JP6462228B2 - X線検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 156
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 85
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 20
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 17
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 41
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 235000019688 fish Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 235000021067 refined food Nutrition 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
前記搬送面上を搬送される前記被検査物にX線を照射するX線発生器(9)と、
前記被検査物の搬送方向に並設され、前記被検査物を透過するX線に応じた検出信号を検出して出力する上流側から順に並んだ第1X線ラインセンサ(50)、第2X線ラインセンサ(60)、第3X線ラインセンサ(70)、を含むX線検出器(10)と、
前記第1X線ラインセンサに対して該第1X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第2X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させ、前記第2X線ラインセンサに対して該第2X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第3X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させるタイミング遅延部(44)と、
前記被検査物の高さを取得する被検査物高さ取得部(47、81)と、
検査を所望する前記X線検出器に含まれるX線ラインセンサの数より1つ少ない複数の高さを指定する設定操作部と、
前記被検査物高さ取得部で取得した前記被検査物の高さと、前記設定操作部で指定された複数の高さと、複数の前記X線ラインセンサおよび前記X線発生器の配置と、前記搬送部の搬送速度とに基づいて、前記タイミング遅延部が用いる複数の遅延時間を算出する遅延時間算出部(45)と、
前記第1X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第1画像データを出力し、前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第3X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第2の画像データを出力する合成部(46)と、
前記合成部が出力する各画像データに基づいて前記被検査物の良否を判定する判定部(48)とを備えることを特徴としている。
2 搬送部
2a 搬送面
3 検出部
5 表示器
9 X線発生器
10 X線検出器
12 X線管
21 搬送路
22 検査空間
41 A/D変換部
42 一時記憶部
44 タイミング遅延部
45 遅延時間算出部
46 合成部
47 入力インターフェース(被検査物高さ取得部)
48 判定部
49 操作設定部
50、60、70 X線ラインセンサ
81 被検査物高さ測定センサ(被検査物高さ取得部)
W 被検査物
Claims (4)
- 被検査物(W)を搬送面(2a)上で搬送する搬送部(2)と、
前記搬送面上を搬送される前記被検査物にX線を照射するX線発生器(9)と、
前記被検査物の搬送方向に並設され、前記被検査物を透過するX線に応じた検出信号を検出して出力する上流側から順に並んだ第1X線ラインセンサ(50)、第2X線ラインセンサ(60)、第3X線ラインセンサ(70)、を含むX線検出器(10)と、
前記第1X線ラインセンサに対して該第1X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第2X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させ、前記第2X線ラインセンサに対して該第2X線ラインセンサの下流側に隣接する前記第3X線ラインセンサの検出タイミングを遅延させるタイミング遅延部(44)と、
前記被検査物の高さを取得する被検査物高さ取得部(47、81)と、
検査を所望する前記X線検出器に含まれるX線ラインセンサより1つ少ない複数の高さを指定する設定操作部と、
前記被検査物高さ取得部で取得した前記被検査物の高さと、前記設定操作部で指定された複数の高さと、複数の前記X線ラインセンサおよび前記X線発生器の配置と、前記搬送部の搬送速度とに基づいて、前記タイミング遅延部が用いる複数の遅延時間を算出する遅延時間算出部(45)と、
前記第1X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第1画像データを出力し、前記第2X線ラインセンサから出力される検出信号と前記第3X線ラインセンサから出力される検出信号とを合成して前記被検査物に対応する第2の画像データを出力する合成部(46)と、
前記合成部が出力する各画像データに基づいて前記被検査物の良否を判定する判定部(48)とを備えたX線検査装置。 - 前記遅延時間算出部は、隣接する前記X線ラインセンサの下流側の前記X線ラインセンサの検出タイミングと上流側の前記X線ラインセンサの検出タイミングとが、前記設定操作部で指定された前記複数の高さの1つに対応する前記被検査物の内部に対して一致するよう、前記タイミング遅延部が用いる前記複数の遅延時間の1つを算出することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記被検査物高さ取得部は、前記被検査物の高さを非接触で測定する非接触式センサであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記被検査物の高さが外部機器から入力される入力インターフェース(47)を、前記被検査物高さ取得部として備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014070179A JP6462228B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014070179A JP6462228B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015190940A JP2015190940A (ja) | 2015-11-02 |
JP6462228B2 true JP6462228B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
ID=54425520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014070179A Active JP6462228B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6462228B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6569069B1 (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-04 | 株式会社 システムスクエア | 検査装置 |
JP7530193B2 (ja) | 2020-03-25 | 2024-08-07 | アンリツ株式会社 | 物品検査装置および物品検査方法 |
WO2021192699A1 (ja) * | 2020-03-25 | 2021-09-30 | アンリツ株式会社 | 物品検査装置および物品検査方法 |
JP7530194B2 (ja) | 2020-03-25 | 2024-08-07 | アンリツ株式会社 | 物品検査装置および物品検査方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0627249A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-04 | Toshiba Corp | 放射線検査装置 |
JPH07306165A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Toshiba Corp | X線検査装置およびx線検査補修装置 |
US5583904A (en) * | 1995-04-11 | 1996-12-10 | Hewlett-Packard Co. | Continuous linear scan laminography system and method |
JP3678730B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2005-08-03 | 株式会社日鉄エレックス | X線異物検査方法及び装置 |
US7319737B2 (en) * | 2006-04-07 | 2008-01-15 | Satpal Singh | Laminographic system for 3D imaging and inspection |
JP5368772B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-12-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム及び放射線の検出方法 |
JP5580609B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2014-08-27 | アンリツ産機システム株式会社 | X線異物検出装置およびx線異物検出方法 |
JP5555048B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-07-23 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP5827064B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2015-12-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 透過x線分析装置及び方法 |
-
2014
- 2014-03-28 JP JP2014070179A patent/JP6462228B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015190940A (ja) | 2015-11-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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