JP2016017854A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源であるレーザ光源10から光ビーム11を測定物20の被測定面21に照射しながら光ビーム11を被測定面21上で主走査方向Dmに走査すると共に、主走査方向Dm及び被測定面21の法線方向Dnに直交する副走査方向Dsに光ビーム11と測定物20とを相対移動させて、被測定面21からの反射光13の傾斜分布を積分演算することにより被測定面21の表面形状を求める構成とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置の全体斜視図である。また、図2(a)は、本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置の上平面図であり、図2(b)は、正面図である。
本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置1は、光源であるレーザ光源10から光ビーム11を測定物20の被測定面21に照射しながら光ビーム11を被測定面21上で主走査方向Dmに走査すると共に、主走査方向Dm及び被測定面21の法線方向Dnに直交する副走査方向Dsに光ビーム11と測定物20とを相対移動させて、被測定面21からの反射光11を積分演算することにより被測定面21の表面形状を求める形状測定装置である。
レーザ光源10から照射された光ビーム11は、図1、図2(a)、(b)に示すように、光軸L1に沿って進む。第1のポリゴンミラー30により、光ビーム11は偏向され、光軸L2を中心にして所定の走査角(±Φ)で偏向される。光軸L1と光軸L2は、所定の角度で交差する。本実施の形態では、90°で交差するが、交差角はこれに限られず、例えば60°等の任意の角度に設定することができる。
本実施の形態では、光源としてレーザ光源10を使用する。レーザ光源としては、半導体レーザ、固体レーザ、ガスレーザ等の種々のレーザを使用することができる。レーザ光源10は、光強度分布がガウシアンであり、連続発振可能なものを使用する。レーザ波長は種々のものが使用できるが、本実施の形態では、緑色レーザ(532nm)を用いた。
また、レーザ光源10は、図1、図2(a)に示すように、出射後にコリメートレンズ15により、平行ビーム(コリメート光)とされる。また、半導体レーザの場合は、コリメートレンズ15以外にビーム整形のためのアナモルフィックプリズム、ビームエキスパンダ等のビーム整形光学系を配置してもよい。
本実施の形態に係る形状測定装置1が測定の対象とするのは、半導体ウェハ、ストレージ用ディスク基板、HDDに使用されるガラスディスク基板、アルミディスク基板、光ディスク基板用原盤等が挙げられる。半導体ウェハとしては、Si基板、SiC基板、SOI、サファイア基板、GaN基板等が挙げられる。また、次世代半導体として、SiC、SOIウェハ等が挙げられる。測定物20は、上記の半導体ウェハ等が一定の基板厚さにスライスされた状態で、後述する移動ステージ上に載置される。
第1のビーム偏向手段としては、ポリゴンミラースキャナ、一定角度でミラーを往復運動させるガルバノミラースキャナ、レゾナントスキャナ、MEMSミラー等が挙げられるが、本実施の形態では、等速回転運動するポリゴンミラーを使用する。第1のポリゴンミラー30は、例えば、6面のポリゴンミラーを使用し、モータにより所定方向に所定の回転速度(rpm)で回転する。
第1のテレセントリックfθ光学系40は、テレセントリックなfθレンズである。fθレンズは、像高をY、レンズの焦点距離をf、レンズへの入射角度をθとすると、Y=fθで表されるレンズである。これにより、ポリゴンミラーやカルバノミラーなどの等速回転運動によって走査されたレーザビームは、電気的な補正をかけることなく、焦点平面上(被測定面21上)を等速直線運動で動くスポットになる。
本実施の形態では、図1、図2(b)に示すように、第1の折り返しミラー50により、第1のテレセントリックfθ光学系40から出射した光ビーム11を反射させて被測定面21上に所定の入射角φで照射する。第1の折り返しミラー50は、長尺状の平面ミラーである。
図1、図2(a)、(b)に示すように、第2のポリゴンミラー130、第2のテレセントリックfθ光学系140、及び第2の折り返しミラー150は、副走査方向Dsの方向ベクトルNsで規定される面Msに対して、それぞれ、第1のポリゴンミラー30、第1のテレセントリックfθ光学系40、及び第1の折り返しミラー50に対称な位置に配置されている。
被測定面21で反射した反射光(戻り光)12は第2のテレセントリックfθ光学系140で平行光とされる。集光レンズ190は、この平行光を集光してPSD200上に光ビームスポットを集光する。なお、集光レンズ190は、コリメートレンズ15と等価なレンズを使用することができる。
ビーム検出手段は、PSD(光位置センサ:Position Sensitive Detector)、あるいはCMOS、NMOSを使用できるが、CMOS、NMOSの場合は、位置検出にデジタル処理が必要になるので、PSDがより好ましい。本実施の形態では、PSD200を使用する。PSDを使う場合、検出器上でのビームの位置に応じて、被測定面21上の傾斜角θが計算され、後述する式により、変位が計算される。
移動ステージ300は、図2(b)に示すように、測定物20を載置した状態で、被測定面21に照射される光ビーム11と副走査方向Dsに対して相対移動させるものである。移動ステージ300は、ベース400に対して副走査方向Dsに移動可能とされ、一定速度で移動、または、第1のポリゴンミラー30等と同期して移動可能である。移動ステージ300は、例えば、スライドガイド、リニアボールガイド、クロスローラガイド等の直動ガイドを備え、モータ等によるボールねじ駆動等により、測定物20を副走査方向に所定のタイミングで、又は連続的に移動制御するものである。
上記示したレーザ光源10、測定物20、第1のポリゴンミラー30、第1のテレセントリックfθ光学系40、第1の折り返しミラー50、第2のポリゴンミラー130、第2のテレセントリックfθ光学系140、第2の折り返しミラー150、集光レンズ190、PSD200、移動ステージ300等のすべての部材は、図2(b)で示すベース400により支持され、上記示した所定の光路、所定の光学配置となるように支持される。
図2(a)に示す制御部500により、第1のポリゴンミラー30、第2のポリゴンミラー130、移動ステージ300が同期して駆動され、レーザ光源10から出射されて被測定面21に照射、反射した光ビーム11の光梃子による位置変動をPSD200で検出することにより、被測定面21の表面形状を求める。
図3(a)は、図1においてA方向から見た面Msであり、光ビーム11の面Msへの投影ベクトルを示す。被測定面21が平坦であれば、被測定面21上で反射される光ビーム11は、面Ms上においてZ方向に一致するが、被測定面21が平坦でなく傾きθを有している場合は、入射角度から2θだけずれて反射された光ビーム12となる。
である。ここでθ(x)は、被測定面21上の主走査方向の座標xにおける被測定面21の傾斜角である。傾斜分布はθ(x)を指す。
被測定面21が起伏の少ない滑らかな面であれば、θ≪1とできるので、このとき、
である。従って、θ(x)の積分
を実行すれば、光束走査方向の面形状を得ることができる。
を数値的に実行することにより、被測定面からの反射光の傾斜分布を積分演算することにより被測定面21の表面形状が得られる。
レーザ光源10として、緑色レーザ(532nm)を用いた。ビーム整形には、ビームエキスパンダを用い、ビーム径10mmの平行ビームに整形した。第1のポリゴンミラー30、及び第2のポリゴンミラー130には、6面のポリゴンミラーを使用し、2000rpmで回転させた。光ビーム11は、上から見た第1のテレセントリックfθ光学系40の中心軸から90°の角度で第1のポリゴンミラー30に入射させた。第1のテレセントリックfθ光学系40から出射した光ビーム11は、第1の折り返しミラー50により、45°の角度で下方に折り返し、焦点近傍に被測定面21が来るように、測定物20を配置し、光ビーム11は、被測定面21上で約20ミクロンに絞られ、主走査方向Dmには90°で入射し、副走査方向には45°で入射させた。光ビーム11は、スキャン幅200mmを毎秒200往復、すなわち、200Hzでスキャンさせた。測定物20には、直径200mmのSiウェハを使用し、自動ステージで、4mm/sの速度で副走査方向Dsに移動させた。このように光ビーム11をスキャンさせ、測定物20を移動させ、直径200mmのSiウェハの全面を50秒で測定できた。Siウェハからの直接反射光は、スキャニング光学系を構成する各光学要素をスキャニング光学系を通る時とは逆の順序で辿っていく。すなわち、最初に第2の折り返しミラー150で第2のテレセントリックfθ光学系140の方向に折り曲げられ、第2のテレセントリックfθ光学系140を通り、概略平行ビームとなって、第2のポリゴンミラー130により、スキャニング光学系のレーザ光源10と共役な位置に配置されたPSD200に導く。被測定面21の主走査方向Dmに対する傾斜角が発生すると、PSD200上で、光ビームスポット13が主走査方向に振れ、振れ量を検出することにより、傾斜角が計算できる。第2のポリゴンミラー130は、スキャニング光学系と検出光学系では、逆向きに回転し、しかも、回転位置が、同じ位置になるように同期して回転させる。その結果、直径200mmのSiウェハの全面を50秒で測定できた。以下に、主要な仕様を列挙する。
レーザ波長 532nm
レーザ光源出射パワー 20mW
スキャニング ポリゴンミラー ミラー面数:6枚 回転速度:2000rpm、スキャニング角度:28°、入射ビーム径:10mm
テレセントリックfθ光学系 レンズ構成:5枚の球面レンズ、焦点距離f:287mm、ビーム径:20μm
校正 ミラー面への照射ビームのCCDカメラによる観察
測定物 Siウェハ(直径200mm)
信号の評価 オシロスコープにより、PSD上でのスポットの偏向を観察
本発明の第2の実施の形態に係る形状測定装置1は、第1の実施の形態に係る形状測定装置1において、偏向手段であるポリゴンミラーをガルバノミラーとして構成するものであり、その他の構成は、第1の実施の形態と同様である。
第1のビーム偏向手段としては、ポリゴンミラースキャナ、一定角度でミラーを往復運動させるガルバノミラースキャナ、レゾナントスキャナ、MEMSミラー等が挙げられるが、本実施の形態では、所定の角度範囲を往復回転運動する第1のガルバノミラー35を使用する。第1のガルバノミラー35は、例えば、片面ミラーを使用し、モータ等の回転アクチュエータにより角度範囲(±Φ)を所定の周期で往復運動する。
図4、図5(a)、(b)に示すように、第2のガルバノミラー135、第2のテレセントリックfθ光学系140、及び第2の折り返しミラー150は、副走査方向Dsの方向ベクトルNsで規定される面Msに対して、それぞれ、第1のガルバノミラー35、第1のテレセントリックfθ光学系40、及び第1の折り返しミラー50に対称な位置に配置されている。
実施例2において、ポリゴンミラーに代わり、ガルバノミラーを使用した。ポリゴンミラーの場合は、ミラーが一方向に絶え間なく連続して回転するために、スキャンが絶え間なく起こり、ステージを連続的に移動しても、データの取得も連続的に取得できる。ガルバノミラーの場合は、往復運動するために、スキャンが線形でなくなる領域がある。線形である領域のみをスキャンとして採用するために、あらかじめ、往復運動のどの時間帯を測定に使用するかを決めておく。ガルバノミラースキャナには、ファンクションジェネレータから100Hzの三角波が入力され、それに応じて、ガルバノミラーが往復運動する。一方、スキャニングが非線形の時間帯に、ステージを20μm移動させ、移動が終了した時点から線形なスキャニングの時間帯になるようにタイミングを調整する。したがって、100Hzの三角波入力に対して、200スキャン/sでスキャンした。その結果、直径200mmのウェハを50秒間で検査することができた。ガルバノミラースキャナのポリゴンミラーに対する利点は、ミラーが一面しかないので、ミラー面が多数あるポリゴンミラーにみられるような面倒れの影響がなく、副走査方向の測定点のばらつきがなくなるメリットがある。
本発明の第3の実施の形態に係る形状測定装置1は、第1の実施の形態に係る形状測定装置1において、第2のポリゴンミラー130を省略した構成としている。なお、第2の実施の形態に係る形状測定装置1における第2のガルバノミラー135を省略した構成とすることもできる。
レーザ波長 532nm
レーザ光源出射パワー 20mW
スキャニング ポリゴンミラー ミラー面数:6枚 回転速度:2000rpm、スキャニング角度:28°、入射ビーム径:10mm
テレセントリックfθ光学系 レンズ構成:5枚の球面レンズ、焦点距離f:287mm、ビーム径:20μm
集光レンズ180のN.A.=sin(28°)=0.47
集光レンズ180の焦点距離F:20mm
本発明の第4の実施の形態に係る形状測定装置1は、第1から第3の実施の形態に係る形状測定装置1において、第1の折り返しミラー50及び第2の折り返しミラー150を省略した構成である。
本発明の第5の実施の形態に係る形状測定装置1は、被測定面21の反射光側に、被測定面21の裏面22で反射した光ビーム14の透過を阻害する遮蔽手段として、少なくともレーザ光源10のレーザ波長の透過率が小さい遮光板170を有して構成されている。
本発明の実施の形態によれば、次のような効果を有する。
(1)本発明の実施の形態に係る形状測定装置は、テレセントリックfθ光学系を使用しているので、被測定面21に対して、主走査方向Dmに常に垂直に光ビーム11が照射される。これにより、第1の折り返しミラー50以降の光学系を対称な位置に配置する構成とすることができる。
(2)被測定面21に照射される光ビーム11は、被測定面21の法線方向Dnに対して傾斜して照射される。これにより、例えばSiCのような透明体を測定する場合でも、裏面反射光による影響を軽減して、被測定面21の形状測定を行なうことができる。また、遮光板170により、裏面22で反射した光ビーム14の一部を容易にカットすることができ、これにより、裏面反射光による影響を受けずに、または、影響を軽減して、被測定面21の形状測定を行なうことができる。
(3)本発明の実施の形態に係る形状測定装置は、主走査方向Dmに光ビーム11を走査させながら、この光ビーム11と測定物20とを副走査方向Dsに相対移動させる構成とされているので、被測定面21をインライン、高速、非接触で形状測定を行なうことができる。また、主走査方向Dmのスキャン幅を増加させることで、大口径化の要求に対応することができる。
10…レーザ光源
11、12…光ビーム
13…光ビームスポット
15…コリメートレンズ
20…測定物
21…被測定面
30…第1のポリゴンミラー
35…第1のガルバノミラー
40…第1のテレセントリックfθ光学系
41…ビーム位置センサ
50…第1の折り返しミラー
130…第2のポリゴンミラー
135…第2のガルバノミラー
140…第2のテレセントリックfθ光学系
141…ビーム位置センサ
150…第2の折り返しミラー
170…遮光板
180…集光レンズ
190…集光レンズ
200…PSD
300…移動ステージ
400…ベース
Claims (5)
- 光源から光ビームを測定物の被測定面に照射しながら前記光ビームを前記被測定面上で主走査方向に走査すると共に、前記主走査方向及び前記被測定面の法線方向に直交する副走査方向に前記光ビームと前記測定物とを相対移動させて、前記被測定面からの反射光の傾斜分布を積分演算することにより前記被測定面の表面形状を求める形状測定装置であって、
前記光ビームを前記主走査方向に偏向する第1のビーム偏向手段と、
前記第1のビーム偏向手段で偏向された光ビームが一方側から入射され、偏向された前記光ビームが他方側から被測定面に向かって照射される第1のテレセントリックfθ光学系と、
前記副走査方向の方向ベクトルで規定される面に対して、前記第1のテレセントリックfθ光学系に対称な位置に配置される前記第1のテレセントリックfθ光学系と等価な第2のテレセントリックfθ光学系と、
前記被測定面で反射された前記光ビームのスポット位置を検出するビーム検出手段と、を有し、
前記被測定面に照射される前記光ビームは、前記被測定面の法線に対して傾斜して照射されることを特徴とする形状測定装置。 - 前記第2のテレセントリックfθ光学系と前記ビーム検出手段との間に前記第1のビーム偏向手段と等価な第2のビーム偏向手段を配置し、前記第2のビーム偏向手段の反射点は前記第1のビーム偏向手段の反射点と共役な位置とされていることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記第2のテレセントリックfθ光学系と前記ビーム検出手段との間に集光手段を配置し、前記第2のテレセントリックfθ光学系の像側の開口数と前記集光手段の物側の開口数が等しくなるように前記集光手段が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記第1のビーム偏向手段、及び前記第2のビーム偏向手段は、ポリゴンミラー又はガルバノミラーであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記被測定面の反射光側に、前記被測定面の裏面で反射した光ビームの透過を阻害する遮蔽手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014140926A JP2016017854A (ja) | 2014-07-08 | 2014-07-08 | 形状測定装置 |
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JP2014140926A JP2016017854A (ja) | 2014-07-08 | 2014-07-08 | 形状測定装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115839670A (zh) * | 2022-11-22 | 2023-03-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于多维度背光成像的大型高速回转装备转子球面轮廓测量装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03180708A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-06 | Nikon Corp | 表面形状測定装置 |
JPH04282845A (ja) * | 1991-03-12 | 1992-10-07 | Nec Corp | 三次元形状測定装置 |
JPH04350508A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Nikon Corp | 水平位置検出装置及びそれを備えた露光装置 |
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2014
- 2014-07-08 JP JP2014140926A patent/JP2016017854A/ja active Pending
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