JP7001327B2 - 異物検出装置および異物検出方法 - Google Patents
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Description
号の数を累積することで、X線エネルギーが異なる場合の透過画像データを得ることが考えられる。この方式であれば、複数のX線センサを被検査物の通過方向と交差する方向に1列に並べておけばよく、上記問題を解消できる。
被検査物が通過する通過路にX線を出射するX線発生部(22)と、
前記X線発生部から前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を受ける位置で、被検査物の通過方向と交差する方向に並ぶように配置され、それぞれがX線を受けて電気信号に変換する複数のX線センサ(311 ~31N )と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する透過画像データ生成手段(40)と、
前記透過画像データ生成手段によって生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する判定手段(50)とを有する異物検出装置において、
前記X線センサは、X線の光子が入力される毎に該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型であって、
前記透過画像データ生成手段は、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を3以上に等分した領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域のうち前記被検査物の材質の透過率変化と前記異物の材質の透過率変化の差が顕著となる領域としてそれぞれ選択的に割り当てられた複数の領域からなる組合せに応じて累積し、該領域からなる組み合わせの累積数を用いて、異物の検出に用いる複数の透過画像データを生成するように構成され、
前記判定手段は、
前記透過画像データ生成手段で得られた複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定するように構成されていることを特徴とする。
前記透過画像データ生成手段は、前記予め所定範囲内を5以上に等分した各領域のうち一部を前記選択的に割り当てられた複数の領域として前記透過画像データを作成することを特徴とする。
前記透過画像データ生成手段は、前記選択的に割り当てられた複数の領域の組合せが既知の場合には、当該組み合わせにかかる領域についての透過画像データのみを生成することを特徴とする。
X線発生部(22)から被検査物が通過する通過路にX線を出射する段階と、
前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を、被検査物の通過方向と交差する方向に並んだ複数のX線センサ(311 ~31N )で受けて電気信号に変換する段階と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する段階と、
前記生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する段階とを含む異物検出方法において、
前記X線センサとして、X線の光子が入力される毎に、該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型を用い、
前記透過画像データを生成する段階では、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を3以上に等分した領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域のうち前記被検査物の材質の透過率変化と前記異物の材質の透過率変化の差が顕著となる領域としてそれぞれ選択的に割り当てられた複数の領域からなる組合せに応じて累積し、該領域からなる組み合わせの累積数を用いて、異物の検出に用いる複数の透過画像データを生成し、
前記被検査物内の異物の有無を判定する段階では、
前記生成された複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定することを特徴とする。
線を受ける位置で、被検査物Wの通過方向(紙面と直交する方向)と交差(この例では直交)する方向に隙間がほとんど無い状態で一列に並んでいる。
が得られ、領域R3について得られた9つの累積数を、図3の(c)のように3行3列に配置すれば、領域R3に対応したエネルギー範囲のX線による被検査物の透過画像データが得られる。
の厚さを、スキャン時間と同じ、または、スキャン時間よりも短い周期で検出して検出結果を出力する。X線線量可変手段70は、この検出結果を受けて、出射すべきX線の線量に対応した管電流や管電圧の値を決定し、その値となるようにスキャン時間毎に制御する。その結果、X線発生部22は、被検査物の通過方向に対する厚さの変化に応じた線量のX線を出射する。
手段、60……厚さ検出手段、70……X線線量可変手段
Claims (4)
- 被検査物が通過する通過路にX線を出射するX線発生部(22)と、
前記X線発生部から前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を受ける位置で、被検査物の通過方向と交差する方向に並ぶように配置され、それぞれがX線を受けて電気信号に変換する複数のX線センサ(311 ~31N )と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する透過画像データ生成手段(40)と、
前記透過画像データ生成手段によって生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する判定手段(50)とを有する異物検出装置において、
前記X線センサは、X線の光子が入力される毎に該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型であって、
前記透過画像データ生成手段は、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を3以上に等分した領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域のうち前記被検査物の材質の透過率変化と前記異物の材質の透過率変化の差が顕著となる領域としてそれぞれ選択的に割り当てられた複数の領域からなる組合せに応じて累積し、該領域からなる組み合わせの累積数を用いて、異物の検出に用いる複数の透過画像データを生成するように構成され、
前記判定手段は、
前記透過画像データ生成手段で得られた複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定するように構成されていることを特徴とする異物検出装置。 - 前記透過画像データ生成手段は、前記予め所定範囲内を5以上に等分した各領域のうち一部を前記選択的に割り当てられた複数の領域として前記透過画像データを作成することを特徴とする請求項1に記載の異物検出装置。
- 前記透過画像データ生成手段は、前記選択的に割り当てられた複数の領域の組合せが既知の場合には、当該組み合わせにかかる領域についての透過画像データのみを生成することを特徴とする請求項1または2に記載の異物検出装置。
- X線発生部(22)から被検査物が通過する通過路にX線を出射する段階と、
前記通過路に出射されて被検査物を透過したX線を、被検査物の通過方向と交差する方向に並んだ複数のX線センサ(311 ~31N )で受けて電気信号に変換する段階と、
前記X線発生部と前記複数のX線センサとの間を被検査物が通過している間に前記複数のX線センサからそれぞれ出力される信号を所定期間ずつ区切って所定の信号処理を行い
、被検査物の通過方向と前記X線センサの並び方向とで決まる2次元の位置の情報と、該位置毎の信号処理結果からなる被検査物の透過画像データを生成する段階と、
前記生成された透過画像データに基づいて、被検査物内の異物の有無を判定する段階とを含む異物検出方法において、
前記X線センサとして、X線の光子が入力される毎に、該光子のエネルギーに対応した波高値のパルス信号を出力する光子検出型を用い、
前記透過画像データを生成する段階では、
前記各X線センサについて、該X線センサから前記所定期間内に出力されるパルス信号の波高値が、予め所定範囲内を3以上に等分した領域のいずれに入るかを判定し、前記所定期間内のパルス信号入力数を前記領域のうち前記被検査物の材質の透過率変化と前記異物の材質の透過率変化の差が顕著となる領域としてそれぞれ選択的に割り当てられた複数の領域からなる組合せに応じて累積し、該領域からなる組み合わせの累積数を用いて、異物の検出に用いる複数の透過画像データを生成し、
前記被検査物内の異物の有無を判定する段階では、
前記生成された複数の透過画像データに対してサブトラクション処理を含む所定の画像処理を行なうことで、被検査物内の異物の有無を判定することを特徴とする異物検出方法。
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