JP5608176B2 - アーク蒸発源のための改変可能な磁気配列 - Google Patents
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Description
a)真空中またはたとえばアルゴンのような不活性ガスを用いたアーク蒸発
火花は、磁界によって設定される軌道を比較的低速で移動し、この軌道は円形のターゲットの場合には主として円形である。ランダム運動の割合は低い。したがってこの場合、蒸発レートは比較的高い。蒸発は、比較的大きいドロップレットのエミッションのもとで行われる。ターゲット上での火花の速度およびその「軌道直径」は、磁界を通じて調整可能である。このような方式では金属火花という表現が用いられる。図1は、このような軌道を一例として示している。
窒素はターゲット表面と反応して、いくつかの原子層の窒化物層を形成する。このとき火花速度の上昇を確認することができる。
この場合には、ターゲット表面と反応性ガスの強い反応が起こる。このことは通常の場合、たとえば酸素を使用すると電気絶縁性層が生じることになる。安定した状況を得るためには、ターゲット表面全体で正味蒸発を維持できることが重要である。局所的な蒸発レートの低い領域は絶縁性になり、したがって蒸発からいっそう除外される。このときターゲット表面は「汚染され」、このプロセスは一般的に累進的であり、最終的にはターゲットの少ない面積割合しか火花放電を担持しなくなる。特に火花速度を上昇させ、それによってドロップレット量を減らそうとして、半径方向成分の大きい高い磁界強度を適用すると、局所的な蒸発レートの強い不均一性につながり、そのためにターゲットのいっそう広い領域の急速な汚染につながる。
図6に模式的に示す設定1:
永久磁石は、その極がコーティング材料にもっとも近づく位置をとる(位置「前方」)。この設定のとき、コイル端部と極は実質的に1つの平面にあるのが好ましい。コイル電流はオンになっている。コイル電流は正にも負にも切り換えることができ(8)、変調することもできる。この設定は、約60〜100ガウスの強い磁界を生成する。それにより、この設定はたとえば窒化物層の蒸発に適している。高い磁界強度およびその半径方向割合により、火花は高速で移動する。それによって平滑な層が得られる。永久磁石の磁界に重なり合うコイルの磁界により、磁力線の推移およびこれに伴って火花の軌道が影響をうける。コイル電流が時間的に変調されるのが好ましく、それによって浸食溝の幅を広げることが実現される。
永久磁石(5,5a,6)は5〜50mmだけ「引き戻されて」おり、すなわち、設定1よりも大きくターゲット表面から間隔をおいている。コイル電流はやはりオンになっており、正または負であってよく、変調することもできる。
この設定では、永久磁石は50mmを超えて引き戻されており、すなわちコイルから完全に分離されている。コイル磁界は同じくオンになっており、正または負であり、および/または場合により変調される。しかし永久磁石構造の磁界割合は無視することができるほど小さい。コイル磁界は、電流の強さに応じて約5〜15ガウスである。
永久磁石は50mmを超えて引き戻されており、コイル電流はオフになっている。この設定では、ターゲット表面には有意な磁界は存在していない。アーク源はいわゆるランダムモードで作動する。このことは、酸素のような高反応性のガスの場合に特別に好ましい。このときアーク放電の火花は非常に多くのアークスポットで、ターゲット全体にわたってランダムに進行する。放電は非常に安定的に進行し、ターゲット汚染される領域が発生することがない。
1)設定1での金属付着層。ここで留意すべきは、ターゲットの浸食がコイルの揺動によって最適化されたことである。
2)設定2による第1の硬質層としてのAlCrN。
3)設定3による第2の硬質層としてのAlCryOx。
Claims (8)
- ターゲット表面およびその上方で磁界を生成するためにターゲットに設けられた磁石構造を備えるアーク蒸発源であって、前記磁石構造は縁部永久磁石とターゲットの後方に配置された少なくとも1つの環状コイルとを含んでおり、巻線によって区切られる該環状コイルの内径はターゲットの直径よりも小さいか、またはこれに等しいか、いかなる場合でもこれよりさほど大きくない、そのようなアーク蒸発源において、前記環状コイルと前記ターゲットとの距離を保ちながら、前記縁部永久磁石はターゲットの表面に対して実質的に垂直方向にターゲットから離れるように変位可能であり、ターゲット表面に対する前記縁部永久磁石の投影はターゲット表面に対する前記環状コイルの投影に比べてターゲット表面の中心部から大きく離れていることを特徴とするアーク蒸発源。
- 前記縁部永久磁石の変位可能性は前記環状コイルに関わりなく具体化されていることを特徴とする、請求項1に記載のアーク蒸発源。
- 前記縁部永久磁石の極性は主として、かつどれについても同一であることを特徴とする、請求項1および2のいずれか1項に記載のアーク蒸発源。
- 前記環状コイルの内部には前記縁部永久磁石の主な極性と反対の極性を有する中央永久磁石が設けられていることを特徴とする、請求項3に記載のアーク蒸発源。
- 前記中央永久磁石はターゲットの表面に対して実質的に垂直方向にターゲットから離れるように変位可能であることを特徴とする、請求項4に記載のアーク蒸発源。
- 前記中央永久磁石は磁束を誘導する結合部を介して前記縁部永久磁石と固定的に結合されていることを特徴とする、請求項5に記載のアーク蒸発源。
- 前記中央永久磁石は前記縁部永久磁石と関わりなくターゲットの表面に対して実質的に垂直方向に変位可能であることを特徴とする、請求項5に記載のアーク蒸発源。
- 請求項1から7までのいずれか1項に記載のアーク蒸発源を有しているアーク蒸発設備。
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