JP2009258022A - 変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源102から射出された射出光Lは光調整部材130Aに入射され、光調整部材130Aにより射出光Lの解像度が調整される。光調整部材130Aでは、射出光Lの近軸光線が遮光されて、射出光Lの解像度が低下するように調整される。解像度が調整された射出光Lは、第1の対物レンズ114により被測定面TGに集光される。被測定面TGにはビーム径が広がった状態の射出光Lが集光される。被測定面TGに集光された射出光Lは被測定面TGで反射され、反射された反射光Lrが受光素子120によって受光される。これにより、非接触センサ100Aの分解能を低下させることができ、被測定面TGの面粗さの影響による測定誤差を緩和させて、より正確に被測定面TGの変位を検出することができる。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
<変位検出装置の構成>
図1は、本発明の一実施形態に係る変位検出装置10Aのブロック構成を示す図である。図1に示すように、変位検出装置10Aは、非接触センサ100Aと、制御部200と、サーボ制御部210と、アクチュエータ300と、変位量測定部400と、信号処理部404と、表示部140とを備える。なお、図1では非接触センサ100Aの構成を便宜上簡略化して図示している。
SFE=(A+C)−(B+D) (1)
次に、従来の変位検出装置を用いて被測定面TGを測定した場合と本発明に係る変位検出装置10Aを用いて被測定面TGを測定した場合の測定結果について説明する。以下の図6,7では、表示部140の画面に表示された測定結果の一例を示し、縦軸が面粗度であり、横軸が被測定面TGの測定位置である。また図6,7では被測定面TGの基準位置(0mm)から所定方向に向かって射出光Lを走査していくものとする。
次に、上述した光調整部材130Aとは異なる他の光調整部材130Bの構成例について説明する。図8(A)は光調整部材130Bの構成を示す平面図であり、図8(B)はそのB−B線に沿った断面図であり、図8(C)は光調整部材130Bの機能例を説明するための図である。
以下、本発明に係る第3の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態において光調整部材130Cは、被測定物からの回折光の進入を阻止する部材として機能する点において上記第1および第2の実施の形態と異なる。なお、上述した第1の実施の形態で説明した変位検出装置10A,非接触センサ100Aと共通する構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
sinθ1±sinθ2=mλ/d (2)
ここで、dは格子間隔(格子周期)であり、mは次数(回折次数)であり、λは波長である。
次に、上記第3の実施の形態で説明した光調整部材130Cの他の構成例について説明する。図11(A)は光調整部材130Dの構成を示す平面図であり、図11(B)はそのC−C線に沿った断面図である。図12(A)および図12(B)は光調整部材130Dの機能例を説明するための図である。
次に、上記第3の実施の形態で説明した光調整部材130Cの他の構成例について説明する。図13(A)は光調整部材130Eの構成を示す平面図であり、図13(B)はそのD−D線に沿った断面図である。図14(A)および図14(B)は光調整部材130Eの機能例を説明するための図である。なお、上記図12(A),(B)と共通する部分については説明を省略する。
以下、本発明に係る第6の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態に係る光調整部材130Fが、解像度を低下させる機能や散乱光の遮光機能を有する複数の開口部を備えている点において上記第1〜第5の実施の形態と異なっている。なお、上述した第1〜5の実施の形態で説明した変位検出装置10A、非接触センサ100Aと共通する構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
Claims (6)
- 光源と、当該光源から射出された射出光を被測定面に集光する対物レンズと、前記対物レンズにより前記被測定面に集光されて当該被測定面で反射された反射光を用いて前記対物レンズの焦点距離に基づいた変位情報を検出する受光素子とを有する非接触センサと、
前記受光素子により検出された前記変位情報に基づいて前記対物レンズの前記焦点距離を調整する制御部と、
前記対物レンズに連結部材を介して取り付けられたリニアスケールを有し、前記制御部により前記対物レンズの前記焦点距離が調整されたときの前記リニアスケールの変位量を測定する変位量測定部とを備え、
前記光源と前記対物レンズとの間および前記対物レンズと前記受光素子との間の少なくとも一方には、前記射出光および/または前記反射光を通過させる開口部と、前記射出光および/または前記反射光のうち特定の光を遮光する遮光部とを有する光調整部材が配置された変位検出装置。 - 前記光調整部材は、
前記光源と前記対物レンズとの間に配置され、前記被測定面に集光される前記射出光の解像度を調整する
請求項1に記載の変位検出装置。 - 前記遮光部は、前記射出光の光軸上に設けられ、前記射出光のうち近軸光線を含む第1の射出光を遮光し、
前記開口部は、前記第1の射出光周辺の第2の射出光を前記対物レンズ側に通過させる
請求項2に記載の変位検出装置。 - 前記光調整部材は、
前記対物レンズと前記受光素子との間に配置され、前記被測定面で反射する反射光の入射角を規制する
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記遮光部は、前記反射光のうち光軸に対して第1の入射角を有する第1の反射光を規制し、
前記開口部は、前記反射光のうち前記第1の入射角よりも前記光軸との角度が小さい第2の入射角を有する第2の反射光を前記受光素子側に通過させる
請求項4に記載の変位検出装置。 - 前記被測定面は回折格子の凹凸パターンにより構成され、
前記回折格子に入射する入射角度をθ1,前記回折格子で回折する回折角度をθ2とし、前記回折格子の格子間隔をdとし、回折次数をmとし、波長をλとしたとき、
sinθ1±sinθ2=mλ/d
の関係を満たし、
前記光調整部材の前記開口部の開口径は、前記入射角度θ1および回折角度θ2が|θ1|≠|θ2|となるように設定される
請求項5に記載の変位検出装置。
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