JP5570900B2 - 基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法及び樹脂突起物層転写部材 - Google Patents
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Description
12 基板載置台(サセプタ)
13 基材
13a 基板載置面
40 樹脂突起物層転写部材
41 基材シート
42 第1の粘着剤層
43 樹脂突起物層
43a 樹脂突起物
44 第2の粘着剤層
Claims (11)
- 矩形の基板にプラズマ処理を施す基板処理装置の処理室内で前記基板を載置する基板載置台の基板載置面に樹脂突起物層を転写する樹脂突起物層転写部材であって、
基材シートと、該基材シートの片面に塗布された第1の粘着剤層と、該第1の粘着剤層に貼着された樹脂突起物層と、該樹脂突起物層に塗布された第2の粘着剤層と、を有することを特徴とする樹脂突起物層転写部材。 - 前記樹脂突起物層は、断面が0.5〜2.0mmφで、高さ30〜80μmの円柱状の樹脂突起物を、2〜10mmピッチで多数配列させたものであることを特徴とする請求項1記載の樹脂突起物層転写部材。
- 前記樹脂突起物は、ポリテトラフルオロエチレン、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及び耐熱性ゴムのうちのいずれかで構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の樹脂突起物層転写部材。
- 前記第2の粘着剤層と前記基板載置面との粘着力は、前記第1の粘着剤層と前記樹脂突起物層との粘着力よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の樹脂突起物層転写部材。
- 前記第2の粘着剤層上に保護シートが貼着されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の樹脂突起物層転写部材。
- 矩形の基板にプラズマ処理を施す基板処理装置の処理室内で前記基板を載置する基板載置台の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法であって、
基材シートと、該基材シートの片面に第1の粘着剤層を介して貼着された樹脂突起物層と、該樹脂突起物層に塗布された第2の粘着剤層とを有する樹脂突起物層転写部材の前記樹脂突起物層に塗布された第2の粘着剤層を前記基板載置面に押しつけて前記樹脂突起物層を前記基板載置面に貼着する貼着ステップと、
前記貼着させた樹脂突起物層から前記基材シートを剥がす基材シート剥離ステップと、を有することを特徴とする基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。 - 前記樹脂突起物層は、断面が0.5〜2.0mmφで、高さ30〜80μmの円柱状の樹脂突起物を、2〜10mmピッチで多数配列させたものであることを特徴とする請求項6記載の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。
- 前記樹脂突起物は、ポリテトラフルオロエチレン、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及び耐熱性ゴムのうちのいずれかで構成されていることを特徴とする請求項6又は7記載の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。
- 前記基板載置面には、アルミナ溶射膜が形成されており、前記第2の粘着剤層と前記アルミナ溶射膜との粘着力は、前記第1の粘着剤層と前記樹脂突起物層との粘着力よりも大きいことを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。
- 前記樹脂突起物層転写部材の前記第2粘着剤層には保護シートが貼着されており、前記貼着ステップの前段に、前記保護シートを剥離する保護シート剥離ステップを有することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。
- 前記基材シート剥離ステップの後段に、前記基板載置面に貼着された前記樹脂突起物層を覆うようにコーティング剤を塗布する塗布ステップを有することを特徴とする請求項6乃至10のいずれか1項に記載の基板載置面に樹脂突起物層を形成する方法。
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