JP5584140B2 - 非接触表面形状測定方法およびその装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、このような従来の技術にあっては、測定ワークを所定ピッチごとに間欠的にスキャンし、そこでフォーカスが合った時に高さ情報を取得して、次のピッチ送りをするため、測定に時間がかかる。
図1〜図4は、本発明の第1実施形態を示す図である。図中、XYは水平面上で直交する二方向で、Zは上下方向である。また、図1は概略的に図示されている。
また、電圧差が上記近傍範囲を超えて非線形領域にある場合でも、二分割センサーSのセンサー素片a,bのいずれにもスポットの一部が到達して電圧差が検出できれば測定は可能である。すなわち、対物レンズ4のフォーカス位置までの移動量に対応するスポットの重心位置と電圧差の対応関係(非線形特性)が既知であるため、近傍範囲を二分割センサーSの非線形領域まで拡張して形状測定することは可能であるが測定誤差が増大する。この場合には非線形特性のデータ(テーブル)をメインコントローラ9が保持し、検出された電圧差から即座に対物レンズのフォーカス位置までの移動量を算出(変換)することができる。
図5及び図6は本発明の第2実施形態を示す図である。本実施形態は、前記第1実施形態と同様の構成要素を備えている。よって、それら同様の構成要素については共通の符号を付すとともに、重複する説明を省略する。
本発明によれば、測定ワークからの戻り光が二分割センサーの中心に合致しなくても、二分割センサーの2つのセンサーの電圧差が近傍範囲に入った際には、その電圧差から補正値を算出し、その補正値を対物レンズの実際の上下方向での位置に加算することにより、対物レンズがフォーカス状態になるまで(戻り光が二分割センサーの中心に合致するまで)の移動量を算出することができる。このように、実際にフォーカス状態にならなくても、近傍範囲に入れば良いため、測定ワークを連続スキャンして測定ワークの表面形状を測定することができ、測定時間の短縮化を図ることができる。
本国際特許出願は米国指定に関し、2009年2月2日に出願された日本国特許出願第2009−21903(2009年2月2日出願)について米国特許法第119条(a)に基づく優先権の利益を援用し、当該開示内容を引用する。
Claims (3)
- 測定ワークの表面に対して、上下方向でレーザープローブによるオートフォーカス制御を施しながら、測定ワークを水平方向へ連続的にスキャンさせ、
オートフォーカス光学系においてレーザープローブの照射光(L)が対物レンズ(4)の光軸中心からはずれた位置を通り、レーザープローブの戻り光(L’)が二分割センサーの中心で受光されるように制御され、対物レンズの上下方向での移動量から測定ワークの表面形状を測定する非接触表面形状測定方法であって、
測定ワークを水平方向に定速移動させ(S3)、
前記二分割センサーの2つのセンサー間の電圧差を検出し、検出した電圧差がフォーカス位置からの変位に対してリニアになる近傍範囲内にあるかを検出し(S4)、
電圧差が近傍範囲内にあるときに対物レンズの上下方向でのフォーカス位置に対する補正値を算出し、
補正値を対物レンズの実際の上下方向での位置に加算して対物レンズの上下方向での移動量を算出し(S6)、
前記検出した電圧差が前記近傍範囲内にないときには前記近傍範囲に入るまで連続スキャンによる定速移動を停止し、前記検出した電圧差が前記近傍範囲内に入ったときには連続スキャンを再開する(S4,S5)ことを特徴とする非接触表面形状測定方法。 - 前記近傍範囲を、前記二分割センサーが電位差を検出できる範囲であって、検出した電位差がフォーカス位置からの変位に対して非線形な範囲まで拡張したことを特徴とする請求項1または2に記載の非接触表面形状測定方法。
- 測定ワークの表面に対して、上下方向でレーザープローブによるオートフォーカス制御を施しながら、オートフォーカス光学系の対物レンズの上下方向での移動量から測定ワークの表面形状を測定する非接触表面形状測定装置であって、
前記測定ワークを前記対物レンズの光軸に対して水平方向へ定速移動するために連続的にスキャンするスキャナーと、
前記レーザープローブの照射光(L)が対物レンズ(4)の光軸中心からはずれた位置を通り、前記レーザープローブの戻り光(L’)が二分割センサー(S)の中心で受光されるように前記対物レンズの上下方向の移動量を制御するコントローラと
を具備し、
前記コントローラは、
前記二分割センサーの2つのセンサー間の電圧差を検出し、検出した電圧差がフォーカス位置からの変位と線形関係にある近傍範囲内にあるかを検出し、
電圧差が近傍範囲内にあるときに対物レンズの上下方向でのフォーカス位置に対する補正値を算出し、
補正値を対物レンズの実際の上下方向での位置に加算して対物レンズの上下方向での移動量を算出し、
前記検出した電圧差が前記近傍範囲内にないときには前記近傍範囲に入るまで連続スキャンによる定速移動を停止させ、前記検出した電圧差が前記近傍範囲内に入ったときには連続スキャンを再開することを特徴とする非接触表面形状測定装置。
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