JP2022515745A - プラズマ処理を実行するためのプラズマ源のための磁石構成 - Google Patents

Abstract

基板において得られるエッチング深さ及び／又はエッチング同質性を改善するために、本発明によれば、プラズマ源は、１つ又は複数の個々の電極或いは１つ又は複数の磁石を有する。磁石は、電極の近傍に磁界を生成し、磁界は前側又は後側にある。

Description

本発明は、一般に、プラズマ源に関し、詳細には、磁石構成を備えるプラズマ源に関する。

一方では、カソードとアノードとの間に十分に高い電圧を印加することによる、定義された低圧のアルゴン又は別の希ガスなどのガスを通る電流の通過によって形成される電気グロー放電が、プラズマ生成のために使用され得る。他方では、低圧プラズマの形態のガス又はガス混合気のプラズマ生成は、電子源によって与えられ、好適な電極によって定義されたエネルギーまで加速される、高エネルギー電子とガスとの相互作用によって達成され得る。そのような電子源は、たとえば、好適に遮蔽されたアーク・カソードと、アーク電子を受けるアーク・アノードとからなるカソード真空アーク蒸発器であり得る。ガス・プラズマ生成のために、これらのアーク電子は、好適な電極を用いて抽出され、高エネルギーで加速される。このようにして生成されたガス・プラズマは基板の様々なプラズマ処理のために使用され得る。たとえば、このようにして生成された不活性ガス・イオン（たとえば、アルゴン・イオン）は基板のイオン清浄化のために役立つ。プラズマ中に励起され、必要な場合、分解された化合物、並びにガス及びガス混合気の霧化された分子は、基板の熱化学処理のために、又はさらには被覆蒸着のために使用され得る。形態、構成及び動作パラメータに関して、好適な電極を用いて、処理目的に関して定義された様式で、局所的なプラズマ生成を調整することが重要である。１つの目的は、電極が処理空間中に妨害する様式で突出せず、電極が高出力密度で印加され得、電極ができる限り維持することが容易であるような形で、電極を設計することである。さらに、本発明の目的は、電極においてプラズマを形成し、処理チャンバ中に導入された少なくとも１つの電極において好適な磁界によって時間及び場所において調整可能であるようにガス・プラズマを生成し、それにより処理チャンバ中の局所的及び一時的なプラズマ分布が調整され得ることである。

本発明は、真空チャンバのチャンバ壁によって囲まれたプラズマ処理エリアと、プラズマ源とを備える、プラズマ処理を実行するための真空チャンバに関する。ここで、プラズマ源は、真空チャンバに接続されたアーク・アノードを用いたカソード真空アーク蒸発のために真空チャンバ中に構成された少なくとも１つのカソードと、真空チャンバ中に構成された少なくとも１つの電極とを備える。シールドがカソードの前に構成され得、電極は、カソードから放出された電子を収集するための作業面（ｗｏｒｋｉｎｇ ｓｕｒｆａｃｅ）を有し、作業面が、カソードから放出された電子を収集するための２次元表面であることを特徴とする。２次元表面は表面法線に対する第１の直交延長部（ｏｒｔｈｏｇｏｎａｌ ｅｘｔｅｎｓｉｏｎ）と第２の直交延長部とを有し、第１の直交延長部は第２の直交延長部に直角であり、第２の直交延長部に対する第１の直交延長部の長さ比は０．１と１との間である。電極の作業面に作用する磁界を生成するための磁石が、真空チャンバの中に、又は上に、又は中に及び上に構成される。

一般に、磁石は前側（ｆｒｏｎｔ－ｓｉｄｅ）磁石及び／又は後側（ｒｅａｒ－ｓｉｄｅ）磁石を備え得る。前側磁石は、前側磁界を生成するために作業面のエリア中に構成され、後側磁石は、後側磁界を生成するために作業面の後ろに構成される。本発明による磁石は、磁気回路として、すなわち、コイル又は複数の磁石として設計され得る。磁気回路は、作業面を囲むか、又は作業面の前に構成される。特に好ましくは、本発明による電極は、前側磁気回路と後側磁気回路とを備える磁気システム全体を備える。

本発明の一実施例では、任意の数の電極及びカソードが真空チャンバ中に構成され得る。この場合、磁石が各電極において、又は複数の電極のサブセットのみに構成され得る。ここで、後側及び／又は前側磁石が電極に構成され得る。

本発明によれば、磁界を生成するための少なくとも１つの磁石が真空チャンバ中の電極上に構成される。ここで、第１の電極及び第２の電極が存在し得る。ここで、第１の電極は第１の前側磁界の影響を受け得、第２の電極は第２の前側磁界の影響を受け得る。本発明の一実施例では、第１の電極が第１の後側磁界を有し、第２の電極が第２の後側磁界を有することも考えられる。複数の電極の場合、電極の一部（又は第１の電極）が後側磁界を有し、電極の別の一部（又は第２の電極）が前側磁界を有する。いくつかの電極が存在する場合、これらは、好ましくは、共通の電源又に接続され得るか、又は、もちろん、異なる電源（電流源）にも接続され得る。本発明による真空チャンバ上の磁石は永久磁石システム及び／又は電磁石を備えることができる。磁石が電磁石を備える場合、電磁石は、電極に結合された電磁コイルとして設計され得る。複数の電極が存在する場合、任意の数の電極が調整可能な磁界を有することができる。本発明による調整可能な磁界は、とりわけ、異なる電流、特定の磁石構成、及び異なる極性によって調整可能であり得る。いくつかの磁石が存在する場合、磁石の極性、特に後側又は前側磁石の極性は可逆であり得る。本発明による電極は、特に、少なくとも１つの金属を含む蒸発器であり得る。上記で説明したすべての方策が、とりわけ、プラズマの同質性を調整し、プラズマの同質性に影響を及ぼすために使用され得る。これは、放電が１つ又は複数の電極において磁界によってさらに変更され得るからである。ここで、それぞれ単一の電源をもつ複数の電極を動作させることによって、電流値を事前決定し、調整することによってより強いプラズマ励起を維持しながら、同質性が制御され得る。プラズマの同質性を調整することによって、したがって、本発明による磁界によって、たとえば、エッチング・レート及びエッチング同質性も調整され得る。特に、エッチング・プロファイルも、コイルを制御することによって及び／又は磁石の構成によって影響を受け得る。

一般的な工業カソード真空アーク蒸発器が電子源として使用され得る。電子源として使用されるカソード真空アーク蒸発器（以降、単にアーク蒸発器とも）の前に、カソード真空アーク蒸発器が、真空アーク蒸発から入力された熱に耐えられるような形で設計された、シールドが設けられ得る。そのようなシールドの１つのエリアの寸法決定は、基板の気化を回避するために、蒸発させられるべき表面を備える、カソード真空アーク蒸発器のエリア全体よりも大きくなるべきである。

１つ又は複数の電子収集電極が非冷却電極の形態で使用され得る。しかしながら、非冷却電極の使用は、電極に印加され得る電力の制限につながり得る。この理由で、冷却電極、たとえば、水冷電極が有利には使用される。

１００Ｖまでの電圧と４００Ａまでの電流とを与えることができる１つ又は複数の一般的な（アーク）電源が、電極のための電源として使用され得る。ここで、作業面の適切な寸法決定と動作モードによって、０．１～５Ａ／ｃｍ^２の間の電流密度と、０．２５～５００Ｗ／ｃｍ^２の間の出力密度とが電極において達成され得る。

０．０１Ｐａ～５Ｐａの範囲内の合計ガス圧力、好ましくは０．１Ｐａ～２Ｐａの範囲内のガス圧力がプラズマ処理中のチャンバ中で維持されるべきである。処理目的に応じて純粋なガス又はガス混合気として使用される一般的なガスは、アルゴン、水素、窒素又は炭化水素ガス（たとえば、Ｃ_２Ｈ_２、アセチレン）である。

本発明による真空チャンバは、複数の電極と、複数のカソード、特にカソード真空アーク蒸発器の両方を備えることができる。ここで、いくつかのカソードは単一のシールド又はいくつかのシールドを有し得る。１つのシールドをもついくつかのカソード、特にカソード真空アーク蒸発器は、有利には真空チャンバ中の少なくとも１つの電極を用いて構成され得る。特に、真空チャンバはまた、等しい数の電極とカソード（特にカソード真空アーク蒸発器）か、又はカソード（特にカソード真空アーク蒸発器）よりも多い電極か、又は電極よりも多いカソード（特にカソード真空アーク蒸発器）を備え得る。ここで、電極及びカソードは真空チャンバ中の異なるロケーション（壁、天井、床）に構成され得る。真空チャンバ中のプラズマ分布は、電極及びカソード（特にカソード真空アーク蒸発器）の構成と数の両方を介して調整され得る。さらに、たとえば、基板上のエッチング深さ及び／又はエッチング同質性の改善がイオン・エッチング・プロセスにおいて達成され得る。２つ以上の電極の使用は電極上の異なる電流の使用並びに電流の時間選択性印加を可能にし、したがってプラズマ生成の改善された制御が可能になる。

電極における電子電流は、電極電圧を調整することによって調整され得る。電極電圧が低いと、電子電流が低くなり、プラズマ・アクティビティが低くなる。

１つ又は複数の電極における一般的な最大電子電流はカソードの真空アーク蒸発器の電流の約１２０％で選択されるべきである。たとえば、カソード真空アーク蒸発器が、０．５Ｐａのアルゴン圧のアルゴンを収容する真空チャンバ中の電子源として使用され、カソード真空アーク蒸発器が１００Ａのアーク電流で動作させられる場合、総電極電流は約１２０Ａに調整されるべきである。これは、１つの電極における電流か、又は２つ以上の電極が使用される場合は個々の電極における個々の電流の和が、最大１２０Ａに調整されるべきであることを意味する。アーク電流よりも小さいか又はそれに等しい電極電流が好ましい。

複数の電極（２つ以上の電極）が、それらが真空チャンバの高さにわたって分配されるような形でチャンバ壁に沿って構成されるとき、電極を最大電流で動作させるか、又は異なる電極に異なる電圧を印加することによって、電極を最大電流で並列に動作させるように電極が切り替えられ得るように、各電極は別個の電源上で又は電源の特定のグループ上で動作させられ得る。電極電圧の一般的な値は１０Ｖ～５０Ｖの範囲内であり、一般的な電極電流は１０Ａ～２００Ａの範囲内である。

さらに、本発明は、コーティング・プロセスを実行するために、たとえば、ダイヤモンド様炭素（ＤＬＣ：ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）コーティングを堆積するために使用され得る。水素化アモルファスカーボン（ａ－Ｃ：Ｈ）タイプＤＬＣ層が堆積されるべき場合、アセチレン（Ｃ_２Ｈ_２）ガス流とアルゴン・ガス流との混合気がチャンバに供給されるべきである。

高出力インパルス・マグネトロン・スパッタリング（ＨｉＰＩＭＳ）プロセス又はプラズマ増強化学蒸着（ＰＡ－ＣＶＤ：ｐｌａｓｍａ ｅｎｈａｎｃｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）プロセスを含む、物理気相蒸着（ＰＶＤ）アーク蒸発プロセス又はＰＶＤスパッタリング・プロセスなど、真空コーティング・プロセスを実行するように設計された、ほぼすべてのコーティング・デバイスが、本発明によるプラズマ処理プロセスを実行するために適応され得る。

本発明による構成では、磁界を生成するための磁石はチャンバ中に電極に構成されるべきである。磁石は、磁石の磁界が変更され得るように手動で制御され得る、前側磁石であり得る。しかしながら、前側磁石は永久磁石でもあり得る。

本発明による構成では、電子加速電極は、電極の長さと、しばしば矩形又は円形又は楕円形である断面との間の関係という意味で、空間的に線形でない。実質的に、２次元電極が使用される。これは、２次元表面が表面法線に対する第１の直交延長部と第２の直交延長部とを有し、第１の直交延長部が第２の直交延長部に直角であることを意味する。第２の直交延長部に対する第１の直交延長部の長さ比は０．１と１との間である。第２の直交延長部に対する第１の直交延長部の長さ比はまた、０．２と１との間、特に０．４と１との間、特に１であり得る。作業面は５～２０００ｃｍ^２の範囲内、特に２５～３２０ｃｍ^２の範囲内であり得る。２次元表面は円形、楕円形、しかしまた矩形であり得るか、又は他の好適な形状を有し得る。２次元表面が円形である場合、第１の直交延長部及び第２の直交延長部は、特に２次元表面の直径に対応する。２次元表面が矩形である場合、第１の直交延長部は第１の縁部長さに対応し、第２の直交延長部は２次元表面の第２の縁部長さに対応する。２次元表面が楕円形である場合、第１の直交延長部及び第２の直交延長部は、特に２次元表面の対頂点（ｏｐｐｏｓｉｔｅ ｖｅｒｔｉｃｅｓ）からの距離に対応する。２次元という用語は、とりわけ、電子が実質的に平坦な表面に衝突することをも指す。しかしながら、表面自体は表面の製造又は使用によりある構造を有し得る。この構造化は、コーティング・ソースとして使用されるときの、又は、たとえば、ブラスティング（ｂｌａｓｔｉｎｇ）又は研削を介して電極を清浄化することによる電極の浸食により起こり得る。電極は、電極がもはやスムーズな又は一定の構造／縁部を有しないような形で、浸食により浸食され得る。そのような構造化され、浸食された電極はまた、本発明の構想内で実質的に平坦であると考えられる。電極の２次元表面の構造化の最大深さと、（本発明による第１の直交延長部又は第２の直交延長部に関して）より小さい直交延長部との間の比は、高々０．４、特に高々０．３、特に高々０．２である。したがって、構造化の最大深さは、常に、より小さい直交延長部よりも小さいべきである。この場合、電極の２次元表面は、好ましくは、アクティブな磁界を有する。

最も簡単な場合、好ましくは１００ｍｍの電極直径を有する円形電極が動作させられる。この場合、電極は、真空チャンバの壁に取り付けられ得、少なくとも部分的にチャンバ壁中にも構成され得る。電極が少なくとも部分的にチャンバ壁中に構成される場合、これは、電極がコーティング・チャンバ中に著しく突出しないという明確な利点を有する。上記で説明したように、いくつかの２次元電極が存在する場合、電極は異なるチャンバ壁に取り付けられ得る。たとえば、２つの２次元電極が設置された場合、２つの２次元電極は、好ましくは対向するチャンバ壁上に構成される。もちろん、いくつかの２次元電極が隣接して及び／又はいくつかの２次元電極が同じチャンバ壁上に構成される可能性もある。この場合、第１及び第２の電極は、それらがチャンバ壁上で上下に又は並んで動作させられるとき、好ましくは２０～４００ｍｍ、具体的には１００～３００ｍｍ、特に２００ｍｍの距離を有する。

チャンバ壁上の２次元電極の構成は、真空チャンバの内側に線形電極をもつ最新技術と比較して、特に以下の利点を有する。真空チャンバの内側、特に真空チャンバの中心のプラズマ処理エリアはより広い空きスペースを与える。この空きスペースにより、したがって、チャンバのより良い使用が達成され得る。チャンバのより良い使用のために、作成された空きスペースにより、処理されるべき基板を分配させるためのより広いスペースがチャンバ中にあるので、処理されるべき基板は真空チャンバ内でより良く分配され得る。このようにして、特に、処理されるべき基板がチャンバ中でより均等に構成され得る場合、基板の表面の均一なプラズマ処理も可能にされ得る。本発明による構成のさらなる利点は、本発明によるこれらの電極の簡単な冷却が可能になることである。本発明による電極中に存在するような２次元表面は、もちろん、線形電極において可能であるよりも冷却することがはるかに容易で効果的である。電子受容面の冷却は直接（水流）又は間接であり得る。間接は冷却体への好適な電極材料のクランピングである。

（以降、単に蒸発器とも呼ばれる）カソード真空アーク蒸発器に基づく電子源のカソードの材料は、好ましくは、金属、特にチタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）又はアルミニウム（Ａｌ）であり得る。もちろん、カソードの材料は、別の好適な元素、別の好適な合金又は（チタン合金及び／又はジルコニウム合金及び／又はアルミニウム並びにアルミニウム合金）、又は水素及び／又は酸素の吸着に有利である別の好適な金属からなることもできる。真空アーク蒸発器のカソードのそのような特性により、とりわけ、プラズマ・プロセスを実行するためのより良い真空品質も達成され得る。最新技術から知られる、カソード真空アーク蒸発器のすべての可能なターゲット材料は電極材料として好適である。とりわけ、純粋な炭素又は銅炭素合金などの合金から製造された炭素ターゲットが電極材料として使用され得る。鋼、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、又はアルミニウム・チタン、クロム、若しくはバナジウムなどの導電性蒸発器材料も電極材料として好適である。

本発明の一実施例では、複数の電極が真空チャンバ中に構成され得る。ここで、各電極は、好ましくは、本発明による作業面を備える。第１及び第２の電極が真空チャンバ中に存在する場合、第２の前側磁石は第２の電極の第２の作業面の前に構成され得る。第２の前側磁石はまた、少なくとも部分的に第２の作業面の隣又は周りに構成され得る。さらに、第１の前側磁石は第１の作業面の前に構成され得、及び／又は第１の前側磁石は少なくとも部分的に第１の作業面の隣又は周りに構成され得る。

本発明による磁石又は磁気回路の極性は要望通り調整され得る。この場合、前側及び後側磁石（又は磁気回路）は同じ極性又は逆の極性を有することができる。複数の電極の場合、第１の前側磁石は第２の前側磁石と同じ極性を有し得る。さらに、第１の前側磁石の第１の極性を第２の前側磁石の第２の極性と逆にすることが可能である。同じことは後側磁石にも当てはまる。特に、磁石は変更可能な極性を有することができる。

実際には、第１の電極及び第２の電極は共通の電源に接続され得るか、又は第１の電極が第１の電源に接続され、第２の電極が第２の電源に接続され得る。特に、複数の電極は、第１の電源に接続された第１の電極のグループを備え、第２の電源に接続された電極の第２のグループを備え得る。第１の電極及び第２の電極が共通の電源に接続されるとき、第１の前側磁石及び／又は第２の前側磁石の変更可能な極性は、それぞれ第１の磁石及び／又は第２の磁石に印加される電流を反転させるか、又は調節することによって調整され得る。

すべての図面において及び説明全体にわたって、別段に説明されている場合を除いて、同じ参照符号は同じ要素、特徴及び構造を指定する。これらの要素の相対サイズ及び表現は、明快、説明又は便宜の理由で、縮尺がずれていることがある。

プラズマ処理を実行するための知られている真空チャンバの例を示す図である。 第１の実施例による、電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、矩形電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、電極と電源との間にスイッチをもつ、電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、電源の極性を反転させるためのスイッチをもつ、電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 別の実施例による、電源をもつ、本発明による２つの電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、２つの電源をもつ、本発明による２つの電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、本発明による電極と２つのカソードとを用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、本発明による２つの電極と２つのカソードとを用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、本発明による２つの電極と２つのカソードとを用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、本発明による３つの電極と３つのカソードとを用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、本発明による３つの電極と３つのカソードと用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 別の実施例による、異なるチャンバ壁上で、本発明による３つの電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 別の実施例による、異なるチャンバ部分上で、本発明による３つの電極を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 前側磁石を用いた本発明の一実施例による、プラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 前側及び後側磁石を用いたさらなる実施例による、プラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 前側及び後側磁石を用いた別の実施例による、プラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 一実施例による、２つの電極のための磁界構成の概略表現を示す図である。 一実施例による、別個の電源をもつ、２つの後側磁石を用いたプラズマ処理を実行するための本発明による真空チャンバの概略表現を示す図である。 さらなる実施例による、前側及び後側磁石をもつ電極の構成の概略表現を示す図である。 一実施例による、磁界測定のダイヤグラムである。 さらなる実施例による、前側及び後側磁石をもつ２つの電極のための磁界構成の概略表現を示す図である。 一実施例による、磁界の影響を受けるエッチング深さのダイヤグラムである。 本発明による実施例システムによるエッチング深さのダイヤグラムである。 知られている最新技術を用いた様々なグロー放電システムを比較する実験結果の表である。

図面には、１つ又は複数の実施例を含む例が記載されている。この点について、本発明は、記載されている例に限定されない。たとえば、実施例の１つ又は複数の特徴はまた、別の実施例において実現されるか、又は別のタイプのデバイスにおいてさえ与えられ得る。

物理気相蒸着（ＰＶＤ）又はダイヤモンド様炭素コーティングによるコーティングなどのコーティング・プロセスを実行する前に、アーク・アシスト・グロー放電プロセス（またイオン・エッチング・プロセス）が１つ又は複数の基板上で実行され得る。この場合、イオン・エッチング・プロセスは、表面を整えるか、又は調整するために使用される、すなわち、基板表面は、加熱され、イオン衝撃によってエッチングされる。この調整は基板とコーティングとの間のボンディングを改善する。図１に、従来のイオン・エッチング・システムが表されている。本システムは、チャンバ１の両側に構成された蒸発器７（以下で、蒸発器という用語はカソード真空アーク蒸発器のアーク・カソードの略である）をもつ真空チャンバ１を備える。蒸発器７は、直流電源８に接続され、４０Ｖの電圧と最高３００Ａの電流とで動作させられ得る。シャッター又はシールド１２は、チャンバ１の壁に接続され、対応する電極７が遮蔽されるか又は遮蔽されないかのいずれかであるようにシャッター１２が回転され得るような形で回転可能に構成される。線形電極１３がチャンバに接続され、蒸発器７から等しく離間される。線形電極１３は、スイッチ１５、１６、１７を介して電流源１１、１４に接続され得、動作状態において電極３に沿って等しい電圧を有する。電流源１１、１４は、さらにチャンバ１の壁に接続され、スイッチ１５、１６を介して回転可能な基板ホルダー１０に随意に接続され得る。アルゴンなどのガスがガス源６から弁５を介して入口４を通ってチャンバ１に入れられ得る。アーク放電が点火されると、電子が蒸発器７によって生成され、線形電極１３に向かって加速される。電子はアルゴン・ガス原子を励起し、したがって部分的にイオン化されたアルゴン原子を生成し、そのアルゴン原子は、コーティングのために基板９を整えるために基板９の表面上に堆積される。このシステムは直流電源８、１１、１４と回転基板ホルダー１０とのみによって調整され得る。したがって、本システムは、限られたイオン化と、線形電極１３によるプラズマ活性化の限られた調整可能性と、チャンバ１中の同質性の限られた調整可能性とを特徴とする。

図２による実施例は、概略的に表された真空気密チャンバ１００と、チャンバ１００中に設けられ、チャンバ１００の壁上に直接構成され得る蒸発器１１０とを示す。さらに、負極を有する電源１１１が設けられる。電源１１１又は動力源１１１のこの負極は蒸発器１１０に接続される。したがって、本実施例では、蒸発器１１０はカソード１１０である。表されているように、蒸発器１１０はアーク電子を放出し、アーク電子は、最初に部分的に抽出され、本発明による電極によって加速され、このようにして作用ガス・アルゴン（Ａｒ）（しばしばネオン（Ｎｅ）も又は任意の他の好適なガス又はガスの混合気）を励起し、その結果プラズマを生成する。この目的で、電極への電極電流を可能にする、正の加速電圧が電極１２０に印加される。電極の制御は、一般に、電圧又は電流によって達成され得るか、又は電極の制御は、電圧と電流との積からなるエネルギーによって達成され得る。プラズマのイオンは、次いで、基板Ｓの表面に当たり、基板Ｓは、好ましくは、後続のコーティング・プロセスのために、たとえば清浄化又はエッチングによってそれの表面を整え、活性化するために、チャンバ１００中の中央に置かれる様式で設けられる。さらに、シールド１１５は、シールド１１５が蒸発器１１０と基板Ｓとの間に随意に配置され得るように、図２のチャンバ１００中に移動可能に構成される。したがって、カソード真空アーク蒸発の点火の前に、シールド１１５は、このプロセス中に基板Ｓを蒸発器１１０による汚染から保護するために、回転されるか、又はさもなければ蒸発器１１０の前に移動され得る。カソード真空アーク蒸発が存在しない場合、シールドは別の好適な位置に移動され得る。

図２によれば、単一の電極１２０が設けられている。電極１２０は電源１２１の正極に接続され、したがって電極１２０はアノード１２０である。アノード１２０の電流源１２１において異なる電流及び／又は異なる時間間隔を使用することによって、本システム中で生成され得るプラズマは影響を受け得る。

図２に表されているように、蒸発器１１０から放出された電子は第１及び第２の電子経路１５０に沿って電極／アノード１２０の位置に誘導される。したがって、今度は、チャンバ１００中で生成され得るプラズマは同じ方向に加速され得る。所望の位置における第１の電極１２０の好適な位置決めにより、チャンバ１００中のプラズマ流のより良い／より容易な制御が可能であり、イオン衝撃及び基板のエッチングの制御が改善される結果となる。

図２ａによる実施例は、図２による実施例によるチャンバ１００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。ただし、図２による第１の電極１２０の２次元表面は円形であるが、図２ａによる第１の電極１２０ａのカソードから放出された電子を収集するための２次元表面は矩形である。この場合、蒸発器から放出された電子を収集するための２次元表面は、表面法線に対する第１の直交延長部と第２の直交延長部とを有し、第１の直交延長部は第２の直交延長部に直角であり、第２の直交延長部に対する第１の直交延長部の長さ比は０．１と１との間である。円形電極１２０の場合、第１の直交延長部及び第２の直交延長部は、特に２次元表面の直径に対応する。矩形電極１２０ａの場合、第１の直交延長部は第１の縁部長さに対応し、第２の直交延長部は２次元表面の第２の縁部長さに対応する。

図２ｂによる実施例は、図２による実施例によるチャンバ１００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。ただし、図２ｂによる実施例は、第１の電極１２０と電源１２１、１２２との間に結合されたスイッチ・デバイス１２３を備える。電源１２１は、正極がスイッチ・デバイス１２３のスイッチＳ１上にある状態で構成され、電源１２２は、負極がスイッチ・デバイス１２３のスイッチＳ２上にある状態で構成される。スイッチＳ１が閉じており、スイッチＳ２が開いているとき、電極１２０は本発明によるプラズマ電極として（すなわち、アノードとしても）使用され得る。スイッチＳ１が開いており、スイッチＳ２閉じているとき、電極１２０は（アーク）コーティング・プロセス又はスパッタリング・プロセス（すなわち、ターゲット）のために使用され得る。

図２ｃによる実施例は、図２による実施例によるチャンバ１００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。ただし、図２ｃによる実施例は、第１の電極１２０と電源１２１との間に結合されたスイッチ・デバイス１２３を備える。電源１２１は、正極がスイッチ・デバイス１２３のスイッチＳ１上にあり、負極がスイッチ・デバイス１２３のスイッチＳ２上にある状態で構成される。さらに、電源１２１の正極は１つのスイッチＳ３を介して接地に接続され、電源１２１の負極は１つのスイッチＳ４を介して接地に接続される。スイッチＳ１が閉じており、スイッチＳ２が開いており、スイッチＳ３が開いており、スイッチＳ４が閉じているとき、電極１２０は本発明によるプラズマ電極として使用され得る。スイッチＳ１が開いており、スイッチＳ２が閉じており、スイッチＳ３が閉じており、スイッチＳ４が開いているとき、電極１２０は（アーク）コーティング・プロセス又はスパッタリング・プロセスのために使用され得る。

図３による実施例は、概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。この場合、第１の電極１２０及び第２の電極１３０は同じ電源１２１又は同じ動力源１２１の正極に接続される。したがって、第１の電極１２０及び第２の電極１３０は第１のアノード１２０及び第２のアノード１３０である。アノード１２０及び１３０の電流源１２１において異なる電流及び／又は異なる時間間隔を使用することによって、本システム中で生成され得るプラズマは影響を受け得る。

共通の電源が第１の電極１２０と第２の電極１３０とに接続されるので、この構成では第１の電極１２０と第２の電極１３０とに等しい電圧が印加され得る。この電流は、電極１２０、１３０の両方に同時に、及び同じ持続時間の間、印加され得る。

図４による実施例は、概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。図４による実施例では、第１の電源１２１が第１の電極１２０に構成され、第２の電源１３１が第２の電極１３０に構成される。この場合、特に、第１の電源が第１の電極１２０に第１の電流を供給することができ、第２の電源が第２の電極１３０に第２の電流を供給することができるので、本システム中で生成され得るプラズマは、第１の電源１２１と第２の電源１３１とにおいて異なる電流及び／又は異なる時間間隔を使用することによって影響を受け得る。ここで、第１及び第２の電流は、プラズマの分布が第１及び第２の電流によって成形され得るように、互いに無関係に調整され得る。ここで、第１の電源１２１は、第１の時間間隔中に第１の電極１２０に第１の電流を供給し得、第２の電源１３１は、第２の時間間隔中に第２の電極１３０に第２の電流を供給し得る。第１及び第２の時間間隔は、要望通り、別個であるか、又は重複し得る。

図２～図４による実施例では、各場合において単一の蒸発器１１０が存在し、それにより、プラズマ・アークが少なくとも１つのアノード１２０、１３０を用いて生成される。

プラズマ源の実施例が図３、図４及び図９に概略的に表されている。チャンバ１００（すなわち、以下でチャンバと呼ぶ、本発明による真空チャンバ）中の電子の流れをより良く制御することが可能であるために、図１による線形電極を備えるデバイスの場合とは異なり、チャンバ中に構成され得る、カソードから放出された電子を収集するための２次元表面を有する、本発明による複数の電極１２０、１３０、１４０が設けられる。この構成の極めて重要な利点は、電極をチャンバの１つ又は複数の壁上に配置する可能性であり、それにより、チャンバ中でプラズマを用いて処理されるべき基板の分配の改善が可能になる。結果として、プラズマ処理のためのチャンバ中のエリアがより良く利用され、その結果、効率が高くなり得る。たとえば、真空気密チャンバ１００が図３又は図４に概略的に表されている。蒸発器１１０は、チャンバ１００中に設けられ、チャンバ１１０の壁中に又は壁上に直接構成され得る。蒸発器１１０は、チタン及び／又は蒸発のためのものである任意の他の金属など、１つ又は複数の金属を含むことができる。電源又は動力源の負極は蒸発器１１０に接続され、したがってカソードの形態の蒸発器１１０を接続する。たとえば、蒸発器１１０がトリガユニットによって点火されると、本発明による電極によって加速されたアーク電子が放出され、チャンバ１１０中に入れられたアルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）或いは１つ又は複数の任意の他の好適なガスなどの１つ又は複数のガスと衝突し、したがってプラズマを生成する。次いで、プラズマのイオンは、後続のコーティング・プロセスのために、たとえば、清浄化又はエッチングによって基板の表面を整えるために、チャンバ１００中に設けられた（ここに図示されていない）１つ又は複数の基板の表面を衝撃する。１つ又は複数のシールド１１５は、シールド１１５が蒸発器１１０と基板との間に随意に配置され得るように、チャンバ１００中に移動可能に設けられる。したがって、シールド１１５は、カソードの真空アーク蒸発の点火の前に、このプロセス中に基板を蒸発器１１０による汚染から保護するために、回転されるか、又はさもなければ蒸発器の前に移動され得る。カソード真空アーク蒸発が存在しない場合、シールドは別の好適な位置に移動され得る。

図３及び図４によれば、２つの電極、第１の電極１２０及び第２の電極１３０がチャンバ１００中に設けられている。第１及び第２の電極１２０、１３０は少なくとも１つの電源又は電流源の正極に接続され、それによって第１及び第２の電極１２０、１３０を第１及び第２のアノードとして接続する。たとえば、図３に表されているように、共通の電源１２１が第１の電極１２０と第２の電極１３０とに接続され得る。この構成では、第１の電極１２０と第２の電極１３０とに等しい電圧が印加され得る。この電圧は、電極１２０、１３０の両方に同時に、及び同じ持続時間の間、印加され得る。代替として、図４によれば、第１の電源１２１は、第１の時間間隔中に第１の電極１２０に電流を供給し得、第２の電源１３１は、第２の時間間隔中に第２の電極１３０に電流を供給し得る。第１及び第２の時間間隔は、要望通り、別個であるか、又は重複し得る。別の実施例では、第１の電極１２０が第１の電源１２１に接続され得、第２の電極１３０が第２の電源１３１に接続され得る。したがって、第１の電源１２１は第１の電極１２０に第１の電流を供給することができ、第２の電源１３１は第２の電極１３０に第２の電流を供給することができる。異なる電流及び／又は異なる時間間隔を使用することによって、本システム中で生成されたプラズマは、影響を受けるか、又は制御されるか、又はさらには均質化され得る。

図３及び図４に表されているように、蒸発器１１０から放出された電子は第１及び第２の電極１２０、１３０の位置に流れる。所望の位置における第１の電極１２０及び第２の電極１３０の個々の好適な位置決めにより、チャンバ１００中のプラズマ流のより良い制御が可能であり、イオン衝撃及び基板Ｓのエッチングの制御が改善される結果となる。図９は、３つの個々の電極、第１の電極１２０と、第２の電極１３０と、第３の電極１４０とが設けられている実施例を示す。したがって、各場合において第１、第２、及び第３の電極１２０、１３０、１４０に向けられる、対応する第１、第２、及び第３の電子経路１６０が生じる。図３及び図４による概略図では、電極１２０、１３０は蒸発器１１０の反対側に構成されている。しかしながら、図９による概略図では、電極１２０、１３０、１４０は異なるチャンバ部分上に構成されている。しかしながら、第１、第２又は随意に第３の電極の任意の好適な位置決めが、改善されたプラズマ活性化とチャンバ中の同質性とが達成され得るような形で電子流に影響を及ぼすことが可能であることを理解されたい。したがって、チャンバ中の任意の数の電極が電子流を所望の経路に誘導することが可能である。図３、図４及び図９による蒸発器１１０は、１００Ａの印加電流とともに使用され得るが、もちろん、任意の他の好適な電流が使用され得る。

図５は、いくつかの蒸発器がその中に設けられたチャンバ２００のさらなる実施例を示す。チャンバ２００は、カソードとして接続された、すなわち、第１の電源２１１の負極と第２の電源２２１とに接続された、第１の蒸発器２１０と第２の蒸発器２２０とを備える。第１及び第２の蒸発器２１０、２２０はチャンバ２００の壁上に設けられる。代替として、第１又は第２の蒸発器２１０、２２０はまた、チャンバ２００の壁の好適な構造上に又はチャンバ２００中に構成され得る。回転可能な又はさもなければ可動シールド２３０が第１及び第２の蒸発器２１０、２２０の近くに設けられる。シールド２３０は、蒸発器２１０、２２０の両方を遮蔽するために十分なサイズを有し得る。代替として、チャンバ２００は、それぞれ第１の蒸発器２１０及び第２の蒸発器２２０に関連付けられた、第１のシールド及び第２のシールドを備え得る（ここに図示されていない）。さらに、アノードとして接続された、すなわち、第１の電流源２４１の正極に接続された第１の電極２４０がチャンバ２００中に設けられる。電子経路２６０によって表されているように、第１の蒸発器２１０から放出された電子及び第２の蒸発器２２０から放出された電子は第１の電極２４０に向かって流れる。本システムが好適な数の蒸発器と好適な数の電極とを備え得るように、任意の所望の数の蒸発器が任意の所望の数の個々の電極とともに使用され得ることを理解されたい。

図６による実施例は、図５による実施例によるチャンバ２００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ２００を示す。ただし、図６による実施例は、第１の電極２４０と第２の電極２５０とが存在する点が図５と異なる。この場合、第１の電極２４０及び第２の電極２５０は同じ電源２４１又は同じ動力源２４１の正極に接続される。したがって、第１の電極２４０及び第２の電極２５０は第１のアノード２４０及び第２のアノード２５０として切り替えられる。

共通の電源が第１の電極２４０と第２の電極２５０とに接続されるので、この構成では第１の電極２４０と第２の電極２５０とに等しい電流が印加され得る。この電流は、電極２４０、２５０の両方に同時に、及び同じ持続時間の間、印加され得る。

図６は、いくつかの蒸発器がその中に設けられたプラズマ源のさらなる実施例を示す。チャンバ２００は、カソードとして接続された第１の蒸発器２１０と第２の蒸発器２２０とを備える。第１及び第２の蒸発器２１０、２２０はチャンバ２００の壁中に又はさもなければチャンバ２００上に設けられ得る。代替として、第１又は第２の蒸発器２１０、２２０はチャンバ２００の好適な構造上に又はチャンバ２００中に構成され得る。回転可能な又はさもなければ可動シールド２３０が第１及び第２の蒸発器２１０、２２０の近くに設けられる。シールド２３０は、蒸発器２１０、２２０の両方を遮蔽するために十分なサイズを有し得る。代替として、チャンバ２００は、各場合において第１の蒸発器１１０と第２の蒸発器２２０とに関連付けられた第１及び第２のシールドを備えることができる。さらに、第１の電極２４０及び第２の電極２５０がチャンバ２００中に設けられ、その両方がアノードとして接続される。電子経路２６０によって表されているように、第１の蒸発器２１０から放出された電子は第１の電極２４０に向かって流れ、第２の蒸発器２２０から放出された電子は第２の電極２５０に向かって流れる。任意の所望の数の蒸発器が任意の所望の数の個々の電極とともに使用され得ることを理解されたい。したがって、たとえば、図６のシステムは、電子が第１の蒸発器２１０から２つの個々の電極に流れ、電子が第２の蒸発器から２つの他の個々の電極に流れるように、２つの蒸発器と４つの個々の電極とを備えることができる。

図７による実施例は、図６による実施例によるチャンバ２００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ２００を示す。ただし、図７による実施例は、第１の電源２４１が第１の電極２４０に構成され、第２の電源２５１が第２の電極２５０に構成される点が図６と異なる。ここで、特に、第１の電源は第１の電極２４０に第１の電流を供給することができ、第２の電源は第２の電極２５０に第２の電流を供給することができるので、本システム中で生成され得るプラズマは、第１の電源２４１及び第２の電源２５１において異なる電流及び／又は異なる時間間隔を使用することによって影響を受け得る。この場合、第１及び第２の電流は、プラズマの分布が第１及び第２の電流によって成形され得るように、単独で調整可能であり得る。ここで、第１の電源２４１は、第１の時間間隔中に第１の電極２４０に第１の電流を供給し得、第２の電源２５１は、第２の時間間隔中に第２の電極２５０に第２の電流を供給し得る。第１及び第２の時間間隔は、要望通り、別個であるか、又は重複し得る。

図５～図７による実施例では、各場合において２つの蒸発器２１０、２２０が少なくとも１つのアノード２４０、２５０とともに存在する。

図８による実施例は、特に大きいシステムにおいて使用され得る。蒸発器３１１、３２１、３３１及び電極３４０、３５０、３６０をチャンバの高さに沿って、すなわち、プラズマ処理エリアの高さに沿って構成することによって、いくつかのプラズマ源がチャンバ中に設けられ得、各場合におけるプラズマ源は、少なくとも１つの蒸発器と、１つ又は２つ又はそれ以上の個々の電極とを備える。ここで、各電極は、それ自体の電源による供給を受け得るか、又はさらには切替え可能な電源がいくつかの電極によって同時に使用され得る。

図８のチャンバ３００は、カソードとして接続された、すなわち、第１の電源３１１の負極と第２の電源３２１と第３の電源３３１とに接続された、第１の蒸発器３１０と第２の蒸発器３２０と第３の蒸発器３３０とを備える。第１、第２、及び第３の蒸発器３１０、３２０、３３０はチャンバ３００の同じ壁上に設けられる。代替として、第１、第２、及び第３の蒸発器３１０、３２０、３３０はまた、チャンバ３００の壁の好適な構造上に又はチャンバ３００中に構成され得る。さらに、第１、第２、及び第３の蒸発器３１０、３２０、３３０は異なる壁上に、第１及び第３の蒸発器３１０、３３０は１つの壁上に、第２の蒸発器３２０は別の壁上にそれぞれ構成され得る。３つの回転可能な又はさもなければ可動シールド３３４、３３２、３３３が、各場合において第１、第２、及び第３の蒸発器３１０、３２０、３３０の近くに設けられる。代替として、チャンバ３００は、蒸発器３１０、３２０、３３０のすべてを遮蔽するために十分なサイズを有するシールドを備え得る。さらに、アノード３４０、３５０、３６０として接続された、すなわち、各場合において正極で第１の電源３４１、第２の電源３５１及び第３の電源３６１に接続された、第１の電極３４０、第２の電極３５０、及び第３の電極３６０がチャンバ３００中に設けられる。電子経路によって表されているように、第１の蒸発器３１０から放出された電子、第２の蒸発器３２０から放出された電子、及び第３の蒸発器３３０から放出された電子は３つのアノード３４０、３５０、３６０に向かって流れる。

図８による概略図では、電極３４０、３５０、３６０が蒸発器３１０、３２０、３３０の反対側に構成されている。しかしながら、改善されたプラズマ活性化とチャンバ中の同質性とが達成され得るような形で電子流に影響を及ぼすために、第１、第２、及び第３の電極の任意の好適な位置決めが可能であることを理解されたい。したがって、チャンバ中の任意の数の電極が、電子流を所望の経路に向けることが可能である。蒸発器３１０、３２０、３３０に印加された電流は１００Ａであり得るが、もちろん、任意の他の好適な電流が使用され得る。

したがって、図８による実施例では、３つの蒸発器３１０、３２０、３３０は３つのアノード３４０、３５０及び３６０とともに存在する。

図８ａは、図８におけるチャンバと類似する構造をもつチャンバ３００のさらなる実施例を示すが、第１の電極３４０、第２の電極３５０、及び第３の電極３６０の電源が異なるエネルギーで動作させられる。とりわけ、異なるエネルギーを介して、プラズマの同質性が改善され得、同様に、プラズマの分布も、それぞれの電源におけるエネルギーを相応して調整することによってより良く制御され得る。

図４～図８から認識され得るように、基板Ｓは負にも正にもバイアスされ得、それにより、正バイアスは、さもなければすべての電子が基板に流れるので、電極の正バイアスよりも小さくなければならない。もちろん、適切にバイアスされた基板も追加のプラズマ制御のために好適である。さらに、作用ガス及びプロセス・ガスが動作状態にあるチャンバ１００、２００に供給される。ここで、作用ガスは、好ましくはアルゴン（Ａｒ）及び水素（Ｈ_２）であり、プロセス・ガスは、好ましくは窒素（Ｎ_２）である。

図９による実施例は、図２による実施例によるチャンバ１００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。ただし、図９による実施例は、第１の電極１２０、第２の電極１３０及び第３の電極１４０が存在する点、並びに、第１の電源１２１が第１の電極１２０に構成され、第２の電源１３１が第２の電極１３０に構成され、第３の電源１４１が第３の電極１４０に構成される点が図２と異なる。この場合、特に、第１の電源１２１は第１の電極１２０に第１のエネルギーを供給し、第２の電源１３１は第２の電極１３０に第２のエネルギーを供給することができ、第３の電源１４１は第３の電極１４０に第３のエネルギーを供給することができるので、本システム中で生成され得るプラズマは、第１の電源１２１、第２の電源１３１、及び第３の電源１４１において異なるエネルギー及び／又は異なる時間間隔を使用することによって影響を受け得る。この場合、第１、第２、及び第３のエネルギーは、プラズマの分布が第１、第２、及び第３のエネルギーによって成形され得るように、互いに単独で調整可能であり得る。

図９は、３つの個々の電極、第１の電極１２０、第２の電極１３０、及び第３の電極１４０がこのようにして設けられている実施例を示す。したがって、各場合において第１、第２、及び第３の電極１２０、１３０、１４０に向けられる、対応する第１、第２、及び第３の電子経路１６０が生じる。図１３による概略図では、電極１２０、１３０、１４０が蒸発器１１０の反対側に構成されている。しかしながら、第１、第２又は随意に第３の電極の任意の好適な位置決めが、改善されたプラズマ活性化とチャンバ中の同質性とが達成され得るような形で電子の流れに影響を及ぼすことが可能であることを理解されたい。したがって、チャンバ中の任意の数の電極が電子流を所望の経路に向けることが可能である。

図９ａによる実施例は、図９による実施例によるチャンバ１００と類似する構造をもつ概略的に表された真空気密チャンバ１００を示す。しかしながら、図９ａによる実施例では、電極１２０、１３０、１４０はチャンバ１００のチャンバ壁上に構成されているだけでない。第１の電極１２０はチャンバ壁上に構成され、第２の電極１３０はチャンバ天井に構成され、第３の電極１４０はチャンバ床上に構成される。チャンバ中の電極の構成は、とりわけプラズマ分布を制御するために、要望通り調整され得る。

本出願の構想内で様々な例示的な構成が図示され、説明されたが、任意の数の蒸発器と任意の数の電極とをもつ他の実施例が、当然、本明細書でクレームされる本発明の保護の範囲内に入る。さらに、本発明による真空チャンバは、イオン・エッチング・プロセスのために使用され得、複数の個々の電極を装備され得、それにより、異なる電極に異なる電流が供給され得る。プラズマ活性化とエッチングとを要望通り操作するために、同じ又は異なる電流が、異なる電極に、さらには異なる時間において印加され得る。

電子経路１５０、１６０、２６０は、もちろん、シールド１１５、２３０、３３２、３３３、３３４の近くを通り、それらのシールドを通過しないので、図中に含まれた電子経路１５０、１６０、２６０は概略的にのみ表されている。

図２～図９ａでは、（ここに図示されていない）磁界を生成するための磁石が、真空チャンバ中に、特に、電極の近傍に、又は、複数の電極の場合、この複数の電極のうちの少なくとも１つの電極の近傍に構成されている。この磁石は、特に好ましくは、電極の作業面上に構成される。一般に、磁石は前側磁石及び／又は後側磁石を備え得る。前側磁石は、前側磁界を生成するために作業面のエリア中に構成され、後側磁石は、後側磁界を生成するために作業面の後ろに構成される。複数の電極が存在するとき、前側及び／又は後側磁石はまた、電極上に又は複数の電極のサブセット上に構成され得る。基板Ｓは負又は正のいずれかにバイアスされ得、正バイアスは、さもなければすべての電子が基板に流れるので、電極の正バイアスよりも小さいべきである。動作状態において、アルゴン（Ａｒ）及び水素（Ｈ_２）が、好ましくは作用ガスとして供給され得、窒素（Ｎ_２）が、好ましくはプロセス・ガスとして供給され得る。

次に、図１０～図１２をみると、磁界が真空チャンバの個々の電極に印加され得る実施例が示されている。電子経路は、相応してプラズマ中の荷電粒子に影響を及ぼす磁界中で制御され得る。より正確には、荷電粒子の拡散は磁界によって妨害される。結果として、電子及びイオンの損失が低減され、電子密度が増加する。一般に、チャンバ内に磁界を作成するために、コイルの形態の電磁石がチャンバの周りに一方の端部から反対側の端部に位置決めされる。他の従来のシステムは、基板の下に構成され、磁界を生成するために移動される永久磁石を使用する。しかしながら、これらの構成のいずれも、同質性が調整され、改善され得るような形で電子の流れを制御することを可能にしない。本明細書で説明した実施例では、磁界は各個々の電極に印加される。図１０は、電極３００が電磁石３０２に隣接して又は電磁石３０２内に構成されている実施例を示す。たとえば、電磁石３０２は、電極３０の周りに巻かれた、すなわち、電極の作業面のエリア中に構成されたコイルであり得る。この場合、電極３０における磁界は前側である。後側磁界は生成されていない。

図１１～図１２は、後側磁石３２０と前側磁石３１０とを用いた実施例を示す。図１１では、電極３０は、電極３０の近くに又は周りに設けられた（すなわち、作業面のエリア中に及び／又は少なくとも部分的に作業面の隣に構成された）電磁コイル３０２を備えている。電磁コイル３０１は、後側磁石として後側磁界を生成するために、作業面の後ろに、電極３０の近くに配置されている。電磁コイルは、所望の磁界強度に応じてフェライト・コアを備えることもあり、フェライト・コアを備えないこともある。図示のように、２つのコイル３０１、３０２は、それらのコイルが同じ極性を有するような形で構成されている。図１２では、電磁コイル３０１と電磁コイル３０２との間の磁界は反対の極性を有する。（後側及び前側）磁界の極性のこの変化は、コイル３０１を通る電流の方向を変更することによって達成され得る。したがって、磁界は単一のコイル上で調整され得る。図１９のダイヤグラムは、３Ａのコイル電流で表面（円形電極、半径５ｃｍ、零点は電極の中心に対応する、ｃｍ単位のｘ軸半径は電極の中心から開始する）に対して直角に測定された磁界強度の例（ｙ軸、ｍＴ単位）を示す。中間曲線は、後側磁界が生成されていない、図１０の磁界の強度を示す。上側曲線は、等しい極性を与えられたコイルによって磁界が生成された、図１１による磁界の強度を示し、下側曲線は、反対の極性を与えられたコイルによって磁界が生成された、図１２による磁界の強度を示す。上側曲線の場合、上側曲線は約±３．２から負の範囲内にあり、したがって磁界はこの半径から逆方向を有するので、トンネル界が存在する。しかしながら、下側曲線の場合、作業面から現れる磁界はただ１つの方向を有する。

図１３は本発明の別の実施例を示す。図１３に示されているシステムは、２つの電極のための磁界構成を用いてプラズマ処理を実行するための真空チャンバである。蒸発器４５０がチャンバ内に設けられ、チャンバ壁中に直接（少なくとも部分的に）埋め込まれるか、又はチャンバ壁に接続され得る。１００Ａ動力源の負極が蒸発器に接続され得、蒸発器をカソードとしてそれに接続する。したがって、蒸発器が点火されたときに電子が放出され、電子は、チャンバ中に導入されたアルゴン（Ａｒ）ガスと衝突し、そのようにしてプラズマを生成する。プラズマ中のイオンは、次いで、清浄化及び／又はエッチングされるためにチャンバ中に構成された、図示されていない１つ又は複数の基板の表面を衝撃する。シールドが蒸発器と基板との間に随意に配置され得るような形で、１つ又は複数のシールドがチャンバ中に移動可能に配置される。したがって、カソード真空アーク蒸発器の点火の前に、シールドは、基板を汚染から保護するために、回転されるか、又はさもなければ蒸発器４５０の前に移動され得る。カソード真空アーク蒸発器によって生成されるアークが存在しないとき、シールドは非遮蔽位置に移動され得る。本発明によるチャンバでは、少なくとも１つの単一の電極がチャンバ中に設けられるべきである。しかしながら、図１３では、（たとえば、８０Ａの）電源（また電流源）の正極に接続され、したがって電極４６０、４７０をアノードとして接続する、第１の電極４６０と第２の電極４７０とが設けられている。したがって、電子は蒸発器４５０から電極４６０、４７０の位置の方向に流れる。これは、生成されたプラズマを同じ方向に加速する。第１の後側磁石４８０及び第２の後側磁石４９０が、後側磁界を生成するために、電極４６０、４７０の作業面の後ろに構成される。後側磁界は、電磁コイルを電極４６０、４７０の作業面の後ろに構成することによって、電磁石によって電極に印加され得る。磁界をもつ電極を使用するとき、基板電流は、実質的に同じイオン・エッチング性能とともに増加し、特に２倍になり、その結果、基板の（複数の基板の）エッチングが向上し得る。

図１３には単一の蒸発器４５０のみが示されているが、（すでに図５～図８ａの説明において示されたように）任意の数の蒸発器とまた電極とが本システムにおいて使用され得る。たとえば、より大きいシステム及び／又はより大きいチャンバは、より多数の電子を生成するために２つ又はそれ以上の蒸発器を必要とし得る。

図１４は、図１７による実施例と同様の構造をもつチャンバ４００の実施例を示す。図１５とは対照的に、図１４の第１の電極と第２の電極とは異なる電源（電源Ｕ１及び電源Ｕ２）接続されている。結果として、２つのコイルの極性は互いに無関係に制御され、変更され得、それは、当然、エッチング同質性の改善につながる。

ここで、図１４の真空チャンバ４００では、各場合における前側磁石（また磁気回路）が第１の電極４６０及び第２の電極４７０に構成されている。さらに、第１の後側磁石４８０が第１の電極４６０に構成されており、第２の後側磁石４９０が第２の電極４７０に構成されている。上記で説明したように、後側磁石４８０、４９０は異なる電源（電源１及び電源２）に接続される。前側磁石は真空チャンバ４００中に（すなわち真空下に）構成されているが、後側磁石４８０、４９０は真空チャンバ４００の外側に（すなわち大気圧下に）構成されている。磁石は永久磁石を備え得ることを理解されたい。上記で説明したように、本発明による真空チャンバは、（真空）チャンバの中に又は外側に、電極の（２次元）作業面の隣に又は周りに、磁界を生成するために構成された磁石を備えるべきである。この場合、磁石は前側磁石及び／又は後側磁石を備え得る。ここで、図１５では、前側磁石３０２は、前側磁界を生成するために作業面４６１のエリア中に構成されており、後側磁石３０１は、後側磁界を生成するために作業面４６１の後ろに構成されている。もちろん、前側磁石は少なくとも部分的に作業面の隣に構成され得る。前側磁石と後側磁石の両方は電磁石として、特にコイルとして設計され得る。電磁石を使用することによって、磁界（後側又は前側、特に後側と前側とを使用したときに得られる磁界）の時間的な制御が可能になる。ここで、磁界はパルス化させられ得、並びに磁界の強度は実質的に同じ界方向に調整され得、界方向も反転させられ得る。コイル中の電流の方向を変更することによって、磁界の極性が調整され得る。特に好ましくは、本発明による真空チャンバを使用するとき、コイル中の電流がその中で変化するプログラムが事前決定され得る。この場合、たとえば、３Ａの電流が第１の時間間隔のために使用され得、逆の電流方向をもつ３Ａの電流が第２の時間間隔のために使用され得る。第１の時間間隔と第２の時間間隔は同じであり得るが、もちろん、また異なり得る。電流も異なる強度であり得る。要約すると、コイルによって生成された磁界は時間と方向と電流とによって制御され得る。

本発明によるシステムはまた、複数の前側及び／又は後側磁石、すなわち、環状に構成された前側及び／又は後側磁気回路を備え得る。たとえば、図１５に示されているように、前側磁石３０２は環状であり得るか、又は複数の前側磁石３０２が磁気回路として環状に構成され得る。たとえば、複数は、特定のパターンで構成された２０個の磁石を備え、各磁石は他から離間している。前側磁界を生成するために、第２の複数の永久磁石が第１の複数の磁石内で放射状に構成され得る。複数は、第２の複数と反対の極性を有し得る。後側磁石３０１はまた、事前決定可能な構造において電極の作業面４６１の後ろに構成される複数の磁石として設計され得る。

図１５による環状の前側磁石３０２は、電極４６０の円形作業面４６１よりも大きい直径を有する。本発明の一実施例では、前側磁石の直径は電極の直径よりも１．１～２倍大きくなり得る。

原則として、磁石の磁化は作業面４６１の表面法線におおむね平行になるべきである。この目的で、前側磁石３０２は作業面４６１の前、並びに隣に及び周りに構成され得る。磁気回路が２つの磁石からなり、１つの極が作業面の前に構成され、１つの極が作業面の隣（上又は下）に構成されることも可能である。特に、前側磁石はまた、前側磁石が作業面に対する前側磁石の位置を変化させることができるように、移動可能に構成され得る。

要約すると、磁石（又は複数の磁石）の構成は、任意の磁界構造（形状及び強度）が２次元電極の作業面において生成され得るような形でなされる。この点について、たとえば、作業面の外側エリアにおける磁界強度が作業面の内側エリアにおけるよりも大きいことが可能であるが、その逆も可能である。

一般に、本発明による磁石は少なくとも部分的に永久磁石として設計され得、それにより、硬質フェライト、アルニコ（ＡｌＮｉＣｏ）、ネオジウム鉄ボロン（ＮｄＦｅＢ）、サマリウム・コバルト（ＳｍＣｏ）などのすべての一般的な磁性材料が体積材料（ｖｏｌｕｍｅ ｍａｔｅｒｉａｌ）として又はプラスチック接合磁石として使用され得る。磁石は成形体から製造され得るか、又は磁石はセグメント化され得る。好ましくは本発明による真空チャンバ中で使用される一般的な磁界強度は、０．１と１００ｍＴとの間、好ましくは１～５０ｍＴ、特に２～２０ｍＴの、本発明による電極上の磁界の垂直成分の磁界強度を有する。

記載された実施例のいずれにおいても、基板ホルダーがチャンバ中に構成され得る。基板ホルダーは、好ましくは、垂直方向において異なる高さに構成された複数の高速鋼基板を備える。基板ホルダーは、基板ホルダー板が基板ホルダーの中心軸を中心に回転させられ得るように、チャンバ中に回転可能に構成される。さらに、基板の各垂直構成は、基板の個々の軸を中心に回転可能である。第１の電極と、存在する場合は第２の電極とは、たとえば、１００ｍｍの直径を有し、チャンバ中に事前決定可能な垂直位置に構成される。実験中に個々の電極と磁界とへの影響を観測するために、電極上で３つの異なる高さにおいて、すなわち、第２の電極Ｂの下側端部に対応する２１０ｍｍと、第１の電極の下側端部の上方３０ｍｍに対応する３４０ｍｍと、第１の電極Ａの上側端部の上方６０ｍｍに対応する４７０ｍｍとにおいて、測定が行われ得る。エッチングされた基板は鋼製体（１００Ｃｒ６）であり、それを真空チャンバ中で２回回転させた。

次に、図１７では、上記で説明したチャンバと同様のチャンバが表されており、前側磁界が電極にさらに印加される。第１の電極４６０（Ａ）の磁界と第２の電極４７０（Ｂ）の磁界とは反対の極性を有する。磁界は、第１及び第２の電極４６０、４７０の近傍におけるプラズマ生成を調整するために使用され得、調整は、それぞれのコイルに印加される電流の方向を変更することによって達成され得る。８０Ａの電流が電極に印加されると、４０Ａの電極電流が第１の電極４６０（Ａ）に印加され、４０Ａの電流が第２の電極４７０（Ｂ）に印加される。見られ得るように、電極４６０、４７０に印加される磁界の極性が反対方向に向けられるとき、第１の電極４６０（Ａ）における電流及び第２の電極４７０（Ｂ）における電流は４０Ａに近いままである。しかしながら、印加された磁界が同じ極性を有するとき、第１の電極における電流は約８０Ａに達するが、第２の電極における電流は０Ａに近い。これは、この場合、第２の電極における電子電流がほとんど完全に遮蔽されるためである。

図１８のダイヤグラム及び図２０の表は、１７によるデバイス上の所定の高さにおいて取られた測定値を示す。結果のダイヤグラムが図１８に示されている。ｘ軸は、下側円形電極Ｂの下側縁部（２１０ｍｍ）の上方の垂直位置、又は言い換えれば、ｍｍ単位で測定された事前決定可能な高さを表し、ｙ軸はｎｍ単位のエッチング深さを表す。基板ホルダー上のより高い垂直位置に設けられた基板は、基板ホルダー上のより低い位置に配置された基板よりも基板のエッチングが弱いことを示すことが、ダイヤグラムから見られ得る。ダイヤグラム中の上側の線は図１７の実施例を示し、下側の線は、線形電極をもつ知られているシステムを示す。２つの単一の電極が並列に動作させられる図１７によれば、チャンバ中のより速い基板の流れにより、著しく高いエッチング・レートが観測され得る。しかしながら、高さの減少に伴うエッチング深さの減少から見られ得るように、同質性は改善されない。図１９は、一方、時間とともに磁石の極性を変動させることによって、最新技術（下側の線）と比較して同質性が改善された実施例を示す。ｘ軸は、下側の円形電極Ｂの下側縁部（２１０ｍｍ）の上方の垂直位置、又は言い換えれば、ｍｍ単位で測定された事前決定可能な高さを表し、ｙ軸はｎｍ単位のエッチング深さを表す。

「標準（Ｓｔａｎｄ．）」と標示された、図２０の表の第１行は、従来の線形電極をもつ知られたシステム上で行われた測定を示す。８０Ａを線形電極に印加し、基板電流は１．９Ａにおいて測定された。下部測定（下部（ｂｏｔ）、２１０ｍｍ）のエッチング深さは２５０ｎｍである。中間測定（中間（ｍｉｄ）、３４０ｍｍ）における深さは２１０ｎｍであり、それは下部エッチング深さの８４％であり、上部測定点（上部（ｔｏｐ）、４７０ｍｍ）における深さは１１０ｎｍであり、それは下部エッチング深さの４８％である。後側磁界のみが電極に印加された、２つの単一電極をもつ説明された設計は、３．４Ａの増加した基板電流による向上したエッチングを示すが、同質性に関する同じ問題は残る。４０Ａの電流が各電極に印加される。下部測定（下部、２１０ｍｍ）のためのエッチング深さは４２０ｎｍである。中間測定（中間、３４０ｍｍ）におけるエッチング深さは３５０ｎｍ（８３％）であり、上部測定（上部、４７０ｍｍ）における深さは１８０ｎｍ（４３％）である。次の２つの行は、磁界が電極に印加されたときに取得された結果を示す。同じ極性をもつ界が印加されたとき、第１の電極における電流は７５Ａであり、第２の電極における電流は５Ａである。基板電流は４．５Ａの高さであり、上部測定（４７０ｍｍ）におけるエッチング深さは７６０ｎｍである。中間測定（３４０ｍｍ）は６２０ｎｍ（８６％）であり、下部測定（３４０ｍｍ）は３００ｎｍ（３９％）である。コイルに印加される電流の方向を反転させることによって極性が変更されると、エッチング深さについて逆の効果が観測され得る。第１の電極に印加される電流は４９Ａであり、第２の電極に印加される電流は３１Ａである。基板電流は４Ａにおいて測定された。この構成における最大の測定された深さは下部測定（２１０ｍｍ）において６４０ｎｍにおいて見つけられる。中間測定（３４０ｍｍ）は４９０ｎｍ（７６％）を与え、上部測定（４７０ｍｍ）は２４０ｎｍ（３８％）である。

エッチング・レートがそれにおいて基板ホルダーの高さ全体にわたって実質的に一定である、チャンバ中の同質性を達成することが望まれる。エッチング・プロファイルは、磁界の同じ極性において及び反対の極性において上側から下側への反対の傾向を示すので、同質性は、指定された時間間隔においてエッチング・プロファイルを重ね合わせることによって達成され得る。選択された時間は、基板ホルダーの１～１０回転など、短くなり得るか、又は、必要な場合、より長くなり得る。図１７による構成の例では、（図２０による結果の第３行及び上側曲線図１９のように）同じ極性の前側磁界を印加することによってプロセス時間の２／３（たとえば４０分）が使用され、（図２０における結果の第４行に示されているように）反対の極性の前側磁界を印加することによってプロセス時間の１／３（２０分）が使用されるとき、良好な同質性が達成され得ることがわかった。

本出願の構想内で様々な例示的な構成が図示され、説明されたが、任意の数の蒸発器と任意の数の電極とをもつ他の実施例が、当然、本明細書でクレームされる本発明の保護の範囲内に入る。さらに、本発明によるイオン・エッチング・システムは複数の個々の電極を装備され得、それにより、異なる電極に異なる電流が供給され得る。プラズマ活性化とエッチングとを要望通り操作するために、同じ又は異なる電流が、異なる電極に、さらには異なる時間において印加され得る。

本出願の構想内でかなりの数の実施例についてすでに説明したが、さらなる変形体が可能であることは言うまでもない。たとえば、説明された実施例は、好適に組み合わせられ、補足されるか、又は同じ効果を有する等価な特徴によって交換され得る。したがって、そのような他のソリューションも、クレームされる本発明の保護の範囲内に入る。

Claims (10)

1. チャンバ壁によって囲まれたプラズマ処理エリアと、プラズマ源とを備える、プラズマ処理を実行するための真空チャンバであって、前記プラズマ源が、
   前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）に接続されたアーク・アノードを用いたカソード真空アーク蒸発のために前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）中に構成された少なくとも１つのカソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）と、
   前記カソードの前に構成され得るシールド（１１５、２３０、３３２、３３３、３３４）と、
   前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）中に構成された少なくとも１つの電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）であって、前記カソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）から放出された電子を収集するための作業面（４６１）を備える、電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）と
   を備え、
   前記作業面（４６１）が、前記カソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）から放出された前記電子を収集するための２次元表面であり、前記２次元表面が表面法線に対する第１の直交延長部と第２の直交延長部とを有し、前記第１の直交延長部が前記第２の直交延長部に直角であり、前記第２の直交延長部に対する前記第１の直交延長部の長さ比が０．１と１との間であり、
   前記電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）の前記作業面（４６１）に作用する、磁界を生成するための少なくとも１つの磁石（３０１、３０２、４８０、４９０）が、前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）の中、又は上、又は中及び上に構成されたことを特徴とする、真空チャンバ。
2. 前記磁石（３０１、３０２、４８０、４９０）が前側磁石（３０２）及び／又は後側磁石（３０１、４８０、４９０）を備え、前記前側磁石（３０２）が、前側磁界を生成するために前記作業面（４６１）のエリア中に構成され、前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が、後側磁界を生成するために前記作業面（４６１）の後ろに構成された、請求項１に記載の真空チャンバ。
3. 前記前側磁石（３０２）が前記作業面（４６１）の前に構成され、及び／又は前記前側磁石（３０２）が少なくとも部分的に前記作業面（４６１）の隣又は周りに構成され、及び／又は、前記前側磁石（３０２）及び／又は前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）中に構成されるか、又は前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）の外側に構成された、請求項２に記載の真空チャンバ。
4. 前記前側磁石（３０２）及び／又は前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が永久磁石及び／又は電磁石を備えるか、又は前記前側磁石（３０２）及び／又は前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が、前記電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）に結合された電磁コイル（４８０、４９０）として設計された、請求項２又は３に記載の真空チャンバ。
5. 前記カソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）から放出された前記電子を収集するための第１の作業面を有する第１の電極と、前記カソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）及び／又は複数のカソード（１１０、２１０、２２０、３１０、３２０、３３０、４５０）から放出された前記電子を収集するための第２の作業面を有する第２の電極とを備える、請求項１から４までのいずれか一項に記載の真空チャンバ。
6. 複数の電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）を備え、前記作業面（４６１）の前に構成された前記前側磁石（３０２）と、前記作業面（４６１）の後ろに構成された前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）とが前記電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）のうちの少なくとも１つの上に構成された、請求項２から５までのいずれか一項による真空チャンバ。
7. 前記前側磁石（３０２）及び前記後側磁石（３０１、４８０、４９０）が電磁石であり、前記真空チャンバ（１００、２００、３００、４００）が、前記後側磁石（３０２）と前記前側磁石（３０１、４８０、４９０）とに接続された電流源をさらに備え、前記電流源は、前記後側磁石と前記前側磁石との極性が反転させられ得るように前記後側磁石（３０２）と前記前側磁石（３０１、４８０、４９０）とへの電流の流れが調整され得るような形で設計された、請求項２から６までのいずれか一項による真空チャンバ。
8. 前記複数の電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）が共通の電源に接続されるか、又は前記複数の電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）が、第１の電源に接続された電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）の第１のグループを備え、第２の電源に接続された電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）の第２のグループを備える、請求項６又は７に記載の真空チャンバ。
9. 前側磁界を生成するための第１の前側磁石が前記第１の作業面のエリア中、特に前記第１の作業面の前及び／又は隣及び／又は周りに構成され、第２の後側磁界を生成するための第２の後側磁石が前記第２の作業面の後ろに構成された、請求項５に記載の真空チャンバ。
10. 前記電極（３０、１２０、１２０ａ、１３０、１４０、２４０、２５０、３４０、３５０、３６０、４６０、４７０）上の垂直構成要素の磁界強度が０．１ｍＴと１００ｍＴとの間、好ましくは１～５０ｍＴ、特に２～２０ｍＴである、請求項１から９までのいずれか一項に記載の真空チャンバ。

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