JP5759332B2 - Ｘ線異物検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線異物検出装置に関し、特に、複数本のＸ線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したＸ線異物検出装置に関するものである。

一般に、Ｘ線異物検出装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、この照射したＸ線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査するようになっている。

従来、この種のＸ線異物検出装置では、管電圧の異なるＸ線源を用いてローエネルギーとハイエネルギーのＸ線画像ペアすなわちデュアルエネルギーＸ線画像を取得し、これら２つのＸ線画像を合成することで、被検査物の厚みによる影響を低減させ、被検査物とその中の異物とのコントラストを高めて異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０−９１４８３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来の技術では、一方のＸ線源とＸ線ラインセンサの組合せにより得たＸ線画像と、他方のＸ線源とＸ線ラインセンサの組合せにより得たＸ線画像の大きさおよび形状が一致せず２つのＸ線画像上の被検査物の境界の位置がずれていると、２つのＸ線画像を合成する際に、Ｘ線画像上の被検査物の境界の位置ずれも高コントラスト化により強調されてしまい、異物検出性能を大きく損なってしまうという問題があった。

この種のＸ線異物検出装置ではＸ線画像のサイズがＸ線源と被検査物の搬送面とＸ線ラインセンサの３つの相互の位置関係により決定されるため、２つのＸ線画像の位置ずれは、一方のＸ線源とＸ線ラインセンサの組合せと他方のＸ線源とＸ線ラインセンサの組合せとの間で、組み付け誤差等によりこれらの位置関係がずれることにより発生する。

また、Ｘ線画像のサイズのずれは数ピクセル程度と小さいものであり、画像処理によりＸ線画像を拡大または縮小してサイズを一致させることは、異物の情報も変わってしまって実質的に不可能であるため、他の手法が求められていた。

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供することを目的としている。

本発明に係るＸ線異物検出装置は、被検査物を搬送面上で搬送する搬送手段と、前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のＸ線を照射する第１のＸ線源および第２のＸ線源と、前記搬送面を挟んで前記第１のＸ線源および前記第２のＸ線源と対向する位置に配置され、前記第１のＸ線源から照射され前記被検査物を透過するＸ線に応じた第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線源から照射され前記被検査物を透過するＸ線に応じた第２のＸ線画像データをそれぞれ出力する第１のＸ線ラインセンサおよび第２のＸ線ラインセンサと、前記第１のＸ線画像データおよび第２のＸ線画像データを合成して前記被検査物に対応する１つの画像データとして出力する画像合成手段と、前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるＸ線異物検出装置であって、前記第１のＸ線源を、前記第１のＸ線ラインセンサに対する相対位置を調整可能に支持する支持手段と、前記第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別する調整判定手段と、前記調整判定手段により判定された調整方向を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成により、表示手段には、第１のＸ線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第１のＸ線源の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置において、前記調整判定手段は、前記第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別するとともに、前記第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記第１のＸ線源が前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸上において、前記第１のＸ線ラインセンサに近接する方向であると判別することを特徴とする。

この構成により、表示手段には、第１のＸ線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第１のＸ線源の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置は、前記支持手段が、前記第１のＸ線源を、該第１のＸ線源が前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接および離隔する方向であるＺ軸と、前記搬送面であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において前記搬送方向に直交する方向であるＹ軸とにおける各位置を調整可能に支持し、前記調整判定手段が、前記第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記Ｚ軸上において、前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接する方向であると判別し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記Ｙ軸上において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別することを特徴とする。

この構成により、表示手段には、２軸上における第１のＸ線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第１のＸ線源の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置は、前記調整判定手段が、前記第１の波形と前記第２の波形とを取得する際は、前記第１のＸ線源および前記第２のＸ線源を所定の調整用出力に設定することを特徴とする。

この構成により、第１のＸ線源および第２のＸ線源が所定の調整用出力に設定されることで、第１のＸ線源と第１のＸ線ラインセンサから取得したＸ線画像と、第２のＸ線源と第２のＸ線ラインセンサから取得したＸ線画像と、の間で、被検査物の大きさと形状以外の差異が発生することを防止することができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置は、前記第１の波形がなす台形形状と前記第２の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、前記第１のＸ線源の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶手段を備え、前記調整判定手段が、前記第１のＸ線源の調整方向を判定するとともに、前記大きさおよび形状の差異と前記定数記憶手段に記憶された定数とに基づいて前記第１のＸ線源の要調整量を判定し、前記表示手段が、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする。

この構成により、第１のＸ線源の調整方向だけでなく、要調整量の判定および表示を行うことで、短時間または少ない試行回数で第１のＸ線源を適切な位置に調整することができる。

また、本発明に係るＸ線異物検出装置は、前記支持手段に支持された前記第１のＸ線源の前記第１のＸ線ラインセンサに対する相対位置を変位させる位置変位手段と、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整用に応じて前記位置変位手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成により、判定された調整方向および要調整用に応じて駆動制御手段が位置変位手段を駆動制御するので、自動的に第１のＸ線源を適切な位置に調整することができる。

本発明は、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供することができる。

本発明の一実施の形態に係るＸ線異物検出装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係るＸ線異物検出装置の側面および内部構成を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るＸ線異物検出装置のＸ線管の３軸調整機構を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るＸ線異物検出装置のＸ線管とＸ線ラインセンサとのＺ軸上の位置ずれにより生じる輝度値の差異を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るＸ線異物検出装置のＸ線管とＸ線ラインセンサとのＹ軸またはＸ軸上の位置ずれにより生じる輝度値の差異を示す図である。 Ｘ線異物検出装置においてＸ線管をＸ軸上で変位させて輝度スロープ幅の変化を求める手法を説明する図である。 Ｘ線管のＸ軸上の位置と輝度スロープ幅の変化を示すグラフである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。

まず構成について説明する。

図１に示すように、Ｘ線異物検出装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示器５を筐体４の前面上部に備えている。

搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。

検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。

Ｘ線発生器９は、不図示の筐体の内部に円筒状のＸ線源としてのＸ線管３０を備えた構成で、筐体とＸ線管３０は絶縁油または絶縁樹脂等により絶縁されている。本実施の形態では、Ｘ線管３０として、２つのＸ線管３１、３２を備えている。

これらＸ線管３１、３２は、後述する３軸調整機構によりＺ軸上（Ｘ線異物検出装置１の高さ方向）、Ｘ軸上（搬送部２の搬送方向）およびＹ軸上（搬送部２の幅方向）で移動可能となっている。

Ｘ線管３１、３２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管３１、３２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管３１、３２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、検査空間２２（図１、図２参照）の上面に配置された図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。

なお、このスリットは、３軸調整機構により変位するＸ線管３１、３２とともに変位するように構成してもよく、また、検査空間２２の上面の所定位置に固定されていてもよい。スリットの位置を固定とする場合は、Ｘ線管３１、３２の変位可能幅の全域でＸ線が通過でき、且つ、Ｘ線が漏洩しないようスリット幅を設定する。

ここで、Ｘ線管３１、３２が発生するＸ線の強度は、Ｘ線管３１、３２の陽極と陰極との間に流す電流（管電流）に比例して変化するとともに、発生するＸ線の波長がＸ線管３１、３２の陽極と陰極との間に印加する電圧（管電圧）に応じて短くなり透過力が強くなる。すなわち、Ｘ線管３１、３２から発生されるＸ線の線質は、Ｘ線管３１、３２の管電流および管電圧に応じて変化する。本実施の形態では、Ｘ線管３１が発生するＸ線の強度とＸ線管３１が発生するＸ線の強度を異ならせており、例えば、Ｘ線管３１を高出力（高エネルギーの線質のＸ線を出力）、Ｘ線管３２を低出力（低エネルギーの線質のＸ線を出力）としている。

なお、Ｘ線管３１、３２が発生するＸ線の強度は、必ずしも一定値に固定されるものではなく、検出対象とする異物および被検査物Ｗの種類や搬送速度に応じて、Ｘ線管３１、３２の管電流または管電圧が調整されるようになっている。

Ｘ線検出器１０は、搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数の検出素子を直線状に並べたＸ線ラインセンサ５０を備えている。本実施の形態では、Ｘ線ラインセンサ５０として、２つのＸ線ラインセンサ５１、５２を被検査物Ｗの搬送方向に備え、Ｘ線ラインセンサ５１は、高出力のＸ線管３１から照射されて被検査物Ｗを透過した検出信号を出力し、Ｘ線ラインセンサ５２は、低出力のＸ線管３２から照射されて被検査物Ｗを透過した検出信号を出力するようになっている。

すなわち、Ｘ線異物検出装置１は、Ｘ線ラインセンサ５１、５２から取得した高エネルギー画像と低エネルギー画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用した構成となっている。

なお、Ｘ線ラインセンサ５１、５２は、Ｘ線を受けて光（蛍光）を発する図示しないシンチレータおよびこのシンチレータからの光を受光する受光素子を備えている。

ここで、本実施の形態では、Ｘ線検出器１０は、内蔵する図示しないＡ／Ｄ変換部によりＸ線ラインセンサ５１、５２の検出信号（輝度値データ）を出力するとともに、この検出信号（輝度値データ）をデジタルデータに変換した濃度データをＸ線画像のデータのデータとして出力するようになっている。なお、Ｘ線検出器１０の外部にＡ／Ｄ変換部を備える構成としてもよい。

Ｘ線ラインセンサ５１、５２を備えるＸ線検出器１０からは、後述する総合制御部４０（図２参照）での異物混入の有無の判定に必要なＸ線画像のデータを出力するようになっている。

図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。

遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。

なお、検査空間２２の上面にはスリットが配置され、検査空間２２の下面、側面は、Ｘ線の遮蔽のために筐体４等により略閉塞されている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６、スリット、および筐体４等により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。

Ｘ線異物検出装置１は、Ｘ線検出器１０から受け取った濃度データに基づく被検査物Ｗ中の異物の有無の判定を含む総合的な制御を行う総合制御部４０を備えている。

総合制御部４０は、Ｘ線異物検出装置１の総合的な制御を行うものであり、Ｘ線ラインセンサ５１、５２からの濃度データを検出して所定のタイミングの濃度データをそれぞれ有効化するデータ検出部６１、６２と、データ検出部６１、６２からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部４３と、Ｘ線ラインセンサ５１、５２からの濃度データの画像（以下、単に画像という）に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施す画像処理部４４と、画像処理部４４で画像処理が施された画像に対して被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部４８とを備えている。判定部４８による判定結果は表示器５に表示されるようになっている。

データ検出部６０は、本実施の形態では２つのデータ検出部６１、６２からなり、Ｘ線ラインセンサ５１、５２からの濃度データに対して所定のタイミングで入力された濃度データ、すなわち、所定のデータ有効化入力タイミングの範囲のデータだけをそれぞれ有効化するようになっている。

記憶部４３は、Ｘ線ラインセンサ５１、５２から出力されたデータのうち、データ検出部６１、６２で有効化されたデータを一時的に記憶するものであり、画像を高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。

画像処理部４４は、Ｘ線ラインセンサ５１、５２からの濃度データの画像に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施すようになっている。

判定部４８は、画像処理部４４で画像処理が施された画像に対して、画像上の被検査物Ｗの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。

また、Ｘ線異物検出装置１は、Ｘ線発生器９のＸ線出力、被検査物Ｗの搬送速度、Ｘ線検出器１０の検査パラメータ、動作モード等の設定操作、選択操作が行われる設定部４９を備えており、この設定部４９は、筐体４の前面上部の表示器５の隣に配置されている。

図２、図３に示すように、本実施の形態では、Ｘ線管３１、３２のＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の３軸上の位置をそれぞれ調整する機構として、内部にＸ線管３１を備えたＸ線ユニット３３を３軸上で変位可能に支持する第１支持機構１００、および内部にＸ線管３２を備えたＸ線ユニット３４を３軸上で変位可能に支持する第２支持機構１２０を備えている。ここで、Ｘ線ユニット３３、３４は、高電圧発生部を含んだモノタンク型の構成としてもよいし、高電圧発生部を別ユニットとした構成としてもよい。

第１支持機構１００と第２支持機構１２０は同様に構成されているため、以下、第１支持機構１００について詳細を説明する。第１支持機構１００は、内部にＸ線管３１を備えたＸ線ユニット３３を上面で支持する第１ステージ１０１と、第１ステージ１０１を下方から支持する第２ステージ１０２と、第２ステージ１０２を下方から支持する第３ステージ１０３とを備えている。

第１ステージ１０１は、第１ステージ１０１の両端下面の凸部１０１ａが第２ステージ１０２の上面の凹部１０２ａ内を案内されることにより、Ｙ軸上をスライド移動可能に第２ステージ１０２に支持されている。

第２ステージ１０２は、第２ステージ１０２の両端下面の凸部１０２ｃが第３ステージ１０３の上面の凹部１０３ｃ内を案内されることにより、Ｘ軸上をスライド移動可能に第３ステージ１０３に支持されている。

第２ステージ１０２のＹ軸上の一端側には、第１ステージ１０１の一端側に当接して第１ステージ１０１のＹ軸上の位置を調整するＹ軸調整部材１１１が、第２ステージ１０２と一体または別体に形成された取り付けステー１０２ｂを介して設けられている。

第２ステージ１０２のＹ軸上の他端側には、第１ステージ１０１の他端側に当接してこの第１ステージ１０１をＹ軸調整部材１１１の側に押圧する圧縮ばね１１３が設けられている。

Ｙ軸調整部材１１１は、マイクロメータと同様の機構からなっており、そのＹ軸調整ハンドル１１１ａが手動操作またはＹ軸駆動モータ１１２により回転されるとプランジャ１１１ｂが前進または後退し、第１ステージ１０１のＹ軸上の位置を変位させるようになっている。

Ｙ軸駆動モータ１１２は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がＹ軸調整ハンドル１１１ａに接続されている。

第３ステージ１０３のＹ軸上の一端側には、第２ステージ１０２に回動可能に設けられたＬ字状部材１１６の一端部に当接してＬ字状部材１１６の他端部を変位させることにより、第２ステージ１０２のＸ軸上の位置を調整するＸ軸調整部材１１４が、第３ステージ１０３と一体または別体に形成された取り付けステー１０３ｂを介して設けられている。

第３ステージ１０３の他端側には、第２ステージ１０２の他端側に当接してこの第２ステージ１０２をＸ軸調整部材１１４の側に押圧する圧縮ばね１１７が設けられている。Ｘ軸調整部材１１４は、マイクロメータと同様の機構からなっており、そのＸ軸調整ハンドル１１４ａが手動操作またはＸ軸駆動モータ１１５により回転されると、Ｌ字状部材１１６を介して第２ステージ１０２のＸ軸上の位置を変位させるようになっている。

Ｘ軸駆動モータ１１５は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がＸ軸調整ハンドル１１４ａに接続されている。

また、第１支持機構１００は、第３ステージ１０３に挿通されて第３ステージ１０３をＺ軸上でスライド移動可能に支持する支持レール１０４と、筐体４に回転可能に軸支されて第３ステージ１０３に螺合して回転することにより第３ステージ１０３をＺ軸上で移動させる回転軸１０５と、筐体４の上部外側であって回転軸１０５の上端部に固定されたＺ軸調整ハンドル１０６とを備えている。

そして、Ｚ軸調整ハンドル１０６が手動操作またはＺ軸駆動モータ１１８により回転されると、第３ステージ１０３のＺ軸上の位置が変位するようになっている。Ｚ軸駆動モータ１１８は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がＺ軸調整ハンドル１０６に接続されている。Ｚ軸駆動モータ１１８は、筐体４の上面に形成された取り付けステー１４０を介して設けられている。

第２支持機構１２０は、第１支持機構１００の第１ステージ１０１、第２ステージ１０２、第３ステージ１０３、Ｚ軸調整ハンドル１０６、Ｙ軸調整部材１１１、Ｘ軸調整部材１１４に相当するものとして、第１ステージ１２１、第２ステージ１２２、第３ステージ１２３、Ｚ軸調整ハンドル１２６、Ｙ軸調整部材１３１、Ｘ軸調整部材１３４を備えている。

また、本実施の形態では、Ｘ線管３１、３２のＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の３軸上の位置を調整するときは、図４、図５に示すように、Ｘ線画像が比較的濃く出力されるポリエチレンブロック等からなる直方体の被検査物Ｗを基準被検査物Ｗｓとして用い、１組目のＸ線管３１とＸ線ラインセンサ５１とによりＸ線ラインセンサ５１が出力するＸ線画像データと、２組目のＸ線管３２とＸ線ラインセンサ５２とによりＸ線ラインセンサ５２が出力するＸ線画像データから得られる基準被検査物Ｗｓの検出幅方向である装置奥側から装置手前側方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形の形状を比較し、２つのＸ線画像の大きさ、形状が等しくなるようなＸ線管３１の３軸上の位置の調整方向（および調整量）を求めるようになっている。

ここで、第１の波形および第２の波形は、図４、図５に示すように、基準被検査物ＷｓのＹ軸方向（またはＸ軸方向）を横軸とし、Ｘ線画像データを基に被検査物Ｗと背景との差が大きくなるような輝度値に変換して縦軸としたときの波形であり、基準被検査物Ｗｓの輝度値に対応する部分は台形形状となる。また、第１の波形および第２の波形は波形整形して形成されており、例えば、Ｘ軸方向を横軸とした場合は、Ｙ軸方向の所定の検出区間の平均値を１つのデータとし、Ｙ軸方向（またはＸ軸方向）に走査するようにしている。

総合制御部４０は、Ｘ線ラインセンサ５１が出力するＸ線画像データおよびＸ線ラインセンサ５２が出力するＸ線画像データから得られる基準被検査物Ｗｓの検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形の形状を比較し、２つのＸ線画像の大きさと形状が等しくなるようなＸ線管３１の位置の調整方向、要調整量を求める手段として、調整判定部８１を備えている。

ここで、Ｘ線異物検出装置１においては、Ｘ線管３１、３２から照射されるＸ線が、Ｘ線管３１、３２を中心としてそれぞれ放射状に広がるため、Ｘ線管３１とＸ線管３２のＺ軸上の位置が組み付け誤差等による原因で一致していない場合、第１の波形と第２の波形との間で台形の大きさと形状が不一致となるが、形状より大きさの不一致が顕著となる。

例えば、図４に示すように、Ｘ線管３１のＺ軸上の位置、すなわち鉛直方向の位置が、組み付け誤差等による原因で適正位置より上方に配置されていた場合、第１の波形がなす台形の上底および下底の長さが、第２の波形がなす台形の上底および下底の長さより短くなる。

そこで、調整判定部８１は、Ｘ線管３１、３２の配置が図４のような場合には、第１の波形がなす台形の上底および下底の長さが長くなるよう、Ｘ線管３１のＺ軸上の調整方向が下方向であると判別するようになっている。

なお、Ｘ線管３１がＺ軸上の適正位置にある場合とは、鉛直方向における同じ位置にＸ線管３１とＸ線管３２が配置されている状態のことである。

また、Ｘ線異物検出装置１においては、Ｘ線管３１、３２から照射されるＸ線が、Ｘ線管３１、３２を中心としてそれぞれ放射状に広がるため、Ｘ線管３１とＸ線管３２のＹ軸上（またはＸ軸上）の位置が組み付け誤差等による原因で一致していない場合、第１の波形と第２の波形との間で台形の大きさと形状が不一致となるが、大きさより形状の不一致が顕著となる。

例えば、図５に示すように、Ｘ線管３１のＹ軸上の位置が、組み付け誤差等による原因で適正位置より右側（Ｙ軸上の正の方向）に配置されていた場合は、第２の波形がなす台形の形状が等脚台形となるが、第１の波形がなす台形の形状は等脚台形にならない。なお、Ｘ線管３１（または、Ｘ線管３２）のＸ軸上の位置に関わらず、波形（第１の波形および第２の波形）がなす台形の形状は等脚台形となる。

そこで、本実施の形態では、Ｘ線管３１のＹ軸上の調整方向の判別とＸ線管３１、３２のＸ軸上の調整方向の判別に異なる手法を用い、Ｘ線管３１のＹ軸上の調整方向に関しては、調整判定部８１は、図５に示すように、第１の波形がなす台形（実線）の下底の左端点の角度θ１が第２の波形がなす台形（一点鎖線）の下底の左端点の角度θ２より小さい場合は、Ｘ線管３１のＹ軸上の調整方向は、左方向（Ｙ軸上の負の方向）であると判別するようになっている。

また、Ｘ線管３１、３２のＸ軸上の調整方向については、上記の手法では特定できないため、Ｘ線管ごとに以下の手法を用い、ここではＸ線管３１を例にして説明する。まず、図６に示すように、Ｘ線管３１の位置を搬送方向であるＸ軸方向に故意に変位させて、Ｘ線管３１の複数個所の位置において搬送方向の濃度変化を示す波形がなす台形の傾斜部の水平方向幅、すなわち輝度スロープ幅を測定する。そして、Ｘ線管３１が同組のＸ線ラインセンサ５１の直上より上流側に位置しているときの搬送方向の濃淡変化を示す波形と下流側に位置しているときの搬送方向の濃淡変化を示す波形とで、図７に示すように、輝度スロープ幅のグラフを求めることにより、Ｘ軸方向におけるＸ線管３１の最適位置を算出する。輝度スロープ幅が最小となる位置（Ｕ字形状の輝度スロープのグラフの底部に相当する位置）が最適位置であり、このときＸ線ラインセンサ５１の直上にＸ線管３１が位置することとなる。すなわち、Ｘ線管３１のＸ軸上の調整方向に関しては、調整判定部８１は、輝度スロープ幅が小さくなる方向がＸ線管３１の調整方向であると判別する。また、調整判定部８１は、図７の輝度スロープ幅のグラフに基づいて要調整量を判定する。

本実施の形態では、Ｘ線管３１の３軸上の位置を測位する位置センサ等を備えていないため、Ｘ線管３１が適正位置となるための要調整量（距離）を直接的に求めることはできないが、Ｚ軸において、第１の波形がなす台形における上底、下底の長さと第２の波形がなす台形における上底、下底の長さの差は、要調整量との間に定数による一定の関係を有しており、また、Ｘ軸（またはＹ軸）において、第１の波形がなす台形における下底の端点の角度と要調整量との間に定数による一定の関係を有しているため、Ｚ軸、Ｘ軸、Ｙ軸のそれぞれの定数を記憶しておくことにより、調整判定部８１に要調整量を算出させることができる。

そこで、総合制御部４０は、上記の定数をＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸毎に予め記憶しておく定数記憶部８０を備えている。そして、調整判定部８１は、定数記憶部８０に記憶されている定数と、基準被検査物Ｗｓを用いて取得した第１の波形、第２の波形がなす台形の各々の上底、下底の差と、第１の波形がなす台形における下底の端点の角度とに基づいて、Ｘ線管３１のＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の要調整量を調整するようになっている。

なお、定数は、Ｘ線管３１をＺ軸上で意図的に所定距離移動させたときの第１の波形がなす台形における上底、下底の長さの変化量、またはＸ線管３１をＸ軸（またはＹ軸）上で意図的に所定距離移動させたときの第１の波形がなす台形における下底の端点の角度の変化量から求めることができる。

また、調整判定部８１は、判定結果を表示器５に出力するようになっている。表示器５には、例えば、Ｘ線管３１の調整方向および要調整量として"Ｚ軸：＋２ｍｍ、Ｘ軸：−１．５ｍｍ、Ｙ軸：＋３ｍｍ"等のメッセージが表示される。

総合制御部４０は、調整判定部８１が判定したＸ線管３１の調整方向および要調整量に応じて、Ｙ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５、Ｚ軸駆動モータ１１８を駆動制御する駆動制御部８２を備えている。

駆動制御部８２は、調整判定部８１が判定した調整方向、要調整量に応じて、Ｙ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５、Ｚ軸駆動モータ１１８の駆動パルスを決定し、その駆動パルスによりＹ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５、Ｚ軸駆動モータ１１８を駆動するようになっている。

このため、Ｘ線管３１の調整方向および要調整量が判定されると、調整方向および要調整量が表示器５に調整方向および要調整量が表示されるとともに、駆動制御部８２によりＹ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５、Ｚ軸駆動モータ１１８が駆動制御され、Ｘ線管３１の３軸上の位置が適正位置に調整されることとなる。

本実施の形態では、総合制御部４０の動作モードとして自動調整モードと手動調整モードを有し、動作モードが自動調整モードに設定されているときは、表示器５による調整方向および要調整量の表示と、駆動制御部８２によるＹ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５、Ｚ軸駆動モータ１１８の駆動制御の両方を行い、動作モードが手動調整モードに設定されているときは、表示器５による調整方向および要調整量の表示のみを行い、ユーザーがＹ軸調整ハンドル１１１ａ、Ｘ軸調整ハンドル１１４ａ、Ｚ軸調整ハンドル１２６を操作するようになっている。

次に、動作モードが自動調整モードに設定されている場合であってＸ線管３１の位置調製が必要なときの動作を説明する。

まず、総合制御部４０は、基準被検査物Ｗｓを走査して第１の波形および第２の波形を取得し、調整判定部８１により、１組目のＸ線管３１とＸ線ラインセンサ５１から取得した第１の波形と、２組目のＸ線管３２とＸ線ラインセンサ５２から取得した第２の波形との大きさ、すなわち、第１の波形がなす台形における上底および下底の長さと第２の波形がなす台形における上底および下底の長さ、を比較し、Ｘ線管３１のＺ軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器５により表示するとともに、駆動制御部８２によりＺ軸駆動モータ１１８を駆動制御する。これにより、Ｘ線管３１のＺ軸上の位置が概ね適正位置に調整される。

ついで、総合制御部４０は、再び基準被検査物Ｗｓを走査して第１の波形および第２の波形を取得し、調整判定部８１により、第１の波形がなす台形の下底の左端点の角度θ１と、第２の波形がなす台形の下底の左端点の角度θ２とを比較し、Ｘ線管３１のＹ軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器５により表示するとともに、駆動制御部８２によりＹ軸駆動モータ１１２を駆動制御する。これにより、Ｘ線管３１のＹ軸上の位置が適正位置に調整される。

ついで、総合制御部４０は、前述したようにＸ線管３１の複数個所の位置において搬送方向の濃度変化を示す波形がなす台形の傾斜部の水平方向幅（輝度スロープ幅）を測定して輝度スロープ幅のグラフを求め、Ｘ軸方向におけるＸ線管３１の最適位置を算出する。そして、Ｘ線管３１のＸ軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器５により表示するとともに、駆動制御部８２によりＸ軸駆動モータ１１５を駆動制御する。これにより、Ｘ線管３１のＸ軸上の位置が適正位置に調整される。

ついで、総合制御部４０は、再び基準被検査物Ｗｓを走査して第１の波形および第２の波形を取得し、調整判定部８１により、１組目のＸ線管３１とＸ線ラインセンサ５１から取得した第１の波形と、２組目のＸ線管３２とＸ線ラインセンサ５２から取得した第２の波形との大きさ、すなわち、第１の波形がなす台形における上底および下底の長さと第２の波形がなす台形における上底および下底の長さ、を比較し、Ｘ線管３１のＺ軸上の調整方向、要調整量を再び判別し、判別結果を表示器５により表示するとともに、駆動制御部８２によりＺ軸駆動モータ１１８を駆動制御する。これにより、Ｘ線管３１のＺ軸上の位置が精度良く適正位置に調整される。

このように、総合制御部４０は、基準被検査物Ｗｓを走査して第１の波形および第２の波形を取得する毎に、まず、Ｘ線管３１のＺ軸上の位置を調整し、ついで、Ｙ軸上の位置を調整し、ついで、Ｘ軸上の位置を調整し、再びＺ軸上の位置を調整するようになっている。これは、Ｚ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の３軸は、互いに影響し合っているため、Ｘ線管３１を水平面上（Ｘ軸またはＹ軸上）で変位させると、Ｚ軸上の位置が変化するためである。

なお、調整判定部８１によりＸ線管３１の調整方向の判定をするために基準被検査物Ｗｓを撮像する際には、Ｘ線管３１とＸ線管３２を所定の調整用出力に設定することが好ましい。

このようにすることで、１組目のＸ線管３１とＸ線ラインセンサ５１から取得したＸ線画像と、２組目のＸ線管３２とＸ線ラインセンサ５２から取得したＸ線画像と、の間で、基準被検査物Ｗｓの大きさおよび形状以外の差異が発生することを防止することができる。

具体的には、調整判定部８１の制御により、Ｘ線管３１とＸ線管３２を、調整用出力として、管電圧および管電流を等しくして、Ｘ線管３１とＸ線管３２から照射されるＸ線の線質（波長、強度）が可能な限り等しい出力とする。また、管電圧および管電流を等しくすることに加えて、または、管電圧および管電流を等しくすることに代えて、Ｘ線管３１とＸ線管３２の何れか一方に、図示しないフィルタを手動または自動で挿入するように構成することで、Ｘ線管３１とＸ線管３２から照射されるＸ線の線質が可能な限り等しい出力となるようにしてもよい。

また、調整判定部８１がＸ線管３１の調整方向のみを判定するように構成してもよく、この場合、利用者は、基準被検査物Ｗｓを用いた画像の取得と、表示器５に表示された調整方向に従ったＸ線管３１の目安距離分の調整とを数回繰り返すことにより、Ｘ線管３１を適切な位置に調整することができる。

以上のように、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、Ｘ線管３１を、Ｘ線ラインセンサ５１に対する相対位置を調整可能に支持する第１支持機構１００と、第１のＸ線画像データおよび第２のＸ線画像データから被検査物Ｗの検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度（角度θ１）が第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度（角度θ２）より小さい場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Ｗの搬送方向と直交する方向（Ｙ軸）において、第１の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別する調整判定部８１と、調整判定部８１により判定された調整方向を表示する表示器５と、を備えたことを特徴とする。

この構成により、表示器５には、Ｘ線管３１の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってＸ線管３１の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物Ｗの大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物Ｗの大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１において、調整判定部８１は、第１のＸ線画像データおよび第２のＸ線画像データから被検査物Ｗの検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度（角度θ１）が第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度（角度θ２）より小さい場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Ｗの搬送方向と直交する方向（Ｙ軸）において、第１の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別するとともに、第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、Ｘ線管３１が第１のＸ線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸（Ｚ軸）上において、Ｘ線ラインセンサ５１に近接する方向であると判別することを特徴とする。

この構成により、表示器５には、Ｘ線管３１の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってＸ線管３１の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物Ｗの大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物Ｗの大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、第１支持機構１００が、Ｘ線管３１を、このＸ線管３１がＸ線ラインセンサ５１に対して近接および離隔する方向であるＺ軸と、搬送面と平行な平面上であって被検査物Ｗの搬送方向と直交する方向であるＹ軸とにおける各位置を調整可能に支持し、調整判定部８１が、第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、Ｚ軸上において、Ｘ線ラインセンサ５１に対して近接する方向であると判別し、第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度（角度θ１）が第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度（角度θ２）より小さい場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、Ｙ軸上において、第１の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別することを特徴とする。

この構成により、表示器５には、２軸上におけるＸ線管３１の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってＸ線管３１の位置を利用者が調整することにより、Ｘ線画像データにおける被検査物Ｗの大きさと形状を一致させることができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、調整判定部８１が、第１の波形と第２の波形とを取得する際は、Ｘ線管３１およびＸ線管３２を所定の調整用出力に設定することを特徴とする。

この構成により、Ｘ線管３１およびＸ線管３２が所定の調整用出力に設定されることで、Ｘ線管３１とＸ線ラインセンサ５１から取得したＸ線画像と、Ｘ線管３２とＸ線ラインセンサ５２から取得したＸ線画像と、の間で、被検査物Ｗの大きさと形状以外の差異が発生することを防止することができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、第１の波形がなす台形形状と第２の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、Ｘ線管３１の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶部８０を備え、調整判定部８１が、Ｘ線管３１の調整方向を判定するとともに、大きさおよび形状の差異と定数記憶部８０に記憶された定数とに基づいてＸ線管３１の要調整量を判定し、表示器５が、調整判定部８１により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする。

この構成により、Ｘ線管３１の調整方向だけでなく、要調整量の判定および表示を行うことで、短時間または少ない試行回数でＸ線管３１を適切な位置に調整することができる。

また、本実施の形態に係るＸ線異物検出装置１は、第１支持機構１００に支持されたＸ線管３１のＸ線ラインセンサ５１に対する相対位置を変位させるＹ軸駆動モータ１１２、Ｚ軸駆動モータ１１８と、調整判定部８１により判定された調整方向および要調整用に応じてＹ軸駆動モータ１１２、Ｚ軸駆動モータ１１８を駆動制御する駆動制御部８２と、を備えたことを特徴とする。

この構成により、判定された調整方向および要調整用に応じて駆動制御部８２がＹ軸駆動モータ１１２、Ｚ軸駆動モータ１１８を駆動制御するので、自動的にＸ線管３１を適切な位置に調整することができる。

以上のように、本発明に係るＸ線異物検出装置は、エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるという効果を有し、複数本のＸ線ラインセンサからの画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用したＸ線異物検出装置として有用である。

１ Ｘ線異物検出装置
２ 搬送部（搬送手段）
２ａ ベルト面（搬送面）
３ 検出部
４ 筐体
５ 表示器（表示手段）
６ 駆動モータ
７ 搬入口
８ 搬出口
９ Ｘ線発生器
１０ Ｘ線検出器
１６ 遮蔽カーテン
２１ 搬送路
２１ａ 天井部
２２ 検査空間
３１ Ｘ線管（第１のＸ線源）
３２ Ｘ線管（第２のＸ線源）
４０ 総合制御部
４３ 記憶部
４４ 画像処理部（画像合成手段）
４８ 判定部（判定手段）
４９ 設定部
５１ Ｘ線ラインセンサ（第１のＸ線ラインセンサ）
５２ Ｘ線ラインセンサ（第２のＸ線ラインセンサ）
６１、６２ データ検出部
８０ 定数記憶部（定数記憶手段）
８１ 調整判定部（調整判定手段）
８２ 駆動制御部（駆動制御手段）
１００ 第１支持機構（支持手段）
１０１ 第１ステージ
１０２ 第２ステージ
１０３ 第３ステージ
１０６ Ｚ軸調整ハンドル（支持手段）
１１１ Ｙ軸調整部材（支持手段）
１１２ Ｙ軸駆動モータ（位置変位手段）
１１４ Ｘ軸調整部材
１１５ Ｘ軸駆動モータ
１１８ Ｚ軸駆動モータ（位置変位手段）
Ｗ 被検査物
Ｗｓ 基準被検査物

Claims (6)

1. 被検査物を搬送面（２ａ）上で搬送する搬送手段（２）と、
   前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のＸ線を照射する第１のＸ線源（３１）および第２のＸ線源（３２）と、
   前記搬送面を挟んで前記第１のＸ線源および前記第２のＸ線源と対向する位置に配置され、前記第１のＸ線源から照射され前記被検査物を透過するＸ線に応じた第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線源から照射され前記被検査物を透過するＸ線に応じた第２のＸ線画像データをそれぞれ出力する第１のＸ線ラインセンサ（５１）および第２のＸ線ラインセンサ（５２）と、
   前記第１のＸ線画像データおよび第２のＸ線画像データを合成して前記被検査物に対応する１つの画像データとして出力する画像合成手段（４４）と、
   前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段（４８）と、を備えるＸ線異物検出装置（１）であって、
   前記第１のＸ線源を、前記第１のＸ線ラインセンサに対する相対位置を調整可能に支持する支持手段（１００）と、
   前記第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別する調整判定手段（８１）と、
   前記調整判定手段により判定された調整方向を表示する表示手段（５）と、を備えたことを特徴とするＸ線異物検出装置。
2. 前記調整判定手段は、前記第１のＸ線画像データおよび前記第２のＸ線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別するとともに、前記第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記第１のＸ線源が前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸上において、前記第１のＸ線ラインセンサに近接する方向であると判別することを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検出装置。
3. 前記支持手段が、前記第１のＸ線源を、該第１のＸ線源が前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接および離隔する方向であるＺ軸と、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向であるＹ軸とにおける各位置を調整可能に支持し、
   前記調整判定手段が、前記第１の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第２の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記Ｚ軸上において、前記第１のＸ線ラインセンサに対して近接する方向であると判別し、前記第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第１のＸ線源の調整方向が、前記Ｙ軸上において、前記第１の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別することを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検出装置。
4. 前記調整判定手段が、前記第１の波形と前記第２の波形とを取得する際は、前記第１のＸ線源および前記第２のＸ線源を所定の調整用出力に設定することを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線異物検出装置。
5. 前記第１の波形がなす台形形状と前記第２の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、前記第１のＸ線源の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶手段（８０）を備え、
   前記調整判定手段が、前記第１のＸ線源の調整方向を判定するとともに、前記大きさおよび形状の差異と前記定数記憶手段に記憶された定数とに基づいて前記第１のＸ線源の要調整量を判定し、
   前記表示手段が、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載のＸ線異物検出装置。
6. 前記支持手段に支持された前記第１のＸ線源の前記第１のＸ線ラインセンサに対する相対位置を変位させる位置変位手段（１１２、１１８）と、
   前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整用に応じて前記位置変位手段を駆動制御する駆動制御手段（８２）と、を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載のＸ線異物検出装置。

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