JP5571052B2 - 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 - Google Patents
干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5571052B2 JP5571052B2 JP2011223004A JP2011223004A JP5571052B2 JP 5571052 B2 JP5571052 B2 JP 5571052B2 JP 2011223004 A JP2011223004 A JP 2011223004A JP 2011223004 A JP2011223004 A JP 2011223004A JP 5571052 B2 JP5571052 B2 JP 5571052B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- determining
- microelectromechanical
- capacitance
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- B81C99/003—Characterising MEMS devices, e.g. measuring and identifying electrical or mechanical constants
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
- G09G3/3466—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on interferometric effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/047—Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/04—Structural and physical details of display devices
- G09G2300/0469—Details of the physics of pixel operation
- G09G2300/0473—Use of light emitting or modulating elements having two or more stable states when no power is applied
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2310/00—Command of the display device
- G09G2310/02—Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
- G09G2310/0264—Details of driving circuits
- G09G2310/0278—Details of driving circuits arranged to drive both scan and data electrodes
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2310/00—Command of the display device
- G09G2310/04—Partial updating of the display screen
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2320/00—Control of display operating conditions
- G09G2320/02—Improving the quality of display appearance
- G09G2320/029—Improving the quality of display appearance by monitoring one or more pixels in the display panel, e.g. by monitoring a fixed reference pixel
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2330/00—Aspects of power supply; Aspects of display protection and defect management
- G09G2330/02—Details of power systems and of start or stop of display operation
- G09G2330/021—Power management, e.g. power saving
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2330/00—Aspects of power supply; Aspects of display protection and defect management
- G09G2330/12—Test circuits or failure detection circuits included in a display system, as permanent part thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
以下に他の実施形態を示す。
[1]下記を具備する、微小電気機械のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する方法:
前記装置に接続された少なくとも1つの電極に少なくとも2つの異なる電位を印加する;
前記少なくとも2つの異なる電位で前記装置の少なくとも1つの電気的応答を検出する;
前記応答に少なくとも一部分基づいて、前記少なくとも2つの異なる電位における前記装置の状態を決定する;および
前記状態を決定することに少なくとも一部分基づいて前記アクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する。
[2]前記状態を決定することは、前記応答が閾値および大きいかどうか決定することを具備する、[1]の方法。
[3]前記検出は、前記電極上に発生される電圧を検出することを具備する、[1]の方法。
[4]前記微小電気機械装置は、干渉ディスプレイピクセルのアレイを具備するディスプレイ内に含まれるまたは隣接する、[1]の方法。
[5]前記検出は、前記微小電気機械装置を介して電流の流れを検出することを具備する、[1]の方法。
[6]前記応答は、キャパシタンスに依存する、[1]の方法。
[7]下記をさらに具備する、[4]の方法:
少なくとも1つの微小電気機械装置のアクチュエーションおよび/またはリリース状態を決定する;および
前記決定に応答して前記ディスプレイのための駆動電圧レベルを変更する。
[8]前記決定は、テスト微小電気機械装置のアクチュエーションおよび/またはリリース状態を決定することを具備する、[7]の方法。
[9]前記テスト微小電気機械装置は、前記ピクセルのアレイに隣接する、[8]の方法。
[10]さらに下記を具備する[4]の方法:
前記微小電気機械装置のためのアクチュエーションおよびリリース電圧の一方または、両方を決定する;および
前記微小電気機械装置のためのアクチュエーションおよびリリース電圧の一方または両方を決定することに少なくとも一部基づいて前記干渉変調ディスプレイピクセルのアレイの動作パラメーターを変更する。
[11]下記を具備する、微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するためのシステム:
前記装置に接続された少なくとも1つの電極に少なくとも2つの異なる電位を印加する手段;
前記少なくとも2つの異なる電位において前記装置の少なくとも1つの電気的応答を検出する手段;
前記応答に少なくとも一部分基づいて、前記少なくとも2つの異なる電位において前記装置の状態を決定する手段;
前記決定に少なくとも一部基づいて前記アクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する手段。
[12]前記印加手段は、駆動回路を具備する、[11]のシステム。
[13]前記検出手段は、電圧感知回路を具備する、[11]のシステム。
[14]前記状態決定手段は、演算増幅器を具備する、[11]のシステム。
[15]前記電圧決定手段はシフトレジスターを具備する、[11]のシステム。
[16]前記電圧決定手段は、カウンターを具備する、[11]のシステム。
[17]下記をさらに具備する、[11]のシステム:
微小電気機械ディスプレイピクセルのディスプレイアレイに関連する少なくとも1つの微小電気機械装置の前記アクチュエーションおよびリリース状態を決定する手段;および
前記決定に応じて前記ディスプレイのための駆動電圧レベルを変更する手段。
[18]前記決定手段は、微小電気機械装置を具備する、[17]のシステム。
[19]下記を具備する、微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステム:
微小電気機械装置;
電圧を前記微小電気機械装置に印加するように構成された駆動回路;および
前記微小電気機械装置に接続され、前記少なくとも2つの異なる電位において、前記微小電気機械装置の少なくとも1つの電気的応答を検出するように構成され、さらに前記応答に少なくとも一部基づいて、前記少なくとも2つの異なる電位において前記装置の状態を決定するように構成され、前記決定に少なくとも一部基づいて前記アクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するセンサー。
[20]さらに、下記を具備する[19]のシステム:
前記微小電気機械システムと電気通信するプロセッサー、前記プロセッサーは、画像データを処理するように構成される;および
前記プロセッサーと電気通信するメモリ。
[21]前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成されたコントローラーをさらに具備する、[20]のシステム。
[22]前記画像データを前記プロセッサーに送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに具備する、[20]のシステム。
[23]前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバー、および送信機のうちの少なくとも1つを具備する、[22]のシステム。
[24]入力データを受信するように構成され前記入力データを前記プロセッサーに通信するように構成された入力装置をさらに具備する、[20]のシステム。
[25]下記を具備する、ディスプレイシステムを製造する方法:
ディスプレイデータを前記ディスプレイシステムのユーザーに提示するように構成された微小電気機械ピクセルのアレイを形成する;
少なくとも1つの更なる微小電気機械エレメントを形成する;および
アクチュエーション電圧またはリリース電圧の一方または両方を感知するように構成されたセンサーを前記さらなる微小電気機械素子に接続する。
[26][25]のプロセスにより製造されるディスプレイシステム。
[27]下記を具備する、ディスプレイシステム:
ディスプレイデータを前記ディスプレイシステムのユーザーに提示するように構成された微小電気機械ピクセルのアレイ;
少なくとも1つのさらなる微小電気機械素子、および前記さらなる微小電気機ピクセルのアクチュエーション電圧またはリリース電圧の一方または両方を感知するように構成されたセンサー。
[28]前記センサーは、前記さらなる微小電気機械素子のキャパシタンスに依存する応答を感知する、 [27]のディスプレイシステム。
[29]前記センサーは電流センサーを具備する、[27]のディスプレイシステム。
[30]ディスプレイデータを提示するように構成された前記ピクセルの少なくともいくつかは、干渉変調器を具備する、[27]のディスプレイシステム。
[31]前記センサーはコンパレーターを具備する、[27]のディスプレイシステム。
[32]さらに下記を具備する、[27]のディスプレイシステム:
前記アレイと電気通信するプロセッサー、前記プロセッサーは、画像データを処理するように構成される;および
前記プロセッサーと電気通信するメモリ装置。
[33]少なくとも1つの信号を前記アレイに送信するように構成された駆動回路をさらに具備する、[32]のディスプレイシステム。
[34]前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成されたコントローラーをさらに具備する、[33]のディスプレイシステム。
[35]前記画像データを前記プロセッサーに送信するように構成される画像ソースモジュールをさらに具備する、[32]のディスプレイシステム。
[36]前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバー、および送信機のうちの少なくとも1つを具備する、[34]のディスプレイシステム。
[37]入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサーに通信するように構成された入力装置をさらに具備する、[32]のディスプレイシステム。
[38]ディスプレイに関連するテストピクセルのアクチュエーションおよび/またはリリース電圧を決定することを具備するディスプレイシステムを動作する方法。
[39]前記決定に応答して前記ディスプレイの駆動電圧レベルを変更することをさらに具備する、[38]の方法。
[40]前記決定することは、テストピクセルのアクチュエーションおよびリリース状態を決定することをさらに具備する、[38]の方法。
[41]前記決定することに少なくとも一部基づいてディスプレイ動作パラメーターを変更することをさらに具備する、[38]の方法。
[42]下記を具備する、ディスプレイシステム:
ディスプレイシステムのユーザーにデータを表示する手段;
少なくとも1つの微小電気機械素子;および
前記微小電気機械素子のアクチュエーション電圧またはリリース電圧の一方または両方を検出する手段。
[43]前記表示手段は、微小電気機械素子のアレイを具備する、[42]のディスプレイシステム。
[44]前記検出手段は、センサーを具備する、[42]のディスプレイシステム。
[45]下記を具備する、微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステムを製造する方法:
微小電気機械装置を形成する;
電圧を印加するように構成された駆動回路を前記微小電気機械装置に接続する;
センサーを前記微小電気機械装置に接続する、前記センサーは、前記少なくとも2つの異なる電位において前記微小電気機械装置の少なくとも1つの電気的応答を検出するように構成され、さらに、前記応答に少なくとも一部基づいて前記少なくとも2つの異なる電位において前記装置の状態を決定するようにさらに構成され、前記決定することに少なくとも一部基づいて前記アクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する。
[46][45]の方法により製造された微小電機機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステム。
Claims (40)
- 微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する方法において、
前記装置に接続された少なくとも1つの電極に少なくとも2つの異なる電位を印加することと、
前記少なくとも2つの異なる電位で前記装置のキャパシタンスを検出することと、
前記キャパシタンスが閾値より大きいとき前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置がリリースされた状態にあると決定することと、
前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記装置のアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置のリリース電圧を決定することと、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記装置の両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記装置の両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記装置がリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、方法。 - 前記検出は、前記電極上に発生される電圧を検出することを具備する、請求項1の方法。
- 前記微小電気機械装置は、干渉ディスプレイピクセルのアレイを具備するディスプレイ内に含まれるまたは隣接する、請求項1の方法。
- 前記検出は、前記微小電気機械装置を介して発生された電流の流れを検出することを具備する、請求項1の方法。
- 下記をさらに具備する、請求項3の方法:
前記アクチュエーション電圧および前記リリース電圧の一方または両方の決定に応答して、前記ディスプレイの駆動電圧を変更する。 - 前記決定は、テスト微小電気機械装置のアクチュエーションおよび/またはリリース状態を決定することを具備する、請求項5の方法。
- 前記テスト微小電気機械装置は、前記ピクセルのアレイに隣接する、請求項6の方法。
- 微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するためのシステムにおいて、
前記装置に接続された少なくとも1つの電極に少なくとも2つの異なる電位を印加する手段と、
前記少なくとも2つの異なる電位において前記装置のキャパシタンスを検出する手段と、
前記キャパシタンスが閾値より大きいとき前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置がリリースされた状態にあると決定する手段と、
前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記装置のアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置のリリース電圧を決定する手段と、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定する手段は、前記装置の両端に一連の上昇する電圧を印加する手段と、各印加された電圧における状態を検出する手段と、前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定する手段とを備え、前記リリース電圧を決定する手段は、前記装置の両端に一連の降下する電圧を印加する手段と、各印加された電圧における状態を検出する手段と、前記装置がリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定する手段とを備える、システム。 - 前記印加手段は、駆動回路を具備する、請求項8のシステム。
- 前記検出手段は、電圧感知回路を具備する、請求項8のシステム。
- 前記状態決定手段は、演算増幅器を具備する、請求項8のシステム。
- 前記電圧決定手段はシフトレジスターを具備する、請求項8のシステム。
- 前記電圧決定手段は、カウンターを具備する、請求項8のシステム。
- 下記をさらに具備する、請求項8のシステム:
前記アクチュエーション電圧及び前記リリース電圧の一方または両方の決定に応じて前記微小電気機械装置のための駆動電圧を変更する手段。 - 前記決定手段は、微小電気機械装置を具備する、請求項14のシステム。
- 微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステムにおいて、
微小電気機械装置と、
電圧を前記微小電気機械装置に印加するように構成された駆動回路と、
前記微小電気機械装置に接続され、少なくとも2つの異なる電位において、前記微小電気機械装置のキャパシタンスを検出するように構成され、さらに前記キャパシタンスが閾値より大きいとき前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定し、前記少なくとも2つの異なる電位において、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置がリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記装置のアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記装置のリリース電圧を決定するように構成されたセンサーと、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記装置の両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記装置がアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記装置の両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記装置がリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、システム。 - さらに、下記を具備する請求項16のシステム:
前記微小電気機械装置と電気通信するプロセッサー、前記プロセッサーは、画像データを処理するように構成される;および
前記プロセッサーと電気通信するメモリ装置。 - 前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成されたコントローラーをさらに具備する、請求項17のシステム。
- 前記画像データを前記プロセッサーに送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに具備する、請求項17のシステム。
- 前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバー、および送信機のうちの少なくとも1つを具備する、請求項19のシステム。
- 入力データを受信するように構成され前記入力データを前記プロセッサーに通信するように構成された入力装置をさらに具備する、請求項17のシステム。
- ディスプレイシステムを製造する方法において、
ディスプレイデータを前記ディスプレイシステムのユーザーに提示するように構成された微小電気機械ピクセルのアレイを形成することと、
少なくとも1つのさらなる微小電気機械エレメントを形成することと、
前記微小電気機械エレメントのキャパシタンスが閾値より大きいとき前記微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記微小電気機械エレメントがリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記微小電気機械エレメントのアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記微小電気機械エレメントのリリース電圧を決定するように構成されたセンサーを前記少なくとも1つのさらなる微小電気機械エレメントに接続することと、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械エレメントがリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、方法。 - 請求項22のプロセスにより製造されるディスプレイシステム。
- ディスプレイシステムにおいて、
ディスプレイデータを前記ディスプレイシステムのユーザーに提示するように構成された微小電気機械ピクセルのアレイと、
少なくとも1つのさらなる微小電気機械エレメントと、
前記さらなる微小電気機械エレメントのキャパシタンスが閾値より大きいとき前記さらなる微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記ピクセルがリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記さらなる微小電気機械エレメントのアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記さらなる微小電気機械エレメントのリリース電圧を決定するように構成されたセンサーと、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械エレメントがリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、ディスプレイシステム。 - 前記センサーは電流センサーを具備する、請求項24のディスプレイシステム。
- ディスプレイデータを提示するように構成された前記ピクセルの少なくともいくつかは、干渉変調器を具備する、請求項24のディスプレイシステム。
- 前記センサーはコンパレーターを具備する、請求項24のディスプレイシステム。
- さらに下記を具備する、請求項24のディスプレイシステム:
前記アレイと電気通信するプロセッサー、前記プロセッサーは、画像データを処理するように構成される;および
前記プロセッサーと電気通信するメモリ装置。 - 少なくとも1つの信号を前記アレイに送信するように構成された駆動回路をさらに具備する、請求項28のディスプレイシステム。
- 前記画像データの少なくとも一部を前記駆動回路に送信するように構成されたコントローラーをさらに具備する、請求項29のディスプレイシステム。
- 前記画像データを前記プロセッサーに送信するように構成される画像ソースモジュールをさらに具備する、請求項28のディスプレイシステム。
- 前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバー、および送信機のうちの少なくとも1つを具備する、請求項31のディスプレイシステム。
- 入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサーに通信するように構成された入力装置をさらに具備する、請求項28のディスプレイシステム。
- テストピクセルのキャパシタンスを決定し、前記キャパシタンスが閾値より大きいとき前記テストピクセルがアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記テストピクセルがリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記テストピクセルのアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記テストピクセルのリリース電圧を決定することを具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記テストピクセルの両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記テストピクセルがアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記テストピクセルの両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記テストピクセルがリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、ディスプレイシステムを動作する方法。 - 前記アクチュエーション電圧およびリリース閾値電圧の決定に応答して前記ディスプレイの駆動電圧を変更することをさらに具備する、請求項34の方法。
- ディスプレイシステムにおいて、
前記ディスプレイシステムのユーザーにデータを表示する手段と、
少なくとも1つの微小電気機械エレメントと、
前記微小電気機械エレメントのキャパシタンスが閾値より大きいとき前記微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記エレメントがリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記微小電気機械エレメントのアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記微小電気機械エレメントのリリース電圧を決定する手段と、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定する手段は、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の上昇する電圧を印加する手段と、各印加された電圧における状態を検出する手段と、前記微小電気機械エレメントがアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定する手段とを備え、前記リリース電圧を決定する手段は、前記微小電気機械エレメントの両端に一連の降下する電圧を印加する手段と、各印加された電圧における状態を検出する手段と、前記微小電気機械エレメントがリリースされた状態にあると決定される場合に前記印加された電圧をリリース電圧と決定する手段とを備える、ディスプレイシステム。 - 前記表示手段は、微小電気機械ピクセルのアレイを具備する、請求項36のディスプレイシステム。
- 前記決定手段は、センサーを具備する、請求項36のディスプレイシステム。
- 微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステムを製造する方法において、
微小電気機械装置を形成することと、
電圧を印加するように構成された駆動回路を前記微小電気機械装置に接続することと、
センサーを前記微小電気機械装置に接続することと、ここにおいて、前記センサーは、前記微小電気機械装置のキャパシタンスが閾値より大きいとき前記微小電気機械装置がアクチュエートされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記微小電気機械装置がリリースされた状態にあると決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より大きいとき前記微小電気機械装置のアクチュエーション電圧を決定し、前記キャパシタンスが前記閾値より小さいとき前記微小電気機械装置のリリース電圧を決定するように構成される、を具備し、
前記アクチュエーション電圧を決定することは、前記微小電気機械装置の両端に一連の上昇する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械装置がアクチュエートされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をアクチュエーション電圧と決定することとを備え、前記リリース電圧を決定することは、前記微小電気機械装置の両端に一連の降下する電圧を印加することと、各印加された電圧における状態を検出することと、前記微小電気機械装置がリリースされた状態にあると決定されたときに前記印加された電圧をリリース電圧と決定することとを備える、方法。 - 請求項39の方法により製造された微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定するシステム。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US60489204P | 2004-08-27 | 2004-08-27 | |
US60/604,892 | 2004-08-27 | ||
US11/045,865 | 2005-01-28 | ||
US11/045,865 US7551159B2 (en) | 2004-08-27 | 2005-01-28 | System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005243599A Division JP2006136997A (ja) | 2004-08-27 | 2005-08-25 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012083757A JP2012083757A (ja) | 2012-04-26 |
JP5571052B2 true JP5571052B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=35448029
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005243599A Withdrawn JP2006136997A (ja) | 2004-08-27 | 2005-08-25 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2010243723A Expired - Fee Related JP5823113B2 (ja) | 2004-08-27 | 2010-10-29 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2011223004A Expired - Fee Related JP5571052B2 (ja) | 2004-08-27 | 2011-10-07 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2013009826A Expired - Fee Related JP5925705B2 (ja) | 2004-08-27 | 2013-01-23 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2014083074A Pending JP2014167638A (ja) | 2004-08-27 | 2014-04-14 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005243599A Withdrawn JP2006136997A (ja) | 2004-08-27 | 2005-08-25 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2010243723A Expired - Fee Related JP5823113B2 (ja) | 2004-08-27 | 2010-10-29 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013009826A Expired - Fee Related JP5925705B2 (ja) | 2004-08-27 | 2013-01-23 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
JP2014083074A Pending JP2014167638A (ja) | 2004-08-27 | 2014-04-14 | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7551159B2 (ja) |
EP (1) | EP1630781A3 (ja) |
JP (5) | JP2006136997A (ja) |
KR (1) | KR101187216B1 (ja) |
AU (1) | AU2005203651A1 (ja) |
BR (1) | BRPI0503564A (ja) |
CA (1) | CA2516625A1 (ja) |
MX (1) | MXPA05009149A (ja) |
RU (1) | RU2005127028A (ja) |
SG (1) | SG120270A1 (ja) |
TW (3) | TWI486594B (ja) |
Families Citing this family (98)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7471444B2 (en) * | 1996-12-19 | 2008-12-30 | Idc, Llc | Interferometric modulation of radiation |
WO1999052006A2 (en) | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation of radiation |
US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
US7417782B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-08-26 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for spatial light modulation |
US7499208B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-03-03 | Udc, Llc | Current mode display driver circuit realization feature |
US7515147B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-04-07 | Idc, Llc | Staggered column drive circuit systems and methods |
US7551159B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-06-23 | Idc, Llc | System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator |
US7889163B2 (en) * | 2004-08-27 | 2011-02-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Drive method for MEMS devices |
US7560299B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-07-14 | Idc, Llc | Systems and methods of actuating MEMS display elements |
US7446927B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-11-04 | Idc, Llc | MEMS switch with set and latch electrodes |
US20060066594A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Karen Tyger | Systems and methods for driving a bi-stable display element |
US7545550B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-06-09 | Idc, Llc | Systems and methods of actuating MEMS display elements |
US7724993B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-05-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS switches with deforming membranes |
US7532195B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-05-12 | Idc, Llc | Method and system for reducing power consumption in a display |
US7626581B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-12-01 | Idc, Llc | Device and method for display memory using manipulation of mechanical response |
US7345805B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-03-18 | Idc, Llc | Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches |
US7310179B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-12-18 | Idc, Llc | Method and device for selective adjustment of hysteresis window |
US7136213B2 (en) * | 2004-09-27 | 2006-11-14 | Idc, Llc | Interferometric modulators having charge persistence |
US7327510B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US7679627B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-03-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Controller and driver features for bi-stable display |
US8878825B2 (en) * | 2004-09-27 | 2014-11-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display |
US7843410B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-11-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for electrically programmable display |
US7675669B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-03-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for driving interferometric modulators |
US8310441B2 (en) * | 2004-09-27 | 2012-11-13 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for writing data to MEMS display elements |
US7746529B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-29 | Pixtronix, Inc. | MEMS display apparatus |
US9082353B2 (en) | 2010-01-05 | 2015-07-14 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US9261694B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-02-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US20070205969A1 (en) | 2005-02-23 | 2007-09-06 | Pixtronix, Incorporated | Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon |
US9158106B2 (en) | 2005-02-23 | 2015-10-13 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US9229222B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-01-05 | Pixtronix, Inc. | Alignment methods in fluid-filled MEMS displays |
US8519945B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-08-27 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US8310442B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-11-13 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US7999994B2 (en) | 2005-02-23 | 2011-08-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US8482496B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-07-09 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate |
US8159428B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-04-17 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US7977919B1 (en) | 2005-04-06 | 2011-07-12 | Rf Micro Devices, Inc. | Over-voltage protection accounting for battery droop |
US7948457B2 (en) * | 2005-05-05 | 2011-05-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems and methods of actuating MEMS display elements |
US7920136B2 (en) | 2005-05-05 | 2011-04-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of driving a MEMS display device |
WO2006121784A1 (en) * | 2005-05-05 | 2006-11-16 | Qualcomm Incorporated, Inc. | Dynamic driver ic and display panel configuration |
WO2007014022A1 (en) | 2005-07-22 | 2007-02-01 | Qualcomm Incorporated | Mems devices having support structures and methods of fabricating the same |
US7355385B2 (en) * | 2005-07-28 | 2008-04-08 | Varian Medical Systems Technologies, Inc. | Voltage injector and detector using pixel array for printed circuit board testing |
US20070052671A1 (en) * | 2005-09-02 | 2007-03-08 | Hewlett-Packard Development Company Lp | Pixel element actuation |
US7355779B2 (en) * | 2005-09-02 | 2008-04-08 | Idc, Llc | Method and system for driving MEMS display elements |
US20070126673A1 (en) * | 2005-12-07 | 2007-06-07 | Kostadin Djordjev | Method and system for writing data to MEMS display elements |
US8391630B2 (en) | 2005-12-22 | 2013-03-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays |
US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
US8194056B2 (en) * | 2006-02-09 | 2012-06-05 | Qualcomm Mems Technologies Inc. | Method and system for writing data to MEMS display elements |
US8526096B2 (en) | 2006-02-23 | 2013-09-03 | Pixtronix, Inc. | Mechanical light modulators with stressed beams |
US8049713B2 (en) * | 2006-04-24 | 2011-11-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Power consumption optimized display update |
US7876489B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-25 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with optical cavities |
US7702192B2 (en) | 2006-06-21 | 2010-04-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems and methods for driving MEMS display |
EP2092756A4 (en) * | 2006-10-12 | 2010-05-19 | Ntera Inc | DISTRIBUTED DISPLAY DEVICE |
EP2080045A1 (en) | 2006-10-20 | 2009-07-22 | Pixtronix Inc. | Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities |
US9176318B2 (en) | 2007-05-18 | 2015-11-03 | Pixtronix, Inc. | Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays |
US7852546B2 (en) | 2007-10-19 | 2010-12-14 | Pixtronix, Inc. | Spacers for maintaining display apparatus alignment |
US7962109B1 (en) * | 2007-02-27 | 2011-06-14 | Rf Micro Devices, Inc. | Excess current and saturation detection and correction in a power amplifier |
US7956615B1 (en) | 2007-02-27 | 2011-06-07 | Rf Micro Devices, Inc. | Utilizing computed battery resistance as a battery-life indicator in a mobile terminal |
US9053655B2 (en) * | 2007-04-11 | 2015-06-09 | Renesas Electronics Corporation | Driver of display unit |
EP2067841A1 (en) * | 2007-12-06 | 2009-06-10 | Agfa HealthCare NV | X-Ray imaging photostimulable phosphor screen or panel. |
US8466858B2 (en) * | 2008-02-11 | 2013-06-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Sensing to determine pixel state in a passively addressed display array |
US20090201282A1 (en) * | 2008-02-11 | 2009-08-13 | Qualcomm Mems Technologies, Inc | Methods of tuning interferometric modulator displays |
KR20100118131A (ko) * | 2008-02-11 | 2010-11-04 | 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. | 디스플레이 구동 체계가 통합된 표시소자의 감지, 측정 혹은 평가 방법 및 장치, 그리고 이를 이용한 시스템 및 용도 |
JP2011517625A (ja) * | 2008-02-11 | 2011-06-16 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | Memsベース表示部用の電気的駆動パラメータの電気測定のための測定法および装置 |
US8258800B2 (en) * | 2008-02-11 | 2012-09-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
WO2009102622A2 (en) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
KR100924142B1 (ko) * | 2008-04-01 | 2009-10-28 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 평판표시장치, 이의 에이징 방법 및 점등 테스트 방법 |
US8248560B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-08-21 | Pixtronix, Inc. | Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors |
US8027800B2 (en) | 2008-06-24 | 2011-09-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Apparatus and method for testing a panel of interferometric modulators |
US8169679B2 (en) | 2008-10-27 | 2012-05-01 | Pixtronix, Inc. | MEMS anchors |
WO2010062647A2 (en) * | 2008-10-28 | 2010-06-03 | Pixtronix, Inc. | System and method for selecting display modes |
US8248358B2 (en) * | 2009-03-27 | 2012-08-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Altering frame rates in a MEMS display by selective line skipping |
US8736590B2 (en) | 2009-03-27 | 2014-05-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Low voltage driver scheme for interferometric modulators |
US8363380B2 (en) | 2009-05-28 | 2013-01-29 | Qualcomm Incorporated | MEMS varactors |
US20110148837A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Charge control techniques for selectively activating an array of devices |
US8218228B2 (en) * | 2009-12-18 | 2012-07-10 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Two-terminal variable capacitance MEMS device |
JP5310529B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-10-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 板状部材の揺動装置 |
US8149496B2 (en) * | 2009-12-22 | 2012-04-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Integrated touch for IMOD displays using back glass |
JP2013519121A (ja) | 2010-02-02 | 2013-05-23 | ピクストロニックス・インコーポレーテッド | 低温封孔流体充填ディスプレイ装置を製造するための方法 |
WO2011097258A1 (en) | 2010-02-02 | 2011-08-11 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
JP2013525955A (ja) | 2010-04-16 | 2013-06-20 | フレックス ライティング 2,エルエルシー | フィルムベースのライトガイドを備える照明デバイス |
WO2011130720A2 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Flex Lighting Ii, Llc | Sign comprising a film-based lightguide |
US8982743B2 (en) | 2010-05-14 | 2015-03-17 | Qualcomm Incorporated | DAI designs for FDD carrier aggregation |
WO2012031111A1 (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of leakage current compensation when sensing states of display elements |
JP5830866B2 (ja) * | 2011-02-02 | 2015-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 制御装置、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法および電子機器 |
US8780104B2 (en) | 2011-03-15 | 2014-07-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of updating drive scheme voltages |
US8847862B2 (en) * | 2011-11-29 | 2014-09-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems, devices, and methods for driving an interferometric modulator |
US20130135325A1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-05-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems, devices, and methods for driving an analog interferometric modulator |
US9030391B2 (en) * | 2011-11-30 | 2015-05-12 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Systems, devices, and methods for driving an analog interferometric modulator |
US20130321379A1 (en) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of sensing actuation and release voltages of interferometric modulators |
US20130321374A1 (en) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Voltage converter |
JP6064468B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2017-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び電子機器 |
US9134552B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-15 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators |
US20140267207A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus for verifying display element state |
JP2016206226A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | 新電元工業株式会社 | 制御装置および制御方法 |
US20160313824A1 (en) * | 2015-04-22 | 2016-10-27 | Pixtronix, Inc. | Capacitance change tracking circuit |
US10984691B2 (en) * | 2018-03-29 | 2021-04-20 | Solomon Systech (Shenzhen) Limited | Panel defect detection method and a display driver apparatus incorporating the same |
TWI662539B (zh) * | 2018-05-03 | 2019-06-11 | 瑞鼎科技股份有限公司 | 具有扇出線路補償設計的驅動積體電路 |
US11851323B2 (en) * | 2019-08-26 | 2023-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device comprising different types of microelectromechanical systems devices |
Family Cites Families (214)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3982239A (en) | 1973-02-07 | 1976-09-21 | North Hills Electronics, Inc. | Saturation drive arrangements for optically bistable displays |
JPS54113334A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-04 | Nippon Chemical Ind | Apparatus for detecting focus point position |
NL8001281A (nl) * | 1980-03-04 | 1981-10-01 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4441791A (en) | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
NL8103377A (nl) * | 1981-07-16 | 1983-02-16 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4571603A (en) | 1981-11-03 | 1986-02-18 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror electrostatic printer |
NL8200354A (nl) * | 1982-02-01 | 1983-09-01 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4500171A (en) | 1982-06-02 | 1985-02-19 | Texas Instruments Incorporated | Process for plastic LCD fill hole sealing |
US4482213A (en) | 1982-11-23 | 1984-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs |
US5633652A (en) * | 1984-02-17 | 1997-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for driving optical modulation device |
US4710732A (en) | 1984-07-31 | 1987-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4566935A (en) | 1984-07-31 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4709995A (en) | 1984-08-18 | 1987-12-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ferroelectric display panel and driving method therefor to achieve gray scale |
US5096279A (en) | 1984-08-31 | 1992-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5061049A (en) | 1984-08-31 | 1991-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4596992A (en) | 1984-08-31 | 1986-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Linear spatial light modulator and printer |
US4662746A (en) | 1985-10-30 | 1987-05-05 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4615595A (en) | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
US5172262A (en) | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4859060A (en) * | 1985-11-26 | 1989-08-22 | 501 Sharp Kabushiki Kaisha | Variable interferometric device and a process for the production of the same |
US5835255A (en) | 1986-04-23 | 1998-11-10 | Etalon, Inc. | Visible spectrum modulator arrays |
FR2605444A1 (fr) | 1986-10-17 | 1988-04-22 | Thomson Csf | Procede de commande d'un ecran matriciel electrooptique et circuit de commande mettant en oeuvre ce procede |
JPS63194285A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-11 | シャープ株式会社 | カラ−表示装置 |
US4956619A (en) | 1988-02-19 | 1990-09-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US4856863A (en) | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
US5028939A (en) | 1988-08-23 | 1991-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator system |
US4982184A (en) * | 1989-01-03 | 1991-01-01 | General Electric Company | Electrocrystallochromic display and element |
KR100202246B1 (ko) | 1989-02-27 | 1999-06-15 | 윌리엄 비. 켐플러 | 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법 |
US5170156A (en) | 1989-02-27 | 1992-12-08 | Texas Instruments Incorporated | Multi-frequency two dimensional display system |
US5214420A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator projection system with random polarity light |
US5287096A (en) | 1989-02-27 | 1994-02-15 | Texas Instruments Incorporated | Variable luminosity display system |
US5162787A (en) | 1989-02-27 | 1992-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface |
US5446479A (en) | 1989-02-27 | 1995-08-29 | Texas Instruments Incorporated | Multi-dimensional array video processor system |
US5272473A (en) | 1989-02-27 | 1993-12-21 | Texas Instruments Incorporated | Reduced-speckle display system |
US5214419A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Planarized true three dimensional display |
US5079544A (en) | 1989-02-27 | 1992-01-07 | Texas Instruments Incorporated | Standard independent digitized video system |
US5192946A (en) | 1989-02-27 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Digitized color video display system |
US5206629A (en) | 1989-02-27 | 1993-04-27 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and memory for digitized video display |
US4954789A (en) | 1989-09-28 | 1990-09-04 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US5124834A (en) * | 1989-11-16 | 1992-06-23 | General Electric Company | Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same |
US5037173A (en) | 1989-11-22 | 1991-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Optical interconnection network |
US5227900A (en) * | 1990-03-20 | 1993-07-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of driving ferroelectric liquid crystal element |
CH682523A5 (fr) * | 1990-04-20 | 1993-09-30 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel. |
EP0467048B1 (en) | 1990-06-29 | 1995-09-20 | Texas Instruments Incorporated | Field-updated deformable mirror device |
US5216537A (en) | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5083857A (en) | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
US5142405A (en) | 1990-06-29 | 1992-08-25 | Texas Instruments Incorporated | Bistable dmd addressing circuit and method |
US5099353A (en) | 1990-06-29 | 1992-03-24 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5018256A (en) | 1990-06-29 | 1991-05-28 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5526688A (en) | 1990-10-12 | 1996-06-18 | Texas Instruments Incorporated | Digital flexure beam accelerometer and method |
US5192395A (en) | 1990-10-12 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Method of making a digital flexure beam accelerometer |
US5331454A (en) | 1990-11-13 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Low reset voltage process for DMD |
US5233459A (en) * | 1991-03-06 | 1993-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Electric display device |
CA2063744C (en) | 1991-04-01 | 2002-10-08 | Paul M. Urbanus | Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system |
US5142414A (en) * | 1991-04-22 | 1992-08-25 | Koehler Dale R | Electrically actuatable temporal tristimulus-color device |
US5226099A (en) | 1991-04-26 | 1993-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Digital micromirror shutter device |
US5179274A (en) | 1991-07-12 | 1993-01-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for controlling operation of optical systems and devices |
US5287215A (en) | 1991-07-17 | 1994-02-15 | Optron Systems, Inc. | Membrane light modulation systems |
US5168406A (en) | 1991-07-31 | 1992-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Color deformable mirror device and method for manufacture |
US5254980A (en) | 1991-09-06 | 1993-10-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system controller |
US5563398A (en) | 1991-10-31 | 1996-10-08 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator scanning system |
CA2081753C (en) | 1991-11-22 | 2002-08-06 | Jeffrey B. Sampsell | Dmd scanner |
US5233385A (en) | 1991-12-18 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | White light enhanced color field sequential projection |
US5233456A (en) | 1991-12-20 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | Resonant mirror and method of manufacture |
US5296950A (en) | 1992-01-31 | 1994-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Optical signal free-space conversion board |
US5231532A (en) | 1992-02-05 | 1993-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Switchable resonant filter for optical radiation |
US5212582A (en) | 1992-03-04 | 1993-05-18 | Texas Instruments Incorporated | Electrostatically controlled beam steering device and method |
EP0562424B1 (en) | 1992-03-25 | 1997-05-28 | Texas Instruments Incorporated | Embedded optical calibration system |
US5312513A (en) | 1992-04-03 | 1994-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Methods of forming multiple phase light modulators |
US5638084A (en) * | 1992-05-22 | 1997-06-10 | Dielectric Systems International, Inc. | Lighting-independent color video display |
US5327286A (en) | 1992-08-31 | 1994-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Real time optical correlation system |
US5325116A (en) | 1992-09-18 | 1994-06-28 | Texas Instruments Incorporated | Device for writing to and reading from optical storage media |
US5488505A (en) * | 1992-10-01 | 1996-01-30 | Engle; Craig D. | Enhanced electrostatic shutter mosaic modulator |
CN1057614C (zh) | 1993-01-11 | 2000-10-18 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 用于空间光调制器的象素控制电路 |
US6674562B1 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5461411A (en) | 1993-03-29 | 1995-10-24 | Texas Instruments Incorporated | Process and architecture for digital micromirror printer |
JP3524122B2 (ja) * | 1993-05-25 | 2004-05-10 | キヤノン株式会社 | 表示制御装置 |
US5489952A (en) | 1993-07-14 | 1996-02-06 | Texas Instruments Incorporated | Method and device for multi-format television |
US5365283A (en) | 1993-07-19 | 1994-11-15 | Texas Instruments Incorporated | Color phase control for projection display using spatial light modulator |
US5619061A (en) * | 1993-07-27 | 1997-04-08 | Texas Instruments Incorporated | Micromechanical microwave switching |
US5526172A (en) | 1993-07-27 | 1996-06-11 | Texas Instruments Incorporated | Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same |
US5581272A (en) | 1993-08-25 | 1996-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Signal generator for controlling a spatial light modulator |
US5552925A (en) | 1993-09-07 | 1996-09-03 | John M. Baker | Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates |
US5457493A (en) | 1993-09-15 | 1995-10-10 | Texas Instruments Incorporated | Digital micro-mirror based image simulation system |
US5629790A (en) * | 1993-10-18 | 1997-05-13 | Neukermans; Armand P. | Micromachined torsional scanner |
US5526051A (en) | 1993-10-27 | 1996-06-11 | Texas Instruments Incorporated | Digital television system |
US5497197A (en) | 1993-11-04 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | System and method for packaging data into video processor |
US5459602A (en) | 1993-10-29 | 1995-10-17 | Texas Instruments | Micro-mechanical optical shutter |
US5452024A (en) | 1993-11-01 | 1995-09-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system |
US5517347A (en) | 1993-12-01 | 1996-05-14 | Texas Instruments Incorporated | Direct view deformable mirror device |
US5598565A (en) * | 1993-12-29 | 1997-01-28 | Intel Corporation | Method and apparatus for screen power saving |
US5448314A (en) | 1994-01-07 | 1995-09-05 | Texas Instruments | Method and apparatus for sequential color imaging |
US5444566A (en) | 1994-03-07 | 1995-08-22 | Texas Instruments Incorporated | Optimized electronic operation of digital micromirror devices |
JP3298301B2 (ja) * | 1994-04-18 | 2002-07-02 | カシオ計算機株式会社 | 液晶駆動装置 |
US6710908B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-03-23 | Iridigm Display Corporation | Controlling micro-electro-mechanical cavities |
US20010003487A1 (en) * | 1996-11-05 | 2001-06-14 | Mark W. Miles | Visible spectrum modulator arrays |
US7123216B1 (en) * | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US6040937A (en) * | 1994-05-05 | 2000-03-21 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation |
US7550794B2 (en) * | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
US7460291B2 (en) * | 1994-05-05 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Separable modulator |
US6680792B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5497172A (en) | 1994-06-13 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing |
US5454906A (en) | 1994-06-21 | 1995-10-03 | Texas Instruments Inc. | Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices |
US5499062A (en) | 1994-06-23 | 1996-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory |
US5636052A (en) * | 1994-07-29 | 1997-06-03 | Lucent Technologies Inc. | Direct view display based on a micromechanical modulation |
GB2293242B (en) * | 1994-09-15 | 1998-11-18 | Sony Uk Ltd | Capacitive touch detection |
US5552924A (en) | 1994-11-14 | 1996-09-03 | Texas Instruments Incorporated | Micromechanical device having an improved beam |
US5550373A (en) * | 1994-12-30 | 1996-08-27 | Honeywell Inc. | Fabry-Perot micro filter-detector |
US5612713A (en) * | 1995-01-06 | 1997-03-18 | Texas Instruments Incorporated | Digital micro-mirror device with block data loading |
US5567334A (en) | 1995-02-27 | 1996-10-22 | Texas Instruments Incorporated | Method for creating a digital micromirror device using an aluminum hard mask |
US5535047A (en) | 1995-04-18 | 1996-07-09 | Texas Instruments Incorporated | Active yoke hidden hinge digital micromirror device |
US5835256A (en) * | 1995-06-19 | 1998-11-10 | Reflectivity, Inc. | Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements |
US5578976A (en) | 1995-06-22 | 1996-11-26 | Rockwell International Corporation | Micro electromechanical RF switch |
US5638946A (en) * | 1996-01-11 | 1997-06-17 | Northeastern University | Micromechanical switch with insulated switch contact |
US6320394B1 (en) | 1996-02-14 | 2001-11-20 | Stmicroelectronics S.R.L. | Capacitive distance sensor |
JP2859868B2 (ja) * | 1996-07-06 | 1999-02-24 | 三星電子株式会社 | 高周波発振装置 |
JPH1096745A (ja) * | 1996-09-21 | 1998-04-14 | Murata Mfg Co Ltd | 静電容量型外力検出装置 |
US6028689A (en) * | 1997-01-24 | 2000-02-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Multi-motion micromirror |
JPH10267765A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-09 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサの検出回路 |
US5867302A (en) * | 1997-08-07 | 1999-02-02 | Sandia Corporation | Bistable microelectromechanical actuator |
US6078183A (en) * | 1998-03-03 | 2000-06-20 | Sandia Corporation | Thermally-induced voltage alteration for integrated circuit analysis |
US6195196B1 (en) | 1998-03-13 | 2001-02-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof |
US5943158A (en) * | 1998-05-05 | 1999-08-24 | Lucent Technologies Inc. | Micro-mechanical, anti-reflection, switched optical modulator array and fabrication method |
JP4074714B2 (ja) * | 1998-09-25 | 2008-04-09 | 富士フイルム株式会社 | アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法 |
US6323834B1 (en) * | 1998-10-08 | 2001-11-27 | International Business Machines Corporation | Micromechanical displays and fabrication method |
US6256430B1 (en) * | 1998-11-23 | 2001-07-03 | Agere Systems Inc. | Optical crossconnect system comprising reconfigurable light-reflecting devices |
US6391675B1 (en) * | 1998-11-25 | 2002-05-21 | Raytheon Company | Method and apparatus for switching high frequency signals |
GB9827945D0 (en) * | 1998-12-19 | 1999-02-10 | Secr Defence | Method of driving a spatial light modulator |
US7012600B2 (en) * | 1999-04-30 | 2006-03-14 | E Ink Corporation | Methods for driving bistable electro-optic displays, and apparatus for use therein |
JP2001324959A (ja) * | 1999-05-14 | 2001-11-22 | Ngk Insulators Ltd | ディスプレイの駆動装置及びディスプレイの駆動方法 |
TW523727B (en) * | 1999-05-27 | 2003-03-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Display device |
US6507330B1 (en) * | 1999-09-01 | 2003-01-14 | Displaytech, Inc. | DC-balanced and non-DC-balanced drive schemes for liquid crystal devices |
US6275326B1 (en) | 1999-09-21 | 2001-08-14 | Lucent Technologies Inc. | Control arrangement for microelectromechanical devices and systems |
WO2003007049A1 (en) * | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
JP2001249287A (ja) * | 1999-12-30 | 2001-09-14 | Texas Instr Inc <Ti> | 双安定マイクロミラー・アレイを動作させる方法 |
WO2001065800A2 (en) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | British Telecommunications Public Limited Company | Data transfer method and apparatus |
US6665109B2 (en) | 2000-03-20 | 2003-12-16 | Np Photonics, Inc. | Compliant mechanism and method of forming same |
AU2001250989A1 (en) | 2000-03-24 | 2001-10-08 | Onix Microsystems, Inc. | Two-dimensional gimbaled scanning actuator with vertical electrostatic comb-drive for actuation and/or sensing |
US6744173B2 (en) * | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
US20010051014A1 (en) | 2000-03-24 | 2001-12-13 | Behrang Behin | Optical switch employing biased rotatable combdrive devices and methods |
US6788520B1 (en) | 2000-04-10 | 2004-09-07 | Behrang Behin | Capacitive sensing scheme for digital control state detection in optical switches |
JP2001296484A (ja) * | 2000-04-12 | 2001-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | 光スイッチ及び光スイッチの切り替え方法 |
US6356085B1 (en) * | 2000-05-09 | 2002-03-12 | Pacesetter, Inc. | Method and apparatus for converting capacitance to voltage |
JP3843703B2 (ja) * | 2000-06-13 | 2006-11-08 | 富士ゼロックス株式会社 | 光書き込み型記録表示装置 |
JP2002287033A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-10-03 | Olympus Optical Co Ltd | 光学装置 |
US6392233B1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-05-21 | Sarnoff Corporation | Optomechanical radiant energy detector |
JP4392970B2 (ja) * | 2000-08-21 | 2010-01-06 | キヤノン株式会社 | 干渉性変調素子を用いる表示素子 |
US6504118B2 (en) * | 2000-10-27 | 2003-01-07 | Daniel J Hyman | Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism |
US6674383B2 (en) | 2000-11-01 | 2004-01-06 | Onix Microsystems, Inc. | PWM-based measurement interface for a micro-machined electrostatic actuator |
US6593934B1 (en) * | 2000-11-16 | 2003-07-15 | Industrial Technology Research Institute | Automatic gamma correction system for displays |
US6504641B2 (en) * | 2000-12-01 | 2003-01-07 | Agere Systems Inc. | Driver and method of operating a micro-electromechanical system device |
US6756996B2 (en) * | 2000-12-19 | 2004-06-29 | Intel Corporation | Obtaining a high refresh rate display using a low bandwidth digital interface |
FR2818795B1 (fr) * | 2000-12-27 | 2003-12-05 | Commissariat Energie Atomique | Micro-dispositif a actionneur thermique |
US6480645B1 (en) | 2001-01-30 | 2002-11-12 | Tellium, Inc. | Sidewall electrodes for electrostatic actuation and capacitive sensing |
JP4109992B2 (ja) * | 2001-01-30 | 2008-07-02 | 株式会社アドバンテスト | スイッチ、及び集積化回路装置 |
JP3835525B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2006-10-18 | ホーチキ株式会社 | 波長可変フィルタ制御装置 |
US6545495B2 (en) * | 2001-04-17 | 2003-04-08 | Ut-Battelle, Llc | Method and apparatus for self-calibration of capacitive sensors |
US6529654B1 (en) * | 2001-05-02 | 2003-03-04 | Nayna Networks, Inc. | Method for transparent switching and controlling optical signals using mirror designs |
JP4449249B2 (ja) | 2001-05-11 | 2010-04-14 | ソニー株式会社 | 光学多層構造体の駆動方法および表示装置の駆動方法ならびに表示装置 |
US6771851B1 (en) * | 2001-06-19 | 2004-08-03 | Nayna Networks | Fast switching method for a micro-mirror device for optical switching applications |
KR100853131B1 (ko) * | 2001-07-10 | 2008-08-20 | 이리다임 디스플레이 코포레이션 | 전자 기기 구동 방법 및 장치 |
JP4032216B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2008-01-16 | ソニー株式会社 | 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置 |
JP3749147B2 (ja) | 2001-07-27 | 2006-02-22 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
US6589625B1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-07-08 | Iridigm Display Corporation | Hermetic seal and method to create the same |
US6911966B2 (en) | 2001-08-24 | 2005-06-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Matrix display device |
JP3698208B2 (ja) * | 2001-12-06 | 2005-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP4190862B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2008-12-03 | シャープ株式会社 | 表示装置およびその駆動方法 |
US7348946B2 (en) * | 2001-12-31 | 2008-03-25 | Intel Corporation | Energy sensing light emitting diode display |
US6791735B2 (en) * | 2002-01-09 | 2004-09-14 | The Regents Of The University Of California | Differentially-driven MEMS spatial light modulator |
JP2003215473A (ja) * | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ |
US6750589B2 (en) * | 2002-01-24 | 2004-06-15 | Honeywell International Inc. | Method and circuit for the control of large arrays of electrostatic actuators |
US6750655B2 (en) * | 2002-02-21 | 2004-06-15 | Pts Corporation | Methods for affirming switched status of MEMS-based devices |
US6574033B1 (en) * | 2002-02-27 | 2003-06-03 | Iridigm Display Corporation | Microelectromechanical systems device and method for fabricating same |
US7283112B2 (en) * | 2002-03-01 | 2007-10-16 | Microsoft Corporation | Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system |
US6744264B2 (en) * | 2002-04-25 | 2004-06-01 | Motorola, Inc. | Testing circuit and method for MEMS sensor packaged with an integrated circuit |
US6791441B2 (en) * | 2002-05-07 | 2004-09-14 | Raytheon Company | Micro-electro-mechanical switch, and methods of making and using it |
ATE389888T1 (de) * | 2002-05-29 | 2008-04-15 | Imec Vzw Interuniversitair Mic | Gerät und verfahren, um die leistung von mikromaschinen oder mikroelektromechanischen bauelementen zu bestimmen |
US6741377B2 (en) * | 2002-07-02 | 2004-05-25 | Iridigm Display Corporation | Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same |
JP2004130507A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
US7368846B2 (en) * | 2002-11-06 | 2008-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microactuator with displacement sensing function and deformable mirror including the microactuator |
GB0229692D0 (en) * | 2002-12-19 | 2003-01-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Active matrix display device |
US6865313B2 (en) * | 2003-05-09 | 2005-03-08 | Opticnet, Inc. | Bistable latching actuator for optical switching applications |
US20040246562A1 (en) * | 2003-05-16 | 2004-12-09 | Sipix Imaging, Inc. | Passive matrix electrophoretic display driving scheme |
US6940285B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-09-06 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for testing a micro electromechanical device |
US6903860B2 (en) * | 2003-11-01 | 2005-06-07 | Fusao Ishii | Vacuum packaged micromirror arrays and methods of manufacturing the same |
US20050116924A1 (en) * | 2003-10-07 | 2005-06-02 | Rolltronics Corporation | Micro-electromechanical switching backplane |
US7142346B2 (en) | 2003-12-09 | 2006-11-28 | Idc, Llc | System and method for addressing a MEMS display |
US7161728B2 (en) * | 2003-12-09 | 2007-01-09 | Idc, Llc | Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators |
US8358296B2 (en) * | 2004-01-13 | 2013-01-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Temperature compensated MEMS device |
US7026821B2 (en) * | 2004-04-17 | 2006-04-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Testing MEM device array |
US20060007205A1 (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Damoder Reddy | Active-matrix display and pixel structure for feedback stabilized flat panel display |
US7126741B2 (en) | 2004-08-12 | 2006-10-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator assembly |
US7889163B2 (en) * | 2004-08-27 | 2011-02-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Drive method for MEMS devices |
US7515147B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-04-07 | Idc, Llc | Staggered column drive circuit systems and methods |
US7551159B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-06-23 | Idc, Llc | System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator |
US7560299B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-07-14 | Idc, Llc | Systems and methods of actuating MEMS display elements |
US7499208B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-03-03 | Udc, Llc | Current mode display driver circuit realization feature |
US7602375B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-10-13 | Idc, Llc | Method and system for writing data to MEMS display elements |
US8878825B2 (en) * | 2004-09-27 | 2014-11-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display |
US7843410B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-11-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for electrically programmable display |
US20060066594A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Karen Tyger | Systems and methods for driving a bi-stable display element |
AU2005289445A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Idc, Llc | Method and device for multistate interferometric light modulation |
US7532195B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-05-12 | Idc, Llc | Method and system for reducing power consumption in a display |
US7545550B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-06-09 | Idc, Llc | Systems and methods of actuating MEMS display elements |
US7724993B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-05-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS switches with deforming membranes |
US7675669B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-03-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for driving interferometric modulators |
US7327510B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US7626581B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-12-01 | Idc, Llc | Device and method for display memory using manipulation of mechanical response |
US7136213B2 (en) * | 2004-09-27 | 2006-11-14 | Idc, Llc | Interferometric modulators having charge persistence |
US7345805B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-03-18 | Idc, Llc | Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches |
US7446927B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-11-04 | Idc, Llc | MEMS switch with set and latch electrodes |
US7310179B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-12-18 | Idc, Llc | Method and device for selective adjustment of hysteresis window |
US7679627B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-03-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Controller and driver features for bi-stable display |
US8310441B2 (en) * | 2004-09-27 | 2012-11-13 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for writing data to MEMS display elements |
-
2005
- 2005-01-28 US US11/045,865 patent/US7551159B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-15 SG SG200505162A patent/SG120270A1/en unknown
- 2005-08-16 TW TW102131848A patent/TWI486594B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-08-16 TW TW094127806A patent/TWI411790B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-08-16 TW TW101142317A patent/TWI421512B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-08-16 AU AU2005203651A patent/AU2005203651A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-22 CA CA002516625A patent/CA2516625A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-23 EP EP05255180A patent/EP1630781A3/en not_active Withdrawn
- 2005-08-25 JP JP2005243599A patent/JP2006136997A/ja not_active Withdrawn
- 2005-08-26 MX MXPA05009149A patent/MXPA05009149A/es not_active Application Discontinuation
- 2005-08-26 RU RU2005127028/28A patent/RU2005127028A/ru not_active Application Discontinuation
- 2005-08-26 BR BRPI0503564-3A patent/BRPI0503564A/pt not_active Application Discontinuation
- 2005-08-26 KR KR1020050078972A patent/KR101187216B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-05-18 US US12/468,004 patent/US8207920B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-29 JP JP2010243723A patent/JP5823113B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-10-07 JP JP2011223004A patent/JP5571052B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-05-30 US US13/483,984 patent/US8487846B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-23 JP JP2013009826A patent/JP5925705B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-07-15 US US13/942,472 patent/US20130300439A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-04-14 JP JP2014083074A patent/JP2014167638A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060087377A (ko) | 2006-08-02 |
TWI421512B (zh) | 2014-01-01 |
US20120235981A1 (en) | 2012-09-20 |
BRPI0503564A (pt) | 2007-07-10 |
US20060044298A1 (en) | 2006-03-02 |
JP5925705B2 (ja) | 2016-05-25 |
TWI486594B (zh) | 2015-06-01 |
US20130300439A1 (en) | 2013-11-14 |
US8487846B2 (en) | 2013-07-16 |
EP1630781A2 (en) | 2006-03-01 |
CA2516625A1 (en) | 2006-02-27 |
US20090224748A1 (en) | 2009-09-10 |
MXPA05009149A (es) | 2006-04-18 |
RU2005127028A (ru) | 2007-03-10 |
KR101187216B1 (ko) | 2012-10-02 |
JP2014167638A (ja) | 2014-09-11 |
JP2006136997A (ja) | 2006-06-01 |
US7551159B2 (en) | 2009-06-23 |
JP2013137548A (ja) | 2013-07-11 |
JP5823113B2 (ja) | 2015-11-25 |
AU2005203651A1 (en) | 2006-03-16 |
EP1630781A3 (en) | 2008-04-16 |
TW200619645A (en) | 2006-06-16 |
JP2012083757A (ja) | 2012-04-26 |
TW201307858A (zh) | 2013-02-16 |
TWI411790B (zh) | 2013-10-11 |
US8207920B2 (en) | 2012-06-26 |
SG120270A1 (en) | 2006-03-28 |
TW201350874A (zh) | 2013-12-16 |
JP2011081393A (ja) | 2011-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5571052B2 (ja) | 干渉変調器のアクチュエーション電圧とリリース電圧を検出するシステムおよび方法 | |
US7889163B2 (en) | Drive method for MEMS devices | |
US8775107B2 (en) | Measurement and apparatus for electrical measurement of electrical drive parameters for a MEMS based display | |
US20060103643A1 (en) | Measuring and modeling power consumption in displays | |
JP2011516904A (ja) | 表示駆動機構と統合された表示要素の検知、測定、または特性評価のための方法および装置、ならびにそれを使用するシステムおよび用途 | |
CN100458497C (zh) | 用于感测干涉式调制器的激励电压及释放电压的系统及方法 | |
CN101010715B (zh) | Mems显示装置及驱动此装置的方法 | |
US7545556B2 (en) | Method and apparatus for measuring the force of stiction of a membrane in a MEMS device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130424 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130806 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131106 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140326 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5571052 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |