JP5626800B2 - Led基板及びled - Google Patents
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Description
となる;三角テーパー部310の大きい方の底角は31度であり、これにより三角テーパー部308の結晶面は
となる。
Claims (20)
- 発光ダイオード(LED)基板であって、
複数の上部三角・下部六角テーパー部からなる表面を有するサファイア基板を備え、
前記上部三角・下部六角テーパー部の各々は、六角テーパー部と、該六角テーパー部上の三角テーパー部とからなり、
前記上部三角・下部六角テーパー部どうしの間隔幅は10μm未満であり、
前記三角テーパー部の最上部は、平面であり、
前記三角テーパー部の対称断面は、第1の底角と第2の底角とを有し、
前記第2の底角は、前記第1の底角より大きく、
前記六角テーパー部の対称断面は、第3の底角と第4の底角とを有し、
前記第4の底角は、前記第3の底角より大きく、
前記六角テーパー部の底面は六角形であり、
前記三角テーパー部の底面は三角形であることを特徴とするLED基板。 - 前記上部三角・下部六角テーパー部どうしの間隔幅は、1μm〜4μmであることを特徴とする請求項1に記載のLED基板。
- 前記上部三角・下部六角テーパー部の各々の最大高さは、1μm〜2μmであることを特徴とする請求項1に記載のLED基板。
- 前記上部三角・下部六角テーパー部の各々の最大高さは、1.5μm〜2μmであることを特徴とする請求項3に記載のLED基板。
- 前記第2の底角は、28度〜32度であることを特徴とする請求項1に記載のLED基板。
- 前記第4の底角は、50度〜70度であることを特徴とする請求項1に記載のLED基板。
- 前記表面は、(0001)面を含み、
前記(0001)面の面積は、前記表面の投影面積の10〜60%であることを特徴とする請求項1に記載のLED基板。 - 前記表面は、前記(0001)面を含み、
前記(0001)面の面積は、前記表面の投影面積の10〜30%であることを特徴とする請求項7に記載のLED基板。 - 発光ダイオード(LED)であって、
複数の上部三角・下部六角テーパー部からなる表面を有するサファイア基板と、
前記サファイア基板上に積層された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に積層された発光層と、
前記発光層上に積層された第2の半導体層と、
前記第1半導体層に接触する第1のオーム電極と、
前記第2の半導体層に接触する第2のオーム電極とを備え、
前記上部三角・下部六角テーパー部の各々は、六角テーパー部と、該六角テーパー部上の三角テーパー部とからなり、
前記上部三角・下部六角テーパー部どうしの間隔幅は10μm未満であり、
前記三角テーパー部の最上部は、平面であり、
前記三角テーパー部の対称断面は、第1の底角と第2の底角とを有し、
前記第2の底角は、前記第1の底角より大きく、
前記六角テーパー部の対称断面は、第3の底角と第4の底角とを有し、
前記第4の底角は、前記第3の底角より大きく、
前記六角テーパー部の底面は六角形であり、
前記三角テーパー部の底面は三角形であることを特徴とするLED。 - 前記上部三角・下部六角テーパー部どうしの間隔幅は、1μm〜4μmであることを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記上部三角・下部六角テーパー部の各々の最大高さは、1μm〜2μmであることを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記上部三角・下部六角テーパー部の各々の最大高さは、1.5μm〜2μmであることを特徴とする請求項11に記載のLED。
- 前記第2の底角は、28度〜32度であることを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記第4の底角は、50度〜70度であることを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記表面は、(0001)面を含み、
前記(0001)面の面積は、前記表面の前記投影面積の10〜60%であることを特徴とする請求項9に記載のLED。 - 前記表面は、前記(0001)面を含み、
前記(0001)面の面積は、前記表面の前記投影面積の10〜30%であることを特徴とする請求項15に記載のLED。 - 前記第1の半導体層、前記発光層、及び前記第2の半導体層は、III-V族半導体を含むことを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記III-V族半導体は、窒化ガリウム半導体であることを特徴とする請求項17に記載のLED。
- 前記第1のオーム電極及び前記第2のオーム電極は、それぞれ、Ni、Pb、Co、Fe、Ti、Cu、Rh、Au、Ru、W、Zr、Mo、Ta、Ag、これらの酸化物、及びこれらの窒化物からなるグループから選択される少なくとも1つの合金又は多層フィルムであることを特徴とする請求項9に記載のLED。
- 前記第1のオーム電極及び前記第2のオーム電極は、それぞれ、Rh、Ir、Ag、及びAlからなるグループから選択される合金又は多層フィルムであることを特徴とする請求項9に記載のLED。
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