JP5624380B2

JP5624380B2 - 固体撮像装置

Info

Publication number: JP5624380B2
Application number: JP2010136653A
Authority: JP
Inventors: 拓也浅野; 朗塚本
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2010-06-15
Filing date: 2010-06-15
Publication date: 2014-11-12
Anticipated expiration: 2030-06-15
Also published as: JP2012004755A; US20130043373A1; US8872090B2; WO2011158402A1

Description

本発明は、入射した光を電気信号に変換し、映像信号として出力する固体撮像装置に関する。

従来、入射した光を電気信号に変換し、映像信号として出力する固体撮像装置が知られており、この固体撮像装置から得た映像信号に基づいて画像を表示するデジタルスチルカメラ（ＤｉｇｉｔａｌＳｔｉｌｌＣａｍｅｒａ；ＤＳＣ）が知られている。近年では、固体撮像装置を用いたカメラは、画質及び機能のさらなる向上のために、高画素化とともに、電荷転送の高速化が求められている。

このような固体撮像装置において、映像信号の出力スピードを向上させるために、信号電荷を読み出す画素の間引きが提案されている。また、複数の信号電荷の混合により、出力映像信号の画素数を減らす方法や、水平転送部を複数列（２列以上）設けることにより、映像信号の出力スピード（フレームレート）を向上させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

図８は、従来の電荷結合素子（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ；ＣＣＤ）を用いた固体撮像装置４００の構成の一例を示す平面図である。水平転送部が２列構成の例を示している。この固体撮像装置４００は、垂直方向（図中、下方向）と水平方向（図中、左方向）とに行列状に配列された複数の光電変換部ＰＤを備える。また、光電変換部ＰＤの側部に、光電変換部ＰＤから読み出した電荷を垂直方向に転送する垂直転送部４３０が設けられている。

垂直転送部４３０の終端には、信号電荷を一時的に蓄積可能な電荷蓄積部として機能するラインメモリＬＭが接続され、このラインメモリＬＭには、第１の水平転送部４４０ａが接続されている。また、第１の水平転送部４４０ａには、水平間転送部４５０を介して第２の水平転送部４４０ｂが接続されている。第１の水平転送部４４０ａの水平方向の端部には、信号電荷を出力する出力アンプＡＭＰ１が設けられ、第２の水平転送部４４０ｂの水平方向の端部には、信号電荷を出力する出力アンプＡＭＰ２が設けられている。

また、この固体撮像装置４００には駆動部（図示せず）が設けられ、この駆動部が、垂直転送部４３０、第１の水平転送部４４０ａ、第２の水平転送部４４０ｂ、及び水平間転送部４５０にそれぞれ転送駆動パルスを供給している。

特開２００９−２９０７２２号公報

しかしながら、上記従来技術では、水平転送部間での信号電荷の転送をスムーズに行うためには、固体撮像装置の他の特性が劣化してしまうという課題がある。

そこで、本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであって、水平間転送をスムーズに行った場合であっても、他の特性が劣化してしまうのを抑制することができる固体撮像装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る固体撮像装置は、半導体基板の画素領域に行列状に配置され、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する前記複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、前記複数の垂直転送部によって転送された信号電荷を行方向に転送する、並列に配置されたｎ（ｎは２以上の整数）個の水平転送部と、前記ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、前記ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備え、前記ｎ個のフローティングディフュージョン部は、隣接する前記水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されている。

これにより、出力部のフローティングディフュージョン部の間の間隔を広く保つので、出力部におけるクロストークの発生を抑制することができる。したがって、水平転送部間の転送性能を確保するため、水平転送部の電極の幅（垂直方向の長さ）を小さくした場合であっても、出力部間でのクロストークの発生を抑制することができ、入射光量に応じた正しい階調の信号を出力することができる。

また、前記固体撮像装置は、さらに、前記ｎ個の水平転送部のうち隣接する前記水平転送部間のそれぞれに形成され、前記ｎ個の水平転送部の間で信号電荷を選択的に転送する（ｎ−１）個の水平間転送部を備えてもよい。

これにより、複数の水平転送部間での信号電荷の転送をスムーズに行うことができる。

また、前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記出力端を含む終端領域で屈曲していてもよい。

これにより、水平転送部を屈曲させることで、複数の出力部の間の間隔を確保することができ、フローティングディフュージョン部の間の間隔をより広く保つことができる。したがって、出力部間でのクロストークの発生をより抑制することができる。また、屈曲しているのは終端領域であるので、画素領域に隣接する領域での水平転送部間の信号電荷の転送をスムーズに行うことができる。

また、前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記出力端を含む終端領域を含み、前記終端領域では、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっていてもよい。

これにより、水平転送部の列方向の幅を広げることで、複数の出力部の間の間隔を確保することができ、フローティングディフュージョン部の間の間隔をより広く保つことができる。したがって、出力部間でのクロストークの発生をより抑制することができる。また、幅が広がっているのは終端領域であるので、画素領域に隣接する領域での水平転送部間の信号電荷の転送をスムーズに行うことができる。

また、前記ｎは、２であり、２個の前記水平転送部は、互いに上下対称に、前記出力端を含む終端領域で屈曲して、又は、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっていてもよい。

これにより、複数の水平転送部間で信号電荷が転送される経路の長さを等しくすることができるので、電荷転送中の転送不良に起因するようなチャンネル間の差を抑制することができる。

また、前記垂直転送部の転送電極は、列方向に沿って配置されたシャント配線から給電され、前記固体撮像装置は、さらに、前記画素領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、黒レベルの信号を出力するオプティカルブラック領域と、前記オプティカルブラック領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、ダミー画素を含む配線領域とを含み、前記配線領域に含まれるダミー画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近いダミー画素と前記水平転送部との距離は、前記オプティカルブラック領域に含まれる画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近い画素と前記水平転送部との距離より大きく、前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記終端領域において、前記画素領域側に屈曲して、又は、列方向の幅が広がっていてもよい。

これにより、ダミー画素を配置することで、画素領域に配置された有効画素の均一性を向上させることができる。さらに、水平転送部に最も近いダミー画素を、画素領域における水平転送部に最も近い画素より離れて配置することで、水平転送部が屈曲する、あるいは、その幅を広げるスペースを確保することができる。したがって、出力部のフローティングディフュージョンをより広い間隔で配置することができるので、クロストークの発生をさらに抑制することができる。

また、前記ｎ個の水平転送部は、ｍ（ｍは３以上の整数）相駆動であってもよい。

これにより、２相駆動の場合と比べて、飽和信号電荷量を確保することができる。水平間転送をスムーズに行うためには、電極幅（垂直方向の幅）を小さくすることが好ましい。しかしながら、電極幅が短くなると、１つの電極によって蓄積することが可能な最大の電荷量である飽和信号電荷量が、さらに小さくなる。これに対して、３相駆動以上で水平転送部を駆動することで、ポテンシャルバリアの高さの調整の自由度が高まるので、飽和信号電荷量を確保することができる。

また、前記ｎ個の水平転送部は、インターレース方式で前記信号電荷を読み出して転送してもよい。

これにより、さらに飽和信号電荷量を確保できるゲート幅を短く済ませることができ、例えば、端子容量の削減による消費電力を低減でき、垂直方向の転送距離が減ることから、優れたチャンネル間転送特性を得ることができる。

また、前記固体撮像装置は、前記ｎ個のフローティングディフュージョン部のそれぞれの間に形成された、ウェルのコンタクト群を備えてもよい。

これにより、各出力アンプで発生するノイズを、ウェルコンタクト群１９０により吸収することが可能で、よりいっそうチャンネル間のクロストークの抑制が容易となる。

また、前記ｎ個のフローティングディフュージョン部をそれぞれ含む出力アンプのウェルの一部又は全てが分離していてもよい。

これにより、ウェルを分離することで、各出力アンプで発生するノイズ成分がウェルを介して、別チャンネルの信号に乗ることを防ぐことができるため、クロストークを抑制することができる。

本発明は、水平間転送をスムーズに行った場合であっても、他の特性が劣化してしまうのを抑制することができる。

本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置の一例を示す構成図である。本発明の実施の形態１の変形例に係る固体撮像装置の一例を示す構成図である。本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の一例を示す構成図である。本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置の一例を示す構成図である。本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、２相駆動時の電極構造の一例を示す図である。本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、２相駆動の過渡時のポテンシャルの一例を示す図である。本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、４相駆動の過渡時のポテンシャルの一例を示す図である。本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、２相駆動の蓄積時のポテンシャルの一例を示す図である。本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、４相駆動の蓄積時のポテンシャルの一例を示す図である。従来の固体撮像装置の概略構成を示す構成図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。

（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置は、複数の光電変換部と、複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、複数の垂直転送部によって転送された信号電荷を行方向に転送する、並列に配置されたｎ（ｎは２以上の整数）個の水平転送部とを備える。そして、実施の形態１に係る固体撮像装置は、さらに、ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備え、ｎ個のフローティングディフュージョン部は、隣接する前記水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されていることを特徴とする。

図１は、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１００の一例を示す構成図である。

本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１００は、画素部１１０と、複数の光電変換部１２０と、複数の垂直転送部１３０と、第１の水平転送部１４０ａと、第２の水平転送部１４０ｂと、水平間転送部１５０と、第１の出力部１６０ａと、第２の出力部１６０ｂとを備える。具体的には、固体撮像装置１００は、単層で形成された垂直転送電極Ｖ１〜Ｖ８（図示せず）と、同じく単層の水平転送電極Ｈ１〜Ｈ４（図示せず）とを有するＣＣＤ型の固体撮像装置であり、駆動パルスφＶ１〜φＶ８及びφＨ１〜φＨ４により駆動される。なお、図１に示す固体撮像装置１００は、２つの出力部を備えるので、２チャンネルの画像信号を出力することができる。これらの垂直転送電極及び水平転送電極は、例えば、単層のポリシリコン膜等の導電膜からなる。

また、図１に示すように、垂直転送部１３０へ駆動パルスφＶ１〜φＶ８を印加するために、フォトダイオード上を避けるように、水平方向に水平シャント配線１７０が延伸されている。水平シャント配線１７０は、例えば、タングステンが用いられている。

画素部１１０は、複数の光電変換部１２０と、複数の垂直転送部１３０とを備える。

複数の光電変換部１２０は、画素領域に、行列状に（すなわち、２次元的に）配列され、入射光を信号電荷に変換する。画素領域は、画素部１１０が形成されている領域である。

垂直転送部１３０は、複数の光電変換部１２０の列に対応して設けられ、光電変換部１２０で生成された信号電荷を列方向、すなわち、垂直方向（図中、下方向）に転送する。垂直転送部１３０は、垂直転送電極Ｖ１〜Ｖ８を有し、駆動パルスφＶ１〜φＶ８によって駆動されることによって、光電変換部１２０で生成された信号電荷を第１の水平転送部１４０ａへ転送する。

なお、ここでは図示していないが、画素部１１０から第１の水平転送部１４０ａへ信号を転送する際、途中に、例えば、画素部１１０から転送された複数の信号電荷をホールドする、又は、転送する役割をもつ振り分け転送部を設けて、信号の進行を制御してもよい。

光電変換部１２０は、入射された光に応じた信号電荷を生成する、例えば、フォトダイオードである。光電変換部１２０の各々には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色のカラーフィルタが配列されている。本発明の実施の形態１では、垂直及び水平方向のそれぞれに１画素おきにＲＧＢのそれぞれのカラーフィルタが周期的に配置されている。言い換えると、ＲＧＢの各画素が市松状に配置されている。

垂直転送部１３０は、光電変換部１２０の列毎に対応して設けられ、対応する光電変換部１２０から読み出した複数の信号電荷を垂直方向に転送する。垂直転送部１３０は、例えば、８相駆動であり、駆動パルスφＶ１〜φＶ８に応じて、光電変換部１２０で生成された複数の信号電荷を垂直方向に転送する。

第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、複数の垂直転送部１３０によって転送された信号電荷を行方向、すなわち、水平方向（図中、左方向）に転送する。図１に示すように、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、互いに並列に配置されている。

本発明の実施の形態１では、垂直転送部１３０から第１の水平転送部１４０ａ、水平間転送部１５０、第２の水平転送部１４０ｂへの電荷転送を転送不良なくスムーズに行うために、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、４相駆動である。具体的には、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、それぞれ、水平転送電極Ｈ１〜Ｈ４を有し、垂直転送部１３０から転送された複数の信号電荷を、駆動パルスφH１〜φH４に応じて水平方向に転送する。

水平間転送部１５０は、第１の水平転送部１４０ａと第２の水平転送部１４０ｂとの間に配置され、第１の水平転送部１４０ａと第２の水平転送部１４０ｂとの間で信号電荷を選択的に転送する。

第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂは、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂのそれぞれの出力端に接する領域に形成されたフローティングディフュージョン部を含んでいる。第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂはそれぞれ、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂのそれぞれから転送された信号電荷を電気信号として出力する。

具体的には、第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂは、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂから転送された信号電荷を電圧に変換して出力する。第１の出力部１６０ａには、第１のフローティングディフュージョン部を含む第１の出力アンプ１６１ａが設けられている。第２の出力部１６０ｂには、第２のフローティングディフュージョン部を含む第２の出力アンプ１６１ｂが設けられている。また、ここでは詳しい動作は記載しないが、これら出力部には、その動作に必要なパルスφＲＧ及び電圧ＲＤも印加している。

第１のフローティングディフュージョン部及び第２のフローティングディフュージョン部は、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂの間の間隔より広い間隔で配置されている。なお、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂの間の間隔は、例えば、水平間転送部１５０の幅（垂直方向の長さ）に相当する。つまり、第１のフローティングディフュージョン部及び第２のフローティングディフュージョン部は、水平間転送部１５０の幅より大きな間隔を隔てて形成されている。

以上の構成により、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１００は、フローティングディフュージョン部を含む出力アンプ間の距離を一定以上に保つことができるので、チャンネル間の信号の飛び込み（クロストーク）が起きにくくなる。その結果、各チャンネルの出力信号は、不要な信号の飛び込みがなく、入射光量に応じた正しい階調が得られた信号となる。

なお、図１に示すように、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂの少なくとも１つは、出力端を含む終端領域で屈曲していてもよい。

具体的には、第１の水平転送部１４０ａは、有効画素（すなわち、画素部１１０）が形成された画素領域と、遮光された黒レベルの信号を出力するオプティカルブラック（ＯＢ）領域とを越えた領域から、徐々に列方向の幅が広がるように、屈曲している。

また、第２の水平転送部１４０ｂは、第１の水平転送部１４０ａの屈曲に沿って、屈曲されている。このとき、第１の水平転送部１４０ａと第２の水平転送部１４０ｂとでは、屈曲の程度（角度、又は、傾き）が異なっていてもよい。例えば、図１に示すように、第２の水平転送部１４０ｂは、第１の水平転送部１４０ａより大きく屈曲していてもよい。これにより、第１の水平転送部１４０ａの出力端と第２の水平転送部１４０ｂの出力端との間隔を広げることができるので、フローティングディフュージョン部を含む出力アンプ間の距離を一定以上に保つことができる。

ここで、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、それぞれ屈曲するだけでなく、その幅を広げるとなおよい。

垂直転送部１３０、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂを介して送られた信号電荷は、第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂに設けたフローティングディフュージョン部に転送される。第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂでは、それぞれのフローティングディフュージョン部の電位変動を、ＭＯＳ（ＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）トランジスタによって検出し、これを電気信号に変換、及び増幅することにより出力端子Ｖｏ１及びＶｏ２から電気信号として出力している。

第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、４相駆動であるため、２相駆動と比べて、同じ飽和信号電荷量を確保するための電極幅（垂直方向の長さ）が少なくて済む。ところが、それぞれの幅が狭いことから、チャンネル間の距離、すなわち、水平転送部間の距離が縮まり、従来の構成であれば、フローティングディフュージョン部を含む出力アンプ同士が近づくことになる。これは、チャンネル間で信号のクロストークが発生しやすいということである。

そこで、本発明の実施の形態１では、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂをそれぞれ屈曲させ、かつ、その幅も広げることで、出力アンプ同士の距離を遠ざけている。このため、クロストークの発生を抑制することができる。

なお、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置１００は、点線で囲われた配線領域１８０を備えていてもよい。そして、配線領域１８０には、フォトダイオードを設けずに、有効画素の出来映えの均一性を高めるために使われるダミー画素を設けてもよい。ダミー画素は、遮光膜に覆われている。

配線領域１８０にダミー画素を設けた場合、画素部１１０の垂直転送部１３０の転送電極へは、水平方向に延伸した水平シャント配線１７０からφＶ１〜φＶ８の駆動パルスを印加しているため、第１の水平転送部１４０ａの片側（図中、上側）は、水平シャント配線１７０が形成されている影響で屈曲できない。また、ダミー画素を設けない場合でも、例えば、水平シャント配線１７０へ給電するための、φＶ１〜φＶ８のバスライン配線（図示せず）を設置する必要があるため、その配線スペースを作るためにも、第１の水平転送部１４０ａは片側（図中、上側）へは屈曲できない。

なお、図示していないが、ダミー画素は、点線で囲われた配線領域１８０だけでなく、画素部１１０の上部（図中、上部）や画素部１１０の右部（図中、右部）に配置してもよい。このダミー画素を配置することで、有効画素部内の均一性をより高めることができる。

なお、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂは、インターレース読み出し構造としてもよい。これにより、さらに飽和信号電荷量を確保できるゲート幅を短く済ませることが可能で、例えば、端子容量の削減による消費電力を低減でき、垂直方向の転送距離が減ることから、優れたチャンネル間転送特性を得ることができる。

また、第１の出力アンプ１６１ａ及び第２の出力アンプ１６１ｂ間の距離が十分にあれば、例えば、図２に示す固体撮像装置１００ａのように、第１の出力アンプ１６１ａと第２の出力アンプ１６１ｂとの間に、ウェルコンタクト群１９０を配置することが好ましい。これにより、各出力アンプで発生するノイズを、ウェルコンタクト群１９０により吸収することが可能で、よりいっそうチャンネル間のクロストークを防ぐことが容易となる。

あるいは、第１の出力アンプ１６１ａ及び第２の出力アンプ１６１ｂのウェルの一部又は全てを分離して形成してもよい。ウェルを分離することで、各出力アンプで発生するノイズ成分がウェルを介して、別チャンネルの信号に乗ることを防ぐことができるため、クロストーク対策には有効である。

なお、本発明の実施の形態１において、水平転送部は４相駆動としたが、ｍ（ｍは３以上の整数）相以上の多相駆動とすれば、従来の２相駆動と比べて、電極幅を狭めることができるため、水平間転送の不良を防ぐためには、有効である。

以上、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置は、半導体基板の画素領域に行列状に配置され、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、複数の垂直転送部から転送した信号電荷を水平方向に転送する、並列に配置されたｎ個の水平転送部と、ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備える。そして、ｎ個のフローティングディフュージョン部を含む出力アンプの間隔は、隣接する水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されている。

具体的には、本発明の実施の形態１に係る固体撮像装置は、複数の水平転送部の少なくとも１つの水平転送部は、出力端を含む終端領域において屈曲している。さらに好ましくは、複数の水平転送部の少なくとも１つの水平転送部における、出力端を含む終端領域では、列方向の幅が各々の出力部に向けて広がっている。

これにより、出力部において、各チャンネルのフローティングディフュージョン（ＦＤ）部を含む出力アンプ間の距離を一定以上に保つことが可能であることから、チャンネル間の信号の飛び込み（クロストーク）が起きにくくなる。その結果、各チャンネルの出力信号は、不要な信号の飛び込みが無く、入射光量に応じた正しい階調が得られる。

すなわち、消費電力の増大や水平間転送の不良を防ぎつつ、チャンネル間のクロストークによる影響を低減し、正しい階調が得られる固体撮像装置を提供することができる。

（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置について説明するが、実施の形態１と異なる点を中心に説明する。

本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置は、実施の形態１に係る固体撮像装置と比較して、画素部のシャント配線構造が異なっている。これに対して、実施の形態１に係る固体撮像装置と同様に、第１の出力部と第２の出力部との距離を保ち、互いの信号からのクロストークの影響を低減し、入射光量に応じた正しい階調が得られる。

図３は、本発明の実施の形態２に係る固体撮像装置２００の一例を示す構成図である。図３に示すように、固体撮像装置２００は、実施の形態１に係る図１の固体撮像装置１００と比較して、第１の水平転送部１４０ａ及び第２の水平転送部１４０ｂの代わりに第１の水平転送部２４０ａ及び第２の水平転送部２４０ｂを備え、水平シャント配線１７０の代わりに垂直シャント配線２７０を備える点が異なっている。

具体的には、図３に示す固体撮像装置２００は、実施の形態１の固体撮像装置１００とほぼ同じであるが、画素部１１０の垂直転送部１３０の転送電極へ駆動パルスを印加するための垂直シャント配線２７０が水平方向に延伸するのではなく、垂直方向に延伸している。また、第１の水平転送部２４０ａ及び第２の水平転送部２４０ｂのそれぞれが、第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂのそれぞれに近づく終端にかけて、画素部１１０側に屈曲し、及び、広がっている。これにより、各チャンネルのフローティングディフュージョン部を含む出力アンプ間の距離を離して、クロストークを防いでいる。以下、実施の形態１と異なる点を中心に説明し、同じ点は説明を省略する。

垂直転送部１３０は、４相駆動であり、駆動パルスφＶ１〜φＶ４に応じて、信号電荷を垂直方向に転送する。垂直方向に延伸した垂直シャント配線２７０は、フォトダイオードを避けるような形で、例えば、垂直転送部１３０上や画素間分離部などのスペースを使って配線している。シャント配線には、例えば、アルミニウムが用いられている。以下では、実施の形態１と異なり、垂直シャント配線を用いた利点について、説明する。

実施の形態１では、水平シャント配線構造を用いていたため、点線で囲われた配線領域１８０には、シャント配線及びバスライン配線を配置する必要があった。これに対して、本発明の実施の形態２のように、垂直シャント配線構造の場合、バスライン配線は、画素部１１０の上部（図示せず）に配置すればよいので、配線領域１８０には必要ない。

また、有効画素部の均一性を高めるために、配線領域１８０にダミー画素を配置した場合でも、転送電極に印加するための垂直シャント配線２７０は垂直方向に延伸していることから、例えば、垂直転送電極が、フォトダイオードを避けるような形で水平方向に延伸するように形成されていれば、全ての列において必ずしも垂直方向全領域にシャント配線を配置する必要は無い。例えば、第１の水平転送部２４０ａに最も近い数ビット分のダミー画素を削除するといったことも可能である。

図４は、ダミー画素を例えば１ビット削った場合の固体撮像装置２００ａの構成の一例を示す図である。図４に示すように、固体撮像装置２００ａでは、配線領域２８０には、複数のダミー画素２８１が行列状に配置されている。そして、図４に示すように、配線領域２８０に配置された複数のダミー画素２８１のうち、第１の水平転送部２４０ａに近い領域のダミー画素（１行分のダミー画素）が除去されている。

なお、図４は模式図であり、実際の画素サイズは、本模式図と比較して大幅に小さいため、数ビット削ることが、出力部の配置スペースを確保することに有効である。ダミー画素を削ることで、第１の水平転送部２４０ａを画素部１１０側に屈曲する、あるいは、広げることが容易となり、第１の出力部１６０ａも、画素部１１０寄りの領域に配置することができるようになる。

また、本発明の実施の形態２のように複数の水平転送部の数が２本で、画素部１１０に近い第１の水平転送部２４０ａと、画素部１１０から遠い第２の水平転送部２４０ｂとが、それぞれの第１の出力部１６０ａ及び第２の出力部１６０ｂに近い終端の領域で互いに上下対称に、屈曲していればよく、あるいは、その列方向の幅が広がっていてもよい。これにより、各水平転送部の転送経路を考えた場合、上下対称の経路を電荷が移動することから転送距離もほぼ等しくなり、例えば、電荷転送中の転送不良に起因するようなチャンネル間の差を抑えることが可能である。

なお、実施の形態１と同様に、第１の出力アンプ１６１ａ及び第２の出力アンプ１６１ｂ間の距離が十分にあれば、出力アンプの間に、ウェルのコンタクト群を配置してもよい。これにより、実施の形態１と同様に、クロストークをより低減することができる。

あるいは、第１の出力アンプ１６１ａ及び第２の出力アンプ１６１ｂのウェルの一部又は全てを分離して形成してもよい。これにより、ノイズ成分がウェルを介して、別チャンネルの信号に乗ることを防ぐことができるため、クロストーク対策には有効である。

また、本発明の実施の形態２においても、水平転送部は４相駆動としたが、ｍ（ｍは３以上の整数）相以上の多相駆動とすれば、２相駆動と比べて、電極幅を狭めることができるため、水平間転送の不良を防ぐためには、有効である。

ここで、上記に示した各実施の形態に係る固体撮像装置の効果について、図面を用いて説明する。まず、図面を参照しながら、本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置について説明する。

図５は、本比較例に係る固体撮像装置の水平転送部の構造を示す図であり、具体的には、第１の水平転送部３４０ａ及び第２の水平転送部３４０ｂが、２相駆動の場合の電極構造を示している。

図５に示すように、垂直転送部３３０から転送された信号電荷を、第１の水平転送部３４０ａ及び水平間転送部３５０を通じて、第２の水平転送部３４０ｂへ転送するような、垂直方向の電荷転送（図中、Ｘの経路）は、第１の水平転送部３４０ａの水平方向の電荷転送（図中、Ｙの経路）と比べて、１電極で長い距離Ｇｘを転送不良なく信号電荷を送る必要がある。このため、電極幅Ｇｘを長くすると、第１の水平転送部３４０ａから第２の水平転送部３４０ｂへ信号を送るような水平転送部間の転送が非常に不利になる。通常、垂直方向の電極幅Ｇｘは、水平方向の電極長Ｇｙの何十倍も長い。

つまり、第１の水平転送部３４０ａの飽和信号電荷量を確保すること（電極幅Ｇｘを大きくすること）と、垂直方向の水平間転送を難なく実現すること（電極幅Ｇｘを小さくすること）とは、相反するものである。したがって、これらを両立するために、例えば、第１の水平転送部３４０ａ及び第２の水平転送部３４０ｂを４相駆動など、多相にする案が考えられる。

次に、図６Ａ〜図７Ｂは、本比較例に係る固体撮像装置であり、２相駆動と４相駆動との違いを表している。具体的には、図６Ａは、本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、２相駆動の過渡時のポテンシャルの一例を示す図である。図６Ｂは、本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、４相駆動の過渡時のポテンシャルの一例を示す図である。また、図７Ａは、本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、２相駆動の蓄積時のポテンシャルの一例を示す図である。図７Ｂは、本発明の実施の形態の比較例に係る固体撮像装置において、４相駆動の蓄積時のポテンシャルの一例を示す図である。

図６Ａ〜図７Ｂに示すように、第１の水平転送部３４０ａ及び第２の水平転送部３４０ｂは、印加する駆動電圧の電位レベルに応じて電荷蓄積領域又はバリア領域として動作する複数の電荷転送段を水平方向に並列した構成である。水平転送部は、印加電圧を駆動制御して電荷蓄積領域及びバリア領域の位置を切り替えることで電荷転送段に蓄積される電荷を出力端側へ転送している。

まず、０Ｖと３Ｖの電圧を電極Ｈ１及びＨ２に印加する２相駆動の場合、印加電圧が変遷する過渡時（それぞれ１．５Ｖ）のとき、飽和信号電荷量は、図６Ａに示すように、ポテンシャルバリア（障壁）の高さはＰ１で定義できる１電極分の蓄積しかできない。このポテンシャル段差は、例えば、ボロン（Ｂ）などのイオン注入によって形成できる。一方、０Ｖと３Ｖの電圧を電極Ｈ１〜Ｈ４に印加する４相駆動の場合、同じ過渡時でも、例えば、駆動によっては、図６Ｂに示すように、Ｈ２が０Ｖ、Ｈ４が３Ｖを維持したまま、Ｈ１とＨ３とのみ過渡電圧（１．５Ｖ）となるような構成が可能となる。このときの飽和信号電荷量が、２相駆動と同じく最も少なくなるが、図６Ｂに示すように、飽和信号電荷量は、２相駆動に比べて、大きくなり、２相駆動の１電極分の何倍もの大きな信号を蓄積することが可能である。なお、このときのポテンシャルバリアは、Ｑ１で定義できる。

一方、蓄積時のポテンシャルを考えた場合、２相駆動であれば、ポテンシャルバリアは、図７Ａに示すように、Ｐ２で定義でき、Ｐ２は、図６Ａに示すＰ１よりも高い障壁となる。しかし、蓄積できる信号電荷量は過渡時で決まるため、蓄積できる信号電荷量は、図７Ａに示すように、１電極分しかない。これに対し、４相駆動であれば、ポテンシャルバリアは、図７Ｂに示すように、Ｑ２で定義でき、この高さは、図６Ｂに示すＱ１と変わらない。

以上のことから、同じ電極長かつ同じ電極幅で２相駆動と４相駆動とを比較した場合、電荷転送中の蓄積可能な信号電荷量は、４相駆動の方が大きい。このことから、逆に、４相駆動で２相駆動の飽和信号電荷量と同じ量の飽和信号電荷量を蓄えるためには、電極幅は大幅に短くてよい。したがって、４相駆動で第１の水平転送部３４０ａを駆動することで、第１の水平転送部３４０ａの電極幅を短くすることができ、水平間転送の実現が容易になる。

しかしながら、第１の水平転送部３４０ａの電極幅を短くすると、第１の水平転送部３４０ａと第２の水平転送部３４０ｂとの間の距離が短くなる。すると、例えば、出力アンプ同士が接近することになり、それが逆に、チャンネル間で信号のクロストークが発生する。

これに対して、上記の実施の形態で示した本発明に係る固体撮像装置は、他の特性（信号のクロストーク特性）を劣化させることなく、飽和信号電荷量を確保することができる。なぜなら、上記の実施の形態に係る固体撮像装置によれば、出力部に含まれるフローティングディフュージョン部の間隔が、水平転送部間の間隔より広がっているためである。

以上、本発明の実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これら実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

例えば、上記の各実施の形態では、水平転送部の曲げ方あるいは広げ方は直線形状であったが、曲線でもよいし、ジグザグ形状でもよい。

また、上記の各実施の形態では、２個の水平転送部を備える構成について説明したが、ｎ個の（ｎは３以上）の水平転送部と、ｎ個のフローティングディフュージョン部を含む出力部と、（ｎ−１）個の水平間転送部とを備えていてもよい。

本発明は、ビデオカメラ、デジタルカメラ及びカメラ付き携帯電話などに用いられる固体撮像装置に利用することができる。

１００、１００ａ、２００、２００ａ、４００固体撮像装置
１１０画素部
１２０光電変換部
１３０、３３０、４３０垂直転送部
１４０ａ、２４０ａ、３４０ａ、４４０ａ第１の水平転送部
１４０ｂ、２４０ｂ、３４０ｂ、４４０ｂ第２の水平転送部
１５０、３５０、４５０水平間転送部
１６０ａ第１の出力部
１６０ｂ第２の出力部
１６１ａ第１の出力アンプ
１６１ｂ第２の出力アンプ
１７０水平シャント配線
１８０、２８０配線領域
１９０ウェルコンタクト群
２７０垂直シャント配線
２８１ダミー画素

Claims

半導体基板の画素領域に行列状に配置され、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する前記複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、
前記複数の垂直転送部によって転送された信号電荷を行方向に転送する、並列に配置されたｎ（ｎは２以上の整数）個の水平転送部と、
前記ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、前記ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備え、
前記ｎ個の水平転送部は、ｍ（ｍは３以上の整数）相駆動であり、さらに、前記出力端を含む終端領域を含み、前記終端領域では、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっており、
前記ｎ個のフローティングディフュージョン部は、
隣接する前記水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されている
固体撮像装置。
前記固体撮像装置は、さらに、
前記ｎ個の水平転送部のうち隣接する前記水平転送部間のそれぞれに形成され、前記ｎ個の水平転送部の間で信号電荷を選択的に転送する（ｎ−１）個の水平間転送部を備える
請求項１記載の固体撮像装置。
前記ｎは、２であり、
２個の前記水平転送部は、互いに上下対称に、前記終端領域で、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっている
請求項１又は２記載の固体撮像装置。
半導体基板の画素領域に行列状に配置され、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する前記複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、
前記複数の垂直転送部によって転送された信号電荷を行方向に転送する、並列に配置されたｎ（ｎは２以上の整数）個の水平転送部と、
前記ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、前記ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備え、
前記ｎ個のフローティングディフュージョン部は、
隣接する前記水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されており、
前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記出力端を含む終端領域で屈曲しており、
前記垂直転送部の転送電極は、列方向に沿って配置されたシャント配線から給電され、
前記固体撮像装置は、さらに、
前記画素領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、黒レベルの信号を出力するオプティカルブラック領域と、
前記オプティカルブラック領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、ダミー画素を含む配線領域とを含み、
前記配線領域に含まれるダミー画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近いダミー画素と前記水平転送部との距離は、
前記オプティカルブラック領域に含まれる画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近い画素と前記水平転送部との距離より大きく、
前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、
前記終端領域において、前記画素領域側に屈曲している
固体撮像装置。
半導体基板の画素領域に行列状に配置され、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部の列に対応して設けられ、対応する前記複数の光電変換部から読み出した複数の信号電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、
前記複数の垂直転送部によって転送された信号電荷を行方向に転送する、並列に配置されたｎ（ｎは２以上の整数）個の水平転送部と、
前記ｎ個の水平転送部の出力端に隣接する領域のそれぞれに形成されたｎ個のフローティングディフュージョン部を含み、前記ｎ個の水平転送部によって転送された信号電荷を電気信号として出力する出力部とを備え、
前記ｎ個のフローティングディフュージョン部は、
隣接する前記水平転送部間の間隔より広い間隔で配置されており、
前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記出力端を含む終端領域を含み、
前記終端領域では、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっており、
前記垂直転送部の転送電極は、列方向に沿って配置されたシャント配線から給電され、
前記固体撮像装置は、さらに、
前記画素領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、黒レベルの信号を出力するオプティカルブラック領域と、
前記オプティカルブラック領域に隣接する領域に形成され、かつ、遮光膜に覆われた、ダミー画素を含む配線領域とを含み、
前記配線領域に含まれるダミー画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近いダミー画素と前記水平転送部との距離は、
前記オプティカルブラック領域に含まれる画素であり、前記ｎ個の水平転送部に最も近い画素と前記水平転送部との距離より大きく、
前記ｎ個の水平転送部の少なくとも１つは、前記終端領域において、前記画素領域側に列方向の幅が広がっている
固体撮像装置。
前記ｎは、２であり、
２個の前記水平転送部は、互いに上下対称に、前記出力端を含む終端領域で屈曲して、又は、列方向の幅が前記出力端に向けて広がっている
請求項４又は５記載の固体撮像装置。
前記ｎ個の水平転送部は、ｍ（ｍは３以上の整数）相駆動である
請求項４〜６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記ｎ個の水平転送部は、インターレース方式で前記信号電荷を読み出して転送する
請求項１〜７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記固体撮像装置は、
前記ｎ個のフローティングディフュージョン部のそれぞれの間に形成された、ウェルコンタクト群を備える
請求項１〜８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
前記ｎ個のフローティングディフュージョン部をそれぞれ含む出力アンプのウェルが分離している
請求項１〜８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。