JPH0589480A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度かつ高速に被測定面の変位を検出す
る。 【構成】 被測定面６までの距離を検出する非接触セン
サ８と、この非接触センサ８と連結部材２７により一体
的に取り付けられたリニアスケール２０の目盛１９を読
み取る目盛読み取り手段２８と、非接触センサ８と目盛
読み取り手段２８の出力信号Ｘが供給される制御回路３
１とを備え、制御回路３１には、非接触センサ８の出力
信号であるフォーカスエラー信号Ｅが目盛読み取り手段
２８の出力信号である目盛読み取り信号Ｘにより校正さ
れた校正テーブル３５Ａが格納されている。このため、
被測定面６の変位を検出（測定）する際に、サーボをか
けずに、非接触センサ８のフォーカスエラー信号Ｅに対
応する校正された出力信号Ｙを校正テーブル３５Ａから
出力するようにすることで、高精度、かつ高速に被測定
面６の変位を検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非接触センサを用いて
被測定面との間の変位を高精度かつ高速度に検出するよ
うにした変位検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被測定物の変位または形状を
測定するために、非接触センサを有する変位検出装置が
用いられている。

【０００３】このような変位検出装置では、例えば、非
接触センサとして、レーザ光とフォーカスエラー信号と
を発生する検出光学系と対物レンズとを利用し、上記対
物レンズにより上記レーザ光を被測定面に集光させ、そ
の反射光から非点収差法によりフォーカスエラー信号を
得、このフォーカスエラー信号の絶対レベル（例えば、
電圧値）から被測定面の変位を検出するようにしてい
た。

【０００４】ところが、このようにフォーカスエラー信
号の絶対レベルにより変位を検出する変位検出装置で
は、フォーカスエラー信号自体のリニアリティが悪いた
め検出精度を高くすることができないという問題があっ
た。

【０００５】そこで、変位の検出精度を高めるために、
上記非接触センサの出力が一定値になるようにサーボを
かけ、例えば、上記対物レンズの移動をこの対物レンズ
と一体的に移動するようにされたリニアスケールの目盛
を読み取るように構成することも考えられる。

【０００６】このように、サーボをかけ、被測定面の変
位量を検出する変位検出装置としては、上記したような
検出光学系を用いる技術以外に、容量型の非接触センサ
とリニアスケールとを組み合わせたもの、走査型トンネ
ル顕微鏡（ＳＴＭ；Scanningtunneling Microscope）と
光干渉計とを組み合わせたものなどがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにサーボをかけて検出精度を高めた変位検出装置で
は、サーボをかける都合上、周波数特性が比較的に低
い、例えば、１００Ｈｚ程度までの振動の変位しか検出
できないという欠点があった。この検出測定の高速性を
上げるためには、上記したように非接触センサにサーボ
をかけないでそのまま出力レベルを計測するようにすれ
ばよいが、そうすると、リニアリティが悪くなってしま
うため検出精度が低くなってしまうという上述の問題が
解消されない。

【０００８】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、高精度、かつ高速に被測定面の変位を検出
することを可能とする変位検出装置を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明変位検出装置は、
例えば、図１に示すように、被測定面６の変位を検出す
る非接触センサ８と、この非接触センサ８と連結部材２
７により一体的に取り付けられたリニアスケール２０の
目盛１９を読み取る目盛読み取り手段２８と、非接触セ
ンサ８と目盛読み取り手段２８の出力信号Ｅ，Ｘが供給
される制御回路３１とを備え、制御回路３１には、非接
触センサ８の出力信号Ｅが目盛読み取り手段２８の出力
信号Ｘにより校正された校正テーブル３５Ａが配された
ものである。

【００１０】

【作用】本発明変位検出装置によれば、制御回路３１
に、非接触センサ８の出力信号Ｅがリニアスケール２０
の目盛１９を読み取る目盛読み取り手段２８の出力信号
Ｘにより校正された校正テーブル３５Ａが配されてい
る。このため、被測定面６の変位を検出する（被測定面
６までの距離を測定する）際に、サーボをかけずに、非
接触センサ８の出力信号Ｅに対応する校正された出力信
号Ｙを上記校正テーブル３５Ａから出力するようにする
ことで、高精度、かつ高速に被測定面６の変位を検出す
ることができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明変位検出装置の一実施例につい
て図面を参照して説明する。

【００１２】図１において、１はフォーカスエラーの検
出光学系である。この検出光学系１は、レーザダイオー
ド２を含み、このレーザダイオード２から出射されるレ
ーザ光Ｌは、ビームスプリッタ３で反射され、ミラー４
によってさらに反射されて焦点距離ｆ１を有する対物レ
ンズ５に入射する。

【００１３】図１において、検出光学系１と対物レンズ
５とは非接触センサ８を形成する。なお、非接触センサ
としては、検出光学系１と対物レンズ５の組合せにかぎ
らず、静電容量センサまたはＳＴＭ等を使用することも
できる。

【００１４】対物レンズ５に入射されたレーザ光Ｌは対
物レンズ５により被測定面６に集光される。被測定面６
で反射された反射光は、ミラー４で反射された後、ビー
ムスプリッタ３を透過して光検知器である４分割ダイオ
ード７上に再び集光される。

【００１５】４分割ダイオード７は、図２に示すよう
に、４分割されたフォトダイオードが配された構成にさ
れており、被測定面６が対物レンズ５の焦点位置ｆ１に
あるときには、図２Ａに示すように、集光された光が円
形の光スポット１１になる。また、対物レンズ５が被測
定面６に対して争点位置ｆ１より遠ざかると、図２Ｂに
示すように、横に広がった楕円形の光スポット１２にな
り、焦点位置ｆ１より近づくと図２Ｃに示すように、縦
に広がった楕円形の光スポット１３になる。

【００１６】したがって、分割された各フォトダイオー
ドの出力信号をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄとするとき、次の数１で
示す出力信号（以下、フォーカスエラー信号という）Ｅ
を作成することにより、そのフォーカスエラー信号Ｅの
特性は、図３に示すようになる。

【００１７】

【数１】Ｅ＝（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）

【００１８】図３の特性において、原点Ｏは合焦位置を
示し、対物レンズ５と被測定面６との間の距離をｄとす
るとき、原点位置Ｏにおいて、焦点距離ｆ１と距離ｄと
が等しくなる。

【００１９】このような特性を有するフォーカスエラー
信号Ｅは制御回路３１に供給されるとともに、スイッチ
３２の共通接点３２ａおよび固定接点３２ｂを通じてサ
ーボ制御回路１５を構成する比較回路に供給される。ス
イッチ３２は１回路２接点のスイッチであり、他に、無
接続の固定接点３２ｃを有している。スイッチ３２の制
御端子には、制御回路３１からオン・オフの制御信号Ｓ
３が供給される。この制御信号Ｓ３のレベルにより共通
接点３２ａが固定接点３２ｂ側または固定接点３２ｃ側
に切り換えられる。

【００２０】サーボ制御回路１５は、比較回路とサーボ
アンプとを有している。このうち、サーボアンプに制御
回路３１から信号Ｓ２が供給される。

【００２１】サーボ制御回路１５は、スイッチ３２が図
示の状態にあり、信号Ｓ２が供給されていないとき、す
なわち、入力側にフォーカスエラー信号Ｅのみが供給さ
れている状態において、フォーカスエラー信号Ｅがゼロ
値となるような電流信号である駆動信号Ｓ１をアクチュ
エータ１６に供給するように制御する。アクチュエータ
１６は、可動コイル１７と永久磁石１８と棒状の連結部
材２７とを有している。この可動コイル１７の一端部は
連結部材２７の一端部に固定され、この連結部材２７の
他端部には、対物レンズ５が固定されている。

【００２２】また、連結部材２７の所定位置に目盛１９
が付けられたリニアスケール２０が固定されている。こ
こで、リニアスケール２０の目盛１９は、対物レンズ５
の光軸２１の延長線２２上に合わせて付けられている。
言い換えれば、リニアスケール２０が対物レンズ５の光
軸２１に対して同軸（インライン）上に配置されている
ことになる。なお、リニアスケール２０としては、例え
ば、光の干渉縞を目盛１９として記録した光学式スケー
ル（ホログラムスケール）を用いることができる。光学
式スケールに代替して、磁気式スケールまたは容量式ス
ケールを用いてもよい。また、リニアスケール２０に
は、目盛１９の略中央位置に原点３１が形成されている
とよい。

【００２３】リニアスケール２０の目盛１９は、図示し
ないシャーシ等に固定された検出ヘッド２５により読み
取られる。なお、検出ヘッド２５は、光軸２１の延長線
２２の方向の上下方向、矢印Ｐ，Ｑ方向に移動させるこ
とが可能であり、その移動した地点でシャーシ等に固定
することが可能である。この検出ヘッド２５の出力信号
は目盛読み取り信号Ｘとして信号処理回路２６を通じて
制御回路３１に供給される。ここで、検出ヘッド２５と
信号処理回路２６とは目盛読み取り手段２８を構成す
る。

【００２４】制御回路３１は、マイクロコンピュータで
あり、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ（図中、メモ
リ３５として示している）、入出力インタフェースとし
てのＡ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器等を有している。メモ
リ３５には、補正テーブル３５Ａが形成されている。こ
の補正テーブル３５Ａの作成方法については、後に詳し
く説明する。サーボが切られているとき、すなわち、ス
イッチ３２の共通接点３２ａが固定接点３２ｃ側に接続
されているときに、メモリ読み取り信号Ｘが制御回路３
１に供給されたとき、制御回路３１は、補正テーブル３
５Ａを参照して、メモリ読み取り信号Ｘに対応する校正
された出力信号（以下、校正データという）Ｙを出力す
る。校正データＹは、出力端子３６を通じて図示しない
表示器に供給される。なお、制御回路３１からは、表示
器に対応した信号に変換されたメモリ読み取り信号Ｘも
出力される。

【００２５】また、制御回路３１には、発光ダイオード
等の発光素子３７が、後に詳しく説明するサーボ引き込
み位置検出ランプとして接続されている。

【００２６】上記した検出光学系１は、連結部材２７に
取り付けて対物レンズ５と一体的に移動するように構成
してもよく、図示しないシャーシに固定してもよい。

【００２７】次に上記実施例の動作について２つのケー
スに分けて説明する。第１のケースは、変位検出時にも
サーボをかけて変位量を検出する場合であり、第２のケ
ースは、予め校正テーブルを作成し、変位検出時にはサ
ーボをかけないでこの校正テーブルを参照して変位量を
検出するようにした本発明の一実施例による場合であ
る。この意味から、第１のケースは本発明の前提となる
技術である。

【００２８】１．第１のケース（変位検出時にもサーボ
をかけて変位量を検出する場合）

【００２９】図１において、スイッチ３２の共通接点３
２ａと固定接点３２ｂとが接続された状態、いわゆるサ
ーボ引き込み可能な状態においては、サーボ制御回路１
５は、フォーカスエラー信号Ｅがゼロ値となるような駆
動信号Ｓ１をアクチュエータ１６を構成する可動コイル
１７に供給する。このため、可動コイル１７と連結部材
２７を通じて一体的に取り付けられている対物レンズ５
と被測定面６との間の距離ｄは、常に、対物レンズ５の
焦点距離ｆ１に等しい値となるようにフィードバック制
御がなされる。

【００３０】したがって、被測定面６が変位したときに
は、焦点距離ｆ１を保持するように対物レンズ５とリニ
アスケール２０とが被測定面６の変位方向と同一方向に
同一距離だけ変位することになるので、この変位量をリ
ニアスケール２０の目盛１９から検出ヘッド２５により
検出することができる。そして、検出ヘッド２５の出力
信号に基づき信号処理回路２６により被測定面６の変位
量を計算することができる。計算された変位量としての
目盛読み取り信号Ｘは、制御回路３１および出力端子３
６を通じて表示器上に表示される。

【００３１】このようにサーボがかかった状態で被測定
面６の変位量を検出した場合には、対物レンズ５と一体
的に移動するようにされたリニアスケール２０が対物レ
ンズ５の光軸２１と同軸上、いわゆるインライン上に配
置されていることから、アッベ誤差が発生しない。この
ため、リニアスケール２０の変位量と対物レンズ５の変
位量とが１：１に対応するので、きわめて高精度に変位
量を検出することができる。しかし、このようにサーボ
がかかった状態における検出可能周波数、言い換えれ
ば、被測定面６の検出可能振動周波数は、直流〜１００
Ｈｚ程度であり、より高速の振動に対しては、被測定面
６の変位量に対して、リニアスケール２０の変位量がサ
ーボ系の周波数特性を原因として小さな値になってしま
い測定誤差が大きくなる。

【００３２】この第１のケースから非接触センサ８を形
成する検出光学系１の出力信号であるフォーカスエラー
信号Ｅのリニアリティが悪い場合でもサーボをかけてリ
ニアスケール２０の目盛を読み取るように構成すること
により、高精度に変位量を検出できることが分かる。実
際、リニアスケール２０の検出精度は、数ｎｍ〜１００
数ｎｍ程度が得られる。以下に説明するように、本発明
は、この検出精度の良さを利用して構成される。なお、
サーボがかかっている場合における変位量の検出範囲
（測定範囲）は、約１０ｍｍ程度まで可能である。

【００３３】２．第２のケース（予め校正テーブルを作
成し、変位検出時にはサーボをかけないでこの校正テー
ブルを参照して変位量を検出するようにした場合）

【００３４】第２のケースにおいて、まず、スイッチ３
２が接続されていないとき、すなわち、スイッチ３２の
共通接点３２ａが固定接点３２ｃ側に接続されていてサ
ーボがかかっていない状態においては、つぎの点に留意
する必要がある。図４Ａ（縦軸は変位量であり、横軸は
時間ｔである）に示すように、被測定面６が矢印Ｐ，Ｑ
方向に正弦波状に振動（変位）した場合、被測定面６の
反射率が比較的に大きい場合には、フォーカスエラー信
号Ｅは、そのピーク値付近がクリッピングされた波形に
なり（図４Ｂ参照）、反射率が比較的小さい場合には、
フォーカスエラー信号Ｅの振幅が小さくなることに留意
する必要がある。なお、いずれの場合にも、サーボがか
かっていないので、フォーカスエラー信号Ｅは、リニア
リティの悪い波形になっている。

【００３５】そこで、この実施例では、測定対象（被測
定面６の反射率）が決定された後に、この測定対象に対
応した、上記フォーカスエラー信号Ｅのリニアリティの
悪さを校正するための校正テーブル３５Ａを作成するよ
うにしている。

【００３６】図５に示すフローチャートは、この校正テ
ーブル３５Ａを作成するための手順を示すものである。

【００３７】校正テーブル３５Ａを作成するときには、
基本的にはサーボがかかる状態、すなわちスイッチ３２
が図１のような接続状態にある。そこで、まず、メモリ
３５のうち、校正テーブル３５Ａとして確保されている
領域に記憶されている内容を消去する（ステップＳ１０
１）。

【００３８】つぎに、制御回路３１から所定の出力信号
Ｓ２をサーボ制御回路１５のサーボアンプに供給するこ
とにより、可動コイル１７、したがって、連結部材２７
に固定されたリニアスケール２０等を矢印Ｐ方向の末端
位置（図中、一番上に引き上げられた状態；最引き込み
位置）まで移動させておく（ステップＳ１０２）。な
お、出力信号Ｓ２のレベルに対して、連結部材２７に一
体的に固定されているリニアスケール２０は、比例的
（１次関数的）に矢印Ｐまたは矢印Ｑ方向に移動する。
アクチュエータ１６として使用しているボイスコイルモ
ータは、可動コイル１７に供給される電流に対して直線
的、いわゆるリニアに移動するモータだからである。

【００３９】つぎにリニアスケール２０を等速で降下さ
せる信号Ｓ２をサーボ制御回路１５に供給する（ステッ
プＳ１０３）。

【００４０】このとき、制御回路３１に接続された発光
素子３７がサーボ引き込み位置において点灯する。すな
わち、サーボ引き込み範囲Ｗ（図３参照）のうち、合焦
位置（原点Ｏの位置、以下、サーボ引き込み点Ｏともい
う）においてのみ、発光素子３７が点灯するようにして
おくことにより、サーボ引き込み点Ｏを視認することが
できる。なお、サーボ引き込み点Ｏにおいて、上記発光
素子３７が点灯するようにするためには、制御回路３１
によりフォーカスエラー信号Ｅの微係数変化を検出し
て、サーボ引き込み範囲Ｗを特定し、そのサーボ引き込
み範囲Ｗのうち、フォーカスエラー信号Ｅがゼロ値（実
際には、少し幅をもたせておく）になる点で点灯するよ
うに構成すればよい。

【００４１】対物レンズ５の位置がサーボ引き込み範囲
Ｗに入ったことを検出した時に、制御回路３１から出力
される信号Ｓ２の値をゼロ値にする（ステップＳ１０
４）。

【００４２】次に、図示しないキーボード等を利用して
被測定面６の変位範囲をカバーする検出範囲Ｄと検出の
分解能Ｒとを制御回路３１に入力する（ステップＳ１０
５）。例えば、検出範囲ＤをＤ＝±１μｍとし、分解能
ＲをＲ＝０．０２μｍとする。この検出範囲Ｄと分解能
Ｒとから、検出範囲Ｄ内のデータ数ＮがＮ＝１００にな
ることが分かる。

【００４３】つぎに検出ヘッド２５を矢印Ｐ，Ｑ方向に
移動し、リニアスケール２０の原点３１の位置に固定す
る（ステップＳ１０６）。原点３１の位置は、目盛検出
信号Ｘにより特定することができる。

【００４４】このとき、検出ヘッド２５を原点３１から
上下方向に移動させることにより、目盛読み取り信号Ｘ
により、上記検出範囲Ｄをカバーできる範囲となってい
るかどうかが分かる（ステップＳ１０７）。上記検出範
囲Ｄをカバーできない範囲外となっているときには、被
測定面６または図１に示す変位検出装置全体をカバーで
きる範囲まで移動させればよい。なお、本実施例によれ
ば、±２０μｍ程度の検出範囲までカバーできる。

【００４５】次に、制御信号Ｓ３によりスイッチ３２の
共通接点３２ａを固定接点３２ｂから固定接点３２ｃ側
に切り換えてサーボ動作を解除する（ステップＳ１０
８）。この時、検出ヘッド２５によって読み取られる目
盛読み取り信号Ｘがリニアスケール２０の原点３１の位
置を示す値になるような制御信号Ｓ２をサーボ制御回路
１５に供給しておく。

【００４６】この状態から、対物レンズ５が検出範囲Ｄ
＝±１μｍの間、分解能Ｒ＝０．０２μｍのステップで
移動するように制御信号Ｓ２を変化させるとともに（そ
の際、０．０２μｍステップの移動は、目盛読み取り信
号Ｘを読み取ることにより正確に設定することができ
る）、フォーカスエラー信号Ｅの値をＡ／Ｄ変換してデ
ィジタルデータ（図６Ａ中、電圧−Ｖ５０ボルトから＋
Ｖ５０ボルトをＡ／Ｄ変換したディジタルデータ）を得
る。さらにそのディジタルデータ（フォーカスエラー信
号Ｅの電圧値）が得られたときの目盛読み取り信号Ｘ
（この目盛読み取り信号Ｘを校正データＹという）を上
記ディジタルデータに対応して記憶しておくことにより
校正テーブル３５Ａが作成される。

【００４７】結局、校正テーブル３５Ａは、図６Ｂに示
すように、フォーカスエラー信号Ｅの電圧値±Ｖ１〜Ｖ
５０に対して精度の比較的に高いリニアスケール２０で
校正された変位量（μｍ）を表す校正データＹがプロッ
トされたテーブルになる。

【００４８】実際に変位量を検出する際には、サーボを
切り、すなわち、スイッチ３２の共通接点３２ａを固定
接点３２ｃ側に接続しておき、フォーカスエラー信号Ｅ
の値がゼロＶ（ボルト）の地点で、連結部材２７をシャ
ーシに固定しておく。対物レンズ５も固定されることに
なる。

【００４９】このようにした状態において、被測定面６
の振動を原因として発生するフォーカスエラー信号Ｅの
電圧変化を制御回路３１によりリアルタイムにＡ／Ｄ変
換し、このＡ／Ｄ変換したディジタルデータにより校正
テーブル３５Ａ（図６Ｂ参照）を参照することにより、
精度の高いリニアスケール２０によって校正された変位
量をリアルタイムに検出することができる。なお、Ａ／
Ｄ変換してから校正テーブル３５Ａを参照するまでの時
間は１００μＳ程度の時間で可能であるので、本実施例
によれば、被測定面６の振動周波数が１０ｋＨｚ程度ま
での範囲であれば、高精度に被測定面６の変位量を検出
することができる。

【００５０】したがって、図１例の変位検出装置によれ
ば、サーボをかけた状態で、変位量±５ｍｍかつ検出可
能周波数１００Ｈｚ、またサーボをかけない状態で、変
位量±１０μｍかつ検出可能周波数１０ｋＨｚまで、い
ずれの状態においても分解能数ｎｍ（≒０．００５μ
ｍ）の精度で検出することが可能になる。

【００５１】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採り得ること
はもちろんである。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明変位検出装
置によれば、制御回路に、非接触センサの出力信号がリ
ニアスケールの目盛を読み取る目盛読み取り手段の出力
信号により校正された校正テーブルが配されている。こ
のため、被測定面の変位を検出（測定）する際に、サー
ボをかけずに、非接触センサの出力信号に対応する校正
された出力信号を上記校正テーブルから出力するように
することで、高精度、かつ高速に被測定面の変位を検出
することができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による変位検出装置の一実施例の構成を
示す線図である。

【図２】図１例における検出光学系を構成する４分割ダ
イオードの作用説明に供される線図である。

【図３】フォーカスエラー信号の特性図である。

【図４】被測定面の反射率とフォーカスエラー信号の波
形との対応関係の説明に供される線図である。

【図５】校正テーブルを作成する際の説明に供されるフ
ローチャートである。

【図６】Ａは、校正テーブルの作成過程の説明に供され
る線図である。 Ｂは、校正テーブルの例を示す線図である。

【符号の説明】

１ 検出光学系 ５ 対物レンズ ８ 非接触センサ １９ 目盛 ２０ リニアスケール ２５ 検出ヘッド ２６ 信号処理回路 ２８ 目盛読み取り手段 ３１ 制御回路 ３５Ａ 校正テーブル Ｅ フォーカスエラー信号 Ｘ 目盛読み取り信号 Ｙ 校正データ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成３年１０月１５日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】制御回路３１は、マイクロコンピュータで
あり、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ（図中、メモ
リ３５として示している）、入出力インタフェースとし
てのＡ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器等を有している。メモ
リ３５には、校正テーブル３５Ａが形成されている。こ
の校正テーブル３５Ａの作成方法については、後に詳し
く説明する。サーボが切られているとき、すなわち、ス
イッチ３２の共通接点３２ａが固定接点３２ｃ側に接続
されているときに、フォーカスエラー信号Ｅが制御回路
３１に供給されたとき、制御回路３１は、校正テーブル
３５Ａを参照して、フォーカスエラー信号Ｅに対応する
校正された出力信号（以下、校正データという）Ｙを出
力する。校正データＹは、出力端子３６を通じて図示し
ない表示器に供給される。なお、制御回路３１からは、
表示器に対応した信号に変換されたメモリ読取り信号Ｘ
も出力される。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定面の変位を検出する非接触センサ
   と、 この非接触センサと連結部材により一体的に取り付けら
   れたリニアスケールの目盛を読み取る目盛読み取り手段
   と、 上記非接触センサと上記目盛読み取り手段の出力信号が
   供給される制御回路とを備え、 上記制御回路には、上記非接触センサの出力信号が上記
   目盛読み取り手段の出力信号により校正された校正テー
   ブルが配されたことを特徴とする変位検出装置。