JP5153582B2 - 対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置に関する。

光ディスクに対して情報の記録又は再生用のレーザを照射するための対物レンズを駆動する対物レンズ駆動装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。対物レンズ駆動装置においては、対物レンズをディスク面に対して垂直な方向に駆動することで、ディスク面上でのレーザ光の合焦ずれを補正するためのフォーカシング制御が行われる。尚、対物レンズ駆動装置は、例えば、光ディスクに対して情報を記録又は再生する光ピックアップ装置に用いられる。

以下、図１１を用いて、対物レンズ駆動装置１の構成について説明する。
基台１０は、略直方体状の磁石２１及び磁石２２と、磁石２１及び磁石２２とがそれぞれ固設される略矩形平板状のヨーク１１及びヨーク１２とを備える板状をなす金属製の台である。詳述すると、基台１０上に、図１１中のタンジェンシャル方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）のトラックの接線方向）に沿って対向するように一対の略矩形平板状のヨーク１１、１２が形成されるとともに、各ヨーク１１、１２の間にアクチュエータＡＣＴの主体部３０（アクチュエータ主体部）を備えさせるための開口された所定の収容部９０が形成されている。「アクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ）」とは、例えばエネルギーを並進運動または回転運動等に変換させる駆動装置を意味する。

また、磁石２１及び磁石２２は、それぞれ直方形状をなし極性の異なる単極の永久磁石である。一対の磁石２１及び磁石２２の正面同士が基台１０上の収容部９０を挟んで対向するように、磁石２１の背面部２１ｂがヨーク１１に固設されるとともに磁石２２の背面部２２ｂがヨーク２１に固設されている。例えば、磁石２１及び磁石２２の対向面間にある基台１０上の収容部９０および収容部９０の周辺／近傍に磁気ギャップが形成される。尚、磁石２１及び磁石２２においてフォーカス方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）の面に対して垂直な方向）にある底面部２１ａ、２２ａは、基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃに対して接着材で接着されている。図１１中に示される６１、６２は、磁石２１及び２２と基台１０との接着箇所を示している。

アクチュエータＡＣＴは、例えば、対物レンズＯＢＬを保持するレンズホルダ３１（ホルダ）と、対物レンズＯＢＬ等が装備されたホルダ３１等を含むアクチュエータ主体部３０を移動可能に弾性支持する略線状のサスペンションワイヤ４０（ワイヤ）と、略線状のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうち片方の端部４２が固定される支持板５０と、ラジアル方向（ディスク面上のトラックに対して垂直な方向）に沿ったホルダ３１の対向する２つの側面部３１ａ、３１ｂにおいてそれぞれ複数本（例えば、各側面部３１ａ、３１ｂに２本ずつ）のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうちのもう片方の端部４１をそれぞれ係止する係止部材３２と、主にラジアル方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるトラッキングコイル（ｔｒａｃｋｉｎｇ ｃｏｉｌ）３３と、主にフォーカス方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるフォーカスコイル（ｆｏｃｕｓ ｃｏｉｌ）３４とを備えている。また、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａと、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａに対しフォーカス方向に沿って離された基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカス方向に移動させるための空間９０ａが存在する。

サスペンションワイヤ４０は、係止部材３２を介してアクチュエータＡＣＴの主体部３０を弾性的に支持するとともに、トラッキングコイル３３やフォーカスコイル３４等に電流を流すためのリード線の機能を有した金属製のワイヤである。具体的には、サスペンションワイヤ４０は、基板１０に対し略平行に延在するように、一端部４１が係止部材３２に対して半田フラックスによりそれぞれ係止されるとともに、他端部４２が支持板５０に対して半田剤、ダンパ剤などを介して固着されている。尚、ダンパ材は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０を駆動／移動した際の異常振動などの振動を吸収する役割を果たしている。

支持板５０は、サスペンションワイヤ４０の他端部４２を固定する板である。尚、支持板５０と基板１０とは、例えば金属製のケース（不図示）等を介して相互に固定される。

以上のとおり、図１１中で基台１０及びホルダ３１以外の構成要素は、対物レンズＯＢＬをフォーカス方向やトラッキング方向に移動させるようにホルダ３１を駆動させる駆動機構を構成している。
特開２００３−１６６６８号公報（第１−３頁、第１１−１２図）

図１１に示した対物レンズ駆動装置１を例に挙げて本願発明の主たる課題について以下に説明する。

接着箇所６１、６２は、磁石２１、２２の底面部２１ａ、２２ａと基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃとの間を接着剤によって接着した箇所であるが、例えば当該接着剤がホルダ３１を具備したアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに流れ出したり染み出したりしてくる現象が生じる場合がある。また、当該接着剤が規定どおり接着箇所６１、６２に塗布されず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着する場合もある。

また、例えば半田フラックスを用いた半田付け等によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の係止部材３２がサスペンションワイヤ４０の一端部４１を係止しているが、当該半田付け作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該半田フラックスが付着する場合がある。

さらに、例えば、半田剤、ダンパ剤などを用いてサスペンションワイヤ４０の他端部４２が支持板５０に固着されるが、当該固着作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該ダンパ材が付着する場合がある。

前記のとおり、接着材、半田フラックス、ダンパ剤等といった粘着性の有る異物が、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着している場合を仮定する。この場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカシング制御のために、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに近づける方向に移動させたとき、前記のような粘着性の有る異物によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとが粘着する。

かかる状況下で、今度はアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の
略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記粘着性を有した異物によってスムーズに移動する（制御応答が線形となる）ことができず、フォーカシング制御が意図した制御にならないという課題があった。

また、前記粘着性を有した異物に限らず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間にゴミ等の異物が混入するような場合であっても同様に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０がスムーズに移動しないという課題があった。

上記課題を解決するために、主たる本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズがフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、を含むことを特徴とする。

また、上記課題を解決するために、主たる本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズがフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、を含むことを特徴とする。

また、上記課題を解決するために、主たる本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査装置は、基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズがフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う信号検査装置と、を備えることを特徴とする。

また、上記課題を解決するために、主たる本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査装置は、基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズがフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、前記駆動電圧の波形と前記センサにより光電変換された波形とを表示画面に表示させる波形表示器と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査することができる。

以下に本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置の一実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

＝＝＝検査装置の構成＝＝＝
図１は、本発明に係る対物レンズ駆動装置のフォーカシング制御が行われるときの動作状況を検査する検査装置Ｗの全体構成を示した図である。尚、検査装置Ｗによる検査対象は、説明の便宜上、図１１に示される対物レンズ駆動装置１の場合とする。

対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、安定化電源装置１００、第１の検査治具１１０（駆動電圧生成器）、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ）１２０、ＬＶＤＳ（Ｌｏｗ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｓｉｇｎａｌｉｎｇ）変換器１３０、第２の検査治具１４０、Ｉ／Ｖアンプ１５０（電流／電圧変換回路）、オシロスコープ１６０（波形表示器）、によって主に構成される。

安定化電源装置１００は、ＡＰＣ１２０並びにＩ／Ｖアンプ１５０にＤＣ電圧を供給する電源装置である。安定化電源装置１００は、ケーブル１０３を介してＡＰＣ１２０と接続されるとともに、ケーブル１０５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。

第１の検査治具１１０は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動を検査するための設定が行われるマスタ治具である。具体的には、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させる駆動電圧を発生させてフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶは、図１中における第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２からツイストペアケーブル１１３によってＬＶＤＳ変換器１３０を経由して、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４へ供給される。

ＡＰＣ１２０は、光ピックアップ装置ＯＰＵに具備されるレーザ光源（不図示）を一定の電力で発光させるための制御を行うものである。具体的には、ＡＰＣ１２０は、安定化電源装置１００から供給されるＤＣ電圧を受け、ＬＶＤＳ変換器１３０を介して光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源に電力を供給するとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源等に制御信号を供給する。尚、ＡＰＣ１２０から出力される制御信号は、ケーブル１２３を介してＬＶＤＳ変換器１３０に伝送される。尚、レーザ光源（光源）として例えばレーザダイオード（ＬＤ：ｌａｓｅｒ ｄｉｏｄｅ）等の発光素子などが挙げられる。

ＬＶＤＳ変換器１３０は、ＡＰＣ１２０からケーブル１２３を介して伝送される電力と制御信号とを受け、制御信号をＬＶＤＳ変換し、前記レーザ光源に電力と制御信号を供給するとともに、第１の検査治具１１０からツイストペアケーブル１１３を介して伝送されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶをアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させるものである。ＡＰＣ１２０、第１の検査治具１１０は、信号源として機能し、ＬＶＤＳ変換器１３０は、第２の検査治具１４０向けの中継装置およびＬＶＤＳトランシーバとして機能している。ＬＶＤＳ変換器１３０は、例えばフレキシブルケーブル２４（ケーブル）等を介して第２の検査治具１４０に備えられた光ピックアップ装置ＯＰＵと接続される。

第２の検査治具１４０は、アクチュエータＡＣＴを構成するアクチュエータ主体部３０
のフォーカス方向の移動を検査するための操作が行われる例えばスレーブ治具である。第２の検査治具１４０は、主に、ピンホール１４３を有するアパーチャ１４２、光センサ１４４、を備えて構成される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵは、第２の検査治具１４０に備えられる。尚、アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面（Ｘ−Ｙ平面）に対して平行に配設される。

光ピックアップ装置ＯＰＵの外観構成を図１０に示す。図１０には、一部の部品が取り除かれた光ピックアップ装置ＯＰＵの一部内部構造が示されている。光ピックアップ装置ＯＰＵは、対物レンズ駆動装置１や光源等の光学系（不図示）等を金属製および／または樹脂製のケース２に収納したものであり、光源から出射された光を反射鏡等を介して対物レンズＯＢＬに照射させる光学系や、対物レンズ駆動装置１の回路基板５０（板）やサスペンションワイヤ４０等に通電可能に接続されるフレキシブルプリント基板２６やフレキシブルプリント基板２６に通電可能に接続されるフレキシブルケーブル２８等のフレキシブル基板２４（ケーブル）等を備えるものとさせて、スリム化のための各種工夫が施されたものである。尚、図１０には、例えば図１１に示したヨーク１１、磁石２１、対物レンズＯＢＬ、アクチュエータＡＣＴ、アクチュエータ主体部３０、支持板５０が示されている。

アパーチャ１４２は、ここでは便宜上、例えば所定径のピンホール１４３（孔）を具備したもの例えば板とされる。「アパーチャ（ａｐｅｒｔｕｒｅ）」とは、例えば、穴、隙間などを意味し、ここでは、便宜上、そのようなもの若しくはそのようなものを有するものとされる。所定のレーザ光源からのレーザ光が光ピックアップ装置ＯＰＵの対物レンズＯＢＬを通過してアパーチャ１４２に照射されると、対物レンズＯＢＬを介して出射される集光光束がアパーチャ１４２によって制限される。そして、その集光光束の一部がピンホール１４３を通過する。光センサ１４４は、アパーチャ１４２のピンホール１４３を通過した集光光束の一部（ピンホール通過光）を受光してその受光量に応じた受光電流ＰＤＯＵＴに光電変換するセンサである。光センサ１４４は、ケーブル１４５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。

Ｉ／Ｖアンプ１５０は、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴを電圧に変換してさらに増幅したセンサ出力電圧ＬＤＰを生成する例えば電流／電圧変換回路である。尚、センサ出力電圧ＬＤＰは、図１中のＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２より出力される。尚、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様などにより、例えば光センサ１４４とＩ／Ｖアンプ１５０とが本願請求項に係るセンサの一実施形態とされることもある。

オシロスコープ１６０は、例えば光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として構成されている。具体的に説明すると、オシロスコープ１６０は、第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２から出力されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ並びにＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２から出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰを２次元のグラフとして波形表示する波形表示器である。オシロスコープ１６０は、表示画面１６１と、Ｘ軸用のチャンネル１６２（ＣＨ−Ｘ）と、Ｙ軸用のチャンネル１６４（ＣＨ−Ｙ）と、を備える。チャンネル１６２は、プローブ１６３を介して第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２と接続される。また、チャンネル１６４は、プローブ１６５を介してＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２と接続される。

オシロスコープ１６０において通常モードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰそれぞれの時間変化の波形（縦軸（Ｙ軸）が電圧、横軸（Ｘ軸）が時間）が表示画面１６１に表示される。また、例えばオシロスコープ１６０においてＸ−Ｙモードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰ
とのリサージュ波形（縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ）が表示画面１６１に表示される。

尚、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、各プローブ１６３、１６５は、例えば電線を構成するものとされている。また、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３を着脱自在に通電可能に接続させるために、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３に例えば中継基板（不図示）が装備されてもよい。

対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、上記安定化電源装置１００、上記ＡＰＣ１２０、上記ＬＶＤＳ変換器１３０、上記Ｉ／Ｖアンプ１５０、上記オシロスコープ１６０、上記第１の検査治具１１０、上記第２の検査治具１４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備えて構成される。

＝＝＝第２の検査治具の構造＝＝＝
図２は、第２の検査治具１４０の斜視図である。図３は、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外し、光ピックアップ装置ＯＰＵを取り付けた場合における第２の検査治具１４０の平面図である。尚、図２、図３にそれぞれ示されるＸ−Ｙ−Ｚ座標は対応づけられている。

図２、図３中に示すＹ軸の正方向に向かって延設部１４０３ａ、１４０３ｂが延設されたコ字状の底板１４０３が、例えば水平面Ｈ（図２）上に載置される。底板１４０３のコ字の底辺部位に対して垂直に（図２、図３中に示すＺ軸の正方向に）平板状の背板１４０２が配設される。尚、背板１４０２の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向）にある上面Ｓ１は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１の位置にある。

また、背板１４０２と底板１４０３の間の略直角の隙間には平板状の側板１４０４が嵌合される。側板１４０４は、背板１４０２及び底板１４０３に対して垂直に配設される。尚、側板１４０４の一方の正方形状をした面に、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）延設される例えば２本のリブを有する骨板１４０８が合わせられ、側板１４０４の他方の正方形状をした面から骨板１４０８に向けて螺入取付される４本のボルト１４０７等によって、背板１４０２および／または底板１４０３に側板１４０４が取り付けられる。

側板１４０４の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向の面）にある上面Ｓ３においては、側板１４０４と垂直に（図２、図３中に示すＸ軸の負方向に）アパーチャ１４２の短手側の端部がボルト１４０６によって結合される。この結果、アパーチャ１４２は水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、側板１４０４の上面Ｓ３は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１よりも低い高さｈ３の位置にある。

背板１４０２の上面Ｓ１にはボルト穴１４０２ａ、１４０２ｂが設けられており、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）光センサ１４４の端部がボルトを介して結合される。この結果、アパーチャ１４２と光センサ１４４とは、それぞれ水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、アパーチャ１４２のピンホール１４３と光センサ１４４の受光部とが対向するように位置調整される。

背板１４０２の上面Ｓ１と垂直な側面Ｓ２から垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）金属性の２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂが延設される。尚、２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂは、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ３よりも低い高さｈ２
の位置より延設される。

ところで、図１０に示されるように、対物レンズ駆動装置１を収納するケース２例えばハウジング２ａに、光ピックアップ装置ＯＰＵを水平に（図２、図３中に示すＸ−Ｙ平面に対して平行に）支持するべく、前記の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂを摺接可能な状態で挿入させる挿入孔部７０ａ並びに開口穴部７０ｂが備えられている。

例えば、光ピックアップ装置ＯＰＵの挿入孔部７０ａに支持棒１４０５ａが挿入されるとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵの開口穴部７０ｂに支持棒１４０５ｂが挿入されるように、光ピックアップ装置ＯＰＵが第２の検査治具１４０の各支持棒１４０５ａ、１４０５ｂに移動可能に装備されると、光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対して平行な状態で第２の検査治具１４０に装備される。アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対してそれぞれ平行に配設される。また、水平面Ｈを基準として、アパーチャ１４２は略高さｈ３の位置に、光センサ１４４は略高さｈ１の位置に、光ピックアップ装置ＯＰＵは略高さｈ２の位置にある。尚、「ｈ２＜ｈ３＜ｈ１」の関係により、図２、図３中に示すＺ軸の正方向に向けて、光ピックアップ装置ＯＰＵ、アパーチャ１４２、光センサ１４４の順に配置される。

＝＝＝アパーチャの位置調整＝＝＝
図３〜図７を用いてアパーチャ１４２の位置調整について説明する。尚、図４に示すＸ−Ｙ−Ｚ座標は、図２、図３に示したＸ−Ｙ−Ｚ座標と対応づけられている。
アパーチャ１４２の位置調整とは、ピンホール１４３を通過した対物レンズＯＢＬからの集光光束の一部（投影像３０２）の光量が、対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動量に応じて変化するか否かを確認するために行う初期調整である。

まず、図３に示した第２の検査治具１４０の状態のように、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外して、目視確認によりピンホール１４３の中心が対物レンズＯＢＬの光軸Ｌに一致するようにアパーチャ１４２の位置を調整する。

つぎに、光センサ１４４を取り外した位置に紙をテープ等で固定する等して、投影像３０２を表示させる透過スクリーン３００を装備する。そして、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源を例えば１ｍＷ程度で点灯させ、透過スクリーン３００に表示される投射像３０２が略円形となるようピンホール位置を調整する。

つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）とし、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００に近づかせるように（図４中に示すＺ軸の正方向に）移動させる。そして、対物レンズＯＢＬを、最も透過スクリーン３００に近づけたＯＢＬ最上位置Ｍ１（第１位置；図５参照）に停止させる。このとき、投影像３０２が最大となるように、ＯＢＬ最上位置Ｍ１におけるアパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって調整する。尚、投影像３０２の円形が崩れた場合にはアパーチャ１４２の位置を再調整する。

つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）から負の下限値（本実施形態の場合、例えば−２Ｖ）に下げていくことで、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００から徐々に遠ざけるように（図４中に示すＺ軸の負方向に）移動させる。即ち、対物レンズＯＢＬを、ＯＢＬ最上位置Ｍ１から、最も透過スクリーン３００から遠ざけたＯＢＬ最下位置Ｍ２（第２位
置；図５参照）に向けて移動させる。尚、ＯＢＬ最下位置Ｍ２は、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離がＴ２となる位置である。このとき、対物レンズＯＢＬの移動量に応じて投影像３０２が小さくなっていくことを目視確認する。この途中で投影像３０２が大きくなるようであれば、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって再調整する。

ところで、第２の検査治具１４０にアパーチャ１４２を設けない場合、対物レンズＯＢＬからの集光光束が全て光センサ１４４に入射されるため、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴ自体に変化はない。しかしながら、アパーチャ１４２を設けた場合、光センサ１４４上での照度（単位面積当たりの光量）は、合焦点ＦＰからの距離で変化することになる。詳しく説明すると、照度（単位面積当りの光束）は、合焦点ＦＰからの距離で変化する。アパーチャ１４２を設け、一定面積のピンホール１４３から光束を抽出させることにより、合焦点ＦＰからの距離で受光電流ＰＤＯＵＴを変化させることができる。

例えば、図６に示すように、ｒ１を合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、ｒ２を合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、Ｐを輝度（出射光量）とすると、合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ１は式（１）で表現され、合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ２は式（２）で表現される。また、照度Ｌ１に対する照度Ｌ２の比（＝Ｌ２／Ｌ１）は、式（１）、（２）を用いて式（３）で表現される。
Ｌ１＝Ｐ／π・ｒ１^２ ・・・（１）
Ｌ２＝Ｐ／π・ｒ２^２ ・・・（２）
Ｌ２／Ｌ１＝ｒ１^２／ｒ２^２ ・・・（３）
尚、半径ｒ１に対する半径ｒ２の比（＝ｒ２／ｒ１）は、合焦点最上位置Ｎ１からアパーチャ１４２までの距離Ｐ１に対する合焦点最下位置Ｎ２からアパーチャ１４２までの距離Ｐ２の比（＝Ｐ２／Ｐ１）に相当する。従って、式（３）は、式（４）のように変形することができる。
Ｌ２／Ｌ１＝Ｐ１^２／Ｐ２^２ ・・・（４）

ところで、アパーチャ１４２を使用して集光光束の一部を抽出し、光センサ１４４に入射させるとき、光センサ１４４は、アパーチャ１４２上における照度に比例した受光電流ＰＤＯＵＴを出力する。このため、式（４）により、受光電流ＰＤＯＵＴは、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１／Ｐ２の二乗に反比例して変化することが分かる。例えば、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１が短い場合、受光電流ＰＤＯＵＴは大きくなり、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ２が長いとき、受光電流ＰＤＯＵＴは小さくなる。

但し、ピンホール１４３の径との関係にも留意する必要がある。ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の移動範囲内で、アパーチャ１４２における照射像の面積よりも小さく設定し、且つ、より多くの集光光束を通過させる必要がある。ピンホール１４３の径が小さすぎる場合、受光電流ＰＤＯＵＴは検出が困難なぐらい小さくなる虞がある。一方、レーザ光の合焦点ＦＰが合焦点最上位置Ｎ１となったときに、アパーチャ１４２のピンホール１４３を透過しようとする拡大光の径に比べてピンホール１４３の径が大きすぎると、合焦点最上位置Ｎ１と合焦点最下位置Ｎ２との間でレーザ光の合焦点ＦＰが移動させられても、透過スクリーン３００にうつし出される投影像３０２の大小変化が起こらないことが発生する。このため、対物レンズＯＢＬの位置変化による受光電流ＰＤＯＵＴの変化が確認しづらくなる。従って、ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動範囲、アパーチャ１４２の取付位置、対物レンズＯＢＬの開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ）、レンズ径等のパラメータに基づいて決定する。

アパーチャ１４２の位置調整を終えると、透過スクリーン３００を取り除き、光センサ１４４を第２の検査治具１４０に再び取り付ける。そして、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、正弦波のフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、例えば、発振ボリュームによって正弦波の振幅が設定され、シフトボリューム等により振幅している正弦波のピークトゥピーク値が設定されて、シフトボリュームによって正弦波の上限値と下限値がそれぞれ設定される。

このとき、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、Ｉ／Ｖアンプ１５０より出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰの波形が、図７に示されるように、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従（同位相、同振幅）したような波形となることを目視確認する。センサ出力電圧ＬＤＰの波形が、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従した波形となっていなければ、再び、アパーチャ１４２の位置調整を行う。

＝＝＝検査方法＝＝＝
図８、図９を用いて対物レンズ駆動装置１のフォーカシング制御が行われるときの動作状況の検査方法について説明する。

アパーチャ１４２の位置調整を終えた後、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正弦波（本実施形態の場合、例えば上限値＋１Ｖから下限値−２．２Ｖの波形）とする。そして、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対応関係を表現した波形表示を目視確認する。

図８は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを、同一時間軸上において並べた表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）が電圧を示す軸とされ、横軸（Ｘ軸）が時間を示す軸とされている。尚、図８（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合（ＯＫ（ｏｋａｙ）品の場合）の波形例を示した図であり、図８（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合（ＮＧ（ｎｏ ｇｏｏｄ）品の場合）の波形例を示した図である。

図８（Ａ）と図８（Ｂ）とを対比すると、正常でない場合、センサ出力電圧ＬＤＰはフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの立ち上がりに対して遅延が生じ、また、センサ出力電圧ＬＤＰが立ち上がった際に例えば振動が生じていることが分かる。このことより、図８（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａには粘着性の有る異物が付着しており、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。

図９は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰとされ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶとされている。尚、図９（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合の波形例を示した拡大図であり、図９（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合の波形例を示した拡大図である。リサージュ波形の場合、図８に示した時間変化の波形と比べて、フォーカスコイル駆動電
圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを一つの波形で表現することができ、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対比が容易という利点がある。

図９（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図９（Ｂ）に示される正常でない場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。

尚、図９（Ｂ）に示される状態が生じた場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくとき、センサ出力電圧ＬＤＰは立ち上がりの際に遅延が生じ、また、立ち上がった後に例えば振動が生じることが分かる。このことより、図９（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。

このように、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗが用いられて対物レンズ駆動装置１の検査方法が実行されることにより、対物レンズ駆動装置１による対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動を検査することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれるものである。

例えば、光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置としてオシロスコープ１６０が例示されているが、オシロスコープ１６０以外の他の装置が信号検査装置として用いられてもよい。

また、例えば、フォーカス駆動電圧ＦＶを可変させる場合に、その上限値まで上げずとも下限値と上限値の間の所定値まで上げるようにしてもよい。この仕組みであっても、アクチュエータＡＣＴの主体部３０がＯＢＬ最下位置Ｍ２まで下がることができるので、フォーカス駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの表示画面１６１への表示により、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間における粘着性を有した異物の混入の有無を確認することができる。

また、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間にゴミ等の異物が混入するような場合、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの表示画面１６１への表示によりその旨を検出することができる。具体的には、フォーカス駆動電圧ＦＶを上限値から下限値に向けて下げていくと、センサ出力電圧ＬＤＰが所定の下限値まで下がりきらない波形表示により検出できる。

本実施形態における対物レンズ駆動装置の検査装置の構成を示す図である。 本実施形態の光ピックアップ装置を取り外した場合の第２の検査治具を示す斜視図である。 本実施形態の光センサを取り外した第２の検査治具を示す平面図である。 本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。 本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。 本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。 本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。 本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した図である。 本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図である。 光ピックアップ装置の斜視図である。 対物レンズ駆動装置の平面および断面を示す図である。

符号の説明

１ 対物レンズ駆動装置
１０ 基板（基台）
１０ａ 表面
１１、１２ ヨーク
２１、２２ 磁石
３０ アクチュエータ主体部（主体部）
３０ａ 裏面（底面）
３１ レンズホルダ（ホルダ）
３２ 係止部材
３３ トラッキングコイル
３４ フォーカスコイル
４０ サスペンションワイヤ（ワイヤ）
５０ 支持板（板）
１００ 安定化電源装置（電源装置）
１１０ 第１の検査治具（駆動電圧生成器）
１２０ ＡＰＣ
１３０ ＬＶＤＳ変換器
１４０ 第２の検査治具（スレーブ治具）
１４２ アパーチャ
１４４ 光センサ（センサ）
１５０ Ｉ／Ｖアンプ（電流／電圧変換回路）
１６０ オシロスコープ（波形表示器）
１６１ 表示画面
ＡＣＴ アクチュエータ
ＦＶ フォーカスコイル駆動電圧
ＬＤＰ センサ出力電圧
Ｍ１ ＯＢＬ最上位置（第１位置）
Ｍ２ ＯＢＬ最下位置（第２位置）
ＯＢＬ 対物レンズ
ＯＰＵ 光ピックアップ装置
Ｗ 検査装置

Claims (6)

1. 基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズがフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
   前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
   前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
   前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
   前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
   前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、
   を含むことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
2. 基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズがフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
   前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
   前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
   前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
   前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
   前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、
   を含むことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
3. 請求項２に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
   前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とは、同一時間軸上において並べて表示されることを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
4. 請求項２又は３に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
   前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とは、リサージュ波形として表示されることを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
5. 基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズがフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、
   前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、
   前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、
   前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う信号検査装置と、
   を備えることを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査装置。
6. 基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズがフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、
   前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、
   前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、
   前記駆動電圧の波形と前記センサにより光電変換された波形とを表示画面に表示させる
   波形表示器と、
   を備えることを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査装置。

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