を有するk×n行列。
k番目のフィーチャに割り当てられたボクセルは、第k行に1を有する。
手順:
1.Mから類似度行列(affinity matrix)Aを構築する。Aは大きさがn×nである。
Claims (8)
- 基板上に流体の複数の液滴を分注する流体分注システムを選択するステップと、
ある体積を有するフィーチャを含むインプリント面を選択するステップと、
前記基板上に前記複数の液滴の最適化流体液滴パターンを生成するステップと、
から構成され、
前記最適化流体液滴パターンを生成するステップは、
前記インプリント面のフィーチャ形状および所望の残余層厚さに基づいて流体マップを形成するステップと、
前記流体マップ内のエッジを探してエッジ・マップを形成するステップと、
前記エッジ・マップにしきい値を適用するステップと、
生成元点と前記流体マップの体積画素の間の体積重みを計算するステップと、
倍率を初期化するステップと、
生成元点から前記流体マップの体積画素までライン走査を実行するステップと、
エッジが交差するときの遷移タイプを決定するステップと、
調整された倍率を得るために、前記倍率に前記遷移タイプと関連付けられた重みを掛けるステップと、
前記生成元点から前記体積画素までの距離を計算するステップと、
前記距離に前記調整された倍率を掛けて補正距離を得るステップと、
前記補正距離に基づいて改良ボロノイ図を構築するステップと
を含むことを特徴とする流体液滴パターンを生成する方法。 - 前記最適化流体液滴パターンに従って前記流体を分注するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記分注する段階は、前記流体分注システムから実質的に等しい体積の多数の液滴を前記基板に分注するステップ含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記倍率は、約1.0に初期化されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記最適化流体液滴パターンは、前記フィーチャの体積に少なくとも部分的に基づいて液滴位置を調整するステップを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記インプリント面の前記フィーチャを前記基板上の前記複数の液滴で実質的に充填することによって前記インプリント面を複製するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記流体液滴パターンを移動させて1組のシフト流体液滴パターンを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記シフト流体液滴パターンを重ねて多重液滴パターンを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
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