JP5580609B2 - Ｘ線異物検出装置およびｘ線異物検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法に関し、特に、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備えるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法に関するものである。

一般に、Ｘ線異物検出装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、この照射したＸ線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査するようになっている。

従来、この種のＸ線異物検出装置では、Ｘ線の照射に伴って被検査物を透過するＸ線を検出するＸ線検出器であるアレイ状のＸ線ラインセンサを複数本（例えば、２本）被検査物の搬送方向に併設し、一方のＸ線ラインセンサからの検出信号と他方のＸ線ラインセンサからの検出信号とをそれぞれ別に検出することで、被検査物中の異物の混入の有無を検査するようにした技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−１６８８０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来の技術では、一方のＸ線ラインセンサからの検出信号と他方のＸ線ラインセンサからの検出信号のそれぞれから個別に被検査物中の異物の混入の有無を検査することができるが、２つのＸ線ラインセンサの被検査物の搬送方向の距離の分だけ被検査物の同一部位の通過タイミングが異なり検出信号に時間差が生じてしまうため、２つのＸ線ラインセンサからの検出信号を合成したものから被検査物中の異物の混入の有無を検査することはできなかった。また、仮に、２つのＸ線ラインセンサからの検出信号を合成しても、合成した画像において各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界が一致せず、合成した画像にはノイズが含まれてＳ／Ｎ比が低下してしまうという問題があった。

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供することを目的としている。

本発明に係るＸ線異物検出装置は、搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物の搬送方向に複数配置され、前記被検査物を透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、
前記Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、前記Ｘ線ラインセンサの間隔および前記被検査物の搬送速度に基づいて、前記搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほど該Ｘ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延手段と、前記遅延手段からの検出信号を合成して前記被検査物に対応する画像データとして出力する合成手段と、前記合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備え、前記遅延手段は、前記合成手段が出力する前記画像データを取得して、遅延時間を微調整することを特徴とする。

この構成により、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物Ｗの搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を一致させることができる。また、被検査物Ｗの画像のノイズを減少し、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置の前記遅延手段は、前記合成手段が出力する各画像データにおける前記被検査物の境界が一致するように前記遅延時間を微調整することを特徴とする。

この構成により、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を高精度で一致させることができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置の前記遅延手段は、前記合成手段が出力する各画像データにおける前記被検査物の境界に前記搬送方向の段差が生じないように前記遅延時間を微調整することを特徴とする。

この構成により、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を高精度で一致させることができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出方法は、搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射ステップと、前記被検査物の搬送方向に複数配置されたＸ線ラインセンサにより、前記被検査物を透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線検出ステップと、前記Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、前記Ｘ線ラインセンサの間隔および前記被検査物の搬送速度に基づいて、前記搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほど該Ｘ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延ステップと、前記遅延ステップによる検出信号を合成して前記被検査物に対応する画像データとして出力する合成ステップと、前記合成ステップで出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定ステップと、前記合成ステップで出力する画像データに基づいて前記遅延ステップにおける前記遅延時間を微調整する微調整ステップと、を有することを特徴とする。

この方法により、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができる。また、被検査物の画像のノイズを減少し、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。

本発明は、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供することができる。

本発明の第１の実施の形態に係るＸ線異物検出装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の第１の実施の形態に係るＸ線異物検出装置の側面および内部構成を示す図である。 （ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るＸ線異物検出装置のＸ線検出器の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、Ｘ線検出器の上面図である。 （ａ）は、遅延時間が適切なときの合成部の出力結果を示す図であり、（ｂ）は、遅延時間に過不足があるときの合成部の出力結果を示す図である。 （ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線異物検出装置のＸ線検出器の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、Ｘ線検出器の上面図である。 （ａ）は、遅延時間が適切なときの合成部の出力結果を示す図であり、（ｂ）は、遅延時間に過不足があるときの合成部の出力結果を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。

（第１の実施の形態）
まず構成について説明する。

図１に示すように、Ｘ線異物検出装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示器５を筐体４の前面上部に備えている。

搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４に対して水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。

検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。

Ｘ線発生源としてのＸ線発生器９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。

また、発生するＸ線の強度がＸ線管１２の陽極と陰極との間に流す電流（管電流）に比例して変化するとともに、発生するＸ線の波長がＸ線管１２の陽極と陰極との間に印加する電圧（管電圧）に応じて短くなり透過力が強くなるため、検出対象とする異物および被検査物Ｗの種類や搬送速度に応じて、Ｘ線管１２の管電流または管電圧が調整されるようになっている。

図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。

Ｘ線検出器１０は、Ａ／Ｄ変換部４１を備えており、Ａ／Ｄ変換部４１は、Ｘ線ラインセンサ５０、６０（図３（ａ）、図３（ｂ）参照）の検出信号（輝度値データ）をデジタルデータに変換して濃度データとして出力するようになっている。すなわち、Ｘ線検出器１０は、被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で直交する方向（Ｙ方向）に直線状に延在するＸ線ラインセンサ５０、６０によって被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して、この検出結果による濃度データを出力するようになっている。

Ｘ線検出器１０は、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数のセンサモジュール５１、５２、５３、５４、６１、６２、６３、６４をそれぞれ直線状に接続したＸ線ラインセンサ５０、６０を被検査物Ｗの搬送方向に備えている。各センサモジュール５１、５２、５３、５４、６１、６２、６３、６４は、ライン状に整列して配設された図示しない複数の検出素子としてのフォトダイオード（図示せず）と、フォトダイオード上に設けられたシンチレータ（図示せず）とからなるＸ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａを基板５１ｂ、５２ｂ、５３ｂ、５４ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ上に実装したものから構成されている。Ｘ線ラインセンサ５０、６０は、被検査物Ｗの搬送方向に隙間なく接して併設されているが、Ｘ線ラインセンサ５０のＸ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａとＸ線ラインセンサ６０のＸ線検知部６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａとの間には隙間が生じている。

上記構成によるＸ線検出器１０では、被検査物Ｗに対してＸ線発生器９からＸ線が照射されると、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をシンチレータで受けて光に変換する。さらにシンチレータで変換された光は、その下部に配置されるフォトダイオードによって受光される。そして、各フォトダイオードは、受光した光を電気信号に変換して出力する。フォトダイオードが受光して電気信号に変換された輝度値データは、Ａ／Ｄ変換部４１によりデジタルデータに変換されて濃度データとして出力される。

なお、Ｘ線検出器１０がＡ／Ｄ変換部４１を備える代わりに、制御部４０がＡ／Ｄ変換部４１を備えるようにしてもよい。すなわち、Ｘ線検出器１０から制御部４０への出力を、デジタルデータに変換された後の濃度データとする代わりに、デジタルデータに変換される前の輝度値データをＸ線検出器１０の側で出力し、制御部４０の側で輝度値データをデジタルデータである濃度データに変換するように構成してもよい。

図２に示すように、Ｘ線異物検出装置１は、Ｘ線検出器１０からの濃度データが入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する制御部４０を備えている。

制御部４０は、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部４２と、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの濃度データの双方のタイミングが合うように、記憶部４２に記憶された濃度データのうち、被検査物Ｗの搬送方向上流側に配置されたＸ線ラインセンサ５０の濃度データを遅延させて、Ｘ線ラインセンサ６０の濃度データとともに出力する遅延部４４と、遅延部４４から出力された各濃度データを合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部で合成された濃度データに対して被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部４８と、判定結果を表示する表示器５とを備えている。

記憶部４２は、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの濃度データを一時的に記憶するものであり、濃度データを高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。

遅延部４４は、記憶部４２に記憶された濃度データに対して、Ｘ線ラインセンサ５０とＸ線ラインセンサ６０との間の距離と被検査物Ｗの搬送速度に応じた遅延時間だけＸ線ラインセンサ５０からの濃度データを遅延させることにより、Ｘ線ラインセンサ５０の濃度データとＸ線ラインセンサ６０の濃度データとのタイミングを合わせるようになっている。具体的には、Ｘ線ラインセンサ５０のＸ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａと、Ｘ線ラインセンサ６０のＸ線検知部６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａとの間の距離をＤ、被検査物Ｗの搬送速度をＶとすると遅延時間Ｔは、Ｔ＝Ｄ／Ｖとなる。すなわち、遅延部４４は、Ｘ線ラインセンサ５０、６０への被検査物Ｗの通過時刻の差に等しい時間だけ上流側のＸ線ラインセンサ５０の濃度データを遅延させて、２つのＸ線ラインセンサ５０、６０から濃度データのタイミングを合わせることにより、Ｘ線ラインセンサ５０とＸ線ラインセンサ６０との間の濃度データのタイミングのズレを補正するようになっている。なお、この濃度データのタイミングのズレは、これらの濃度データを合成して得た画像データにおいて位置のズレとして現れる。

合成部４６は、図４（ａ）に示すように、遅延部４４によりタイミングが合うように補正されたＸ線ラインセンサ５０、６０の濃度データ５０ｄ、６０ｄの合成、すなわち重ね合わせを行って、被検査物Ｗの形状に対応する画像データ１０ｄｍとして出力するようになっている。

なお、遅延部４４の遅延置時間に過不足があった場合の合成部４６の出力結果は、図４（ｂ）に示すように、画像データ１０ｄｍにおいて、Ｘ線ラインセンサ５０の濃度データ５０ｄに基づく被検査物Ｗの画像の境界と、Ｘ線ラインセンサ６０の濃度データ６０ｄに基づく被検査物Ｗの画像の境界とが一致しないものとなる。

これは、例えば、制御部４０が搬送部の駆動モータ６に指令した搬送速度と実際の搬送速度との間にズレが生じる等の原因により、遅延時間の算出に用いる被検査物Ｗの搬送速度と実際の被検査物Ｗの搬送速度との間にズレが生じたために発生し得ることである。

そこで、遅延部４４は、遅延時間に過不足があるために合成部４６で合成された画像データとしての濃度データ１０ｄｍにおいて、図４（ｂ）のように被検査物Ｗの画像の境界が一致していなかった場合には、境界が一致するように遅延時間を微調整するようになっている。

なお、濃度データ１０ｄｍの先頭の部分を取得した段階で被検査物Ｗの画像の境界が一致していなかった場合には、濃度データ１０ｄｍの全体の取得を待つことなく直ちに境界が一致するように遅延部４４により遅延時間を微調整するようにしてもよい。

また、遅延部４４による遅延時間の微調整は、Ｔ＝Ｄ／Ｖとして求めた遅延時間Ｔに対して校正を行うものであり、被検査物Ｗの種類や形状には影響されないので、被検査物Ｗの良否検査を行う通常の運転モードで実行しても、または、テストピース（試験用被検査物）を用いる微調整モードで実行してもよい。

判定部４８は、合成部４６で合成された画像データとしての濃度データ１０ｄｍに基づいて、被検査物Ｗの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。

また、制御部４０は、設定部４９を備えており、この設定部４９からは、Ｘ線発生器９のＸ線出力の設定や、搬送速度等の検査パラメータの設定操作、選択操作が行われるようになっている。

次に動作を説明する。

制御部４０は、予め設定された速度で搬送部２を駆動して被検査物Ｗを搬送するとともに、予め設定された強度でＸ線発生器９から被検査物ＷにＸ線を照射する。

ついで、制御部４０は、Ｘ線検出器１０から出力されるＸ線ラインセンサ５０の濃度データとＸ線ラインセンサ６０の濃度データとを記憶部４２に記憶する。

ついで、制御部４０は、遅延部４４により、記憶部４２に記憶された濃度データのうち、上流側のＸ線ラインセンサ５０の濃度データを遅延時間Ｔ（Ｔ＝Ｄ／Ｖ）だけ遅延させて、Ｘ線ラインセンサ６０の濃度データとともに出力する。

ついで、制御部４０は、合成部４６により、図４（ａ）に示すように、Ｘ線ラインセンサ５０、６０の濃度データの合成を行って、被検査物Ｗの形状に対応する画像データとして出力するとともに、遅延部４４により、被検査物Ｗの画像の境界が図４（ｂ）のように一致していなかった場合には、境界が一致するように遅延時間を微調整する。

ついで、制御部４０は、判定部４８により、合成部４６で合成された画像データとしての濃度データに基づいて、被検査物Ｗの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定し、合成部４６で合成された画像データとともに表示器５に表示する。

以上のように、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置され、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサ５０、６０と、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサ５０、６０の間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサ５０ほどＸ線ラインセンサ５０の検出信号を遅延させて出力する遅延部４４と、遅延部４４からの検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えている。

この構成により、複数本のＸ線ラインセンサ５０、６０を被検査物Ｗの搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を一致させることができる。また、被検査物Ｗの画像のノイズを減少し、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１の遅延部４４は、合成部４６が出力する画像データを取得して、合成部４６が出力する各画像データにおける被検査物Ｗの境界が一致するように遅延時間を微調整するよう構成されている。

この構成により、各Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を高精度で一致させることができる。

なお、上記のＸ線異物検出装置は、Ｘ線異物検出方法として実施することができる。すなわち、本実施の形態のＸ線異物検出方法は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線照射ステップと、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置されたＸ線ラインセンサ５０、６０により、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線検出ステップと、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサ５０、６０の間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサ５０ほど該Ｘ線ラインセンサ５０の検出信号を遅延させて出力する遅延ステップと、遅延ステップによる検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成ステップと、合成ステップで出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定ステップと、を有する。

この方法により、複数本のＸ線ラインセンサ５０、６０を被検査物Ｗの搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサ５０、６０からの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を一致させることができる。また、被検査物Ｗの画像のノイズを減少し、Ｓ／Ｎ比を向上させることができる。

（第２の実施の形態）
本実施の形態は、２つのＸ線ラインセンサの間でセンサモジュールが互い違いになるように配置することで同一のＸ線ラインセンサの隣合うセンサモジュールの間に不感体が生じないように構成したものである。なお、本実施の形態でも全体的な構成は図１に示す通りであり、第１の実施の形態と同様の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

第１の実施の形態のように、Ｘ線ラインセンサ５０、６０がセンサモジュール５１、５２、５３、５４、およびセンサモジュール６１、６２、６３、６４をそれぞれ直線状に接続したものから構成されている場合、互いに隣り合うセンサモジュールの間には不感体が生じてしまい、不感体上の異物を検出できない恐れがある。

これは、Ｘ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａの長さを基板５１ｂ、５２ｂ、５３ｂ、５４ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂの長さと同じにするためには、精度良く加工する必要があり、それにはコストの増加が避けられないためである。

そこで、本実施の形態では、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、Ｘ線ラインセンサ７０のセンサモジュール７１、７３と、Ｘ線ラインセンサ８０のセンサモジュール８２、８４とが互い違いに配置して、不感体が生じないように構成している。具体的には、センサモジュール７１、７３、８２、８４は、Ｘ線検知部７１ａの端部とＸ線検知部８２ａの端部、およびＸ線検知部８２ａの端部とＸ線検知部７３ａの端部、およびＸ線検知部７３ａの端部とＸ線検知部８４ａの端部が、それぞれ搬送部２の幅方向（Ｙ方向）で重なるか、または一致するように配置されている。

合成部４６は、図６（ａ）に示すように、遅延部４４によりタイミングが合うように補正されたＸ線ラインセンサ７０、８０の濃度データ７０ｄ、８０ｄの合成、すなわち重ね合わせを行って、被検査物Ｗの形状に対応する画像データ（濃度データ１０ｄｍ）として出力するようになっている。

遅延部４４の遅延置時間に過不足があった場合の合成部４６の出力結果は、図６（ｂ）に示すように、画像データ（濃度データ１０ｄｍ）において、Ｘ線ラインセンサ７０の濃度データ７０ｄに基づく被検査物Ｗの画像の境界と、Ｘ線ラインセンサ８０の濃度データ８０ｄに基づく被検査物Ｗの画像の境界とで搬送方向に段差が生じたものとなる。

そこで、本実施の形態では、遅延部４４は、遅延時間に過不足があるために被検査物Ｗの画像の境界に段差が生じた場合には、この段差を解消するように遅延時間を微調整するようになっている。

なお、濃度データ１０ｄｍの先頭の部分を取得した段階で被検査物Ｗの画像の境界に段差が生じていた場合には、濃度データ１０ｄｍの全体の取得を待つことなく直ちに段差を解消するように遅延部４４により遅延時間を微調整するようにしてもよい。

また、遅延部４４に、複数のＸ線ラインセンサの間隔より小さい段差が生じていた場合に限って段差を解消するように遅延時間を微調整させることにより、被検査物Ｗの形状により遅延部４４が誤動作を起こすことを防止するようにしてもよい。

次に動作を説明する。

制御部４０は、予め設定された速度で搬送部２を駆動して被検査物Ｗを搬送するとともに、予め設定された強度でＸ線発生器９から被検査物ＷにＸ線を照射する。

ついで、制御部４０は、Ｘ線検出器１０から出力されるＸ線ラインセンサ７０の濃度データとＸ線ラインセンサ８０の濃度データとを記憶部４２に記憶する。

ついで、制御部４０は、遅延部４４により、記憶部４２に記憶された濃度データのうち、上流側のＸ線ラインセンサ７０の濃度データを遅延時間Ｔ（Ｔ＝Ｄ／Ｖ）だけ遅延させて、Ｘ線ラインセンサ８０の濃度データとともに出力する。

ついで、制御部４０は、合成部４６により、図６（ａ）に示すように、Ｘ線ラインセンサ７０、８０の濃度データの合成を行って、被検査物Ｗの形状に対応する画像データとして出力するとともに、遅延部４４により、画像データにおける被検査物Ｗの画像の境界が図６（ｂ）のように搬送方向に段差を生じていた場合には、段差が解消するように遅延時間を微調整する。

ついで、制御部４０は、判定部４８により、合成部４６で合成された画像データとしての濃度データに基づいて、被検査物Ｗの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定し、合成部４６で合成された画像データとともに表示器５に表示する。

以上のように、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１の遅延部４４は、合成部４６が出力する画像データを取得して、合成部４６が出力する各画像データにおける被検査物Ｗの境界に搬送方向の段差が生じないように遅延時間を微調整するよう構成されている。

この構成により、各Ｘ線ラインセンサ７０、８０からの検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を高精度で一致させることができる。

なお、本発明は方法の発明として実施することができる。すなわち、Ｘ線異物検出方法は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線照射ステップと、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置されたＸ線ラインセンサ５０、６０または７０、８０により、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線検出ステップと、Ｘ線ラインセンサ５０、６０または７０、８０からの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサ５０、６０または７０、８０の間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサ５０または７０ほど該Ｘ線ラインセンサ５０または７０の検出信号を遅延させて出力する遅延ステップと、遅延ステップによる検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成ステップと、合成ステップで出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定ステップと、を有する。

このため、各Ｘ線ラインセンサ５０、６０または７０、８０の検出信号から生成される被検査物Ｗの画像の境界を高精度で一致させることができる。

また、上記した実施の形態では、２つのＸ線ラインセンサ５０、６０または２つのＸ線ラインセンサ７０、８０を備えているが、より多くのＸ線ラインセンサを被検査物Ｗの搬送方向に配置し、各Ｘ線ラインセンサの間隔と搬送速度に応じた遅延時間で濃度データの遅延を行い、合成された画像データの状態に応じて遅延時間を微調整するように構成してもよい。

以上のように、本発明に係るＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法は、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるという効果を有し、複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備えるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法として有用である。

１ Ｘ線異物検出装置
２ 搬送部
２ａ ベルト面
３ 検出部
４ 筐体
５ 表示器
６ 駆動モータ
７ 搬入口
８ 搬出口
９ Ｘ線発生器
１０ Ｘ線検出器
１１ 箱体
１２ Ｘ線管
１６ 遮蔽カーテン
２１ 搬送路
２１ａ 天井部
２２ 検査空間
４１ Ａ／Ｄ変換部
４２ 記憶部
４４ 遅延部（遅延手段）
４６ 合成部（合成手段）
４８ 判定部（判定手段）
４９ 設定部
５０、６０、７０、８０ Ｘ線ラインセンサ
５１、５２、５３、５４、６１、６２、６３、６４、７１、７３、８２、８４ センサモジュール
５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、７１ａ、７３ａ、８２ａ、８４ａ Ｘ線検知部
５１ｂ、５２ｂ、５３ｂ、５４ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、７１ｂ、７３ｂ、８２ｂ、８４ｂ 基板
Ｗ 被検査物

Claims (3)

1. 搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、
   前記被検査物の搬送方向に複数配置され、ライン状に整列して配設された複数本のＸ線検知部から構成された、前記被検査物を透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、
   前記Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、前記Ｘ線ラインセンサの間隔および前記被検査物の搬送速度に基づいて、前記搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほど該Ｘ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延手段と、
   前記遅延手段からの検出信号を合成して前記被検査物に対応する画像データとして出力する合成手段と、
   前記合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備え、
   前記遅延手段は、前記合成手段が出力する前記画像データを取得して、前記合成手段が出力する各画像データにおける前記被検査物の境界が一致するように遅延時間を微調整することを特徴とするＸ線異物検出装置。
2. 前記遅延手段は、前記合成手段が出力する画像データの先頭部分を取得した段階で境界が一致していなかった場合に、前記被検査物全体の画像データの取得を待つことなく直ちに前記遅延時間を微調整することを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検出装置。
3. 搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射ステップと、
   前記被検査物の搬送方向に複数配置されたＸ線ラインセンサにより、前記被検査物を透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線検出ステップと、
   前記Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、前記Ｘ線ラインセンサの間隔および前記被検査物の搬送速度に基づいて、前記搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほど該Ｘ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延ステップと、
   前記遅延ステップによる検出信号を合成して前記被検査物に対応する画像データとして出力する合成ステップと、
   前記合成ステップで出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定ステップと、
   前記合成ステップで出力する画像データにおける前記被検査物の境界が一致するように前記遅延ステップにおける前記遅延時間を微調整する微調整ステップと、を有することを特徴とするＸ線異物検出方法。

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