CN104567694B - 基于cis的光电式位移传感器 - Google Patents

基于cis的光电式位移传感器 Download PDF

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本发明提供一种基于CIS的光电式位移传感器,包括外保护筒、传感器芯体、位移滑杆、CIS接触式图像传感器、测量控制电路板和电缆,传感器芯体、CIS接触式图像传感器和测量控制电路板均封装于外保护筒内,传感器芯体中设置的安装槽与滑道之间留有沿传感器芯体长度方向设置的狭缝且安装槽与滑道通过狭缝相通,位移滑杆的一部分在滑道中滑动且位移滑杆另外的部分从滑道中伸出至外保护筒外,设置于安装槽内的CIS接触式图像传感器通过狭缝接收位移滑杆的反射光并转换为电压信号输出至测量控制电路板并通过电缆引出至外保护筒外。本发明提供的光电式位移传感器结构简洁,精度高,工作可靠性和稳定性高,适于工程监测中中小量程位移监测的推广应用。

Description

基于CIS的光电式位移传感器
技术领域
本发明涉及位移传感器技术领域,特别是一种基于接触式图像传感器CIS的光电式位移传感器。
背景技术
位移传感器是工业和民用工程结构中工程安全监测以及工程自动化监测监控系统的重要监测器件之一,其广泛应用于监测水工建筑物、隧道、桥梁、铁路、公路等工程的安全性和稳定性,涉及例如岩土工程结构的位移、变形位移监测及数据采集等。目前广泛应用的位移传感器有电位器式位移传感器、超声波位移传感器、磁致伸缩位移传感器、振弦式位移传感器以及光电式位移传感器等。
其中,电位器式位移传感器其基本原理是通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或某种函数关系的电阻或电压输出,滑动电阻式位移传感器是一种应用较早的位移传感器,其基本原理是将被测物体位置的变化(变形)转换成与之有对应关系的电阻值的变化,实际上就是利用一个滑动变阻器作为分压器使用,以相对电压来测量计算位移变化,后来也有用多圈电位器来感应位移,即多圈电位器式位移传感器,电位器式位移传感器结构简单,输出信号大,使用方便,价格低廉,但是由于其存在机械触点,在振动应用环境中例如道路、桥梁等应用环境中,长期振动会导致触点接触不良,且电位器式位移传感器很难做到密封,限制了其在潮湿环境中的应用。超声波位移传感器是利用超声波遇到障碍物后反射,接收到反射脉冲后根据声速计算其与障碍物之间的距离,超声波位移传感器常用于物位监测系统,但是其测量精度不高,误差较大,不能应用于对测量精度要求高的位移测量。磁致伸缩位移传感器是利用磁致伸缩原理通过两个不同磁场相交产生一个应变脉冲信号来准确地测量位置,其测量元件是一根波导管,波导管内的敏感元件由特殊的磁致伸缩材料制成的。磁致伸缩位移传感器可应用在极恶劣的工业环境中,不易受油渍、溶液、尘埃或其它污染的影响,并且能应用在高温、高压和高振荡的环境中,但是磁致伸缩位移传感器对电源的要求非常高,必须保证电压非常稳定的电源输入,否则位移测量的输出结果不正常,这使得其在工程现场的应用受到限制。振弦式位移传感器是以拉紧的金属弦作为敏感元件将被测物理量的变化转换成与之有对应关系的频率的变化,振弦式位移传感器虽然具有结构简洁、可靠耐用的特点,但是在振动环境中会导致其抗干扰性能差,这是振弦式传感器(包括振弦式位移传感器)原理本身不可克服的缺点。光电式位移传感器,常用的激光光电式位移传感器其基本原理是通过激光发射器镜头将激光射向被测物体表面,经被测物体反射的激光通过接收器镜头(例如相机镜头)接收,根据角度及已知的激光发射器镜头和接收器镜头之间的距离计算出其与被测物体之间的距离,激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化,主要应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量,但是其只适合于某些特定的场合应用,且由于其激光系统需求高精密的透镜系统和复杂的信号处理电路,导致其价格昂贵,不适用于工程现场中大量应用。
发明内容
本发明针对现有的电位器式位移传感器不适用于振动及潮湿等恶劣环境中应用的问题,及超声波位移传感器、磁致伸缩位移传感器、振弦式位移传感器和激光光电式位移传感器抗干扰能力差,精度低或价格昂贵的问题,提供一种新型的CIS光电式位移传感器,具有价格低廉、结构简洁、性能更加稳定可靠,高分辨率、高准确度等优点,不但可以大大节约传感器成本,并且非常适用于大量工程检测应用。
本发明的技术方案如下:
一种基于CIS的光电式位移传感器,其特征在于,包括外保护筒、传感器芯体、位移滑杆、CIS接触式图像传感器、测量控制电路板和电缆,所述传感器芯体、CIS接触式图像传感器和测量控制电路板均封装于外保护筒内,所述传感器芯体的一侧沿长度方向开设滑道且相对应的另一侧沿长度方向设置安装槽,所述安装槽与滑道之间留有沿传感器芯体长度方向设置的狭缝且安装槽与滑道通过所述狭缝相通,所述位移滑杆的一部分在所述滑道中滑动且位移滑杆另外的部分从滑道中伸出至外保护筒外,所述CIS接触式图像传感器和测量控制电路板相互连接且均固定设置于传感器芯体的安装槽内,所述CIS接触式图像传感器通过狭缝接收位移滑杆的反射光并转换为电压信号输出至测量控制电路板,所述测量控制电路板与电缆连接,所述电缆引出至外保护筒外。
所述CIS接触式图像传感器包括线阵CMOS图像传感器、LED光源和透镜,所述线阵CMOS图像传感器设置于PCB基板上,所述透镜接收LED光源照射位移滑杆后的反射光并汇聚成像于线阵CMOS图像传感器上,所述线阵CMOS图像传感器将光信号转换为电压信号输出至测量控制电路板。
所述测量控制电路板包括依次连接的高速图像采集电路、微控制器和通讯接口电路,所述线阵CMOS图像传感器分别与高速图像采集电路和微控制器相连接。
所述滑道为供位移滑杆沿传感器芯体长度方向自由滑动的圆孔,所述安装槽为凹槽。
所述测量控制电路板上还设置有输入输出接口,所述输入输出接口分别与通讯接口电路和电源电路相连接;和/或,所述高速图像采集电路为高速AD采集电路。
所述位移滑杆为不锈钢杆,所述位移滑杆在滑道中滑动部分的端头设置定位销,所述定位销自安装槽沿狭缝穿入并且随着位移滑杆的滑动所述定位销在狭缝内滑动,所述狭缝的长度小于安装槽的长度。
所述LED光源为条形LED光源阵列,所述透镜为平行排列的柱状透镜。
所述外保护筒与传感器芯体的两端采用第一O型密封圈密封。
所述位移滑杆伸出部位与圆孔采用第二O型密封圈密封。
所述电缆采用防水接头引出。
本发明的技术效果如下:
本发明涉及的基于CIS的光电式位移传感器,包括外保护筒、传感器芯体、位移滑杆、CIS接触式图像传感器、测量控制电路板和电缆,传感器芯体的一侧沿长度方向开设滑道且相对应的另一侧沿长度方向设置安装槽,安装槽与滑道之间留有沿传感器芯体长度方向设置的狭缝且安装槽与滑道通过所述狭缝相通,位移滑杆的一部分在滑道中滑动且位移滑杆另外的部分从滑道中伸出至外保护筒外,CIS接触式图像传感器和测量控制电路板相互连接且均固定设置于传感器芯体的安装槽内,CIS接触式图像传感器接收位移滑杆的反射光并转换为电压信号输出至测量控制电路板,测量控制电路板与电缆连接,电缆引出至外保护筒外。该基于CIS的光电式位移传感器通过在传感器芯体中的一侧设置滑道和在滑道内可以沿传感器芯体长度方向自由移动的位移滑杆,以及传感器芯体的相应另一侧相对应设置的安装槽和安装槽内的CIS接触式图像传感器和测量控制电路板,安装槽与滑道通过狭缝相通,故CIS接触式图像传感器能够将自身内部光源通过狭缝照射位移滑杆以及能够通过狭缝接收光源照射位移滑杆后的反射光投影图像并在感光后将光信号转换为电压信号输出至测量控制电路板。CIS接触式图像传感器的光源照射在位移滑杆上时,位移滑杆的反射光由CIS接触式图像传感器感光吸收,导致CIS接触式图像传感器的像元被照亮而成为亮像元,而没有位移滑杆的地方,由于没有反射光照射而保持暗像元状态,测量控制电路板根据接收的信号得到图像中明暗分界线的位置即为位移滑杆的位置。由于采用CIS接触式图像传感器,CIS接触式图像传感器内通常是线阵CMOS图像传感器作为图像传感单元,价格低廉,成像对比度高,具有高分辨率和高准确度的优点,使得整个光电式位移传感器的构成更加简洁并且结构紧凑,提高了光电式位移传感器的工作可靠性和稳定性,避免了现有的激光光电式位移传感器整体价格昂贵、处理电路复杂,很难实现大量工程测量应用的问题。同时本发明的基于CIS的光电式位移传感器中的CIS接触式图像传感器(或者说是其内的线阵CMOS图像传感器)和测量控制电路板形成了进行CIS图像检测的独特结构使得基于CIS的光电式位移传感器自身构成了一个完整的测量控制单元,使得该基于CIS的光电式位移传感器除了具备测量功能外还具有监控功能,进一步提高了工程位移测量的准确性和可靠性,适用于智能化工程安全监测的应用推广需求。本发明提出的基于CIS的光电式位移传感器结构简洁、成本低廉、测量精度高、抗电磁干扰能力强、环境适应性强、具有高分辨率、精度不随量程的增加而改变,适合工程现场中中小量程位移监测的广泛应用。
本发明的基于CIS的光电式位移传感器通过设置位移滑杆为不锈钢杆,且位移滑杆在传感器芯体的滑道中的部分的端头设置定位销,定位销自安装槽沿狭缝穿入并且随着位移滑杆的滑动定位销在狭缝滑动,定位销的滑动范围为比安装槽短的狭缝,设置的定位销具有防滑脱功能,保证位移滑杆在滑道内自由滑动而又不至于滑脱,以进一步提高传感器工作的可靠性和稳定性;并且,外保护筒与传感器芯体的两端,以及位移滑杆伸出部位与圆孔(即滑道)均采用O型密封圈密封封装结构,且电缆采用防水接头引出,进一步提高光电式位移传感器的密封防水防潮性能,构成一个完全密封防水的光电式位移传感器,增强环境适应性。
本发明的基于CIS的光电式位移传感器设置的测量控制电路板包括依次连接的高速图像采集电路、微控制器和通讯接口电路,线阵CMOS图像传感器通过透镜接收LED光源照射位移滑杆后的反射光并转换为电压信号输出至高速图像采集电路,该高速图像采集电路进行信号采集后生成阴影图像输出至微控制器,微控制器根据阴影图像进行处理得到位移滑杆的位置坐标,位移滑杆的位置坐标可以进一步进行数据格式转换并输出。这种设置可以更精确地计算位移滑杆的位置坐标,以进一步实现工程变形监测的高精度要求。设置通讯接口电路和优选设置输入输出接口以便于将该基于CIS的光电式位移传感器的监测结果上传至上位计算机机或其它智能数据采集仪,以及对CIS光电式位移传感器进行工作方式配置和更优化的初始参数设置,或者将监测结果转换为模拟信号以便作为后续的现场采集系统的输入。
附图说明
图1a为本发明优选的基于CIS的光电式位移传感器的纵截面结构示意图;图1b和图1c分别为图1a的A-A和B-B的剖面图。
图2为本发明CIS接触式图像传感器的结构示意图。
图3为本发明测量控制电路板的工作原理结构图。
图中各标号列示如下:
1-传感器芯体;2-外保护筒;3-位移滑杆;4-CIS接触式图像传感器;5-测量控制电路板;6-电缆;7-第一O型密封圈;8-定位销;9-第二O型密封圈;10-线阵CMOS图像传感器;11-透镜;12-条形LED光源阵列;13-PCB基板;14-连接通孔;15-玻璃盖。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行说明。
本发明涉及一种基于CIS的光电式位移传感器,图1a为本发明优选的基于CIS的光电式位移传感器的纵截面结构示意图,该光电式位移传感器包括外保护筒2、传感器芯体1、位移滑杆3、CIS接触式图像传感器4、测量控制电路板5和电缆6,传感器芯体1、CIS接触式图像传感器4和测量控制电路板5均封装于外保护筒2内,传感器芯体1的一侧沿长度方向开设滑道且相对应的另一侧沿长度方向设置安装槽,该安装槽与滑道之间留有沿传感器芯体1长度方向设置的狭缝且安装槽与滑道通过该狭缝相通,位移滑杆3的一部分在该滑道中滑动且位移滑杆3另外的部分从滑道中伸出至外保护筒2外,CIS接触式图像传感器4和测量控制电路板5相互连接且均固定设置于传感器芯体1的安装槽内,CIS接触式图像传感器4通过狭缝接收位移滑杆3的反射光并转换为电压信号输出至测量控制电路板5,测量控制电路板5与电缆6连接,电缆6引出至外保护筒2外。该基于CIS的光电式位移传感器通过在传感器芯体1中的一侧设置滑道和在滑道内可以沿传感器芯体1长度方向自由移动的位移滑杆3,以及在传感器芯体1的相应另一侧相对应设置的安装槽和安装槽内设置的CIS接触式图像传感器4和测量控制电路板5,并且设置安装槽与滑道通过狭缝相通,这种结构设置使得CIS接触式图像传感器4能够将自身内部光源通过狭缝照射位移滑杆3,以及能够通过狭缝接收光源照射位移滑杆3后的反射光投影图像,并在感光后将光信号转换为电压信号输出至测量控制电路板5。CIS接触式图像传感器4的光源照射在位移滑杆3上时,位移滑杆3的反射光由CIS接触式图像传感器4感光吸收,导致CIS接触式图像传感器4的像元被照亮而成为亮像元,而没有位移滑杆3的地方,由于没有反射光照射而保持暗像元状态,测量控制电路板5根据接收的信号得到图像中明暗分界线(即亮像元和暗像元的分界线)的位置即为位移滑杆3的位置,从而可以精确地得出监测结果的数值。此外,测量控制电路板5与电缆6连接,监测结果数值可以通过电缆6引出至外保护筒2外,将测量控制电路板5实时采集和存储的监测结果数值上传至上位计算机(即监测中心)进行进一步的存储及处理。本发明提出的基于CIS的光电式位移传感器,电路和结构简洁、成本低廉、抗电磁干扰能力强,且具有测量精度高、准确度高,精度不随量程的增加而改变,密封防水防潮、抗恶劣环境的优点,工作可靠性和安全性高,非常适用于工程现场中小量程的工程变形或位移监测,并且非常适合于新一代工程测量和工程安全检测的智能化要求。
图1b和图1c分别为图1a本发明优选的基于CIS的光电式位移传感器的纵截面结构示意图的A-A和B-B的剖面图,如图1b所示,优选地,位移滑杆3可优选为表面光洁的不锈钢杆,以保证位移滑杆3在滑道中滑动时的可靠和稳定;位移滑杆3在滑道中滑动部分的端头可以设置定位销8,在安装设置时定位销8可以自安装槽沿狭缝穿入,并且随着位移滑杆3的滑动定位销8在狭缝内滑动,设置狭缝的长度小于安装槽的长度,故定位销8的滑动范围为比安装槽短的狭缝,定位销8具有防滑脱功能,可以保证位移滑杆3在滑道内自由滑动而又不至于滑脱,以进一步提高传感器工作的可靠性和稳定性;如图1b或图1c所示,滑道优选可以为供位移滑杆3沿传感器芯体1长度方向自由滑动的圆孔,安装槽优选可以为凹槽,如图1a所示,位移滑杆3伸出部位与圆孔可以采用两层第二O型密封圈9密封,且外保护筒2与传感器芯体1的两端可以采用两层第一O型密封圈7密封,构成一个完全密封防水的光电式位移传感器结构;此外,电缆6优选地可以采用防水接头引出(图1a、图1b和图1c中未示出),以实现密封防水处理及物理保护,进一步提高光电式位移传感器的密封防水防潮性能。
本发明提出的基于CIS的光电式位移传感器的CIS接触式图像传感器4为自身能够提供光源及接收位移滑杆3反射光感光成像的装置,可采用的优选结构如图2所示,包括线阵CMOS图像传感器10、LED光源(优选条形LED光源阵列12)和透镜11,线阵CMOS图像传感器10设置于PCB基板13上,PCB基板13通过连接通孔14实现与测量控制电路板5的连接;LED光源(即条形LED光源阵列12)透过玻璃盖15照射位移滑杆3后形成反射光,该反射光为漫反射光,该漫反射光透过玻璃盖15被透镜11接收并汇聚成像输出平行光,再传输至线阵CMOS图像传感器10转换为电压信号输出至测量控制电路板5,其中,透镜11优选平行排列的柱状透镜,可固定设置在透镜条带上。本发明采用线阵CMOS图像传感器10作为图像感光单元,价格低廉,易于集成,成像对比度高、分辨率高,使得CIS接触式图像传感器4的结构乃至整个光电式位移传感器的结构更加紧凑,提高了光电式位移传感器的工作可靠性和稳定性,同时避免了现有的激光光电式位移传感器整体价格昂贵、处理电路复杂、很难实现大量工程测量应用的问题。
图3为本发明测量控制电路板的工作原理结构图,如图3所示,本发明提出的基于CIS的光电式位移传感器的测量控制电路板5包括依次连接的高速图像采集电路、微控制器和通讯接口电路,其中,线阵CMOS图像传感器10分别与高速图像采集电路和微控制器相连接,线阵CMOS图像传感器10接收LED光源(优选条形LED光源阵列12)照射位移滑杆3后的反射光,并转换为电压信号输出至高速图像采集电路;微控制器分别与线阵CMOS图像传感器10、高速图像采集电路和通讯接口电路相连接,以实现监测信号的采集、转换、传输及存储等控制与处理。优选地,高速图像采集电路采用高速AD采集电路,将高速AD采集电路和微控制器焊接在测量控制电路板5上;通讯接口电路与微控制器相连接以控制实现数据格式转换等处理;测量控制电路板5上还可以设置有输入输出接口,输入输出接口分别与通讯接口电路和电源电路相连接,电源电路配置供电电源模块给整个光电式位移传感器供电,输入输出接口可以是数字通讯接口和/或模拟输出接口,数字通讯接口可采用RS-485接口,可以与上位计算机(即监测中心)进行数据通讯,将该光电式位移传感器的测量控制电路板5实时采集和存储的监测结果上传至上位计算机(即监测中心),以及对该光电式位移传感器进行工作方式配置和更优化的初始参数设置,设置模拟输出接口将数据以模拟信号输出,以作为后续的现场采集系统的输入,或者,以便于工程现场以各种工作方式组成自动化监测系统。
如图3所示的本发明测量控制电路板5的工作原理如下:在线阵CMOS图像传感器10接收LED光源(优选条形LED光源阵列12)照射位移滑杆3后的反射光后,微控制器控制驱动线阵CMOS图像传感器10感光生成光学图像,并转换为反映亮度的像元电压信号输出至高速AD采集电路,高速AD采集电路将接收的像元电压信号进行数值化处理并生成阴影图像(即亮像元与暗像元组成的图像)输出至微控制器,微控制器根据该阴影图像经一定的阴影识别法进行扫描分析计算,采用的阴影识别法是根据扫描图像中亮像元和暗像元分析识别图像中明暗分界线的位置,进而计算得到位移滑杆3的位移信息,并通过通讯接口电路进行数据格式转换等处理,再由输入输出接口将位移滑杆3的位移信息输出至上位计算机(即监测中心)或智能数据采集仪。特别说明的是,测量控制电路板5可直接购买已有的集成电路硬件设备,无需再设置软件程序,即可直接进行简单的数据处理并且输出位移滑杆3的位移信息。如图1a所示,由于本发明传感器芯体1具有沿其长度方向移动的位移滑杆3和与位移滑杆3相对应设置的CIS接触式图像传感器4,以及测量控制电路板5,当位移滑杆3沿传感器芯体1长度方向发生移动时,能够得到位移滑杆3的位置坐标,该位置坐标为相对坐标,将本次测量结果与前次该光电式位移传感器的测量结果进行计算处理,能够得到位移滑杆3的位移变化,进而实现工程测量或工程安全监测。本发明提出的基于CIS的光电式位移传感器,具有高精度和高准确度的优点,工作可靠性和稳定性高,适用于中小量程的工程变形或位移监测。
更优选地,测量控制电路板5还可以包括时钟电路、数据存储器和实时显示设备等组件中的一种或多种,实时时钟电路、数据存储器和实时显示设备分别同时与微控制器相连接,使得控制电路板具有采集数据的计算、存储、显示输出和通讯等功能。高速图像采集电路(即高速AD采集电路)、显示器、实时时钟电路、数据存储器和实时显示设备均为微控制器的外围电路,通过微控制器及其外围电路控制驱动线阵CMOS图像传感器、进行高速AD图像实时采集以及读取阴影图像,并根据阴影图像分析计算位移滑杆的位置坐标信息实时显示输出结果,具有工程现场实时采集、监测和显示功能,并可按预先配置的工作方式自动记录监测数据。实时时钟电路和数据存储器可以焊接设置在测量控制电路板5上,实时时钟电路和数据存储器可以对微控制器输出的数据进行实时的采集和存储。
应当指出,以上所述具体实施方式可以使本领域的技术人员更全面地理解本发明创造,但不以任何方式限制本发明创造。因此,尽管本说明书参照附图和实施例对本发明创造已进行了详细的说明,但是,本领域技术人员应当理解,仍然可以对本发明创造进行修改或者等同替换,总之,一切不脱离本发明创造的精神和范围的技术方案及其改进,其均应涵盖在本发明创造专利的保护范围当中。

Claims (10)

1.一种基于CIS的光电式位移传感器,其特征在于,包括外保护筒、传感器芯体、位移滑杆、CIS接触式图像传感器、测量控制电路板和电缆,所述传感器芯体、CIS接触式图像传感器和测量控制电路板均封装于外保护筒内,所述传感器芯体的一侧沿长度方向开设滑道且相对应的另一侧沿长度方向设置安装槽,所述安装槽与滑道之间留有沿传感器芯体长度方向设置的狭缝且安装槽与滑道通过所述狭缝相通,所述位移滑杆的一部分在所述滑道中滑动且位移滑杆另外的部分从滑道中伸出至外保护筒外,所述CIS接触式图像传感器和测量控制电路板相互连接且均固定设置于传感器芯体的安装槽内,所述CIS接触式图像传感器通过狭缝接收位移滑杆的反射光并转换为电压信号输出至测量控制电路板,所述测量控制电路板与电缆连接,所述电缆引出至外保护筒外。
2.根据权利要求1所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述CIS接触式图像传感器包括线阵CMOS图像传感器、LED光源和透镜,所述线阵CMOS图像传感器设置于PCB基板上,所述透镜接收LED光源照射位移滑杆后的反射光并汇聚成像于线阵CMOS图像传感器上,所述线阵CMOS图像传感器将光信号转换为电压信号输出至测量控制电路板。
3.根据权利要求2所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述测量控制电路板包括依次连接的高速图像采集电路、微控制器和通讯接口电路,所述线阵CMOS图像传感器分别与高速图像采集电路和微控制器相连接。
4.根据权利要求1至3之一所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述滑道为供位移滑杆沿传感器芯体长度方向自由滑动的圆孔,所述安装槽为凹槽。
5.根据权利要求3所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述测量控制电路板上还设置有输入输出接口,所述输入输出接口分别与通讯接口电路和电源电路相连接;和/或,所述高速图像采集电路为高速AD采集电路。
6.根据权利要求1至3之一所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述位移滑杆为不锈钢杆,所述位移滑杆在滑道中滑动部分的端头设置定位销,所述定位销自安装槽沿狭缝穿入并且随着位移滑杆的滑动所述定位销在狭缝内滑动,所述狭缝的长度小于安装槽的长度。
7.根据权利要求2所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述LED光源为条形LED光源阵列,所述透镜为平行排列的柱状透镜。
8.根据权利要求4所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述外保护筒与传感器芯体的两端采用第一O型密封圈密封。
9.根据权利要求4所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述位移滑杆伸出部位与圆孔采用第二O型密封圈密封。
10.根据权利要求1至3之一所述的光电式位移传感器,其特征在于,所述电缆采用防水接头引出。
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