WO2011158920A1

WO2011158920A1 - 対物レンズ駆動装置の検査方法

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Publication number: WO2011158920A1
Application number: PCT/JP2011/063854
Authority: WO
Inventors: 保宏村岡; 勝彦増田; 久雄飯降; 甲兒荒牧
Original assignee: 三洋電機株式会社
Priority date: 2010-06-16
Filing date: 2011-06-16
Publication date: 2011-12-22

Abstract

【課題】対物レンズ駆動装置による対物レンズの移動／傾斜を検査する。【解決手段】基台と、対物レンズと、基台上で対物レンズを保持するホルダと、対物レンズがフォーカス方向に移動するようにホルダを駆動するフォーカス／チルトコイルを有する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法に関する。対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、対物レンズを介して出射されるレーザ光を所定径のアパーチャ３４１に通過させる工程と、ホルダが基台の面に最も近づく第１位置と基台の面から第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を駆動機構に与える工程と、アパーチャ３４１を通過したレーザ光を光電変換する工程と、光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含む対物レンズ駆動装置の検査方法を実行させる。

Description

対物レンズ駆動装置の検査方法

　本発明は、対物レンズ駆動装置の検査方法に関する。

　光ディスクに対して情報の記録又は再生用のレーザ（ＬＡＳＥＲ：ｌｉｇｈｔ　ａｍｐｌｉｆｉｃａｔｉｏｎ　ｂｙ　ｓｔｉｍｕｌａｔｅｄｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｏｆ　ｒａｄｉａｔｉｏｎ）を照射するための対物レンズを駆動する対物レンズ駆動装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。対物レンズ駆動装置においては、対物レンズをディスク面に対して垂直な方向に駆動することで、ディスク面上でのレーザ光の合焦ずれを補正するためのフォーカシング制御が行われる。尚、対物レンズ駆動装置は、例えば、光ディスクに対して情報を記録又は再生する光ピックアップ装置に用いられる。

　以下、図２１を用いて、対物レンズ駆動装置１００の構成について説明する。
　基台１０は、略直方体状の磁石２１及び磁石２２と、磁石２１及び磁石２２とがそれぞれ固設される略矩形平板状のヨーク１１及びヨーク１２とを備える板状をなす金属製の台である。詳述すると、基台１０上に、図２１中のタンジェンシャル方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスクのトラック（ｔｒａｃｋ）の接線方向）に沿って対向するように一対の略矩形平板状のヨーク１１、１２が形成されるとともに、各ヨーク１１、１２の間にアクチュエータ８の主体部８０（アクチュエータ主体部）を備えさせるための開口された所定の収容部９０が形成されている。「アクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ）」とは、例えばエネルギーを並進運動または回転運動等に変換させる駆動装置を意味し、例えば「ＡＣＴ」と略称される。

　また、磁石２１及び磁石２２は、それぞれ直方形状をなし極性の異なる単極の永久磁石である。一対の磁石２１及び磁石２２の正面同士が基台１０上の収容部９０を挟んで対向するように、磁石２１の背面部２１ｂがヨーク１１に固設されるとともに磁石２２の背面部２２ｂがヨーク２１に固設されている。例えば、磁石２１及び磁石２２の対向面間にある基台１０上の収容部９０および収容部９０の周辺／近傍に磁気ギャップが形成される。尚、磁石２１及び磁石２２においてフォーカス方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスクの面に対して垂直な方向）にある底面部２１ａ、２２ａは、基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃに対して接着材で接着されている。図２１中に示される７１、７２は、磁石２１及び２２と基台１０との接着箇所を示している。

　アクチュエータ８は、例えば、対物レンズ５を保持するレンズホルダ３０（ホルダ）と、対物レンズ５等が装備されたホルダ３０等を含むアクチュエータ主体部８０を移動／傾斜可能に弾性支持する略線状のサスペンションワイヤ５０（ワイヤ）と、略線状のサスペンションワイヤ５０の両端部５１、５２のうち片方の端部５２が固定される支持板６０と、ラジアル方向（ディスク面上のトラックに対して垂直な方向）に沿ったホルダ３０の対向する２つの側面部３１、３２においてそれぞれ複数本（例えば、各側面部３１、３２に３本ずつ）のサスペンションワイヤ５０の両端部５１、５２のうちのもう片方の端部５１をそれぞれ係止する係止部材３５と、主にフォーカス方向に略沿ってアクチュエータ主体部８０を駆動させ必要に応じてチルト方向に略沿ってアクチュエータ主体部８０を傾斜させるフォーカス／チルトコイル（ｆｏｃｕｓ／ｔｉｌｔ　ｃｏｉｌ）４１と、主にラジアル方向に略沿ってアクチュエータ主体部８０を駆動させるトラッキングコイル（ｔｒａｃｋｉｎｇ　ｃｏｉｌ）４２と、を備えている。また、アクチュエータ８の主体部８０の底面８０ａと、アクチュエータ８の主体部８０の底面８０ａに対しフォーカス方向に沿って離された基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間に、アクチュエータ８の主体部８０をフォーカス方向／トラッキング方向（ラジアル方向）に移動させたりアクチュエータ８の主体部８０をチルト方向に傾斜させたりするための空間９０ａが存在する。

　サスペンションワイヤ５０は、係止部材３５を介してアクチュエータ８の主体部８０を弾性的に支持するとともに、トラッキングコイル４２やフォーカス／チルトコイル４１等に電流を流すためのリード線の機能を有した金属製のワイヤである。具体的には、サスペンションワイヤ５０は、例えば略基板状をした基台１０に対し略平行に延在するように、一端部５１が係止部材３５に対して半田フラックスによりそれぞれ係止されるとともに、他端部５２が支持板６０に対して半田剤、ダンパ剤などを介して固着されている。尚、ダンパ材は、例えばアクチュエータ８の主体部８０を駆動／移動／傾斜させた際の異常振動などの振動を吸収する役割を果たしている。

　支持板６０は、サスペンションワイヤ５０の他端部５２を固定する板である。尚、支持板６０と基台１０とは、例えば金属製のケース（不図示）等を介して相互に固定される。

　以上のとおり、図２１中で基台１０及びホルダ３０以外の構成要素は、対物レンズ５をフォーカス方向やトラッキング方向に移動させたりチルト方向に傾斜させたりするようにホルダ３０を駆動させる駆動機構を構成している。

　光ピックアップ装置のアクチュエータ主体部８０にチルト制御を行わせつつ作動させるときに、例えば、一方のヨーク１１に対向した一方のフォーカス／チルトコイル４１に印加される電圧と、一方のヨーク１１に対向した他方のフォーカス／チルトコイル４１に印加される電圧と、の間に一定の電位差を発生させると共に、他方のヨーク１２に対向した一方のフォーカス／チルトコイル４１に印加される電圧と、他方のヨーク１２に対向した他方のフォーカス／チルトコイル４１に印加される電圧と、の間に一定の電位差を発生させることによって、その電位差に応じた傾斜角いわゆるチルト角度の分だけアクチュエータ主体部８０を傾斜させることが可能となる。

　次に、図１９、図２０を用いて、光ディスク装置のドライブ装置にて、例えば、「ＣＤ」（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）(商標)系列／規格のメディア、「ＤＶＤ」（登録商標）（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）系列／規格のメディア、「ＢＤ」（Ｂｌｕ－ｒａｙ／Ｂｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃ）（登録商標）系列／規格のメディア等のディスク５００の判別が行われる状態について説明する。

　光ディスク装置のドライブ装置における光ディスク５００の判別方法においては、対物レンズ５側の光ディスク５００の表面部５５０から信号層５１０までの距離（ＣＤ：略１．１～１．２ｍｍ、ＤＶＤ：略０．６ｍｍ、ＢＤ：略０．１ｍｍ）の違い（差異）により検出が行われて、光ディスク５００の判別方法が行われる。そのような光ディスク５００の判別方法について詳しく説明すると、フォーカス方向に略沿って対物レンズ５を下降させたり、上昇させたりするという動作を行わせて、そのときに、対物レンズ５が結ぶレーザ光の焦点の移動を利用する。

　具体的には、フォーカス方向に略沿って対物レンズ５を上昇させるときに、光ディスク５００の表面部５５０において対物レンズ５が結ぶレーザ光の焦点が合わせられて光ディスク５００の表面部５５０における光の反射が生じてから光ディスク５００の信号層５１０において対物レンズ５が結ぶレーザ光の焦点が合わせられて光ディスク５００の信号層５１０における光の反射が生じるまでの時間を計測させ、その時間を例えばディスク・ディテクティング・タイム（ＤＩＳＣ　ＤＥＴＥＣＴＩＮＧ　ＴＩＭＥ：ＤＤＴ、以下、ＤＤＴと略称する。）として演算等を行わせて、例えば、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等のディスク５００の判別が実行されている。

特開２００３－１６６６８号公報（第１－３頁、第１１－１２図）

　図２１に示した対物レンズ駆動装置１００を例に挙げて本願発明の主たる課題について以下に説明する。

　接着箇所７１、７２は、磁石２１、２２の底面部２１ａ、２２ａと基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃとの間を接着剤によって接着した箇所であるが、例えば当該接着剤がホルダ３０を具備したアクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに流れ出したり染み出したりしてくる現象が生じる場合がある。また、当該接着剤が規定どおり接着箇所７１、７２に塗布されず、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着する場合もある。

　また、例えば半田フラックスを用いた半田付け等によって、アクチュエータ８の主体部８０の係止部材３５がサスペンションワイヤ５０の一端部５１を係止しているが、当該半田付け作業の際に、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該半田フラックスが付着する場合がある。

　さらに、例えば、半田剤、ダンパ剤などを用いてサスペンションワイヤ５０の他端部５２が支持板６０に固着されるが、当該固着作業の際に、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該ダンパ材が付着する場合がある。

　前記のとおり、接着材、半田フラックス、ダンパ剤等といった粘着性の有る異物が、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着している場合を仮定する。この場合、アクチュエータ８の主体部８０をフォーカシング制御のために、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに近づける方向に移動／傾斜させたとき、前記のような粘着性の有る異物によって、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとが粘着する。

　かかる状況下で、今度はアクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータ８の主体部８０を移動／傾斜させようとすると、アクチュエータ８の主体部８０が前記粘着性を有した異物によってスムーズに移動／傾斜する（制御応答が線形となる）ことができず、フォーカシング制御が意図した制御にならないという課題があった。

　また、前記粘着性を有した異物に限らず、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間にゴミ等の異物が混入するような場合であっても同様に、アクチュエータ８の主体部８０がスムーズに移動／傾斜しないという課題があった。

　また、光ピックアップ装置が光ディスク装置のドライブ装置に装備された状態で光ピックアップ装置のフォーカス／チルトコイル４１等の感度を測定することは、困難とされていた。そのため、光ピックアップ装置を有する光ディスク装置のドライブ装置が出荷される前に、光ピックアップ装置のＤＤＴ調査が行われ難いことが問題とされていた。

　例えば、光ピックアップ装置が光ディスク装置のドライブ装置に装備された状態で、対物レンズ５のフォーカス方向に略沿った駆動範囲内において、光ピックアップ装置の対物レンズ５を上下動させ、対物レンズ５の下限から上限までの動作状況、並びに、対物レンズ５の上限から下限までの動作状況を確認することが困難とされていた。

　また、光ピックアップ装置を有する光ディスク装置のドライブ装置が出荷された後に、例えば光ピックアップ装置のフォーカス／チルトコイル４１等の感度が変化して、光ピックアップ装置を有する光ディスク装置のドライブ装置が使用可能か否かの判断ができないという問題があった。

　例えば、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等のディスク５００の判別動作を行わせるために、フォーカス方向に略沿った対物レンズ５の上下動が行われるが、例えば光ピックアップ装置だけではＤＤＴの開始点が明確とされないことがある。

　また、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等のディスク５００の判別動作を行わせるために、フォーカス方向に略沿って対物レンズ５を上下動させるときに、例えばフォーカス／チルトコイル（Ｆ－ｃｏｉｌ）４１の感度等により、ＤＤＴが変化することがある。フォーカス／チルトコイル４１の感度を変動させる要因として、例えば、光ピックアップ装置の対物レンズ駆動装置１００に用いられる接着剤、半田フラックス、アクチュエータ８の隙間量／空間量、サスペンションダンパ剤の硬化等による「ばらつき」等が挙げられる。これらの要因により、光ディスク装置のドライブ装置は、光ディスク５００の判別作業が行われるときに、光ディスク５００判別の誤判定を行うことがある。

　このようなことから、光ピックアップ装置が光ディスク装置のドライブ装置に組み込まれる前に、ＤＤＴが正常とされた光ピックアップ装置とされているか否かを見極める必要性が生じてきている。また、そのために、光ピックアップ装置のＤＤＴを正確に計測可能なものが要求されている。

　上記課題を解決するために、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動するフォーカス／チルトコイルを有する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含むことを特徴とする。

　また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに印加させることを特徴とする。

　また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに印加させることを特徴とする。

　また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定のメディアに照射させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記メディアを反射した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含むことを特徴とする。

　また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定のメディアに照射させる工程と、前記メディアを反射した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含むことを特徴とする。

　本発明によれば、対物レンズ駆動装置による対物レンズを検査することができる。

　また、本発明によれば、対物レンズ駆動装置による対物レンズのチルト方向への傾斜を検査することができる。

　また、本発明によれば、対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイルに電圧をかけることにより、対物レンズがトラッキング方向に略沿った任意の位置上に存する状態で、駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに電圧をかけて対物レンズのチルト方向への傾斜を検査することができる。

本実施形態における対物レンズ駆動装置の検査装置の構成を示す図である。本実施形態の光ピックアップ装置を取り外した場合の第２の検査治具を示す斜視図である。本実施形態の光センサを取り外した第２の検査治具を示す平面図である。本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した概略図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカス／チルトコイル駆動電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカス／チルトコイル駆動電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行するときの工程を示すフローチャートである。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行するときの工程を示すフローチャートである。本実施形態におけるディスク装置の構成を示す図である。本実施形態における光ピックアップ装置の斜視図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行する状態を示す説明図である。本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行する状態を示す説明図である。対物レンズがメディアに近づく状態を示す概略図である。対物レンズがメディアから遠ざかる状態を示す概略図である。対物レンズ駆動装置の平面および断面を示す図である。

　以下に本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

＝＝＝メディア＝＝＝
　メディア５００の構成を図１５、図１９、図２０に示す。この明細書におけるメディア（ｍｅｄｉａ）とは、例えば、データ、情報、信号などが保存されるディスク等を意味する。

　光ディスク５００の信号面部５１０に、各データが光ディスク５００に保存されるための信号部が設けられている。光ディスクの信号面部５１０は、略平面状の信号層の面や、略平面状の記録層の面などとして取り扱われる。光ディスク５００の信号部は、多くの微細なピットとして形成されている。ピット（ｐｉｔ）とは、穴やへこみを意味する。円板状光ディスク５００が平面視されたときに、多くの微細なピットは、螺旋状となるように並ばされている。光ディスク５００の信号面部５１０側から、光ディスク５００を眺めたときに、ピット列は、渦巻状のものとされる。各ピットは、非常に小さいものとされているので、各ピットは、目視不能とされる。図１５において、便宜上、破線を用いて、光ディスク５００のピット、信号層５１０を示した。なお前記ピットに代えて、光ディスク５００の信号部として、例えば各信号を記録可能なグルーブ（不図示）が設けられた光ディスク５００も使用可能とされる。

　ディスク装置２００を構成するピックアップ装置１は、例えば、「ＣＤ」（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）(商標)系列／規格のメディアと、「ＤＶＤ」（登録商標）（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）系列／規格のメディアと、「ＨＤ　ＤＶＤ」（Ｈｉｇｈ　Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ　ＤＶＤ）（登録商標）系列／規格のメディアと、中国において定められた規格に基づくメディアとされる「ＣＢＨＤ（Ｃｈｉｎａ　Ｂｌｕｅ　Ｈｉｇｈ－Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）」（例：旧名「ＣＨ－ＤＶＤ」）系列／規格のメディアと、「ＢＤ」（Ｂｌｕ－ｒａｙ／Ｂｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃ）（登録商標）系列／規格のメディアと、に対応したものとされる。ディスク装置２００を構成するピックアップ装置１は、例えば、上記各種メディアからなる群から選ばれる少なくとも一種のメディアに対応したものとされている。具体的に説明すると、ディスク装置２００を構成するピックアップ装置１は、上記複数の何れかのメディアに対応したものとされている。

　メディア５００として例えば上記各種光ディスク５００等が挙げられるが、次の形態をしたメディア５００も挙げられる。例えば、ディスク５００として、ディスク両面に信号面部５１０が設けられ、データ書込み／消去やデータ書換え等が可能とされた光ディスク５００等も挙げられる。また、ディスク５００として、例えば二層の信号面部５１０が設けられ、データ書込み／消去やデータ書換え等が可能とされた光ディスク５００等も挙げられる。また、例えば三層の信号面部が設けられ、データ書込み／消去やデータ書換え等が可能とされた「ＨＤ　ＤＶＤ」及び／又は「Ｂｌｕ－ｒａｙ／Ｂｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃ」用光ディスク等も挙げられる（不図示）。また、例えば四層の信号面部が設けられ、データ書込み／消去やデータ書換え等が可能とされた「Ｂｌｕ－ｒａｙ／Ｂｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃ」用光ディスク等も挙げられる（不図示）。また、例えば光ディスク５００のレーベル面部の側にレーザ光を照射させてレーベル等の各種書込み等を行うことが可能とされた光ディスク５００等も挙げられる。光ディスク５００の信号面部５１０、レーベル面部は、例えば金属薄膜などの薄層等を備えて構成されている。金属薄膜などを備えて構成される信号面部５１０にデータ、情報、信号などが記録され、レーベル面部に画像などが記録される。光ディスク５００の信号面部５１０は、例えば金属薄層などを備えて構成される信号層５１０として構成されている。このように、各種光ディスク５００として各種形態をした複層／多層構造の光ディスクが挙げられる。便宜上、各種形態の光ディスクを光ディスク５００として纏めて説明する。

　また、図１５、図１９、図２０においては、便宜上、単層の「ＤＶＤ」系列の光ディスク５００が記載されているが、図１５、図１９、図２０に示される光ディスク５００は一例とされ、光ディスク５００として上記各種の光ディスク５００等が適用可能とされている。

＝＝＝ピックアップ装置＝＝＝
　ピックアップ装置１の外観構成を図１６に示す。図１６には、一部の部品が取り除かれたＯＰＵ１の一部内部構造が示されている。図１５、図１６に示すピックアップ装置１として、例えば略凸状の対物レンズ５を介してレーザ光を出射可能な光ピックアップ装置１が用いられている。例えば光ピックアップ（ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｉｃｋｕｐ）又は光ピックアップ装置（ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｉｃｋｕｐ　ｕｎｉｔ）は、「ＯＰＵ」と略称される。また、対物レンズ（ｏｂｊｅｃｔｉｖｅ　ｌｅｎｓ）は、例えば「ＯＢＬ」と略称して用いられている。

　ディスク装置２００に備えられたＯＰＵ１のＯＢＬ５により絞られるレーザ光Ｌによって、ディスク５００等のメディア５００に記録された情報などのデータが再生される。また、ディスク装置２００に備えられたＯＰＵ１のＯＢＬ５により絞られるレーザ光Ｌによって、ディスク５００等のメディア５００に情報などのデータが記録される。また、ディスク装置２００に備えられたＯＰＵ１のＯＢＬ５により絞られるレーザ光Ｌによって、ディスク５００等のメディア５００に記録された情報などのデータが消去される。

　ディスク装置２００を構成するＯＰＵ１は、上記各種ディスク５００等の各種メディア５００に記録されたデータ、情報、信号を再生させたり、書込み可能もしくは書換え可能な上記各種ディスク５００等の各種メディア５００にデータ、情報、信号を記録させたり、書込み可能もしくは書換え可能な上記各種ディスク５００等の各種メディア５００のデータ、情報、信号を消去させたりするものとされている。

　ＯＰＵ１は、対物レンズ駆動装置１００や光源等の光学系（不図示）等を金属製および／または樹脂製のケース１１０に収納したものであり、光源から出射された光を反射鏡等を介してＯＢＬ５に照射させる光学系や、対物レンズ駆動装置１００の回路基板６０（板）やサスペンションワイヤ５０等に通電可能に接続されるフレキシブルプリント基板１５１やフレキシブルプリント基板１５１に通電可能に接続されるフレキシブルケーブル１５２等のフレキシブルケーブル（基板）１５０（基板）等を備えるものとさせて、スリム化のための各種工夫が施されたものである。尚、図１６には、例えば図２１に示したＯＢＬ５、アクチュエータ８、ヨーク１１、磁石２１、レンズホルダ３０、支持板６０、アクチュエータ主体部８０が示されている。

　ＯＰＵ１について詳しく説明すると、発光素子３から出射されるレーザ光Ｌにより、光ディスク５００に情報の記録が行われたり、光ディスク５００に記録された情報が再生されたり、光ディスク５００に記録された情報が消去されたりする。発光素子３として例えば半導体レーザ等が挙げられる。ＯＰＵ１は、光ディスク５００にレーザ光Ｌを照射させる光学部材いわゆるレーザダイオード（ＬＤ：ｌａｓｅｒ　ｄｉｏｄｅ）３を備える。また、このＯＰＵ１は、ＬＤ３に電気を流してＬＤ３を光らせる駆動回路部いわゆるレーザドライバ（ＬＤＤ：ＬＤ　ｄｒｉｖｅｒ）（不図示）を備える。

　又、このＯＰＵ１は、ＬＤ、ＬＤＤ、ＰＤＩＣ（ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅＩＣ）、フォトディテクタ（ＰＤ：ｐｈｏｔｏ　ｄｅｔｅｃｔｏｒ）、フロントモニタダイオード（ＦＭＤ：ｆｒｏｎｔ　ｍｏｎｉｔｏｒ　ｄｉｏｄｅ）等の電気系部品等を通電可能に接続するケーブル１５０を備える。ケーブル１５０として、例えば、フレキシブルフラット回路体、フレキシブルプリント回路体などのフレキシブル基板等が挙げられる。回路基板は、例えば、ＰＷＢ（ｐｒｉｎｔｅｄ　ｗｉｒｅｄ　ｂｏａｒｄ／ｐｒｉｎｔｅｄ　ｗｉｒｉｎｇ　ｂｏａｒｄ）等と呼ばれている。また、フレキシブルフラット回路体（ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｆｌａｔ　ｃｉｒｃｕｉｔ／ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｆｌａｔ　ｃａｂｌｅ）は、「ＦＦＣ」と略称される。また、フレキシブルプリント回路体（ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｐｒｉｎｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ／ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｐｒｉｎｔｅｄ　ｃａｂｌｅ）は、「ＦＰＣ」と略称される。

　例えば不図示のＬＤＤからＦＰＣ１５０を通してＬＤ３へ電気が流されて、ＬＤ３からレーザ光Ｌが出力される。例えば、波長が約７６５～８４０ｎｍ（ナノメートル）、基準とされる波長が略７８０ｎｍの赤外レーザ光Ｌを出射可能な「ＣＤ」用の０．２～１０００ｍＷ（ミリワット）のレーザ光ＬがＬＤ３から出射される。また、例えば、波長が約６３０～６８５ｎｍ、基準とされる波長が略６３５ｎｍまたは６５０ｎｍの赤色レーザ光Ｌを出射可能な「ＤＶＤ」用の０．２～１０００ｍＷのレーザ光ＬがＬＤ３から出射される。ＬＤ３は、例えば、基準とされる波長が略７８０ｎｍとされ波長が略７６５～８４０ｎｍの第一波長レーザ光Ｌと、基準とされる波長が略６３５ｎｍまたは６５０ｎｍとされ波長が略６３０～６８５ｎｍの第二波長レーザ光Ｌと、を出射可能な二波長ＬＤ３として構成される。

　光ディスク装置２００、ＯＰＵ１等の設計／仕様等により、例えば、波長が約３４０～４５０ｎｍ、好ましくは約３８０～４５０ｎｍ、より好ましくは約４００ｎｍを超え４５０ｎｍ以下、基準とされる波長が略４０５ｎｍの青紫色レーザ光Ｌを出射可能な「ＣＢＨＤ」、「ＨＤ　ＤＶＤ」、「Ｂｌｕ－ｒａｙ／Ｂｌｕ－ｒａｙ　Ｄｉｓｃ」用の０．２～１０００ｍＷのレーザ光ＬがＬＤ３から出射される。この場合、ＬＤ３は、例えば、基準とされる波長が略７８０ｎｍとされ且つ出射波長が略７６５～８４０ｎｍの第一波長レーザ光Ｌと、基準とされる波長が略６３５ｎｍまたは６５０ｎｍとされ且つ出射波長が略６３０～６８５ｎｍの第二波長レーザ光Ｌと、基準とされる波長が略４０５ｎｍとされ且つ出射波長が略３４０～４５０ｎｍの第三波長レーザ光Ｌと、の複数種類の波長のレーザ光Ｌを出射可能な特殊なＬＤ３として構成される。また、ＬＤ３として、上記各波長のレーザ光Ｌを出射可能な単波長ＬＤ等の各種ＬＤ３が使用可能とされる。また、ＬＤ３として、上記各波長のうち少なくとも一種の波長のレーザ光Ｌを出射可能なＬＤ３が使用可能とされる。

　ＬＤ３から例えば０．２以上１０００ｍＷ以下、具体的には０．５以上８００ｍＷ以下の出力値のレーザ光Ｌが出射される。例えば、０．２ｍＷ未満の出力値のレーザ光Ｌとされた場合、光ディスク５００に照射されたのちに反射され不図示の受光素子に届くレーザ光Ｌの光量が不足する。光ディスク５００の各データ等を再生させるときには、例えば０．２ｍＷ以上好ましくは０．５ｍＷ以上２０ｍＷ以下程度という数～数十ｍＷの出力値のレーザ光Ｌで十分とされる。光ディスク５００に各データ等を書き込むときには、数十～数百ｍＷの出力値のレーザ光Ｌが必要とされる。例えば光ディスク５００に高速で各データ等を書き込むときには、２０ｍＷ超、具体的には、２００ｍＷ、４００ｍＷ、６００ｍＷ、８００ｍＷ、１０００ｍＷ等という高い出力値のパルスレーザ光Ｌが必要とされることがある。

　また、このＯＰＵ１は、例えば一本のレーザ光Ｌを複数に分ける光学部材いわゆる回折格子（不図示）を備える。ＬＤ３から出射された第一波長レーザ光Ｌおよび第二波長レーザ光Ｌは、４分割などの複数の領域部に分割された回折格子によりメインビーム（０次光）と２つのサブビーム（±１次回折光束）との少なくとも３ビームに分けられる。回折格子（ｇｒａｔｉｎｇ）は、例えば「ＧＲＴ」と略称される。

　また、このＯＰＵ１は、ＬＤ３から出射されたレーザ光Ｌの一部を受光する受光素子例えばＦＭＤを備える。受光素子は、レーザ光Ｌの一部が照射されるＦＭＤとして構成されている。受光素子は、ＬＤ３から出力されるレーザ光Ｌをモニタして、ＬＤ３の制御のためにフィードバックをかけるものとされている。

　また、このＯＰＵ１は、ＬＤ３から出射されたレーザ光Ｌを絞り込んで光ディスク５００の信号面部５１０に照射させるＯＢＬ５を備える。ＯＢＬ５によってレーザ光Ｌが絞り込まれることにより、光ディスク５００の信号面部５１０に集光スポットＦＰが照射形成される。

　また、このＯＰＵ１は、光ディスク５００の信号層５１０から反射されたレーザ光Ｌを受光する受光素子例えば光検出器またはＰＤＩＣもしくはフォトディテクタを備える。ＰＤ７は、例えば四分割タイプ等の複数分割された回折格子（インライン・グレーティング）を透過したメインビーム（０次光）に対応する平面視略矩形のメイン受光部（不図示）と、不図示の回折格子を透過することで回折分岐された一対のサブビーム（±１次回折光束）に対応する一対の平面視略矩形のサブ受光部（不図示）との三つの受光部を少なくとも備えて構成される。平面視略矩形のメイン受光部は、略均等に四分割されて平面視略矩形の四つのセグメントを備える。また、平面視略矩形のサブ受光部は、略均等に四分割されて平面視略矩形の四つのセグメントを備える。このように、複数の平面視略矩形のセグメントを備えた複数分割タイプの各受光部を有するＰＤ７がＯＰＵ１に装備される。セグメント（ｓｅｇｍｅｎｔ）とは、例えば、部分、断片など、全体が幾つかに分割されたもののうちの一つを意味する。

　ＰＤ７は、光ディスク５００の信号層５１０から反射されたレーザ光Ｌを受けて、その信号を電気信号に変え、光ディスク５００の信号層５１０に記録されたデータ、情報、信号を検出するためのものとされている。また、ＰＤ７は、光ディスク５００の信号層５１０から反射されたレーザ光Ｌを受けて、その信号を電気信号に変え、ＯＰＵ１を構成するＯＢＬ５付レンズホルダ３０のサーボ機構を動作させるためのものとされている。ＯＰＵ１により、例えば、光ディスク５００に記録されたデータ／情報／信号が読み出されたり、光ディスク５００にデータ／情報／信号が書き込まれたり、光ディスク５００に記録されたデータ／情報／信号が消されたりするときに、ＰＤ７の各受光部に各レーザ光Ｌが照射されることにより、光ディスク５００のメイン情報信号、光ディスク５００に対するフォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号などが検出される。

　フォーカスエラー（ＦＥ：ｆｏｃｕｓｉｎｇ　ｅｒｒｏｒ）とは、光ディスク５００のピットまたはグルーブ（何れも図示せず）に対し、光軸方向などの信号層５１０に略直交する方向に沿って、ＯＢＬ５により絞られた光Ｌの焦点ＦＰが位置ずれを起こすことを意味する。また、トラッキングエラー（ＴＥ：ｔｒａｃｋｉｎｇ　ｅｒｒｏｒ）とは、光ディスク５００のピットまたはグルーブに対し、径方向などの信号層５１０に略沿った方向に、ＯＢＬ５により絞られた光Ｌの焦点ＦＰが位置ずれを起こすことを意味する。

　また、このＯＰＵ１は、各種光学系部品、電気系部品、駆動系部品などが装備されるハウジング１２０を備える。ハウジング（ｈｏｕｓｉｎｇ）とは、例えば、装置、部品などの物が収容される箱、箱形のものや、箱に類似したものを意味する。ハウジング１２０は、例えば放熱特性に優れる金属材料または摺動特性に優れる樹脂材料が用いられて形成される。

　ＯＰＵ１は、ＬＤ３と、回折格子と、ＯＢＬ５と、ＰＤ７と、磁気連結部材１１、１２と、磁性部材２１、２２と、レンズホルダ３０と、フォーカス／チルトコイル４１と、トラッキングコイル４２と、サスペンションワイヤ５０と、支持板６０と、を備えて構成されている。また、ＯＰＵ１は、ピックアップ装置本体を駆動可能な送り用モータ２８０により、光ディスク５００の径方向に略沿って移動させられる。ＯＰＵ１の設計／仕様などにより、光ディスク装置２００を構成するＯＰＵ１は、送り用モータ２８０をさらに備えて構成される。

　ハウジング１２０に装備される光学系部品として、例えば、ＬＤ、１／２波長板（１／２λ板）、開口制限付広帯域１／４波長板（１／４λ板）、液晶補正素子（ＬＣＤ：ｌｉｑｕｉｄ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｄｅｖｉｃｅ／ｌｉｑｕｉｄ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｄｉｓｐｌａｙ）、回折光学素子（ＤＯＥ：ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｅｌｅｍｅｎｔ）、回折格子、ダイバージェントレンズ、プリズム、偏光ビームスプリッタ、ダイクロイックフィルタ、コリメータレンズ、ビームエキスパンダレンズ、ハーフミラー、レフレクトミラー、全反射ミラー、対物レンズ、フロントモニタダイオード、センサレンズ、アナモフィックレンズ、中間レンズ、フォトディテクタなどが挙げられる。このＯＰＵ１は、前記光学系部品を備える。

　また、ハウジング１２０に装備される電気系部品として、例えば、ＬＤＤ、プリント基板、記憶装置（ＲＯＭ：ｒｅａｄ－ｏｎｌｙ　ｍｅｍｏｒｙ）、サスペンションワイヤ、コイル、アクチュエータ、フレキシブルプリント回路体、コネクタ、レーザドライバ、レーザダイオード、液晶補正素子、コリメータレンズ等を備えるビームエキスパンダユニット、フロントモニタダイオード、フォトディテクタなどが挙げられる。このＯＰＵ１は、前記電気系部品を備える。

　また、ハウジング１２０に装備される駆動系部品として、たとえば、サスペンションワイヤ、コイル、磁石、ヨーク、アクチュエータ、対物レンズ、レンズホルダ、コリメータレンズ等を備えるビームエキスパンダユニットなどが挙げられる。このＯＰＵ１は、前記駆動系部品を備える。

　ＯＰＵ１における光ディスク５００の集光スポットのフォーカシング検出法として、例えば差動非点収差法に基づいた検出法等が挙げられる。差動非点収差法とは、例えば、非点収差をもった光学系で結像した点像ひずみを検出することにより、集光スポットの変位を検出する方法とされる。このＯＰＵ１における集光スポットのフォーカシング検出法は、例えば差動非点収差法に基づいた検出法とされる。なお、フォーカシング検出法として、例えば、フーコー法、ナイフエッジ法などの他の検出法が併用されてもよい。

　ＯＰＵ１における光ディスク５００の集光スポットのフォーカシング検出法として、例えば非点収差法に基づいた検出法等が挙げられる。非点収差法とは、例えば、非点収差をもった光学系で結像した点像ひずみを検出することにより、集光スポットの変位を検出する方法とされる。また、フォーカシング検出法として、例えば差動非点収差法に基づいた検出法等が挙げられる。差動非点収差法とは、例えばメインスポットで生成されたＦＥ信号から所定の係数を乗じたサブスポットで生成されたＦＥ信号を減算することによりＦＥ信号を生成する方法とされ、プッシュプル漏れ込みが小さく抑えられる。このＯＰＵ１における集光スポットのフォーカシング検出法は、例えば差動非点収差法に基づいた検出法とされる。なお、フォーカシング検出法として、例えば、フーコー法、ナイフエッジ法などの他の検出法が用いられたり併用されたりしてもよい。各光ディスク５００の種類などにより、例えば差動非点収差法などの各フォーカシング検出法が、適宜、自動的に選択される。

　また、ＯＰＵ１における光ディスク５００の集光スポットのトラッキング検出法として、例えば差動プッシュプル（ＤＰＰ：ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｐｕｓｈ－ｐｕｌｌ）法に基づいた検出法等が挙げられる。差動プッシュプル法とは、例えば、データ読書き用のメインビームと、位置ずれの補正信号を検出する二つのサブビームとにより、集光スポットの変位を検出する方法とされる。このＯＰＵ１における集光スポットのトラッキング検出法は、例えば差動プッシュプル法に基づいた検出法とされる。なお、トラッキング検出法として、例えば、位相差法、ヘテロダイン検波法などの他の検出法が併用されてもよい。

　また、ＯＰＵ１における光ディスク５００の集光スポットのトラッキング検出法として、例えば差動プッシュプル（ＤＰＰ：ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｐｕｓｈ－ｐｕｌｌ）法に基づいた検出法等が挙げられる。差動プッシュプル法とは、例えば、データ読書き用のメインビームと、位置ずれの補正信号を検出する二つのサブビームとにより、集光スポットの変位を検出する方法とされる。また、トラッキング検出法として、例えば位相差法などを含むＤＰＤ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　Ｐｈａｓｅ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）法に基づいた検出法等が挙げられる。具体的に説明すると、トラッキング検出法として、例えば、四分割型光検出器によって検出される位相差信号に基づいた位相差法が挙げられる。このＯＰＵ１における集光スポットのトラッキング検出法は、例えば、ＤＰＰ法、ＤＰＤ法、位相差法、ヘテロダイン検波法などに基づいた検出法が用いられたり併用されたりする。また、各光ディスク５００の種類などにより、例えば位相差法などの各トラッキング検出法が、適宜、自動的に選択される。なお、トラッキング検出法として、例えば３ビーム法などの他の検出法が用いられてもよい。

＝＝＝対物レンズ駆動装置＝＝＝
　また、このＯＰＵ１は、ＯＢＬ５等を駆動させる対物レンズ駆動装置１００を備える。対物レンズ駆動装置１００は、便宜上、図２１に示される上述の対物レンズ駆動装置１００の場合とする。対物レンズ駆動装置１００の駆動機構は、ＯＢＬ５が少なくともフォーカス／チルト方向に移動するようにレンズホルダ３０を駆動するフォーカス／チルトコイル４１を有する駆動機構とされている。具体的に説明すると、対物レンズ駆動装置１００の駆動機構は、ＯＢＬ５が、光ディスクのディスク面５５０に対し略垂直な方向とされるフォーカス方向と、フォーカス方向に対して略直交する方向とされると共にタンジェンシャル方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向いわゆるラジアル方向と、に略沿って移動するようにレンズホルダ３０を駆動する各コイル４１、４２を有する駆動機構とされ、また、ＯＢＬ５が回動する方向とされるチルト方向に略沿って移動するようにレンズホルダ３０を駆動する各コイル４１を有する駆動機構とされている。対物レンズ駆動装置１００に関する詳細内容については、図２１と共に説明した上記対物レンズ駆動装置１００と同じことから、その詳細な説明を省略する。

＝＝＝検査装置の構成＝＝＝
　図１は、本発明に係る対物レンズ駆動装置のフォーカス／チルト制御が行われるときの動作状況を検査する検査装置４００の全体構成を示した図である。尚、検査装置４００による検査対象は、便宜上、図２１に示される上記対物レンズ駆動装置１００の場合とする。

　対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００は、安定化電源装置３００、第１の検査治具３１０（駆動電圧生成器）、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｐｏｗｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌ）３２０、ＬＶＤＳ（Ｌｏｗ　Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　Ｓｉｇｎａｌｉｎｇ）変換器３３０、第２の検査治具３４０、Ｉ／Ｖアンプ３５０（電流／電圧変換回路）、オシロスコープ３６０（波形表示器）、Ａ／Ｄコンバータ３７０（回路）、制御プロセッサ３８０（制御装置）によって主に構成される。尚、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の仕様や、対物レンズ駆動装置１００の検査方法などにより、例えばオシロスコープ３６０が装備されることなく省略されてもよい。

　安定化電源装置３００は、ＡＰＣ３２０並びにＩ／Ｖアンプ３５０にＤＣ電圧を供給する電源装置である。安定化電源装置３００は、ケーブル３０３を介してＡＰＣ３２０と接続されるとともに、ケーブル３０５を介してＩ／Ｖアンプ３５０と接続される。

　第１の検査治具３１０は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス／チルト方向への移動を検査するための設定が行われるマスタ治具である。具体的には、ＯＰＵ１を構成するアクチュエータ８のフォーカス／チルトコイル４１に印加させる駆動電圧を発生させてフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶは、図１中における第１の検査治具３１０の＋端子３１１、－端子３１２からツイストペアケーブル３１３によってＬＶＤＳ変換器３３０を経由して、ＯＰＵ１を構成するアクチュエータ８のフォーカス／チルトコイル４１へ供給される。

　ＡＰＣ３２０は、ＯＰＵ１に具備されるレーザ光源（不図示）を一定の電力で発光させるための制御を行うものである。具体的には、ＡＰＣ３２０は、安定化電源装置３００から供給されるＤＣ電圧を受け、ＬＶＤＳ変換器３３０を介してＯＰＵ１のレーザ光源に電力を供給するとともに、ＯＰＵ１のレーザ光源等に制御信号を供給する。尚、ＡＰＣ３２０から出力される制御信号は、ケーブル３２３を介してＬＶＤＳ変換器３３０に伝送される。尚、レーザ光源（光源）として例えばレーザダイオード（ＬＤ：ｌａｓｅｒ　ｄｉｏｄｅ）３等の発光素子３などが挙げられる。

　ＬＶＤＳ変換器３３０は、ＡＰＣ３２０からケーブル３２３を介して伝送される電力と制御信号とを受け、制御信号をＬＶＤＳ変換し、前記レーザ光源に電力と制御信号を供給するとともに、第１の検査治具３１０からツイストペアケーブル３１３を介して伝送されるフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶをアクチュエータ８のフォーカス／チルトコイル４１に印加させるものである。ＡＰＣ３２０、第１の検査治具３１０は、信号源として機能し、ＬＶＤＳ変換器３３０は、第２の検査治具３４０向けの中継装置およびＬＶＤＳトランシーバとして機能している。ＬＶＤＳ変換器３３０は、例えばフレキシブルケーブル１５０（ケーブル）等を介して第２の検査治具３４０に備えられたＯＰＵ１と接続される。

　第２の検査治具３４０は、アクチュエータ８を構成するアクチュエータ主体部８０のフォーカス／チルト方向の移動を検査するための操作が行われる例えばスレーブ治具である。第２の検査治具３４０は、主に、ピンホール３４２を有するアパーチャ３４１、光センサ３４８、を備えて構成される。また、ＯＰＵ１は、第２の検査治具３４０に備えられる。尚、アパーチャ３４１、光センサ３４８、そしてＯＰＵ１は、水平面（Ｘ－Ｙ平面）に対して平行に配設される。

　アパーチャ３４１は、ここでは便宜上、例えば所定径のピンホール３４２（孔）を具備したもの例えば板とされる。「アパーチャ（ａｐｅｒｔｕｒｅ）」とは、例えば、穴、隙間などを意味し、ここでは、便宜上、そのようなもの若しくはそのようなものを有するものとされる。所定のレーザ光源からのレーザ光がＯＰＵ１のＯＢＬ５を通過してアパーチャ３４１に照射されると、ＯＢＬ５を介して出射される集光光束がアパーチャ３４１によって制限される。そして、その集光光束の一部がピンホール３４２を通過する。光センサ３４８は、アパーチャ３４１のピンホール３４２を通過した集光光束の一部（ピンホール通過光）を受光してその受光量に応じた受光電流ＰＤＯＵＴに光電変換するセンサである。光センサ３４８は、ケーブル３４９を介してＩ／Ｖアンプ３５０と接続される。

　Ｉ／Ｖアンプ３５０は、光センサ３４８の受光電流ＰＤＯＵＴを電圧に変換してさらに増幅したセンサ出力電圧ＬＤＰを生成する例えば電流／電圧変換回路である。尚、センサ出力電圧ＬＤＰは、図１中のＩ／Ｖアンプ３５０の＋端子３５１、－端子３５２より出力される。尚、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の仕様などにより、例えば光センサ３４８とＩ／Ｖアンプ３５０とが本願請求項に係るセンサの一実施形態とされることもある。

　オシロスコープ３６０は、例えば光センサ３４８等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１００の検査を行う信号検査装置として構成されている。具体的に説明すると、オシロスコープ３６０は、第１の検査治具３１０の＋端子３１１、－端子３１２から出力されるフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶ並びにＩ／Ｖアンプ３５０の＋端子３５１、－端子３５２から出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰを２次元のグラフとして波形表示する波形表示器である。オシロスコープ３６０は、表示画面３６１と、Ｘ軸用のチャンネル３６２（ＣＨ－Ｘ）と、Ｙ軸用のチャンネル３６４（ＣＨ－Ｙ）と、を備える。チャンネル３６２は、プローブ３６３を介して第１の検査治具３１０の＋端子３１１、－端子３１２と接続される。また、チャンネル３６４は、プローブ３６５を介してＩ／Ｖアンプ３５０の＋端子３５１、－端子３５２と接続される。

　オシロスコープ３６０において通常モードが設定されると、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰそれぞれの時間変化の波形（縦軸（Ｙ軸）が電圧、横軸（Ｘ軸）が時間）が表示画面３６１に表示される。また、例えばオシロスコープ３６０においてＸ－Ｙモードが設定されると、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとのリサージュ波形（縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰ、横軸（Ｘ軸）がフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶ）が表示画面３６１に表示される。

　Ａ／Ｄコンバータ（Ａｎａｌｏｇ　ｔｏ　Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）３７０は、アナログ値からデジタル値への変換を行うチップもしくは基板または回路である。アナログ（ａｎａｌｏｇ）とは、物質やシステムなどの状態を連続的に変化する物理量などによって表現することを意味する。これに対し、デジタル（ｄｉｇｉｔａｌ）とは、物質やシステムなどの状態を離散的な数字や文字などの信号により表現することを意味する。Ａ／Ｄコンバータ３７０は、ケーブル３７３を介して第１の検査治具３１０の＋端子３１１、－端子３１２と接続される。また、Ａ／Ｄコンバータ３７０は、ケーブル３７５を介してＩ／Ｖアンプ３５０の＋端子３５１、－端子３５２と接続される。

　制御プロセッサ３８０は、例えば中央演算装置を意味するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、システムコントローラ等とされるものである。制御プロセッサ３８０は、マイクロコンピュータとして構成されている。マイクロコンピュータ（ｍｉｃｒｏ　ｃｏｍｐｕｔｅｒ）とは、超小型コンピュータを意味し、例えばマイコンと略称される。制御プロセッサ３８０が備える各機能は、ソフトウェアいわゆるプログラムにより実現される。この制御プロセッサ３８０は、光センサ３４８等によって光信号が電気信号に変換され、光センサ３４８等により光電変換されたのちの電気信号に基づいて、対物レンズ駆動装置１００の良否判定工程を行う制御プロセッサ３８０として構成されている。

　対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の仕様などにより、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００は、例えば上記制御プロセッサ３８０を含むデジタル信号処理装置いわゆるデジタル・シグナル・プロセッサを備えて構成される。デジタル・シグナル・プロセッサとは、例えば主にデジタル信号処理に特化されたマイクロプロセッサを意味する。デジタル・シグナル・プロセッサ（ｄｉｇｉｔａｌ　ｓｉｇｎａｌ　ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）は、「ＤＳＰ」と略称されている。ＤＳＰを構成する制御プロセッサ３８０を含んだチップが装備される。制御プロセッサ３８０を含むＤＳＰが用いられることにより、例えば制御プロセッサ３８０等における高速演算処理が実行可能となる。ＤＳＰが用いられることにより、信号処理が行われるときに、例えばＳＮ（ｓｉｇｎａｌ／ｎｏｉｓｅ）比が略９０ｄＢ（デシベル）以上とされ、ノイズの影響が回避され易くなり、また、周辺の雰囲気温度などによる影響も抑制され易くなる。このようなことから、ＤＳＰが用いられることにより精度の高い演算処理等が高速で行われる。

　制御プロセッサ３８０は、ケーブル３８１を介して第１の検査治具３１０と接続される。また、制御プロセッサ３８０は、ケーブル３８３を介してＡＰＣ３２０と接続される。また、制御プロセッサ３８０は、ケーブル３８５を介してＡ／Ｄコンバータ３７０と接続される。

　尚、各ケーブル１５０、３０３、３０５、３１３、３２３、３４９、３７３、３７５、３８１、３８３、３８５、各プローブ３６３、３６５は、例えば電線を構成するものとされている。また、各ケーブル１５０、３０３、３０５、３１３、３２３、３４９、３７３、３７５、３８１、３８３、３８５を着脱自在に通電可能に接続させるために、各ケーブル１５０、３０３、３０５、３１３、３２３、３４９、３７３、３７５、３８１、３８３、３８５に例えば中継基板（不図示）が装備されてもよい。

　対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００は、上記安定化電源装置３００、上記ＡＰＣ３２０、上記ＬＶＤＳ変換器３３０、上記Ｉ／Ｖアンプ３５０、上記オシロスコープ３６０、上記Ａ／Ｄコンバータ３７０、上記制御プロセッサ３８０、上記第１の検査治具３１０、上記第２の検査治具３４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備えて構成される。

＝＝＝第２の検査治具の構造＝＝＝
　図２は、第２の検査治具３４０の斜視図である。図３は、第２の検査治具３４０から光センサ３４８を取り外し、ＯＰＵ１を取り付けた場合における第２の検査治具３４０の平面図である。尚、図２、図３にそれぞれ示されるＸ－Ｙ－Ｚ座標は対応づけされている。

　図２、図３中に示すＹ軸の正方向に向かって延設部３４３ａ、３４３ｂが延設されたコ字状の底板３４３が、例えば水平面Ｈ（図２）上に載置される。底板３４３のコ字の底辺部位に対して垂直に（図２、図３中に示すＺ軸の正方向に）平板状の背板３４５が配設される。尚、背板３４５の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向）にある上面Ｓ１は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１の位置にある。

　また、背板３４５と底板３４３の間の略直角の隙間には平板状の側板３４４ａが嵌合される。側板３４４ａは、背板３４５及び底板３４３に対して垂直に配設される。尚、側板３４４ａの一方の正方形状をした面に、背板３４５に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）延設される例えば２本のリブを有する骨板３４４ｂが合わせられ、側板３４４ａの他方の正方形状をした面から骨板３４４ｂに向けて螺入取付される４本のボルト３４７ｂ等によって、背板３４５および／または底板３４３に側板３４４ａが取り付けられる。

　側板３４４ａの水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向の面）にある上面Ｓ３においては、側板３４４ａと垂直に（図２、図３中に示すＸ軸の負方向に）アパーチャ３４１の短手側の端部がボルト３４７aによって結合される。この結果、アパーチャ３４１は水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、側板３４４ａの上面Ｓ３は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１よりも低い高さｈ３の位置にある。

　背板３４５の上面Ｓ１にはボルト穴３４５ａ、３４５ｂが設けられており、背板３４５に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）光センサ３４８の端部がボルトを介して結合される。この結果、アパーチャ３４１と光センサ３４８とは、それぞれ水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、アパーチャ３４１のピンホール３４２と光センサ３４８の受光部とが対向するように位置調整される。

　背板３４５の上面Ｓ１と垂直な側面Ｓ２から垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）金属性の２本の支持棒３４６ａ、３４６ｂが延設される。尚、２本の支持棒３４６ａ、３４６ｂは、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ３よりも低い高さｈ２の位置より延設される。

　ところで、図１６に示されるように、対物レンズ駆動装置１００を収納するケース１１０例えばハウジング１２０に、ＯＰＵ１を水平に（図２、図３中に示すＸ－Ｙ平面に対して平行に）支持するべく、前記の支持棒３４６ａ、３４６ｂを摺接可能な状態で挿入可能な挿入孔部１３０ａ並びに開口穴部１３０ｂが備えられている。

　例えば、ＯＰＵ１の挿入孔部１３０ａに支持棒３４６ａが挿入されるとともに、ＯＰＵ１の開口穴部１３０ｂに支持棒３４６ｂが挿入されるように、ＯＰＵ１が第２の検査治具３４０の各支持棒３４６ａ、３４６ｂに移動可能に装備されると、ＯＰＵ１は、水平面Ｈに対して平行な状態で第２の検査治具３４０に装備される。アパーチャ３４１、光センサ３４８、そしてＯＰＵ１は、水平面Ｈに対してそれぞれ平行に配設される。また、水平面Ｈを基準として、アパーチャ３４１は略高さｈ３の位置に、光センサ３４８は略高さｈ１の位置に、ＯＰＵ１は略高さｈ２の位置にある。尚、「ｈ２＜ｈ３＜ｈ１」の関係により、図２、図３中に示すＺ軸の正方向に向けて、ＯＰＵ１、アパーチャ３４１、光センサ３４８の順に配置される。

＝＝＝アパーチャの位置調整＝＝＝
　図３～図７を用いてアパーチャ３４１の位置調整について説明する。尚、図４に示すＸ－Ｙ－Ｚ座標は、図２、図３に示したＸ－Ｙ－Ｚ座標と対応づけされている。
　アパーチャ３４１の位置調整とは、ピンホール３４２を通過したＯＢＬ５からの集光光束の一部（投影像３９２）の光量が、ＯＢＬ５のフォーカス方向への移動量に応じて変化するか否かを確認するために行う初期調整である。

　まず、図３に示した第２の検査治具３４０の状態のように、第２の検査治具３４０から光センサ３４８を取り外して、目視確認によりピンホール３４２の中心がＯＢＬ５の光軸Ｌａに一致するようにアパーチャ３４１の位置を調整する。

　つぎに、光センサ３４８を取り外した位置に紙をテープ等で固定する等して、投影像３９２を表示させる透過スクリーン３９０を装備する。そして、ＯＰＵ１のレーザ光源を例えば１ｍＷ程度で点灯させ、透過スクリーン３９０に表示される投射像３９２が略円形となるようピンホール位置を調整する。

　つぎに、第１の検査治具３１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）とし、ＯＢＬ５を含めたアクチュエータ８の主体部８０を透過スクリーン３９０に近づかせるように（図４中に示すＺ軸の正方向に）移動させる。そして、ＯＢＬ５を、最も透過スクリーン３９０に近づけた対物レンズ最上位置（ＯＢＬ最上位置）Ｍ１（第１位置；図５参照）に停止させる。このとき、投影像３９２が最大となるように、ＯＢＬ最上位置Ｍ１におけるアパーチャ３４１からＯＢＬ５までの距離Ｄ１を側板３４４ａの位置調整によって調整する。尚、投影像３９２の円形が崩れた場合にはアパーチャ３４１の位置を再調整する。

　つぎに、第１の検査治具３１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）から負の下限値（本実施形態の場合、例えば－２Ｖ）に下げていくことで、ＯＢＬ５を含めたアクチュエータ８の主体部８０を透過スクリーン３９０から徐々に遠ざけるように（図４中に示すＺ軸の負方向に）移動させる。即ち、ＯＢＬ５を、ＯＢＬ最上位置Ｍ１から、最も透過スクリーン３９０から遠ざけた対物レンズ最下位置（ＯＢＬ最下位置）Ｍ２（第２位置；図５参照）に向けて移動させる。尚、ＯＢＬ最下位置Ｍ２は、アパーチャ３４１からＯＢＬ５までの距離がＤ２となる位置である。このとき、ＯＢＬ５の移動量に応じて投影像３９２が小さくなっていくことを目視確認する。この途中で投影像３９２が大きくなるようであれば、アパーチャ３４１からＯＢＬ５までの距離Ｄ１を側板３４４ａの位置調整によって再調整する。

　ところで、第２の検査治具３４０にアパーチャ３４１を設けない場合、ＯＢＬ５からの集光光束が全て光センサ３４８に入射されるため、光センサ３４８の受光電流ＰＤＯＵＴ自体に変化はない。しかしながら、アパーチャ３４１を設けた場合、光センサ３４８上での照度（単位面積当たりの光量）は、合焦点ＦＰからの距離で変化することになる。詳しく説明すると、照度（単位面積当りの光束）は、合焦点ＦＰからの距離で変化する。アパーチャ３４１を設け、一定面積のピンホール３４２から光束を抽出させることにより、合焦点ＦＰからの距離で受光電流ＰＤＯＵＴを変化させることができる。

　例えば、図６に示されるように、Ｒ１を合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ３４１上での照射像の半径、Ｒ２を合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ３４１上での照射像の半径、Ｑを輝度（出射光量）とすると、合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ３４１上での照度Ｌ１は式（１）で表現され、合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ３４１上での照度Ｌ２は式（２）で表現される。また、照度Ｌ１に対する照度Ｌ２の比（＝Ｌ２／Ｌ１）は、式（１）、（２）を用いて式（３）で表現される。
　　　Ｌ１＝Ｑ／π・Ｒ１^２　　　　　・・・（１）
　　　Ｌ２＝Ｑ／π・Ｒ２^２　　　　　・・・（２）
　　　Ｌ２／Ｌ１＝Ｒ１^２／Ｒ２^２　・・・（３）
　尚、半径Ｒ１に対する半径Ｒ２の比（＝Ｒ２／Ｒ１）は、合焦点最上位置Ｎ１からアパーチャ３４１までの距離Ｅ１に対する合焦点最下位置Ｎ２からアパーチャ３４１までの距離Ｅ２の比（＝Ｅ２／Ｅ１）に相当する。従って、式（３）は、式（４）のように変形することができる。
　　　Ｌ２／Ｌ１＝Ｅ１^２／Ｅ２^２　・・・（４）

　ところで、アパーチャ３４１を使用して集光光束の一部を抽出し、光センサ３４８に入射させるとき、光センサ３４８は、アパーチャ３４１上における照度に比例した受光電流ＰＤＯＵＴを出力する。このため、式（４）により、受光電流ＰＤＯＵＴは、アパーチャ３４１と合焦点ＦＰとの間の距離Ｅ１／Ｅ２の二乗に反比例して変化することが分かる。例えば、アパーチャ３４１と合焦点ＦＰとの間の距離Ｅ１が短い場合、受光電流ＰＤＯＵＴは大きくなり、アパーチャ３４１と合焦点ＦＰとの間の距離Ｅ２が長いとき、受光電流ＰＤＯＵＴは小さくなる。

　但し、ピンホール３４２の径との関係にも留意する必要がある。ピンホール３４２の径は、アクチュエータ８の主体部８０の移動範囲内で、アパーチャ３４１における照射像の面積よりも小さく設定し、且つ、より多くの集光光束を通過させる必要がある。ピンホール３４２の径が小さすぎる場合、受光電流ＰＤＯＵＴは検出が困難なぐらい小さくなる虞がある。一方、レーザ光の合焦点ＦＰが合焦点最上位置Ｎ１となったときに、アパーチャ３４１のピンホール３４２を透過しようとする拡大光の径に比べてピンホール３４２の径が大きすぎると、合焦点最上位置Ｎ１と合焦点最下位置Ｎ２との間でレーザ光の合焦点ＦＰが移動させられても、透過スクリーン３９０にうつし出される投影像３９２の大小変化が起こらないことが発生する。このため、ＯＢＬ５の位置変化による受光電流ＰＤＯＵＴの変化が確認しづらくなる。従って、ピンホール３４２の径は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動範囲、アパーチャ３４１の取付位置、ＯＢＬ５の開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ　Ａｐｅｒｔｕｒｅ）、レンズ径等のパラメータに基づいて決定する。

　アパーチャ３４１の位置調整を終えると、透過スクリーン３９０を取り除き、光センサ３４８を第２の検査治具３４０に再び取り付ける。そして、第１の検査治具３１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、正弦波のフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、例えば、発振ボリュームによって正弦波の振幅が設定され、シフトボリューム等により振幅している正弦波のピークトゥピーク値が設定されて、シフトボリュームによって正弦波の上限値と下限値がそれぞれ設定される。

　このとき、オシロスコープ３６０の表示画面３６１において、Ｉ／Ｖアンプ３５０より出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰの波形が、図７に示されるように、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従（同位相、同振幅）したような波形となることを目視確認する。センサ出力電圧ＬＤＰの波形が、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従した波形となっていなければ、再び、アパーチャ３４１の位置調整を行う。

＝＝＝第一の検査方法＝＝＝
　図８～図１２、図２１を用いて対物レンズ駆動装置１００のフォーカス／チルト制御が行われるときの動作状況の検査方法について説明する。

　例えば図２１に示される対物レンズ駆動装置１００の如く、トラッキングコイル４２に電圧をかけずにフォーカス／チルトコイル４１に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う状態について説明する。

　アパーチャ３４１の位置調整を終えた後、第１の検査治具３１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを正弦波（本実施形態の場合、例えば上限値＋１Ｖから下限値－２．２Ｖの波形）とする。そして、オシロスコープ３６０の表示画面３６１において、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対応関係を表現した波形表示を目視確認する。

　図８は、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを、同一時間軸上において並べた表示した場合のオシロスコープ３６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）が電圧を示す軸とされ、横軸（Ｘ軸）が時間を示す軸とされている。尚、図８（Ａ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常な場合（ＯＫ（ｏｋａｙ）品の場合）の波形例を示した図であり、図８（Ｂ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常でない場合（ＮＧ（ｎｏ　ｇｏｏｄ）品の場合）の波形例を示した図である。

　図８（Ａ）と図８（Ｂ）とを対比すると、正常でない場合、センサ出力電圧ＬＤＰはフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの立ち上がりに対して遅延が生じ、また、センサ出力電圧ＬＤＰが立ち上がった際に例えば振動が生じていることが分かる。このことより、図８（Ｂ）の場合、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａには粘着性の有る異物が付着しており、アクチュエータ８の主体部８０の裏面８０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータ８の主体部８０を移動／傾斜させようとすると、アクチュエータ８の主体部８０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動／傾斜しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。

　図９は、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ３６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰとされ、横軸（Ｘ軸）がフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとされている。尚、図９（Ａ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常な場合の波形例を示した拡大図であり、図９（Ｂ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常でない場合の波形例を示した拡大図である。リサージュ波形の場合、図８に示した時間変化の波形と比べて、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを一つの波形で表現することができ、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対比が容易という利点がある。

　図９（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図９（Ｂ）に示される正常でない場合、フォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。

　尚、図９（Ｂ）に示される状態が生じた場合、フォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくとき、センサ出力電圧ＬＤＰは立ち上がりの際に遅延が生じ、また、立ち上がった後に例えば振動が生じることが分かる。このことより、図９（Ｂ）の場合、アクチュエータ８の主体部８０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動／傾斜しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。

　対物レンズ駆動装置１００の検査方法が実行されるときに、例えば上記前工程が実行される。上記前工程における対物レンズ駆動装置１００の良否判定は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ３６０にてリサージュ図形として表示させて行われる。このように、上記した対物レンズ駆動装置１００の検査方法の前工程においては、例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ３６０のＸ軸用のチャンネル３６２とＹ軸用のチャンネル３６４とに入力させ、オシロスコープ３６０に表示されるリサージュ図形に基づき、人の目視によって、対物レンズ駆動装置１００の良否判定が行われる。

　しかしながら、対物レンズ駆動装置１００の良否判定が人の目視によって長時間にわたって行われ続けると、間違った対物レンズ駆動装置１００の良否判定が行われる可能性がある。また、人の目視によって対物レンズ駆動装置１００の良否判定が行われるため、例えば人件費がかかることとなり、その結果、対物レンズ駆動装置１００のコストを低く抑えることが困難となって、対物レンズ駆動装置１００の製造コストが上昇するということが問題となる。

　このようなことから、Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０を備える対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００を用いて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。以下に、Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０を用いた対物レンズ駆動装置１００の検査方法、並びに、Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０を備える対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の基本動作について説明する。

＝＝＝第二の検査方法＝＝＝
　本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法の他の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

　尚、実施例１におけるＯＰＵ１、対物レンズ駆動装置１００ならびに対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００と、実施例２におけるＯＰＵ１、対物レンズ駆動装置１００ならびに対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００と、は、同一のものとされていることから、ここではその詳細な説明を省略した。

　上記「第一の検査方法」においては、オシロスコープ３６０に表示されるリサージュ図形に基づき、人の目視によって対物レンズ駆動装置１００の良否判定が行われるが、「第二の検査方法」においては、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００に対物レンズ駆動装置１００の良否判定を実行させる。

　例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号とをＡ／Ｄコンバータ３７０に入力させ、一定時間毎のサンプリングが可能な構成とさせる。例えば制御プロセッサ３８０にて、センサ出力電圧ＬＤＰの信号、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号およびフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号に基づいて測定を制御させ、自動的に対物レンズ駆動装置１００の良否判定を実行させる。第１の検査治具３１０、第２の検査治具３４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備える対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００を用いて、対物レンズ駆動装置１００の自動良否判定を実行させる。

　図１０は、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ３６０の概略画面表示例である。横軸がフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶとされ、縦軸がセンサ出力電圧ＬＤＰとされている。尚、図１０（Ａ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常な場合の波形例を示した概略図であり、図１０（Ｂ）は、アクチュエータ８の主体部８０のフォーカス方向への移動および／またはチルト方向への傾斜が正常でない場合の波形例を示した概略図である。

　図１０（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図１０（Ｂ）に示される正常でない場合、例えば波形電圧に振動が生じ、フォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。このような特性を利用して、Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０を用いた対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。

　図１１は、同一時間内におけるフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ３６０の概略画面表示例である。尚、図１１（Ａ）は、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号上昇部の波形例を示した概略図であり、図１１（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号上昇部の波形例を示した概略図である。

　また、図１２は、同一時間内におけるフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ３６０の概略画面表示例である。尚、図１２（Ａ）は、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号下降部の波形例を示した概略図であり、図１２（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号下降部の波形例を示した概略図である。

　例えば、図１１（Ａ）の如く、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号を下限から上限まで変化させる。この場合、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期とされている。また、例えば図１２（Ａ）の如く、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号を上限から下限まで変化させる。この場合、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期とされている。

　フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限まで変化させると、ＯＢＬ５が例えばマイナス最大位置／角度からプラス最大位置／角度まで移動／傾斜させられると共に、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１１（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＩＮ）から上昇されて略一定状態（ＭＡＸ）となる変化を示す。また、ＯＢＬ５が例えばプラス最大位置／角度からマイナス最大位置／角度まで移動／傾斜させられると共に、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１２（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＡＸ）から下降されて略一定状態（ＭＩＮ）となる変化を示す。

　このような特性に基づき、ＯＢＬ５が例えばマイナス最大位置／角度からプラス最大位置／角度まで移動／傾斜させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が減少した場合に、対物レンズ駆動装置１００の良否判定をＮＧとさせる。また、ＯＢＬ５が例えばプラス最大位置／角度からマイナス最大位置／角度まで移動／傾斜させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が増加した場合に、対物レンズ駆動装置１００の良否判定をＮＧとさせる。

　対物レンズ駆動装置１００の検査方法における自動判定方法について詳しく説明すると、先ず、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００における所定の位置に、対物レンズ駆動装置１００を有するＯＰＵ１を備えさせて通電可能にセットさせる。しかしながら、このときに、対物レンズ駆動装置１００は、未だ通電されていない状態とされている。対物レンズ駆動装置１００を通電状態とさせたのちに、例えば主に、オシロスコープ３６０、Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０等を用いて、対物レンズ駆動装置１００の自動判定方法を実行させる。

　先ず、ＦＶ波形の信号上昇部における制御プロセッサ３８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号上昇部における制御プロセッサ３８０の設定方法について、図１、図１３を用いて具体的に説明する。

　制御プロセッサ３８０（図１）からＡＰＣ３２０に信号を送信させて、安定化電源装置３００に接続されたＡＰＣ３２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ３２０とＬＶＤＳ変換器３３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器３３０とＯＰＵ１とが通電される（図１３：Ｓ１０１）。また、ＯＰＵ１に装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される（Ｓ１０２）。この場合、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ３２０が通電状態にされる。

　次に、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号における下限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を下限に設定させる。この場合、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ下限角度設定」の工程が実行される。

　次に、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ｉ←０」と設定させる（Ｓ１０３）。次に、Ａ／Ｄコンバータ３７０に対し、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｉ）」と設定させる。

　次に、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて「ｉ」をインクリメントさせる（Ｓ１０４、Ｓ１０５、Ｓ１０６：ＹＥＳ）。インクリメント（ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ）とは、プログラミングで、繰返し処理などが行われる際に、数値を定められた大きさで増加させることを意味する。このときに「ｉ＜１００」の場合には（Ｓ１０６：ＹＥＳ）、再び、例えば「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｉ）」と設定させる（Ｓ１０４）。「ｉ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｉ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｉ）」と設定させる。例えば「ｉ≧１００」とされたときに（Ｓ１０６「ｉ＜１００」：ＮＯ）、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば、「ｍ←０」と設定させ（Ｓ１０７）、下式（５）に基づく判定が制御プロセッサ３８０にて行われる（Ｓ１０８、Ｓ１０９、Ｓ１１０、Ｓ１１１、Ｓ１１２）。
　ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｍ＋１）≧ＬＤＰ（ｍ）（但し、０≦ｍ≦９８）…（５）

　例えば、前記式（５）を満足する対物レンズ駆動装置１００は、良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ１１０：ＮＯ、Ｓ１１１）。これに対し、前記式（５）を満足しない対物レンズ駆動装置１００は、不良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ１０８：ＮＯ、Ｓ１１２）。

　なお、前記式（５）に基づく判定が制御プロセッサ３８０にて行われるときに、例えば併せて下式（６）に基づく照合・判定が制御プロセッサ３８０にて行われてもよい。
　ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｍ＋１）＞ＦＶ（ｍ）（但し、０≦ｍ≦９８）…（６）

　例えば、前記式（６）を満足する対物レンズ駆動装置１００は、良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ１１０：ＮＯ、Ｓ１１１、Ｓ１１３）。これに対し、前記式（６）を満足しない対物レンズ駆動装置１００は、不良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ１０８：ＮＯ、Ｓ１１２、Ｓ１１３）。

　例えば図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。

　図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……，９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加する結果が得られた対物レンズ駆動装置１００に対しては、制御プロセッサ３８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１００に対しては、制御プロセッサ３８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される。

　次に、ＦＶ波形の信号下降部における制御プロセッサ３８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号下降部における制御プロセッサ３８０の設定方法について、図１、図１４を用いて具体的に説明する。

　制御プロセッサ３８０（図１）からＡＰＣ３２０に信号を送信させて、安定化電源装置３００に接続されたＡＰＣ３２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ３２０とＬＶＤＳ変換器３３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器３３０とＯＰＵ１とが通電される（図１４：Ｓ２０１）。また、ＯＰＵ１に装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される（Ｓ２０２）。この場合、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ３２０が通電状態にされる。

　次に、フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの信号における上限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を上限に設定させる。この場合、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ上限角度設定」の工程が実行される。

　次に、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「ｊ←０」と設定させる（Ｓ２０３）。次に、Ａ／Ｄコンバータ３７０に対し、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｊ）」と設定させる。

　次に、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて「ｊ」をインクリメントさせる（Ｓ２０４、Ｓ２０５、Ｓ２０６：ＹＥＳ）。
このときに「ｊ＜１００」の場合には（Ｓ２０６：ＹＥＳ）、再び、例えば「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｊ）」と設定させる（Ｓ２０４）。「ｊ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶ（ｊ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰ（ｊ）」と設定させる。例えば「ｊ≧１００」とされたときに（Ｓ２０６「ｊ＜１００」：ＮＯ）、制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば、「ｎ←０」と設定させ（Ｓ２０７）、下式（７）に基づく判定が制御プロセッサ３８０にて行われる（Ｓ２０８、Ｓ２０９、Ｓ２１０、Ｓ２１１、Ｓ２１２）。
　ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｎ＋１）≦ＬＤＰ（ｎ）（但し、０≦ｎ≦９８）…（７）

　例えば、前記式（７）を満足する対物レンズ駆動装置１００は、良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ２１０：ＮＯ、Ｓ２１１、Ｓ２１３）。これに対し、前記式（７）を満足しない対物レンズ駆動装置１００は、不良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ２０８：ＮＯ、Ｓ２１２、Ｓ２１３）。

　なお、前記式（７）に基づく判定が制御プロセッサ３８０にて行われるときに、例えば併せて下式（８）に基づく照合・判定が制御プロセッサ３８０にて行われてもよい。
　ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｎ＋１）＜ＦＶ（ｎ）（但し、０≦ｍ≦９８）…（８）

　例えば、前記式（８）を満足する対物レンズ駆動装置１００は、良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ２１０：ＮＯ、Ｓ２１１）。これに対し、前記式（８）を満足しない対物レンズ駆動装置１００は、不良品の対物レンズ駆動装置１００たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される（Ｓ２０８：ＮＯ、Ｓ２１２）。

　また、例えば図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。

　図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……，９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少する結果が得られた対物レンズ駆動装置１００に対しては、制御プロセッサ３８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカス／チルトコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１００に対しては、制御プロセッサ３８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１００と判定される。

　このようにすることで、対物レンズ駆動装置１００のフォーカス動作に例えば波打つ動作が生じたときに、この対物レンズ駆動装置１００は不良品であると制御プロセッサ３８０にマイコン判定させることが可能となる。

　このように対物レンズ駆動装置１００の検査方法ならびに対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の基本動作確認を行ったのちに、例えば、オシロスコープ３６０が通電可能に接続されていた第１のプローブ３６３を第１の検査治具３１０から取り外すと共に、オシロスコープ３６０が通電可能に接続されていた第２のプローブ３６５をＩ／Ｖアンプ３５０から取り外して、対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００から各プローブ３６３、３６５およびオシロスコープ３６０を取り除く。オシロスコープ３６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００とされても、検査装置４００の制御プロセッサ３８０内のプログラムにて、例えば図１１、図１３、及び／又は、図１２、図１４に示すような判定工程が行われることにより、対物レンズ駆動装置１００の良否判定が行われる。オシロスコープ３６０が装備されている対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００、又は、オシロスコープ３６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００の何れの対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００が用いられても、対物レンズ駆動装置１００の検査方法は良好に行われる。

　Ａ／Ｄコンバータ３７０、制御プロセッサ３８０を備える対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００が用いられて対物レンズ駆動装置１００の検査方法が実行されることにより、対物レンズ駆動装置１００によるＯＢＬ５のフォーカス方向への移動および／またはＯＢＬ５のチルト方向への傾斜を検査することができる。

　つぎに本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法のその他の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

　尚、実施例１ならびに実施例２におけるＯＰＵ１、対物レンズ駆動装置１００ならびに対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００と、実施例３におけるＯＰＵ１、対物レンズ駆動装置１００ならびに対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００と、は、同一のものとされていることから、ここではその詳細な説明を省略した。

＝＝＝第三の検査方法＝＝＝
　つぎに、例えばトラッキングコイル４２に電圧がかけられると共にフォーカス／チルトコイル４１に電圧がかけられて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法が行われる状態について説明する。

　上記図１～図２１に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」ならびに「第二の検査方法」においては、フォーカス／チルトコイル４１にフォーカス／チルト駆動電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させるが、「第三の検査方法」においては、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をチルト方向のプラス最大角度からマイナス最大角度までの間の任意の検査測定角度に傾斜／平行とさせた状態で、例えば必要に応じてフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス駆動電圧をかけて例えば重畳させた状態で、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に動作させて対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させる。

　また、上記図１～図２１に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」ならびに「第二の検査方法」においては、トラッキングコイル４２に電圧をかけずにフォーカス／チルトコイル４１に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させるが、「第三の検査方法」においては、例えば必要に応じてトラッキングコイル４２に所定の電圧をかけたり電圧をかけるのを止めたりする等して、例えばアクチュエータ主体部８０をヨーク１２側または磁石２２側から側面視したときに、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０の略中心を例えばチルト方向に略沿ってチルト方向のプラス最大角度からマイナス最大角度までの間の任意の検査測定させたい角度に傾斜させて対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させる。

　これらの点において、「第一の検査方法」ならびに「第二の検査方法」と「第三の検査方法」とが異なるが、他の部分においては、「第一の検査方法」ならびに「第二の検査方法」と「第三の検査方法」とは同じとされる。「第三の検査方法」において、上記図１～図２１に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」ならびに「第二の検査方法」に基づいたものと同一のものについては、同一の符号を用い、その詳細な説明を省略した。

　フォーカス／チルトコイル４１にかけられる電圧は、例えばＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って傾斜可能な範囲内においてアクチュエータ主体部８０を動作させるときに対応する電圧とする。

　例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視されたときに、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って傾斜可能な範囲内において、例えば、チルト方向のプラス最大角度をプラス側角度とさせ、チルト方向のマイナス最大角度をマイナス側角度とさせ、プラス最大角度とされるプラス側角度とマイナス最大角度とされるマイナス側角度との間の略中央角度をゼロ（０）角度とさせる。

　また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視されたときに、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もプラス側角度に傾けられたときのチルト信号値をチルト信号のＭＡＸ値とさせ、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もマイナス側角度に傾けられたときのチルト信号値をチルト信号のＭＩＮ値とさせる。

　また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視された場合に、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もプラス側角度に傾けられたときに、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視された場合に、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿った最もプラス側角度と最もマイナス側角度との間の略中央角度の角度とさせられたときに、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視された場合に、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もマイナス側角度に傾けられたときに、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　このようにすることにより、アクチュエータ主体部８０をチルト方向に略沿った任意の各角度に傾斜変更させ、アクチュエータ主体部８０のチルト方向に略沿った任意の各角度とされた状態において、ＯＢＬ５を備えるアクチュエータ主体部８０がフォーカス方向に略沿ってスムーズに動作するものか否かの検査が確実に行われる。

　例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視されたときに、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もプラス側角度に傾けられたときのプラス最大角度を例えば反時計回り方向略最大角度と定める。また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視されたときに、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って傾斜可能な範囲内において、プラス最大角度とマイナス最大角度との略中間を例えば略中央角度と定める。また、例えばアクチュエータ主体部８０がヨーク１２側または磁石２２側から側面視されたときに、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って最もマイナス側角度に傾けられたときのマイナス最大角度を例えば時計回り方向略最大角度と定める。

　例えば、アクチュエータ主体部８０をチルト方向に略沿って角度変更させ、反時計回り方向略最大角度、略中央角度、及び時計回り方向略最大角度の三方向の角度で、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させる。

　まず、アクチュエータ主体部８０を構成するフォーカス／チルトコイル４１にチルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＭＡＸをかけ、アクチュエータ主体部８０をチルト方向に略沿って反時計回り方向略最大角度に傾斜させる。

　チルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＭＡＸは、例えば下式（９）に基づいて定められる。

　つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第二の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、反時計回り方向略最大角度におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　つぎに、アクチュエータ主体部８０を構成するフォーカス／チルトコイル４１に微弱なチルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＣＥＮＴＥＲをかけたり、チルトコイル駆動電圧をかけるのを止めたりする等して、アクチュエータ主体部８０をチルト方向に略沿って略中央角度に傾斜させる。

　チルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＣＥＮＴＥＲは、例えば下式（１０）に基づいて定められる。
　チルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＣＥＮＴＥＲ＝０　　　…（１０）

　例えば対物レンズ駆動装置１００の検査方法の実行方法等により、アクチュエータ主体部８０の略中心がチルト方向に略沿って略中央角度の角度とされるときに、アクチュエータ主体部８０を構成するフォーカス／チルトコイル４１に微弱なチルトコイル駆動電圧をかけることなく、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第二の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。

　ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、略中央角度におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　つぎに、アクチュエータ主体部８０を構成するフォーカス／チルトコイル４１にチルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＭＩＮをかけ、アクチュエータ主体部８０をチルト方向に略沿って時計回り方向略最大角度に傾斜させる。

　チルトコイル駆動電圧ＴＩＬＴ－ＭＩＮは、例えば下式（１１）に基づいて定められる。

　つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第二の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、時計回り方向略最大角度におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　トラッキングコイル４２にかけられる電圧は、例えばＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内においてアクチュエータ主体部８０を動作させるときに対応する電圧とする。

　平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、例えば、ラジアル方向の一側位置Ｙ１をプラス側位置Ｙ１とさせ、ラジアル方向の他側位置Ｙ２をマイナス側位置Ｙ２とさせ、一側位置Ｙ１とされるプラス側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２とされるマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０をゼロ（０）位置Ｙ０とさせる。

　また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＡＸ値とさせ、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＩＮ値とさせる。

　また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときに、例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿った最もプラス側位置Ｙ１と最もマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０に存在させられたときに、例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときに、例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。

　このようにすることにより、平面視されたアクチュエータ主体部８０をラジアル方向に略沿った任意の各位置に移動変更させ、アクチュエータ主体部８０のラジアル方向に略沿った任意の各位置上において、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えるアクチュエータ主体部８０がフォーカス方向に略沿ってスムーズに動作するものか否かの検査が確実に行われる。

　平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときの一側位置Ｙ１を例えばディスク外周部側略最大位置Ｙ１と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、一側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２との略中間を例えば略中央位置Ｙ０と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときの他側位置Ｙ２を例えばディスク内周部側略最大位置Ｙ２と定める。

　例えば、平面視されたアクチュエータ主体部８０をラジアル方向に略沿って位置変更させ、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１、略中央位置Ｙ０、及びディスク内周部側略最大位置Ｙ２の三箇所の位置で、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させる。

　まず、アクチュエータ主体部８０を構成するトラッキングコイル４２にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＯＵＴをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部８０をラジアル方向に略沿ってディスク外周部側略最大位置Ｙ１に移動させる。

　トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＯＵＴは、例えば下式（１２）に基づいて定められる。

　つぎに、例えばプログラムによるインクリメント等を行うことにより、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　つぎに、アクチュエータ主体部８０を構成するトラッキングコイル４２に微弱なトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＣＥＮＴＥＲをかけたり、トラッキングコイル駆動電圧をかけるのを止めたりする等して、平面視されたアクチュエータ主体部８０をラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に移動させる。

　トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＣＥＮＴＥＲは、例えば下式（１３）に基づいて定められる。
　トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＣＥＮＴＥＲ＝０　　　…（１３）

　例えば対物レンズ駆動装置１００の検査方法の実行方法等により、平面視されたアクチュエータ主体部８０の略中心がラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に存在するときに、アクチュエータ主体部８０を構成するトラッキングコイル４２に微弱なトラッキングコイル駆動電圧をかけることなく、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第二の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。

　つぎに、例えばプログラムによるインクリメント等を行うことにより、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、略中央位置Ｙ０におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　つぎに、アクチュエータ主体部８０を構成するトラッキングコイル４２にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＩＮをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部８０をラジアル方向に略沿ってディスク内周部側略最大位置Ｙ２に移動させる。

　トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ－ＩＮは、例えば下式（１４）に基づいて定められる。

　つぎに、例えばプログラムによるインクリメント等を行うことにより、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行う。例えば、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、傾斜／平行状態のＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク内周部側略最大位置Ｙ２におけるアクチュエータ主体部８０の作動状態を検査する。

　ＯＢＬ５を有する対物レンズ駆動装置１００の検査を行うときに、ＯＢＬ５が備えられた対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを印加させる。そのときに、必要に応じて、ＯＢＬ５が備えられた対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス駆動電圧を印加させ、また、必要に応じて、ＯＢＬ５が備えられた対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するトラッキングコイル４２にトラッキング駆動電圧ＴＶ－ＩＮ、ＴＶ－ＯＵＴ、及び／又はＴＶ－ＣＥＮＴＥＲを印加させ、ＯＢＬ５が備えられた対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス／チルト駆動電圧ＦＶを印加させて、ＯＢＬ５を有する対物レンズ駆動装置１００の検査を行う。

　ＯＢＬ５が備えられた対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行するときに、対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１に電圧をかけることにより、例えばアクチュエータ主体部８０をヨーク１２側または磁石２２側から側面視したときに、ＯＢＬ５を有するアクチュエータ主体部８０がチルト方向に略沿った任意の角度とされた状態に傾斜される。ＯＢＬ５を有するアクチュエータ主体部８０のチルト方向への傾斜を例えば制御プロセッサ３８０等を用いてマイコン検査／判定させることができる。また、ＯＢＬ５を有するアクチュエータ主体部８０がチルト方向に略沿った任意の角度とされた状態で、必要に応じて、対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス駆動電圧をかけ、また、必要に応じて、対物レンズ駆動装置１００の駆動機構を構成するトラッキングコイル４２にトラッキング駆動電圧をかけることにより、傾けられたＯＢＬ５を有するアクチュエータ主体部８０のフォーカス方向、トラッキング方向への移動を例えば制御プロセッサ３８０等を用いてマイコン検査／判定させることができる。

　つぎに本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法の別の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

　実施例１～３においては、図１に示す対物レンズ駆動装置１００の検査装置４００を用いて対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させるが、実施例４においては、図１５に示すディスク装置２００を少なくとも用いて対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させる。実施例１～３において説明したものと同一のものについては、同一の符号を付しその詳細な説明を省略した。

＝＝＝ディスク装置＝＝＝
　図１５に示すディスク装置２００として、例えばレーザ光Ｌを出射可能な光ディスク装置２００が用いられている。詳しく説明すると、ディスク装置２００として、例えば、「ＣＤ」、「ＤＶＤ」、「ＨＤ　ＤＶＤ」、「ＣＢＨＤ」、「ＢＤ」等の各種光ディスク５００に対応した光ディスク装置２００が用いられている。また、例えば光ディスク５００のピット、トラック等の略螺旋状信号部（不図示）を横切るように光ディスク５００の半径方向に略沿ってＯＰＵ１が往復移動可能に備えられている。

　この光ディスク装置２００は、ＯＰＵ１に装備されたＰＤ７において検出された信号が入力され、ＰＤ７において検出された信号を高い周波数の信号とされる例えばＲＦ信号として出力させる光出力信号処理回路２１０を備える。ＲＦ信号とは、例えば電波と略同じ高い周波数に変換された信号を意味する。また、「ＲＦ」は、「ｒａｄｉｏ　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ」の略称である。

　ＯＰＵ１に装備されたＰＤ７によって光信号から電気信号に変換された信号は、例えばＰＤ信号として光出力信号処理回路２１０いわゆるフロントエンド処理部２１０に入力される。フロントエンド処理部２１０は、例えばフロントエンド・プロセッサとして構成され、光ディスク５００に記録された信号の再生信号とされるＲＦ信号などの高い周波数の信号と、ＦＥ信号と、ＴＥ信号と、を生成して出力するものとして構成されている。

　また、この光ディスク装置２００は、フロントエンド処理部２１０から出力された信号が入力され、光ディスク装置２００全体の制御を行うシステム制御回路２２０を備える。光ディスク装置２００やＯＰＵ１の各種の制御／動作は、システム制御回路２２０にて行われる。システム制御回路２２０は、マイクロコンピュータにて構成されている。マイクロコンピュータ（ｍｉｃｒｏ　ｃｏｍｐｕｔｅｒ）とは、超小型コンピュータを意味するものとされている。

　システム制御用マイクロコンピュータは、ＣＰＵ、システムコントローラ、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータなどとされ、光ディスク装置２００全般のシステム制御を司る制御部とされる。「ＣＰＵ」は、「Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ」の略称とされ、中央演算装置を意味する。ＣＰＵ２２０が備える各機能は、ソフトウェアいわゆるプログラムにより実現される。

　また、この光ディスク装置２００は、光検出器７で検出され光出力信号処理回路２１０にて高い周波数の信号に変換された信号を増幅させると共に、高い周波数のアナログ信号をデジタル信号に変換させる信号処理回路２３０を備える。詳しく説明すると、この光ディスク装置２００は、ＰＤ７で検出されフロントエンド処理部２１０にてＲＦ信号に変換された信号を増幅させると共に、アナログ信号とされるＲＦ信号をデジタル信号に変換させるＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０を備える。

　フロントエンド処理部２１０にて生成された再生信号とされるＲＦ信号などの高い周波数の信号は、ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０に入力される。ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０にてＲＦ信号などの高い周波数の信号が増幅される。また、ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０は、入力されたアナログ信号を２値化された信号いわゆるデジタル信号として出力するものとして構成されている。ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０から出力された信号に基づいて、ジッタ値の検出が良好に行われる。

　ＲＦ信号などの高い周波数の信号から同期系のものが検出されてゆくときに、基準クロックにて、周波数の時間ばらつきが検出される。この時間ばらつきが小さい数値とされているほど、時間ばらつきが少なく、性能が良いものとされている。基準クロックは、例えば基準ＣＬＫと略称されて用いられる。同期系の信号長さについて説明すると、例えば、ＣＤ系列のものでは、３Ｔ～１１Ｔ、ＤＶＤ系列のものでは、一部３Ｔ～１１Ｔ、主に３Ｔ～１４Ｔ、「ＨＤ　ＤＶＤ」系列のものでは、２Ｔ～１１Ｔ、「ＢＤ」系列のものでは、２Ｔ～８Ｔとされている。

　また、この光ディスク装置２００は、フロントエンド処理部２１０にて生成されたＦＥ信号に基づいて、ＯＢＬ５を備えるレンズホルダ３０のフォーカスサーボ動作を実行可能とさせるフォーカスサーボ回路２４１を備える。詳しく説明すると、この光ディスク装置２００は、ＰＤ７において検出された信号に基づいてフロントエンド処理部２１０で生成されたＦＥ信号が入力されると共に、光ディスク５００の表面５５０に対して直交する方向とされるＯＢＬ５の光軸方向に略沿って、ＯＰＵ１に装備されたＯＢＬ５を変位させる制御信号を生成するフォーカスサーボ回路２４１を備える。フロントエンド処理部２１０にて生成されたのちに、フロントエンド処理部２１０から出力されたＦＥ信号は、フォーカスサーボ回路２４１に入力される。フォーカスサーボ回路２４１は、イコライザが用いられて構成されている。フォーカスサーボ回路２４１は、デジタル信号に対応可能なデジタルイコライザとして構成されている。イコライザ（ｅｑｕａｌｉｚｅｒ）とは、音声信号などの信号の全体的な周波数特性を加工したり調整したりするための電気回路とされる。また、イコライザは、「ＥＱ」と略称される。

　また、この光ディスク装置２００は、フロントエンド処理部２１０にて生成されたＴＥ信号に基づいて、ＯＢＬ５を備えるレンズホルダ３０のトラッキングサーボ動作を実行可能とさせるトラッキングサーボ回路２４２を備える。詳しく説明すると、この光ディスク装置２００は、ＰＤ７において検出された信号に基づいてフロントエンド処理部２１０で生成されたＴＥ信号が入力されると共に、光ディスク５００の径方向に略沿って、ＯＰＵ１に装備されたＯＢＬ５を変位させる制御信号を生成するトラッキングサーボ回路２４２を備える。フロントエンド処理部２１０にて生成されたのちに、フロントエンド処理部２１０から出力されたＴＥ信号は、トラッキングサーボ回路２４２に入力される。トラッキングサーボ回路２４２は、イコライザが用いられて構成されている。トラッキングサーボ回路２４２は、デジタル信号に対応可能なデジタルイコライザとして構成されている。

　また、この光ディスク装置２００は、フロントエンド処理部２１０／トラッキングサーボ回路２４２にて生成された信号に基づいて、ＯＰＵ１のスレッドサーボ動作を実行可能とさせるスレッドサーボ回路２５０を備える。詳しく説明すると、この光ディスク装置２００は、検出された信号に基づいてフロントエンド処理部２１０／トラッキングサーボ回路２４２で生成された信号が入力されると共に、光ディスク５００の径方向に略沿って、ＯＰＵ１を変位させる制御信号を生成するスレッドサーボ回路２５０を備える。フロントエンド処理部２１０／トラッキングサーボ回路２４２にて生成されたのちに、フロントエンド処理部２１０／トラッキングサーボ回路２４２から出力された信号は、スレッドサーボ回路２５０に入力される。スレッドサーボ回路２５０は、イコライザが用いられて構成されている。スレッドサーボ回路２５０は、デジタル信号に対応可能なデジタルイコライザとして構成されている。

　また、この光ディスク装置２００は、例えばデジタル信号処理回路等を含むデジタル信号処理装置いわゆるデジタル・シグナル・プロセッサ２６０を備えて構成される。この光ディスク装置２００は、ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０から出力されたデジタル信号の復調を行うデジタル信号処理回路をＤＳＰ２６０内に備える。ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０から出力されたデジタル信号は、デジタル信号処理回路に入力される。デジタル信号処理回路は、例えば各種信号の復調動作を行うものとして構成されている。光ディスク装置２００にＤＳＰ２６０を構成するデジタル信号処理回路を含んだチップが装備されている。デジタル信号処理回路を含むＤＳＰ２６０が用いられることにより、例えばＣＰＵ２２０等における高速演算処理が実行可能となる。ＤＳＰ２６０が用いられることにより、信号処理が行われるときに、例えばＳＮ比が略９０ｄＢ以上とされ、ノイズの影響が回避され易くなり、また、周辺の雰囲気温度などによる影響も抑制され易くなる。このようなことから、ＤＳＰ２６０が用いられることにより精度の高い演算処理等が高速で行われる。

　ＤＳＰ２６０は、例えば、上記ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路２３０などの信号処理回路２３０、上記フォーカスサーボ回路２４１、上記トラッキングサーボ回路２４２、上記スレッドサーボ回路２５０等を含んで構成されている。

　また、この光ディスク装置２００は、スレッドサーボ回路２５０から出力されたスレッド制御信号（ＳＬＤＯ信号）が入力され、ＯＰＵ１を駆動させるスレッドモータ２８０に駆動信号を供給するスレッド駆動回路２７０を備える。この明細書におけるＳＬＤＯとは、例えば「ｓｌｅｄ　ｄｒｉｖｅ　ｏｕｔ」の略称とされる。スレッドサーボ回路２５０は、入力された信号に基づいて、信号のレベルを変化させるためのＳＬＤＯ信号をスレッド駆動回路２７０に出力する。スレッドサーボ回路２５０から出力されたＳＬＤＯ信号は、スレッド駆動回路２７０に入力される。スレッド駆動回路２７０は、スレッドモータ２８０にスレッドコイル駆動信号を供給する。ＯＰＵ１をスレッド調整するために、スレッド駆動回路２７０からスレッドモータ２８０にスレッド駆動信号が送られる。

　また、この光ディスク装置２００は、フォーカスサーボ回路２４１から出力されたフォーカス制御信号（ＦＤＯ信号）が入力され、ＯＰＵ１に装備されたフォーカス／チルトコイル４１に駆動信号を供給するフォーカス／チルトコイル駆動回路２７１を備える。この明細書におけるＦＤＯとは、例えば「ｆｏｃｕｓ　ｄｒｉｖｅ　ｏｕｔ」の略称とされる。フォーカスサーボ回路２４１は、入力されたＦＥ信号に基づいて、ＦＥ信号のレベルを変化させるためのＦＤＯ信号をフォーカス／チルトコイル駆動回路２７１に出力する。フォーカスサーボ回路２４１から出力されたＦＤＯ信号は、フォーカス／チルトコイル駆動回路２７１に入力される。フォーカス／チルトコイル駆動回路２７１は、フォーカス／チルトコイル４１にフォーカス／チルトコイル駆動信号を供給する。光ディスク５００のピットに対し、ＯＢＬ５によって絞られたレーザ光Ｌの焦点が、ＯＢＬ５のフォーカス方向に沿ってずらされようとされたときに、ＯＰＵ１のＯＢＬ５をフォーカス調整するために、フォーカス／チルトコイル駆動回路２７１からＯＰＵ１のフォーカス／チルトコイル４１にフォーカス駆動信号が送られる。駆動回路は、例えば、ドライバ、パワードライバ等と呼ばれている。

　また、この光ディスク装置２００は、トラッキングサーボ回路２４２から出力されたトラッキング制御信号（ＴＤＯ信号）が入力され、ＯＰＵ１に装備されたトラッキングコイル４２に駆動信号を供給するトラッキングコイル駆動回路２７２を備える。この明細書におけるＴＤＯとは、例えば「ｔｒａｃｋｉｎｇ　ｄｒｉｖｅ　ｏｕｔ」の略称とされる。トラッキングサーボ回路２４２は、入力されたＴＥ信号に基づいて、ＴＥ信号のレベルを変化させるためのＴＤＯ信号をトラッキングコイル駆動回路２７２に出力する。トラッキングサーボ回路２４２から出力されたＴＤＯ信号は、トラッキングコイル駆動回路２７２に入力される。トラッキングコイル駆動回路２７２は、トラッキングコイル４２にトラッキングコイル駆動信号を供給する。光ディスク５００のピットに対し、ＯＢＬ５によって絞られたレーザ光Ｌの焦点が、ＯＢＬ５のトラッキング方向に沿ってずらされようとされたときに、ＯＰＵ１のＯＢＬ５をトラッキング調整するために、トラッキングコイル駆動回路２７２からＯＰＵ１のトラッキングコイル４２にトラッキング駆動信号が送られる。

　また、この光ディスク装置２００は、ＯＰＵ１に装備されたフォーカス／チルトコイル４１に駆動信号を供給するチルト駆動回路２７３を備える。ＯＰＵ１のＯＢＬ５の角度をチルト調整するために、ＯＰＵ１のフォーカス／チルトコイル４１に送られる駆動信号が、チルト駆動回路２７３にて生成される。チルト駆動回路２７３は、フォーカス／チルトコイル４１にチルト駆動信号を供給する。光ディスク５００のピットに対し、ＯＢＬ５によって絞られたレーザ光Ｌの焦点が例えば略長円状に変形させられようとされたときに、ＯＰＵ１のＯＢＬ５をチルト調整するために、チルト駆動回路２７３からＯＰＵ１のフォーカス／チルトコイル４１にチルト駆動信号が送られる。

　また、この光ディスク装置２００は、ＯＰＵ１を光ディスク５００の半径方向に略沿って往復移動可能に駆動させるスレッドモータ２８０を備える。スレッド駆動回路２７０からスレッドモータ２８０にスレッド駆動信号が送られて、光ディスク５００の半径方向に略沿ってＯＰＵ１の位置がスレッド調整される。

＝＝＝第四の検査方法＝＝＝
　次に、上記光ディスク装置２００を用いて、ＯＰＵ１の出荷前と、ＯＰＵ１の出荷後と、のＯＰＵ１におけるＤＤＴの検査方法について詳細に説明する。便宜上、例えば図７～図１４を併用して、光ディスク装置２００自体に実行させる対物レンズ駆動装置１００の検査方法を説明する。また、便宜上、上記式（１）～式（１４）を併用して、光ディスク装置２００自体に実行させる対物レンズ駆動装置１００の検査方法を説明する。

　この対物レンズ駆動装置１００の検査方法は、基台１０と、ＯＢＬ５と、基台１０上でＯＢＬ５を保持するホルダ３０と、ＯＢＬ５が少なくともフォーカス方向に移動するようにホルダ３０を駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置１００の検査方法とされ、この対物レンズ駆動装置１００の検査方法を光ディスク装置２００自体に実行させる。

　ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体に実行させる対物レンズ駆動装置１００の検査方法は、ＯＢＬ５を介してレーザ光Ｌを出射させる工程と、ＯＢＬ５を介して出射されるレーザ光Ｌを所定のメディア５００に照射させる工程と、ホルダ３０が基台１０の面１０ａに最も近づく第１位置Ｍａと基台１０の面１０ａから第１位置Ｍａよりも遠ざかる第２位置Ｍｂとの間を移動するための駆動電圧ＦＶを駆動機構に与える工程と、メディア５００を反射したレーザ光Ｌを光電変換する工程と、光電変換後の信号に基づいて自動良否判定を行う工程と、を含むものとされている。

　ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００にて対物レンズ駆動装置１００の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイル４２に印加させ、例えば駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる。

　また、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００にて対物レンズ駆動装置１００の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイル４２に印加させ、例えば駆動機構を構成するチルトコイルに印加させる。

　また、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００にて対物レンズ駆動装置１００の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイル４２に印加させ、駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイル４１に印加させる。

　また、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体に実行させる対物レンズ駆動装置１００の検査方法は、例えば、必要に応じて実施例２に示す対物レンズ駆動装置１００の検査方法および／または実施例３に示す対物レンズ駆動装置１００の検査方法を光ディスク装置２００自体に実行させたのちに行わせる。

　ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体に実行させる対物レンズ駆動装置１００の検査方法について詳しく説明すると、ＯＰＵ１を光ディスク装置２００のドライブ装置２０１に装着させ、検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の光ディスク５００を光ディスク装置２００のドライブ装置２０１に装着させて、検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の光ディスク５００を用いて、図１７または図１８の如く各種反射光が検出される時間を測定し、ＤＤＴの検査を行う。

　より詳しく説明すると、ＯＰＵ１が出荷される前に、ＯＰＵ１を光ディスク装置２００のドライブ装置２０１に装着させ、また、検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の光ディスク５００を光ディスク装置２００のドライブ装置２０１に装着させて、ＯＢＬ５のフォーカス方向に略沿った駆動範囲内において、ＯＰＵ１のＯＢＬ５を上下動させる（図１９、図２０）。

　例えば図８～図１１の如く、フォーカス／チルトコイル４１に印加させる信号／電圧たとえばＦＤＯ信号ＦＶを例えば下限値から上限値まで変化させることにより、例えば図１９の如くＯＢＬ５を上昇させる。これにより、ＯＢＬ５を最下点Ｍａから最上点Ｍｂまで変化させる。

　また、そのときに、ＯＢＬ５の最下点Ｍａにおける静止状態を基準とし、ＯＢＬ５の最下点ＭａからＯＢＬ５が上昇され始める時間を基準時間として定義する。

　アクチュエータ８を構成するアクチュエータ・フレーム１０の下側ストッパ部に、アクチュエータ８を構成するＯＢＬ５が装備されたレンズホルダ３０の下側ストッパ部を当接させる。このようにして、ＯＢＬ５をフォーカス方向の最下点Ｍａの位置にて例えば略５ｍｓｅｃ（ミリセカンド）ほど静止させてアクチュエータ安定化時間をもたせてアクチュエータ可動部８ａを安定させる（図１７）。

　次に、ＯＢＬ５の最下点ＭａからＯＢＬ５が上昇され始める基準時間を計測する。

　ＦＤＯ信号ＦＶを上昇させるのと略同時にタイマ（ｔｉｍｅｒ）をスタートさせる。

　次に、フォーカス／チルトコイル４１に印加させる電圧を上昇させてゆき、これに伴ってフォーカス方向に略沿ってＯＢＬ５が上昇させられるときに、光ディスク５００の表面部５５０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられて光ディスク５００の表面部５５０における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ１と、光ディスク５００の信号層５１０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられて光ディスク５００の信号層５１０における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ２と、を計測させ、そのときに生じる各時間差を例えば「ＤＤＴ＿ＵＰ」として定義する。

　光ディスク装置２００のドライブ装置２０１いわゆるディスクドライブ装置２０１を利用して、ＯＰＵ１のＯＢＬ５を例えばアクチュエータ８を用いて最下点Ｍａから光ディスク５００の表面部５５０の近傍まで上昇させて、ＯＢＬ５の焦点ＦＰが光ディスク５００の表面部５５０まで達する時間Ｔ１と、ＯＢＬ５の焦点ＦＰが光ディスク５００の信号層５１０まで達する時間Ｔ２と、を計測させる。

　ＦＥ信号および／またはＲＦ信号等の信号を用いて、ＯＢＬ５の最下点Ｍａから光ディスク５００の表面部５５０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられてディスク表面部合焦位置Ｐ１における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ１を計測させる。

　また、ＦＥ信号および／またはＲＦ信号等の信号を用いて、ＯＢＬ５の最下点Ｍａから光ディスク５００の信号層５１０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられてディスク信号層合焦位置Ｐ２における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ２を計測させる。

　計測時間Ｔ１と計測時間Ｔ２とを用いて、例えば下式（１５）に基づく演算を例えばＣＰＵ２２０等の制御プロセッサに行わせる。
　　　（ＤＤＴ＿ＵＰ）＝Ｔ２－Ｔ１　　　・・・（１５）

　これらの計測／演算された三つの時間と、ＯＰＵ１が正常な状態のときの三つの時間と、を、例えばＣＰＵ２２０の制御プロセッサ等を用いて比較させ、ＯＰＵ１の使用可否を判断させる。

　「Ｔ１」、「Ｔ２」、「ＤＤＴ＿ＵＰ」が正常の数値としての範囲内にあるものか否かの判断を例えばＣＰＵ２２０等の制御プロセッサに行わせる。

　ＦＤＯ信号ＦＶを例えば下限値から上限値まで変化させて、ＯＢＬ５を最下点Ｍａから最上点Ｍｂまで変化させて各時間を計測させて判断処理が行われたのちに、次の工程を行わせる。

　例えば図１２の如く、フォーカス／チルトコイル４１に印加させるＦＤＯ信号ＦＶを例えば上限値から下限値まで変化させることにより、例えば図２０の如くＯＢＬ５を下降させる。これにより、ＯＢＬ５を最上点Ｍｂから最下点Ｍａまで変化させる。

　また、そのときに、今度は、ＯＢＬ５の最上点Ｍｂにおける静止状態を基準とし、ＯＢＬ５の最上点ＭｂからＯＢＬ５が下降され始める時間を基準時間として定義する。

　アクチュエータ８を構成するアクチュエータ・フレーム１０の上側ストッパ部に、アクチュエータ８を構成するＯＢＬ５が装備されたレンズホルダ３０の上側ストッパ部を当接させる。このようにして、ＯＢＬ５をフォーカス方向の最上点Ｍｂの位置にて例えば略５ｍｓｅｃほど静止させてアクチュエータ安定化時間をもたせてアクチュエータ可動部８ａを安定させる（図１８）。

　次に、ＯＢＬ５の最上点ＭｂからＯＢＬ５が下降され始める基準時間を計測する。

　ＦＤＯ信号ＦＶを下降させるのと略同時にタイマをスタートさせる。

　次に、フォーカス／チルトコイル４１に印加させる電圧を下降させてゆき、これに伴ってフォーカス方向に略沿ってＯＢＬ５が下降させられるときに、光ディスク５００の信号層５１０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられて光ディスク５００の信号層５１０における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ３と、光ディスク５００の表面部５５０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられて光ディスク５００の表面部５５０における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ４と、を計測させ、そのときに生じる各時間差を例えば「ＤＤＴ＿ＤＯＷＮ」として定義する。

　光ディスク装置２００のドライブ装置２０１いわゆるディスクドライブ装置２０１を利用して、ＯＰＵ１のＯＢＬ５を例えばアクチュエータ８を用いて最上点Ｍｂから最下点Ｍａに向けて下降させて、ＯＢＬ５の焦点ＦＰが光ディスク５００の信号層５１０まで達する時間Ｔ３と、ＯＢＬ５の焦点ＦＰが光ディスク５００の表面部５５０まで達する時間Ｔ４と、を計測させる。

　ＦＥ信号および／またはＲＦ信号等の信号を用いて、ＯＢＬ５の最上点Ｍｂから光ディスク５００の信号層５１０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられてディスク信号層合焦位置Ｐ２における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ３を計測させる。

　また、ＦＥ信号および／またはＲＦ信号等の信号を用いて、ＯＢＬ５の最上点Ｍｂから光ディスク５００の表面部５５０においてＯＢＬ５が結ぶレーザ光Ｌの焦点ＦＰが合わせられてディスク表面部合焦位置Ｐ１における光Ｌの反射が生じるまでの時間Ｔ４を計測させる。

　計測時間Ｔ３と計測時間Ｔ４とを用いて、例えば下式（１６）に基づく演算を例えばＣＰＵ２２０等の制御プロセッサに行わせる。
　　　（ＤＤＴ＿ＤＯＷＮ）＝Ｔ４－Ｔ３　　　・・・（１６）

　これらの計測／演算された三つの時間と、ＯＰＵ１が正常な状態のときの三つの時間と、を、例えばＣＰＵ２２０等の制御プロセッサを用いて比較させ、ＯＰＵ１の使用可否を判断させる。

　「Ｔ３」、「Ｔ４」、「ＤＤＴ＿ＤＯＷＮ」が正常の数値としての範囲内にあるものか否かの判断を例えばＣＰＵ２２０等の制御プロセッサに行わせる。

　また、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体に対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させるときに、必要に応じて、例えば上記式（１）～式（１４）の数式のうち少なくとも一つの数式、好ましくは上記式（５）～式（１４）の数式のうち少なくとも一つの数式を併用させて、例えば光ディスク装置２００のＣＰＵ２２０等を用いて、光ディスク装置２００自体に対物レンズ駆動装置１００によるＯＢＬ５を検査させる。

　このように検査を行うことにより、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体にて、対物レンズ駆動装置１００によるＯＢＬ５を検査することができる。

　ＦＤＯ信号ＦＶを上昇および／または下降させるときに、正常なＯＰＵ１のフォーカス／チルトコイル４１等を備えたアクチュエータ８の可動部８ａの時間あたりの位置変化量を略一定の範囲内の数値としてＣＰＵ２２０等の制御プロセッサに定義させておき、例えば計測・演算された「ＤＤＴ＿ＵＰ」、「ＤＤＴ＿ＤＯＷＮ」等をＣＰＵ２２０等の制御プロセッサにて正常値と比較させて、ＯＰＵ１のアクチュエータ８を構成するフォーカス／チルトコイル４１の上昇時の感度と下降時の感度とが、正常の範囲内のものとされているか否かのチェックを、例えばＣＰＵ２２０に行わせることが可能となる。

　ＯＰＵ１の出荷後においても、同様に検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の光ディスク５００を用いて、上記各時間等の計測を行って、ＯＰＵ１が例えばフォーカス方向に略沿って上下動する動作等の正常性を確認することができる。

　また、このような確認作業を行う場合、例えば抜取検査等により良否判定を行うことができる。

　光ディスク装置２００のドライブ装置２０１に内装された例えばＣＤ／ＤＶＤ／ＢＤ系列の各メディア５００の判別が行われるときに、このようにして光ディスク装置２００のドライブ装置２０１にてＤＤＴ等の計測が行われる。

　このように、ディスク検出時のレンズ上昇時間等を検出させて、ディスク検出時のレンズ上昇時間等が正常の範囲内の時間とされているものかを検査させてから、光ディスク装置２００のドライブ装置２０１にＯＰＵ１を組み込ませる。ＯＰＵ１が組み込まれた光ディスク装置２００のドライブ装置２０１においては、そのような光ディスク装置２００のドライブ装置２０１が例えば出荷された後でも、検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の光ディスク５００を用いて、ディスク検出時のレンズ上昇時間を検出させることにより、ＯＰＵ１のフォーカス／チルトコイル４１の感度が正常とされているか否かの検査を行うことが可能となる。

　このようにすることで、光ディスク装置２００に内装されるＯＰＵ１がＯＰＵ１の製造メーカ等から出荷される前に、ＯＰＵ１のＤＤＴの計測を可能とさせて、ＯＰＵ１のＤＤＴ等をチェックさせることが可能となる。また、ＯＰＵ１が例えば光ディスク装置２００等の組立メーカ等に出荷された後であっても、例えば検査用の基準とされる光ディスク５００等の所定の検査用光ディスク５００を用いてＯＰＵ１の定期的なチェックを行うことが可能となる。

　以上、本発明の実施形態について説明したが、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれるものである。

　例えば、図２１に示すアクチュエータ８に代えて、フォーカス／チルトコイル４１と異なる別形態のフォーカスコイルが装備されると共にフォーカス／チルトコイル４１と異なる別形態のチルトコイルが装備された対物レンズ駆動装置が準備され、そのような対物レンズ駆動装置の検査方法が検査装置４００により行われてもよい。

　また、例えば、光センサ３４８等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１００の検査を行う信号検査装置としてオシロスコープ３６０が例示されているが、オシロスコープ３６０以外の他の装置が信号検査装置として用いられてもよい。例えば、光センサ３４８等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１００の検査を行う信号検査装置として、制御プロセッサ３８０が用いられてもよい。光センサ３４８等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１００の検査を行う信号検査装置として、例えば、オシロスコープ３６０または制御プロセッサ３８０の何れか一方または両方が用いられてもよい。

　また、例えば対物レンズ駆動装置１００の検査方法の実行方法等により、必要に応じてフォーカス／チルトコイル４１に所定の電圧をかけて、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０の略中心を例えばチルト方向に略沿ってチルト方向のマイナス最大角度からプラス最大角度までの間の任意の検査測定させたい角度に傾斜させ、チルト方向のマイナス最大角度からプラス最大角度までの間の任意の検査測定角度において、ＯＢＬ５を備えたアクチュエータ主体部８０をフォーカス方向および／またはトラッキング方向に略沿って自在に動作させて対物レンズ駆動装置１００の検査方法を実行させてもよい。

　また、例えば、実施例２に示す対物レンズ駆動装置１００の検査方法および／または実施例３に示す対物レンズ駆動装置１００の検査方法を併用させることなく、ＯＰＵ１を備える光ディスク装置２００自体にて、対物レンズ駆動装置１００の検査方法を行わせてもよい。

　また、例えば二つ以上のＯＢＬ５を有するＯＰＵ１が光ディスク装置２００に装備されてもよい。このように、例えば二つ以上の複数のＯＢＬ５を有するＯＰＵ１が光ディスク装置２００に装備されてもよい。また、その場合、例えば二つ以上の複数のＯＢＬ５は、例えば光ディスク５００のラジアル方向に略沿って並設されてもよい。また、例えば二つ以上の複数のＯＢＬ５は、例えば光ディスク５００のタンジェンシャル方向に略沿って並設されてもよい。

　本発明は、例えば対物レンズ駆動装置による対物レンズの移動／傾斜を検査可能な対物レンズ駆動装置の検査方法に適用可能とされる。

　１　　　　　ＯＰＵ（光ピックアップ装置）
　３　　　　　ＬＤ（発光素子）
　５　　　　　ＯＢＬ（対物レンズ）
　７　　　　　ＰＤ（光検出器）
　８　　　　　アクチュエータ（駆動装置）
　８ａ　　　　アクチュエータ可動部（可動部）
　１０　　　　フレーム（基台）
　１０ａ　　　表面（面）
　１０ｂ、１０ｃ　表面部
　１１、１２　ヨーク（磁気連結部材）
　２１、２２　磁石（磁性部材）
　２１ａ、２２ａ　底面部
　２１ｂ、２２ｂ　背面部
　３０　　　　レンズホルダ（ホルダ）
　３１、３２　側面部
　３５　　　　係止部材
　４１　　　　フォーカス／チルトコイル（コイル）
　４２　　　　トラッキングコイル（コイル）
　５０　　　　サスペンションワイヤ（ワイヤ）
　５１、５２　両端部（端部）
　６０　　　　支持板（板）
　７１、７２　接着箇所
　８０　　　　アクチュエータ主体部（主体部）
　８０ａ　　　裏面（底面）
　９０　　　　収容部
　９０ａ　　　空間
　１００　　　対物レンズ駆動装置
　１１０　　　ケース
　１２０　　　ハウジング
　１３０ａ　　挿入孔部
　１３０ｂ　　開口穴部
　１５０　　　ＦＰＣ（ケーブル）
　１５１、１５２　フレキシブルプリント基板（基板）
　２００　　　光ディスク装置（ディスク装置）
　２０１　　　ディスクドライブ装置（ドライブ装置）
　２１０　　　フロントエンド処理部（光出力信号処理回路）
　２２０　　　ＣＰＵ（システム制御回路）
　２３０　　　ＲＦ信号増幅／処理／サーボ処理回路（信号処理回路）
　２４１　　　ＥＱ（フォーカスサーボ回路）
　２４２　　　ＥＱ（トラッキングサーボ回路）
　２５０　　　ＥＱ（スレッドサーボ回路）
　２６０　　　ＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）
　２７０　　　ドライバ（スレッド駆動回路）
　２７１　　　ドライバ（フォーカス／チルトコイル駆動回路）
　２７２　　　ドライバ（トラッキングコイル駆動回路）
　２７３　　　ドライバ（チルト駆動回路）
　２８０　　　スレッドモータ（モータ）
　３００　　　安定化電源装置（電源装置）
　３０３、３０５、３１３、３２３、３４９、３７３、３７５、３８１、３８３、３８５　ケーブル（電線）
　３１０　　　第１の検査治具（駆動電圧生成器）
　３１１、３５１　＋端子（端子）
　３１２、３５２　－端子（端子）
　３１３　　　ツイストケーブル（ケーブル）
　３２０　　　ＡＰＣ
　３３０　　　ＬＶＤＳ変換器
　３４０　　　第２の検査治具（スレーブ治具）
　３４１　　　アパーチャ
　３４２　　　ピンホール（孔）
　３４３　　　底板
　３４３ａ、３４３ｂ　延設部
　３４４ａ　　側板
　３４４ｂ　　骨板（補強板）
　３４５　　　背板
　３４５ａ、３４５ｂ　孔（ボルト孔）
　３４６ａ、３４６ｂ　支持棒（棒）
　３４７ａ、３４７ｂ　ボルト
　３４８　　　光センサ（センサ）
　３５０　　　Ｉ／Ｖアンプ（電流／電圧変換回路）
　３５１　　　＋端子（端子）
　３５２　　　－端子（端子）
　３６０　　　オシロスコープ（波形表示器）
　３６１　　　表示画面
　３６２、３６４　チャンネル
　３６３、３６５　プローブ（電線）
　３７０　　　Ａ／Ｄコンバータ（回路）
　３８０　　　制御プロセッサ（制御装置）
　３９０　　　透過スクリーン（スクリーン）
　３９２　　　投影像（投射像）
　４００　　　検査装置
　５００　　　ディスク（メディア）
　５１０　　　信号層（信号面部）
　５５０　　　表面部（面）
　Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２　距離
　ＦＰ　　　　スポット（焦点）
　ＦＶ　　　　駆動電圧（信号）
　Ｈ　　　　　水平面
　ｈ１、ｈ２、ｈ３　高さ
　Ｌ　　　　　レーザ光（光）
　Ｌａ　　　　光軸
　ＬＤＰ　　　センサ出力電圧
　Ｍ１、Ｍｂ　最上点（位置）
　Ｍ２、Ｍａ　最下点（位置）
　Ｎ１　　　　合焦点最上位置（位置）
　Ｎ２　　　　合焦点最下位置（位置）
　Ｐ１　　　　ディスク表面部合焦位置（位置）
　Ｐ２　　　　ディスク信号層合焦位置（位置）
　Ｒ１、Ｒ２　半径
　Ｓ１、Ｓ３　上面
　Ｓ２　　　　側面
　Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４　計測時間（時間）
　ＴＩＬＴ－ＣＥＮＴＥＲ、ＴＩＬＴ－ＭＩＮ、ＴＩＬＴ－ＭＡＸ　チルトコイル駆動電圧
　ＴＶ－ＣＥＮＴＥＲ、ＴＶ－ＩＮ、ＴＶ－ＯＵＴ　トラッキングコイル駆動電圧（トラッキング駆動電圧）
　Ｙ０　　　　略中央位置（位置）
　Ｙ１　　　　ディスク外周部側略最大位置（位置）
　Ｙ２　　　　ディスク内周部側略最大位置（位置）

Claims

　基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動するフォーカス／チルトコイルを有する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
　前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
　前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、
　を含む
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成する前記フォーカス／チルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記駆動機構は、前記対物レンズが前記フォーカス方向ならびに前記フォーカス方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構とされ、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成する前記フォーカス／チルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
　前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
　前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、
　を含み、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
　前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
　前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、
　を含み、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定のメディアに照射させる工程と、
　前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
　前記メディアを反射した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、
　を含む
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
　前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
　前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定のメディアに照射させる工程と、
　前記メディアを反射した前記レーザ光を光電変換する工程と、
　前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、
　を含む
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　請求項６又は７に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　請求項６又は７に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するチルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
　請求項６又は７に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
　前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカス／チルトコイルに印加させる
　ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。