JP6462228B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
前記搬送面上を搬送される前記被検査物にX線を照射するX線発生器(9)と、
前記被検査物の搬送方向に並設され、前記被検査物を透過するX線に応じた検出信号を検出して出力する上流側から順に並んだ第1X線ラインセンサ(50)、第2X線ラインセンサ(60)、第3X線ラインセンサ(70)、を含むX線検出器(10)と、
前記第1X線ラインセンサに対して該第1X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第2X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させ、前記第2X線ラインセンサに対して該第2X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第3X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させるタイミング遅延部(44)と、
前記被検査物の高さを取得する被検査物高さ取得部(47、81)と、
検査を所望する前記X線検出器に含まれるX線ラインセンサの数より1つ少ない複数の高さを指定する設定操作部と、
前記被検査物高さ取得部で取得した前記被検査物の高さと、前記設定操作部で指定された複数の高さと、複数の前記X線ラインセンサおよび前記X線発生器の配置と、前記搬送部の搬送速度とに基づいて、前記タイミング遅延部が用いる複数の遅延時間を算出する遅延時間算出部(45)と、
前記第1X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第1画像データを出力し、前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第3X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第2の画像データを出力する合成部(46)と、
前記合成部が出力する各画像データに基づいて前記被検査物の良否を判定する判定部(48)とを備えることを特徴としている。
2 搬送部
2a 搬送面
3 検出部
5 表示器
9 X線発生器
10 X線検出器
12 X線管
21 搬送路
22 検査空間
41 A/D変換部
42 一時記憶部
44 タイミング遅延部
45 遅延時間算出部
46 合成部
47 入力インターフェース(被検査物高さ取得部)
48 判定部
49 操作設定部
50、60、70 X線ラインセンサ
81 被検査物高さ測定センサ(被検査物高さ取得部)
W 被検査物
Claims (4)
- 被検査物(W)を搬送面(2a)上で搬送する搬送部(2)と、
前記搬送面上を搬送される前記被検査物にX線を照射するX線発生器(9)と、
前記被検査物の搬送方向に並設され、前記被検査物を透過するX線に応じた検出信号を検出して出力する上流側から順に並んだ第1X線ラインセンサ(50)、第2X線ラインセンサ(60)、第3X線ラインセンサ(70)、を含むX線検出器(10)と、
前記第1X線ラインセンサに対して該第1X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第2X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させ、前記第2X線ラインセンサに対して該第2X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第3X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させるタイミング遅延部(44)と、
前記被検査物の高さを取得する被検査物高さ取得部(47、81)と、
検査を所望する前記X線検出器に含まれるX線ラインセンサより1つ少ない複数の高さを指定する設定操作部と、
前記被検査物高さ取得部で取得した前記被検査物の高さと、前記設定操作部で指定された複数の高さと、複数の前記X線ラインセンサおよび前記X線発生器の配置と、前記搬送部の搬送速度とに基づいて、前記タイミング遅延部が用いる複数の遅延時間を算出する遅延時間算出部(45)と、
前記第1X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第1画像データを出力し、前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第3X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第2の画像データを出力する合成部(46)と、
前記合成部が出力する各画像データに基づいて前記被検査物の良否を判定する判定部(48)とを備えたX線検査装置。 - 前記遅延時間算出部は、隣接する前記X線ラインセンサの下流側の前記X線ラインセンサの検出タイミングと上流側の前記X線ラインセンサの検出タイミングとが、前記設定操作部で指定された前記複数の高さの1つに対応する前記被検査物の内部に対して一致するよう、前記タイミング遅延部が用いる前記複数の遅延時間の1つを算出することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記被検査物高さ取得部は、前記被検査物の高さを非接触で測定する非接触式センサであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記被検査物の高さが外部機器から入力される入力インターフェース(47)を、前記被検査物高さ取得部として備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
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