DE19702928C2 - Lichtbogenverdampfer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Lichtbogenverdampfer mit einem flächigen Target, das auf einem an eine Vakuumkammer anflanschbaren Kathodengehäuse angebracht ist und dessen vakuumseitige Targetoberfläche durch einen Lichtbogen verdampfbar ist, wobei sich hinter dem Target ein den Lichtbogen stabilisierender Magnet befindet.

Bei derartigen Lichtbogen-Verdampfungseinrichtungen wird zwischen der Oberfläche einer flächigen Kathode aus Beschichtungsmaterial und der als Anode geschalteten Kammerwand eine elektrische Bogenentladung betrieben. Durch die hohe Temperatur wird im Fußpunkt des Lichtbogens, d. h. im Kathodenfleck auf der Kathodenoberfläche, das Targetmaterial verdampft und kondensiert als dünne Schicht auf den ebenfalls in der Vakuumkammer angeordneten, zu beschichtenden Werkstücken.

Um eine möglichst gleichmäßige Verdampfung zu erreichen und Clusterbildung zu vermeiden, die zur Qualitätsminderung der Beschichtungen führt, ist es erforderlich, den Brennfleck des Lichtbogens mit hinreichender Geschwindigkeit über die Targetoberfläche zu bewegen. Im Hinblick auf eine gute Targetausbeute ist es besonders günstig, den Lichtbogenspot im zeitlichen Mittel gleichmäßig über die gesamte Targetoberfläche zu führen.

Nach dem Stand der Technik ist es bekannt, den Lichtbogenspot durch Erzeugung eines geeigneten Magnetfelds an der Targetoberfläche in seiner Bewegung zu beeinflussen. Durch die Form und Feldstärke des Magnetfelds läßt sich im einzelnen vorgeben, ob sich der Lichtbogenspot eher statistisch­ zufällig bewegt oder eine definierte Bahnbewegung durchläuft.

Zur Erzeugung des Magnetfelds ist beispielsweise aus der DE 42 23 592 A1 bekannt, hinter dem Target die Zylinderspule eines Elektromagneten anzu­ ordnen, deren Achse senkrecht zur Targetoberfläche verläuft. Die magnetische Feldstärke an der Targetoberfläche läßt sich durch die Wahl des Spulenstroms vorgeben. Allerdings bringt die Verwendung derartiger Elektromagneten, wie sie ebenfalls in der DE 35 28 677 C2 vorgeschlagen worden ist, durch die zwingend erforderliche steuerbare Stromversorgung prinzipiell einen erheblichen apparativen Aufwand mit sich.

Eine weitere nach dem Stand der Technik bekannte Möglichkeit zur Steuerung der Lichtbogenbewegung sieht die Anordnung eines oder mehrerer Permanentmagneten hinter der Kathode vor. Hierzu ist beispielsweise in der DE 34 13 701 C2 bereits ein koaxial zur Kathode angeordneter Permanent­ magnetring vorgesehen. Die magnetische Feldstärke sowie die Form des Magnetfelds ist bei dieser Ausführungsform allerdings naturgemäß durch den konstruktiven Aufbau fest vorgegeben und im nachhinein nicht mehr verstellbar. Aus der DE 41 09 213 C1 ist zwar bekannt, zur Führung des Lichtbogens Permanentmagnete parallel zur Targetoberfläche zu bewegen; eine statische Veränderung der magnetischen Feldstärke an der Targetoberfläche ermöglicht die daraus bekannte Vorrichtung jedoch ebenfalls nicht.

Ein Lichtbogenverdampfer der eingangs genannten Art ist beispielsweise aus der DE 40 16 087 A1 bekannt. Es handelt sich hierbei um einen Verdampfer, bei dem ein flächiges Target mittels eines Lichtbogens verdampft wird. Bei dem vorbekannten Verdampfer befindet sich das Target in einem Kathodengehäuse, das an einen evakuierten Raum angeflanscht ist. Auf der Rückseite des Targets befindet sich eine verschiebbare Magnetanordnung, die dazu dient, den Lichtbogen zu stabilisieren, um so die Bogenspur auf vorgebbare Kathodenbereiche beschränken zu können und somit eine gleichmäßige Bogenverdampfung zu erzielen. Bei dem vorbekannten Lichtbogenverdampfer soll ein gleichmäßiger Abbrand des Targets dadurch erzielt werden, daß der Lichtbogen durch das Magnetfeld gewissermaßen eingefangen wird (magnetic confinment), wodurch die Verdampfungszone auf dem Target auf einen vorgebbaren Ringbereich beschränkt wird. Das Target des vorbekannten Verdampfers befindet sich in Rotation, so daß bei der Verdampfung entstehende Tröpfchen des Targetmaterials abgeschleudert werden und nicht auf die Oberfläche der zu beschichtenden Substrate gelangen können. Durch die Magnetfeldkonfiguration wird zusammenwirkend mit dieser Rotationsbewegung erreicht, daß durch den Lichtbogen eine vorgebbarer Ringbereich abgebrannt wird. Durch Verschieben der Magnetanordnung kann der Radius des Ringbereiches beeinflußt werden.

Bei dem Lichtbogenverdampfer gemäß der DE 40 16 087 A1 ist nachteilig, daß der Lichtbogen während des Verdampfungsvorganges über die Targetoberfläche geführt werden muß. Die Verdampfung muß also kontinuierlich überwacht werden, um so einen gleichmäßigen Abrand des Targets zu gewährleisten. Das gesamte Beschichtungsverfahren wird dadurch zu einem komplizierten und arbeitsaufwendigen Unterfangen. Des weiteren ist nachteilig, daß sich bei der Verdampfung die Gegebenheiten an der Targetoberfläche kontinuierlich verändern. Mit fortschreitendem Abrand der Kathode nimmt die Dicke des Targetmaterials kontinuierlich ab. Dies führt einerseits dazu, daß sich die Magnetfeldstärke am Fußpunkt des Lichtbogens auf der Targetoberfläche ändert. Um dies zu korrigieren, muß der Magnet nachgeführt werden. Zum anderen ändern sich auch die elektrostatischen Verhältnisse, was eine Reihe von nachteiligen Konsequenzen hat. So variiert beispielsweise der Verdampfungsstrom im Verlauf des Beschichtungsvorganges. Dies hat zur Folge, daß die Rate, mit der das Substrat beschichtet wird, nicht konstant bleibt. Dadurch wird es schwierig, die Schichtdicke bei der Bedampfung der Substrate zu kontollieren. Außerdem ändert sich die relative Anordnung der Targetoberfläche zum Kathodenschirm. Dieser erfüllt zusammenwirkend mit dem Magnetfeld der Permanentmagnetanordnung eine wichtige Funktion bei der Steuerung des Lichtbogens auf dem Target.

Entsprechend liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Lichtbogenverdampfer bereitzustellen, bei dem durch Änderung der Magnetfeldstärke an der Targetoberfläche die Lichtbogenbewegung beeinflußbar ist, ohne das es dabei jedoch nötig wird, den Lichtbogen gezielt über das Target zu führen. Zum anderen soll die Möglichkeit bestehen, die elektrostatischen und magnetischen Verhältnisse beim Abbrand der Targetoberfläche konstant zu halten, um so den Beschichtungsvorgang besser kontrollieren zu können.

Diese Aufgabe wird bei einem Lichtbogenverdampfer der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Magnet senkrecht zur Targetoberfläche bewegbar ist und daß gleichzeitig das Kathodengehäuse bezüglich der Vakuumkammer senkrecht zur Targetoberfläche abgedichtet verschiebbar gelagert ist.

Gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruches ist das Target auf dem an der Vakuumkammer angeflanschten Kathodengehäuse angebracht. Durch dessen Verschiebbarkeit relativ zur Vakuumkammer wird aufgabengemäß erreicht, daß das Target entsprechend der fortschreitenden Abtragung bei der Bedampfung nachgeführt werden kann. Auf diese Weise wird die elektrostatische Feldverteilung an der Targetoberfläche auf einfache Weise konstant gehalten. Dadurch, daß zusätzlich der Magnet relativ zur Targetoberfläche bewegbar ist, wird erreicht, daß sich auch das Magnetfeld am Fußpunkt des Lichtbogens während des Abbrandes des Targets nicht verändert. Durch die senkrechte Verschiebbarkeit des Magnetes wird weiterhin erreicht, daß die Lichtbogenbewegung auf dem Target beeinflußbar ist.

Mit dem Lichtbogenverdampfer gemäß der Erfindung kann die Bedampfung von Substraten in besonders einfacher Weise erfolgen. Der Lichtbogen bewegt sich dabei gleichmäßig über das Target, wobei das Magnetfeld, dem eine stabilisierende Funktion zukommt, nur gelegentlich bei fortschreitendem Abbrand der Targetelektrode nachgeregelt werden muß. Durch die Nachführung des gesamten Kathodengehäuses wird erreicht, daß die Rate, mit der die Substrate beschichtet werden, exakt konstant gehalten wird. Dies kommt unmittelbar der Qualität der Beschichtungen zugute.

Vorzugsweise wird bei der Erfindung ein Permanentmagnet verwendet. Dessen Magnetfeld besteht unabhängig von externen Versorgungseinrichtungen, so daß sich gegenüber elektromagnetischen Systemen mit einer aufwendigen, steuerbaren Stromversorgung ein besonders einfacher und zuverlässiger Aufbau ergibt. Die Betriebssicherheit ist auch dadurch besonders hoch, daß das Magnetfeld nicht durch einen Defekt einer Versorgungseinrichtung zusammenbrechen kann, wodurch der Lichtbogen außer Kontrolle geraten könnte.

Eine besonders günstige Feldgeometrie erhält man, wenn der Magnet ein parallel zur Targetoberfläche liegender Ringmagnet ist, insbesondere wenn dieser koaxial zum Target angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist dieser Ring­ magnete axial verschiebbar. Die rotationssymmetrische Feldverteilung an der Targetoberfläche ist zur Steuerung der Bogenbewegung besonders gut geeignet.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der Magnet auf einer manuell verstellbaren Verstelleinrichtung angebracht. Diese kann beispielsweise eine Stellspindel mit angesetztem Bedienknopf, einen manuell betreibbaren Stellkolben oder dergleichen enthalten. Das Übersetzungsverhältnis der Verstelleinrichtung wird zweckmäßigerweise so gewählt, daß eine feinfühlige Nachstellung des Magneten leicht durchführbar ist. Auf diese Weise läßt sich die Abtragung des Targets durch die Lichtbogenerosion problemlos ausgleichen.

Alternativ kann die Verstelleinrichtung für den Magneten motorisch verstellbar gestaltet sein. Auf diese Weise läßt sich mit geringem Aufwand eine automatische Nachführung des Magneten realisieren.

Vorzugsweise ist ein Magnet, beispielsweise ein parallel zur Kathodenober­ fläche liegender Ringmagnet, innerhalb des Kathodengehäuses angeordnet.

Diese Ausführung hat den Vorteil, daß der den Lichtbogen stabilisierende Magnet beim Verstellen des Kathodengehäuses gleichzeitig mitbewegt wird.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist der Magnet in dem Kathodengehäuse senkrecht zur Targetoberfläche bewegbar gelagert. Diese Ausführung eröffnet die Möglichkeit, durch Verschieben des Kathodengehäuses den Abstand zwischen der Targetoberfläche und dem Begrenzungsring und das an der Targetoberfläche herrschende Magnetfeld durch Verschieben des Magnets unabhängig voneinander einzustellen. Damit kann die Bogenentladung unter allen Betriebsbedingungen im optimalen Arbeitspunkt gefahren werden.

Eine besonders günstige praktische Ausführungsform sieht vor, daß das Kathodengehäuse in einem an der Vakuumkammer angebrachten Halteflansch axial bewegbar ist. Durch diese Maßnahme kann der Halteflansch samt Kathodengehäuse, beispielsweise für die Durchführung von Wartungsarbeiten, leicht von der Vakuumkammer abgeflanscht werden.

Eine bevorzugte Weiterbildung sieht vor, daß das Kathodengehäuse lösbar mit dem Halteflansch verbunden ist. In dieser Ausführungsform läßt sich ein verbrauchtes Target einfach durch einen Austausch des Kathodengehäuses gegen ein solches mit einem neuen Target bewerkstelligen. Die Umrüstzeiten, beispielsweise auch auf andere Targetmaterialien, werden somit erheblich reduziert.

Zweckmäßigerweise ist das Kathodengehäuse zylindrisch ausgebildet und weist ein Außengewinde auf, welches in den Halteflansch einschraubbar ist. Die Abdichtung kann dabei mit radialen O-Ring-Dichtungen erfolgen, die gegen eine zylindrische Bohrung in dem Halteflansch dichten und darin eine gedichtete axiale Verschiebung des Kathodengehäuses zulassen.

Zweckmäßigerweise ist das Kathodengehäuse als zylindrisches Topfgehäuse ausgebildet, welches von Kühlflüssigkeit durchströmbar ist.

Weiterhin ist es vorteilhaft, daß in dem Kathodengehäuse ein Temperatur­ sensor, beispielsweise ein Thermoelement, angeordnet ist. Ist ein solches Thermoelement hinter dem Target angeordnet, d. h. im Bereich der Halterung des Targets an dem Kathodengehäuse, kann die Targettemperatur jederzeit erfaßt und kontrolliert werden. Wird der Temperatursensor an eine Steuerungseinrichtung angeschlossen, kann über einen geschlossenen Regel­ kreis die Targettemperatur über die Durchflußmenge der Kühlflüssigkeit automatisch geregelt werden. Auf diese Weise ist für jedes Targetmaterial die Einstellung der optimalen Betriebstemperatur möglich. Dadurch kann die Clusterbildung reduziert werden, was sich insgesamt positiv auf die Beschichtungsqualität auswirkt.

Alternativ kann ein Thermoelement auch an einer anderen Stelle des Kathoden­ gehäuses angebracht sein, um die Temperatur des Kühlwassers zu über­ wachen. Dadurch wird die Betriebssicherheit erhöht, indem beispielsweise bei einer Überhitzung infolge von Kühlmittelausfall eine automatische Not­ abschaltung eingeleitet wird.

Besonders vorteilhaft ist es, daß vakuumseitig an dem Halteflansch ein die Targetoberfläche umgebender, als Begrenzungsring ausgeführter Kathoden­ schirm fest angebracht ist. Ein derartiger Begrenzungsring, der vorzugsweise gegenüber dem Halteflansch elektrisch isoliert ist und im Betrieb auf Floatingpotential liegt, dient dazu, den über die Targetoberfläche hinaus­ wandernden Lichtbogenspot aufzunehmen und durch seine Ausbildung wieder auf die Targetoberfläche zurückzuleiten. Im Hinblick auf diese Eigenschaften ist es besonders günstig, daß der Begrenzungsring aus magnetisch permeablem Material, beispielsweise aus Weicheisen, oder elektrisch gut leitendem Material mit einer Leitfähigkeit σ < 10⁵ (Ωcm)^-1, beispielsweise aus Kupfer besteht. Wenn bei dieser Ausführung der Lichtbogenfußpunkt im Betrieb auf den Begrenzungsring wandert, erfährt dieser eine derartige Magnetisierung, daß der Lichtbogen auf die Targetoberfläche zurückgedrängt wird.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist der Begrenzungsring zusätzlich mit einer Nitridverbindung, insbesondere mit Titan-, Chrom-, Hafnium- oder Bornitrid, beschichtet. Diese unterdrückt aufgrund ihres Sekundärelektronenemissionsverhältnisses die Bewegung des Lichtbogens auf den Begrenzungsring.

Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Verdampfers wird nach­ folgend anhand der Zeichnung näher erläutert. Fig. 1 zeigt im einzelnen einen Schnitt durch einen in eine Kammerwandung eingebauten erfindungsgemäßen Lichtbogenverdampfer.

In Fig. 1 ist der Verdampfer als ganzes mit dem Bezugszeichen 1 versehen. Dieser ist an eine Kammerwand 2 einer Vakuumkammer angeflanscht, die zu diesem Zweck einen Kammerflansch 3 aufweist.

An den Kammerflansch 3 ist der Verdampfer 1 über einen Halteflansch 4 isoliert angebracht. Vakuumseitig ist an diesem Halteflansch 4 ein Begrenzungsring 5 isoliert fest angebracht.

In die axiale Durchgangsbohrung des Halteflansches 4 ist ein axial bewegbares Kathodengehäuse 6 über ein Außengewinde eingeschraubt, d. h. axial bewegbar. Auf dessen Vorderseite ist ein Target 7 befestigt.

Gegenüber der Durchgangsbohrung in dem Halteflansch 4 ist das topfförmige Kathodengehäuse mittels O-Ringen 8 gegen das Kammervakuum abgedichtet.

Im Innern des topfförmigen Kathodengehäuses 6 ist ein Ringmagnet 9 koaxial zum Target 7 auf einer Verstelleinrichtung montiert, die sich im wesentlichen aus einer Stellspindel 10 mit einem Betätigungsknopf 11 sowie einem Magnetträger 12 zusammensetzt, der im Innern des Kathodengehäuses 6 axial beweglich auf der Stellspindel 10 angeordnet ist.

Über Kühlwasseranschlüsse 13 ist das Kathodengehäuse 6 mit Kühlwasser beaufschlagbar.

An dem Kathodengehäuse 6 ist unmittelbar hinter dem Target 7 ein Thermoelement 14 zur Erfassung der Targettemperatur angebracht. Im hinteren Bereich des Kathodengehäuses 6 kann gegebenenfalls ein weiteres Thermoelement 15 vorgesehen sein. Dieses dient zur Erfassung der Kühl­ wassertemperatur und ist wie auch das Thermoelement 14 an eine (nicht dargestellte) Steuer- und Überwachungsschaltung des Verdampfers 1 ange­ schlossen.

Der erfindungsgemäße Verdampfer wird wie folgt betrieben: Zwischen der vakuumseitigen Oberfläche des Targets 7 und einer Anode wird mit einer im einzelnen nicht dargestellten Zündeinrichtung eine Lichtbogenentladung gezündet und aufrechterhalten. Durch manuelles Verdrehen des Drehknopfes 11 wird über die Stellspindel 10 und den Magnetträger 12 der Ringmagnet 9 so weit axial verschoben, bis auf der Oberfläche des Targets 7 eine Magnetfeldstärke erreicht ist, bei der der Lichtbogenfußpunkt in der gewünschten Weise über die Oberfläche des Targets 7 bewegt wird, so daß eine möglichst gleichmäßige Erosion erfolgt. Durch eine Verstellung des Ringmagnets 9 in Richtung auf das Target 7 wird die Magnetfeldstärke erhöht, so daß der Lichtbogen stärker gesteuert wird und sich um so mehr auf vorbestimmten Bahnen bewegt. Durch ein Zurücknehmen des Ringmagnets 9 wird die Magnetfeldstärke so weit verringert, daß sich eine statistisch-zufällige Bewegung ergibt.

Die Thermoelemente 14 und 15 sind an eine im einzelnen nicht dargestellte Steuer- und Regeleinrichtung angeschlossen. Mittels des Thermoelementes 14 wird die Targettemperatur ständig überwacht und über die Regeleinrichtung die Kühlwassermenge derart nachgeregelt, daß die für ein bestimmtes Targetmaterial vorgeschriebene, optimale Temperatur möglichst konstant eingehalten wird. Durch das Thermoelement 15 wird über die Messung der Außentemperatur des Kathodengehäuses die Kühlwassertemperatur überwacht und mittels der Steuerschaltung bei Überhitzung, beispielsweise infolge Kühlwassermangels, eine Notabschaltung des Verdampfers 1 eingeleitet.

Wenn die Oberfläche des Targets 7 durch den Lichtbogen so weit abgetragen ist, daß sie nicht mehr mit der Vorderkante des Begrenzungsrings 5 fluchtet, wird das Kathodengehäuse 6 samt dem darauf angebrachten Target 7 durch Einschrauben in den Halteflansch 4 so weit axial bewegt, bis sich die Targetoberfläche wieder in der optimalen Ebene befindet. Gegebenenfalls wird im Anschluß daran in der vorbeschriebenen Weise die Magnetfeldstärke an der Targetoberfläche durch Verstellen des Ringmagnets 9 wieder angeglichen.

Zum Austausch des Targets 7 wird einfach das Kathodengehäuse 6 aus dem Halteflansch 4 herausgeschraubt, wobei dieser samt dem Begrenzungsring 5 an dem Kammerflansch 3 verbleibt. Nach dem Austausch des Targets 7 kann das Kathodengehäuse 6 in der umgekehrten Reihenfolge wieder eingeschraubt werden, wobei eine langwierige Justierung der Zündeinrichtung und des Begrenzungsrings 5 entfällt, da diese Bauteile an ihrer ursprünglichen Position verbleiben und lediglich das Target 7 im Begrenzungsring 5 justiert werden muß. Dies ist jedoch dank der erfindungsgemäßen Bewegbarkeit des Kathodengehäuses 6 problemlos durchführbar.

Claims (23)

1. Lichtbogenverdampfer mit einem flächigen Target, das auf einem an eine Vakuumkammer anflanschbaren Kathodengehäuse angebracht ist und dessen vakuumseitige Targetoberfläche durch einen Lichtbogen verdampfbar ist, wobei sich hinter dem Target ein den Lichtbogen stabilisierender Magnet befindet, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) senkrecht zur Targetoberfläche bewegbar ist und daß gleichzeitig das Kathodengehäuse (6) bezüglich der Vakuumkammer (2) senk­ recht zur Targetoberfläche abgedichtet verschiebbar gelagert ist.

2. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) ein Permanentmagnet ist.

3. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) ein parallel zur Targetoberfläche liegender Ringmagnet ist.

4. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringmagnet (9) koaxial zum Target (7) angeordnet ist.

5. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) auf einer manuell verstellbaren Verstelleinrichtung (10, 11, 12) angebracht ist.

6. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) auf einer motorisch verstellbaren Verstelleinrichtung angebracht ist.

7. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Verstelleinrichtung (10, 11, 12) eine Stellspindel (10) aufweist.

8. Lichtbogenverdampfer, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Magnet (9) in dem Kathodengehäuse (6) bewegbar angeordnet ist.

9. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodengehäuse (6) in einem an der Vakuumkammer (2) ange­ brachten Halteflansch (4) axial bewegbar ist.

10. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodengehäuse (6) lösbar mit dem Halteflansch (4) verbunden ist.

11. Lichtbogenverdampfer nach den Ansprüchen 9 und/oder 10, da­ durch gekennzeichnet, daß das zylindrisch ausgebildete Kathodengehäuse (6) ein Außengewinde aufweist, welches in den Halteflansch (4) einschraubbar ist.

12. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodengehäuse (6), mit radialen O-Ring-Dichtungen (8) gegen den Halteflansch (4) abgedichtet ist.

13. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodengehäuse (6) als von Kühlflüssigkeit durchströmbares zylindri­ sches Topfgehäuse ausgebildet ist.

14. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich­ net, daß in dem Kathodengehäuse (6) ein Temperatursensor (14, 15) angeord­ net ist.

15. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß ein Temperatursensor (14) zur Messung der Targettemperatur hinter dem Target (7) angeordnet ist.

16. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß ein Temperatursensor (14, 15) an eine Steuerungseinrichtung ange­ schlossen ist.

17. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß vakuumseitig an dem Halteflansch (4) ein die Targetoberfläche umge­ bender, als Begrenzungsring (5) ausgeführter Kathodenschirm fest angebracht ist.

18. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) zum Halteflansch (4) elektrisch isoliert ist.

19. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) aus magnetisch permeablem Material besteht.

20. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 19, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) zum aus Weicheisen besteht.

21. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) aus einem gut leitfähigen Material mit einer Leitfähigkeit von σ < 10⁵ (Ωcm)^-1 besteht.

22. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 21, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) aus Kupfer besteht.

23. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, daß der Begrenzungsring (5) mit einer Nitridverbindung, insbesondere mit Titan-, Chrom-, Hafnium- oder Bornitrid beschichtet ist.