JP2017181306A - 異物検出装置および異物検出方法 - Google Patents
異物検出装置および異物検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017181306A JP2017181306A JP2016068920A JP2016068920A JP2017181306A JP 2017181306 A JP2017181306 A JP 2017181306A JP 2016068920 A JP2016068920 A JP 2016068920A JP 2016068920 A JP2016068920 A JP 2016068920A JP 2017181306 A JP2017181306 A JP 2017181306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- inspection object
- image data
- thickness
- transmission image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 90
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 83
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004846 x-ray emission Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】異物検出装置20は、X線の光子が入力される毎に光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型の複数のX線センサ311〜31Nと、X線発生部22が出射するX線に照射される位置に進入する前の被検査物WのX線透過方向の厚さを逐次検出する厚さ検出手段60と、検出された被検査物Wの厚さに基づいて、X線発生部22が出射するX線の線量を所定期間毎に変更するX線線量可変手段70とを有している。
【選択図】図1
Description
号の数を累積することで、X線エネルギーが異なる場合の透過画像データを得ることが考えられる。この方式であれば、複数のX線センサを被検査物の通過方向と交差する方向に1列に並べておけばよく、上記問題を解消できる。
被検査物が通過する通過路にX線を出射するX線発生部(22)と、
前記X線発生部から前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を受ける位置で、被検査物の通過方向と交差する方向に並ぶように配置され、それぞれがX線を受けて電気信号に変換する複数のX線センサ(311〜31N)と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する透過画像データ生成手段(40)と、
前記透過画像データ生成手段によって生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する判定手段(50)とを有する異物検出装置において、
前記X線センサは、X線の光子が入力される毎に該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型であって、
前記透過画像データ生成手段は、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を複数に区分けした領域のいずれに入るかを判定し、前記所
定期間内のパルス信号入力数を前記領域毎に累積し、該領域毎の累積結果を用いて、X線透過エネルギーが異なる複数の透過画像データを生成するように構成され、
前記判定手段は、
前記透過画像データ生成手段で得られた複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定するように構成されており、
さらに、
前記X線発生部が出射するX線に照射される位置に進入する前の被検査物のX線透過方向の厚さを逐次検出する厚さ検出手段(60)と、
前記厚さ検出手段によって検出された被検査物の厚さに基づいて、前記X線発生部が出射するX線の線量を前記所定期間毎に変更するX線線量可変手段(70)とを設けたことを特徴とする。
前記X線発生部には、加熱したフィラメントから放出される電子を加速して陽極のターゲットに衝突させてX線を放出させる熱陰極X線管が用いられ、
前記X線線量可変手段は、前記熱陰極X線管の管電流または管電圧の少なくとも一方を、前記厚さ検出手段によって検出された被検査物の厚さに応じて変更することを特徴とする。
前記X線線量可変手段は、前記厚さ検出手段が被検査物のある部位の厚さを検出してから前記X線に照射される位置に被検査物の前記部位が到達するまでの時間差を遅延時間として予め設定可能となっているとともに、前記厚さ検出手段が前記検出を行ってから前記遅延時間経過後に前記X線の線量を当該検出した厚さに対応した量に変更することを特徴とする。
X線発生部(22)から被検査物が通過する通過路にX線を出射する段階と、
前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を、被検査物の通過方向と交差する方向に並んだ複数のX線センサ(311〜31N)で受けて電気信号に変換する段階と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する段階と、
前記生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する段階とを含む異物検出方法において、
前記X線センサとして、X線の光子が入力される毎に、該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型を用い、
前記透過画像データを生成する段階では、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を複数に区分けした領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域毎に累積し、該領域毎の累積結果を用いて、X線透過エネルギーが異なる複数の透過画像データを生成し、
前記被検査物内の異物の有無を判定する段階では、
前記生成された複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定し、
さらに、前記X線の照射位置に被検査物が進入する前に、その被検査物のX線透過方向の厚さを逐次検出し、該検出した厚さに応じて、前記X線発生部から出射されるX線の線
量を前記所定期間毎に変更することを特徴とする。
線を受ける位置で、被検査物Wの通過方向(紙面と直交する方向)と交差(この例では直交)する方向に隙間がほとんど無い状態で一列に並んでいる。
が得られ、領域R3について得られた9つの累積数を、図3の(c)のように3行3列に配置すれば、領域R3に対応したエネルギー範囲のX線による被検査物の透過画像データが得られる。
の厚さを、スキャン時間と同じ、または、スキャン時間よりも短い周期で検出して検出結果を出力する。X線線量可変手段70は、この検出結果を受けて、出射すべきX線の線量に対応した管電流や管電圧の値を決定し、その値となるようにスキャン時間毎に制御する。その結果、X線発生部22は、被検査物の通過方向に対する厚さの変化に応じた線量のX線を出射する。
手段、60……厚さ検出手段、70……X線線量可変手段
Claims (4)
- 被検査物が通過する通過路にX線を出射するX線発生部(22)と、
前記X線発生部から前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を受ける位置で、被検査物の通過方向と交差する方向に並ぶように配置され、それぞれがX線を受けて電気信号に変換する複数のX線センサ(311〜31N)と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する透過画像データ生成手段(40)と、
前記透過画像データ生成手段によって生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する判定手段(50)とを有する異物検出装置において、
前記X線センサは、X線の光子が入力される毎に該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型であって、
前記透過画像データ生成手段は、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を複数に区分けした領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域毎に累積し、該領域毎の累積結果を用いて、X線透過エネルギーが異なる複数の透過画像データを生成するように構成され、
前記判定手段は、
前記透過画像データ生成手段で得られた複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定するように構成されており、
さらに、
前記X線発生部が出射するX線に照射される位置に進入する前の被検査物のX線透過方向の厚さを逐次検出する厚さ検出手段(60)と、
前記厚さ検出手段によって検出された被検査物の厚さに基づいて、前記X線発生部が出射するX線の線量を前記所定期間毎に変更するX線線量可変手段(70)とを設けたことを特徴とする異物検出装置。 - 前記X線発生部には、加熱したフィラメントから放出される電子を加速して陽極のターゲットに衝突させてX線を放出させる熱陰極X線管が用いられ、
前記X線線量可変手段は、前記熱陰極X線管の管電流または管電圧の少なくとも一方を、前記厚さ検出手段によって検出された被検査物の厚さに応じて変更することを特徴とする請求項1に記載の異物検出装置。 - 前記X線線量可変手段は、前記厚さ検出手段が被検査物のある部位の厚さを検出してから前記X線に照射される位置に被検査物の前記部位が到達するまでの時間差を遅延時間として予め設定可能となっているとともに、前記厚さ検出手段が前記検出を行ってから前記遅延時間経過後に前記X線の線量を当該検出した厚さに対応した量に変更することを特徴とする請求項1または2に記載の異物検出装置。
- X線発生部(22)から被検査物が通過する通過路にX線を出射する段階と、
前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を、被検査物の通過方向と交差する方向に並んだ複数のX線センサ(311〜31N)で受けて電気信号に変換する段階と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する段階と、
前記生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する段階とを含む異物検出方法において、
前記X線センサとして、X線の光子が入力される毎に、該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型を用い、
前記透過画像データを生成する段階では、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を複数に区分けした領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域毎に累積し、該領域毎の累積結果を用いて、X線透過エネルギーが異なる複数の透過画像データを生成し、
前記被検査物内の異物の有無を判定する段階では、
前記生成された複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定し、
さらに、前記X線の照射位置に被検査物が進入する前に、その被検査物のX線透過方向の厚さを逐次検出し、該検出した厚さに応じて、前記X線発生部から出射されるX線の線量を前記所定期間毎に変更することを特徴とする異物検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016068920A JP6625470B2 (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 異物検出装置および異物検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016068920A JP6625470B2 (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 異物検出装置および異物検出方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019213765A Division JP7001327B2 (ja) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 異物検出装置および異物検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017181306A true JP2017181306A (ja) | 2017-10-05 |
JP6625470B2 JP6625470B2 (ja) | 2019-12-25 |
Family
ID=60005996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016068920A Active JP6625470B2 (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 異物検出装置および異物検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6625470B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017181161A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | アンリツインフィビス株式会社 | 異物検出装置および異物検出方法 |
JP2020038221A (ja) * | 2019-11-27 | 2020-03-12 | アンリツインフィビス株式会社 | 異物検出装置および異物検出方法 |
WO2023189135A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53110495A (en) * | 1977-03-09 | 1978-09-27 | Toshiba Corp | Radiation tomograph ic device |
JPH05217689A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線撮影装置およびx線撮影方法 |
JPH09113631A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-02 | Ishida Co Ltd | X線異物検出装置 |
JPH10201750A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Canon Inc | 放射線撮影装置 |
JP2002148214A (ja) * | 2000-11-14 | 2002-05-22 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP2010091483A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 異物検出方法および装置 |
US20140270055A1 (en) * | 2012-09-26 | 2014-09-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray ct apparatus |
WO2015111728A1 (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 株式会社ジョブ | X線検査装置及びx線検査方法 |
-
2016
- 2016-03-30 JP JP2016068920A patent/JP6625470B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53110495A (en) * | 1977-03-09 | 1978-09-27 | Toshiba Corp | Radiation tomograph ic device |
JPH05217689A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線撮影装置およびx線撮影方法 |
JPH09113631A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-02 | Ishida Co Ltd | X線異物検出装置 |
JPH10201750A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Canon Inc | 放射線撮影装置 |
JP2002148214A (ja) * | 2000-11-14 | 2002-05-22 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP2010091483A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 異物検出方法および装置 |
US20140270055A1 (en) * | 2012-09-26 | 2014-09-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray ct apparatus |
WO2015111728A1 (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 株式会社ジョブ | X線検査装置及びx線検査方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017181161A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | アンリツインフィビス株式会社 | 異物検出装置および異物検出方法 |
JP2020038221A (ja) * | 2019-11-27 | 2020-03-12 | アンリツインフィビス株式会社 | 異物検出装置および異物検出方法 |
WO2023189135A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6625470B2 (ja) | 2019-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10718725B2 (en) | X-ray inspection apparatus and correction method for X-ray inspection apparatus | |
JP4842206B2 (ja) | 検知器アレイおよびそれを用いた設備 | |
KR20080113012A (ko) | 방사선 검출기 및 방사선 검출 방법 | |
JP6663374B2 (ja) | X線検査装置 | |
CN103675886A (zh) | 闪烁探测器增益控制 | |
JP7001327B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
JP6625470B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
CN109804239B (zh) | X射线检查设备 | |
JP5452131B2 (ja) | X線検出器およびx線検査装置 | |
CN109313275A (zh) | 针对辐射探测器的死区时间校准 | |
US11079344B2 (en) | Radiation detection device, radiation image acquisition device, and radiation image acquisition method | |
JP7060446B2 (ja) | X線ラインセンサ及びそれを用いたx線異物検出装置 | |
JP6797539B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
JP6491125B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
JP5356184B2 (ja) | 物品検査装置 | |
JP6606454B2 (ja) | 異物検出装置および異物検出方法 | |
JP6450075B2 (ja) | X線検査装置 | |
Kwong et al. | A noise spectroscopy detector array for non-intrusive cargo inspection | |
KR102542126B1 (ko) | 라이다 센서 및 그의 노이즈 제거 방법 | |
US9568637B2 (en) | Method for autonomous self-blanking by radiation portal monitors to minimize the interference from pulsed X-rays radiation | |
JP6462228B2 (ja) | X線検査装置 | |
KR100640251B1 (ko) | 엑스선 검색 시스템 및 그 제어방법 | |
JP6587645B2 (ja) | 物品検査装置およびその検査条件切替方法 | |
JP6506629B2 (ja) | X線受光装置およびこれを備えたx線検査装置 | |
JP2011021920A (ja) | X線検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6625470 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |