JP5563888B2 - 薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 - Google Patents
薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5563888B2 JP5563888B2 JP2010110116A JP2010110116A JP5563888B2 JP 5563888 B2 JP5563888 B2 JP 5563888B2 JP 2010110116 A JP2010110116 A JP 2010110116A JP 2010110116 A JP2010110116 A JP 2010110116A JP 5563888 B2 JP5563888 B2 JP 5563888B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- metal light
- shielding film
- gate
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 103
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 67
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 541
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 174
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 174
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 63
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 55
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 41
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims description 8
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000010406 interfacial reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 81
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 56
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 17
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 14
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 10
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 4
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 amorphous ITO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- NGPGDYLVALNKEG-UHFFFAOYSA-N azanium;azane;2,3,4-trihydroxy-4-oxobutanoate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O NGPGDYLVALNKEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 229910021472 group 8 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
次に、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、ゲート絶縁膜となるSiNx膜503、i型半導体層となる非晶質シリコン(a−Si)膜504、及びN型半導体層となるN型非晶質シリコン膜505を順次成膜し、これらをフォトリソグラフィ法によりアイランド状にパターニングする。その上にソース・ドレイン電極材料をスパッタ法により成膜し、フォトリソグラフィ法によりソース電極506とドレイン電極507とをパターン形成する。ソース電極506及びドレイン電極507は、平面視、ゲート電極502に一部重なった領域を持つ。
特許文献1に記載のチャネル層を上記のTFT500に適用した場合、微結晶シリコン膜と非晶質シリコン膜との積層構造からなるチャネル層の上に、N型非晶質シリコン膜が形成されることになる。かかる構成では、チャネル層とN型非晶質シリコン膜との界面のバンドギャップの不整合を小さくし、リーク電流を抑制することができる。
バックライトからの光が微結晶あるいは非晶質のシリコン膜に照射されると、半導体中に電子正孔対が発生する。発生した電子は正電圧が印加されているドレイン電極に、正孔は0電位のソース電極にそれぞれ移動して、光リーク電流が生成する。ゲート電極が0電位又は負電圧のときにこの光リーク電流が流れると、画素の容量の電極に書き込まれた電圧、すなわち容量に蓄積した電荷が光リーク電流により消失する等の問題が発生して、正常な画像表示ができなくなる恐れがある。上記の特許文献1では、かかる光リーク電流に対する解決策が講じられていない。
特許文献2には、透明の絶縁基板(1)上に、遮光膜(10)と、絶縁膜(11)と、ゲート電極(12)と、ゲート絶縁膜(17)と、非晶質シリコンi層(18)と、非晶質シリコンn+層(20)と、ソース電極及びドレイン電極(13、14)とを順次備えたTFTが開示されている(請求項1、図1)。
特許文献2の段落0041には、ゲート電極と遮光膜との位置関係が重要で、ゲート電極と遮光膜とのオーバーラップ量が大きいとゲート電極と遮光膜の間の容量が大きくなり表示の特性劣化をもたらし、逆に、オーバーラップ量が小さいと背面光の遮蔽効果が減少してTFTの光励起電流を防止することができないと記載されている。
特許文献2では、ゲート電極の下方に、ゲート電極の周辺部とのみ重なり合うように配置された遮光膜を設けている。かかる構成では、TFTに必須な層の形成とは別に遮光膜を形成する必要があり、製造効率が悪く、製造コストが増加する。また、成膜工程が多く異物付着の機会が増加することから、歩留低下を招く恐れもある。
特許文献3では、ゲート電極(104)の直下に遮光膜(103)が形成されているが、その形成領域は半導体膜(106)の形成領域よりも狭くなっている。そのため、半導体膜(106)の遮光膜(103)の形成領域の外側が遮光されず、バックライトからの光に起因する光リーク電流を抑制することはできない。
特許文献4に記載のa−SiTFTの構成を、微結晶シリコン(μc−Si)膜を備えたTFTに適用した場合、ゲート電極上の微結晶シリコン膜の側面が、通常金属で形成されるドレイン電極と接する構造となる。オフ状態、すなわちドレイン電極に正電圧、ソース電極に0電圧、ゲート電極に負電圧がそれぞれ印加された状態で、すべての半導体膜がゲート電極の形成領域内にのみ存在する場合、微結晶シリコン膜全体に弱いP型反転層が形成される。そのP型反転層がドレイン電極と接していると、ドレイン電極から微結晶シリコン膜にホールが注入され、リーク電流が生成されてしまう。微結晶シリコンの正孔移動度は非晶質シリコンに比べて非常に大きいため、微結晶シリコン膜を備えたTFTでは、正孔によるリーク電流が非晶質シリコンTFTよりも大きくなる。
非晶質シリコンの正孔移動度は約0.001cm2/Vsであるのに比べ、微結晶シリコンの正孔移動度は0.1〜2cm2/Vsと非常に大きい。このため微結晶シリコン膜を備えたTFTの正孔によるリーク電流は非晶質シリコンTFTのリーク電流より大きく、正常な画像表示ができなくなる問題が発生する。
上記の問題は、微結晶シリコン膜の代わりに多結晶シリコン膜を備えたTFTでも同様である。
本発明は特に、チャネル層に結晶性半導体膜を備え、安定的な駆動が可能であり、製造効率が良く、かつ、光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFTを提供することを目的とするものである。
本明細書において、「結晶性半導体膜」には、微結晶半導体膜及び多結晶半導体膜が含まれる。
絶縁性基板上に順次形成されたゲート電極及びゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された結晶性半導体膜及び/又は非晶質半導体膜からなるチャネル層、及び当該チャネル層上に形成されたN型非晶質半導体膜を含む半導体積層膜と、
前記半導体積層膜上に互いに離間して形成されたソース電極及びドレイン電極とを備えた逆スタガード型の薄膜トランジスタであって、
前記ゲート電極は、前記基板側から見て、第1の金属遮光膜と絶縁膜と前記第1の金属遮光膜よりも形成面積の小さい第2の金属遮光膜との積層構造を有し、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜のうち一方がゲート回路に電気的に接続され、他方が前記ゲート回路から絶縁された構造を有するものであり、
前記第1の金属遮光膜は、前記半導体積層膜の形成領域を含む領域に形成されており、
前記チャネル層において、少なくとも前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の領域は、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜のうち前記ゲート回路に電気的に接続された前記金属遮光膜と近接し、前記チャネル層の両端部は、前記ゲート回路から絶縁された前記金属遮光膜と近接するよう、前記第1の金属遮光膜及び前記第2の金属遮光膜が形成されたものである。
本発明によれば、バックライトからの光に起因する光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFT及びその製造方法を提供することができる。
本発明によれば、チャネル層に結晶性半導体膜を備え、安定的な駆動が可能であり、製造効率が良く、かつ、光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFTを提供することができる。
図面を参照して、本発明に係る第1実施形態の薄膜トランジスタ(TFT)、及びこれを備えたアクティブマトリックス基板について説明する。
本実施形態では、ゲートドライバを内蔵した透過型の液晶表示装置用のアクティブマトリックス基板を例として説明する。
図1Aは本実施形態のアクティブマトリックス基板の全体概略平面図、図1Bは図1Aの拡大平面図(要部平面図)である。図2Aは本実施形態のアクティブマトリックス基板の要部断面図、図2BはTFTの要部断面図である。図3A〜図3D及び図4A〜図4Cは製造工程図である。
図面上は視認しやすくするため、各構成要素の縮尺や位置等は適宜実際のものとは異ならせてある。また、実際には同じ断面上にない複数の構成要素を同じ断面上に図示してある。具体的には、図2Aは図1BのX−X断面図(画素部)、Y−Y断面図(ゲート端子部)、及びZ−Z断面図(ソース端子部)を同一断面上に示してある。
図2Bに示すように、本実施形態のTFT101は、
絶縁性基板1上に順次形成されたゲート電極2及びゲート絶縁膜6と、
ゲート絶縁膜6上に基板側から順次積層されたノンドープの微結晶シリコン(μc−Si)膜8Aとノンドープの非晶質シリコン(a−Si)膜8Bとの積層膜からなるチャネル層8、及びこのチャネル層8上に形成され、Siに不純物が添加されたN型非晶質シリコン膜(低抵抗膜、オーミックコンタクト層)9からなる半導体積層膜10と、
半導体積層膜10上(N型非晶質シリコン膜9上)に互いに離間して形成された金属膜からなるソース電極11及びドレイン電極12とを備えた逆スタガード型のTFTである。
本実施形態において、ゲート絶縁膜6は、窒化シリコン(SiNx)膜及び/又は酸化シリコン(SiO2)膜からなる絶縁膜である。
図1B及び図2Aに示すように、アクティブマトリックス基板201には、画素電極20に隣接して補助容量電極5が形成されている。
ソース電極11にはソース配線14及び外部から映像信号が入力されるソース端子部15が接続されている。ソース端子部15にはソース端子パッド22が接続されている。図中、符号19は保護絶縁膜16に開孔されたソース端子部コンタクトホールである。
ゲート配線3、ゲート端子部4、及び補助容量電極5では、第1の金属遮光膜Aと絶縁膜Bと第2の金属遮光膜Cとは同じ形成面積で形成されているが、ゲート電極2では、第1の金属遮光膜Aよりも絶縁膜B及び第2の金属遮光膜Cの形成面積が小さくなっている。
ゲート電極2をなす第1の金属遮光膜Aと第2の金属遮光膜Cのうち一方はゲート回路に電気的に接続され、他方はゲート回路から絶縁されている。本実施形態においては、ゲート電極2をなす第1の金属遮光膜Aと第2の金属遮光膜Cのうち、基板側の第1の金属遮光膜Aがゲート回路から絶縁されており、ソース・ドレイン電極側の第2の金属遮光膜Cがゲート回路に電気的に接続されている。本実施形態では、第2の金属遮光膜Cが実質的にゲート電極としての機能を有し、第1の金属遮光膜Aはバックライトからの光を遮光する層として機能する。
絶縁膜Bの材質は特に制限されず、Al2O3及びその他の金属酸化物、あるいはAlN及びその他金属窒化物等が挙げられる。
本実施形態において、μc−Si膜8Aとa−Si膜8Bとの積層膜からなるチャネル層8の両端部の下方には、絶縁膜B及び第2の金属遮光膜Cが形成されていない。そのため、チャネル層8において、少なくともソース電極11とドレイン電極12との間の領域(=チャネル部13)は、ゲート回路に電気的に接続された第2の金属遮光膜Cと近接し、チャネル層8の両端部は、ゲート回路から絶縁された第1の金属遮光膜と近接している。
かかる構成では、本実施形態のアクティブマトリック基板201を透過型の液晶表示装置の基板として用いた時に、バックライトからの光が第1の金属遮光膜Aで遮光されて、半導体積層膜10に光が入射することが回避される。そのため、バックライトからの光に起因する光リーク電流の発生が低減される。
本実施形態では、ゲート電極2が遮光膜を兼ねているので、ゲート電極と別に遮光膜を設けるよりも製造効率が良い。
また、半導体積層膜10の両端部は実質的にゲート電極として機能する第2の金属遮光膜Cに近接していないので、半導体積層膜10内にP型反転層が形成されることが抑制され、半導体積層膜10内にソース・ドレイン電極11、12からホール電流が流れることが抑制される。
本実施形態では、以上の効果が相俟って種々のリーク電流が抑制される。
「発明が解決しようとする課題」の項で述べたように、一般にチャネル層に微結晶シリコン膜の単層膜を用いたμc−SiTFTは、ゲート電極に逆バイアスを印加したときのオフ電流が高くなる問題が発生する。本実施形態では、チャネル層8を微結晶シリコン膜8Aと非晶質シリコン膜8Bとの積層構造としたので、チャネル層8とN型非晶質シリコン膜9との界面のバンドギャップの不整合を小さくし、リーク電流を抑制することができる。
「発明が解決しようとする課題」の項で述べたように、バックライトからの光に起因する光リーク電流の問題は特に非晶質シリコンに比べて正孔移動度の大きい微結晶シリコン膜を備えたTFTにおいて顕著であるが、本実施形態では、チャネル層8にバックライトからの光が入射すること自体が抑制されるので、チャネル層8をなす半導体膜の組成や結晶状態に関わらず、上記効果が得られる。
したがって、本発明は、非晶質シリコン膜に比べて正孔移動度の大きい微結晶シリコン膜を備えたTFTに特に有効である。同様の理由から、本発明は多結晶シリコン膜を備えたTFTにも有効である。
はじめに図3A〜図3Cに示すプロセスで、ゲート電極2、ゲート配線3、ゲート端子部4、及び補助容量電極5を形成した。
まず、ガラス基板などの透光性を有する絶縁性基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄した後、この基板上にスパッタ法で第1の金属遮光膜AとしてAl合金膜を200nm厚で成膜し、プラズマCVD法で絶縁膜BとしてSiNx膜を100nm厚で成膜し、再度スパッタ法で第2の金属遮光膜CとしてAl合金膜を200nm厚で成膜した。
ここでは、金属遮光膜A、CとしてAl合金膜を用いたが、充分な遮光性と導電性が得られ加工性に問題がなければ、他の金属膜を用いて構わない。SiNx膜の成膜法は後述するゲート絶縁膜6と同じとしている。
フォトレジストパターンPRの形成に際しては、フォトマスクPMとして、ゲート配線3、ゲート端子部4、補助容量電極5、及びゲート電極2の第2の金属遮光膜Cの形成領域は光を通さず、第2の金属遮光膜Cの形成領域を除くゲート電極2の形成領域は一部の光を通すハーフトーンマスクを用いて露光量を部分的に調節した。これによって、ゲート電極2の形成領域は、レジスト断面形状を中央部(第2の金属遮光膜Cの形成領域)が厚くその外側が薄い凸型とした。
図3AのフォトレジストパターンPRは現像後のパターンであるが、ここでは露光に用いたフォトマスクPMについても合わせて図示してある。
続いて、図3Cに示すように、残ったフォトレジストパターンPRをマスクとして、第2の金属遮光膜C及び絶縁膜Bに対して順次ドライエッチングを実施した。エッチングガスは上記と同様とした。本実施例では、このエッチングプロセスで絶縁膜Bをエッチングしたが、上層の第2の金属遮光膜Cのみをエッチングし、絶縁膜Bはエッチングしなくてもよい。
続いてフォトレジストパターンPRを除去して、図2Aに示したパターンを有するゲート電極2/ゲート配線3/ゲート端子部4/補助容量電極5を形成した。
次に一旦ガスを排気した後、H2ガスをチャンバに導入し排気するステップを数回繰り返した。これはSiNx膜の成膜に用いたガスを残留させないためである。
充分にガスの排気が完了した後、微結晶シリコン膜8Aと非晶質シリコン膜8Bを連続成膜した。
非晶質シリコン膜8Bの成膜は、成膜温度200℃、圧力150〜300Pa、高周波電力0.02〜0.06W/cm2、H2/SiH4の流量比3〜5、膜厚が150nmとなる条件で実施した。
本実施形態では、この非晶質シリコン膜8BによってTFTのオフ電流の抑制が可能である。また後工程や外気からの不純物が微結晶シリコン膜8Aに侵入することを防ぎ、TFTの劣化を抑制することができる。
保護絶縁膜16を成膜した後、保護絶縁膜16にフォトリソグラフィ法によりコンタクトホール17〜19を同時に開孔した。
以上は画素部23の製造方法を説明したが、同時にゲートドライバ部24も形成した。
本実施形態によれば、バックライトからの光に起因する光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFT101及びその製造方法を提供することができる。
本実施形態によれば、チャネル層に結晶性半導体膜(微結晶シリコン膜8A)を備え、安定的な駆動が可能であり、製造効率が良く、かつ、光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFT101を提供することができる。
本実施形態のTFT101を備えたアクティブマトリック基板を透過型の液晶表示装置の基板として用いることで、表示品質の優れた画像表示が可能となる。
図面を参照して、本発明に係る第2実施形態のTFT及びこれを備えたアクティブマトリックス基板について説明する。本実施形態は、ゲート電極2の構造が第1実施形態と大きく異なっている。第1実施形態と同じ構成要素については同じ参照符号を付して説明を省略する。
図5Aは本実施形態のアクティブマトリックス基板の要部断面図、図5BはTFTの要部断面図である。これらは第1実施形態の図2A、図2Bに対応した図である。
本実施形態のTFT102は、第1実施形態と同様、
絶縁性基板1上に順次形成されたゲート電極2及びゲート絶縁膜6と、
ゲート絶縁膜6上に基板側から順次積層されたノンドープの微結晶シリコン(μc−Si)膜8Aとノンドープの非晶質シリコン(a−Si)膜8Bとの積層膜からなるチャネル層8、及びこのチャネル層8上に形成され、Siに不純物が添加されたN型非晶質シリコン膜9からなる半導体積層膜10と、
半導体積層膜10上(N型非晶質シリコン膜9上)に互いに離間して形成された金属膜からなるソース電極11及びドレイン電極12とを備えた逆スタガード型のTFTである。
第1実施形態と同様、第1の金属遮光膜Aと第2の金属遮光膜Cのうち一方はゲート回路に電気的に接続され、他方はゲート回路から絶縁されている。
第1実施形態においては、基板側の第1の金属遮光膜Aがゲート回路から絶縁されており、ソース・ドレイン電極側の第2の金属遮光膜Cがゲート回路に電気的に接続された構成としたが、本実施形態では逆の構成である。すなわち、本実施形態では第1の金属遮光膜Aがゲート回路に電気的に接続され、第2の金属遮光膜Cがゲート回路から絶縁されている。本実施形態では、第1の金属遮光膜Aが実質的にゲート電極としての機能を有し、かつバックライトからの光を遮光する機能も有している。
第1の金属遮光膜Aと第2の金属遮光膜C、絶縁膜Bの材質は第1実施形態と同様である。
第1実施形態においては、μc−Si膜8Aとa−Si膜8Bとの積層膜からなるチャネル層8の両端部の下方には、絶縁膜B及び第2の金属遮光膜Cが形成されていない構成としたが、本実施形態では、チャネル層8の両端部の下方に第2の金属遮光膜Cが形成され、第2の金属遮光膜Cはソース電極11とドレイン電極12との間の領域(チャネル部13)には形成されていない。
そのため、本実施形態では、チャネル層8において、少なくともソース電極11とドレイン電極12との間の領域はゲート回路に電気的に接続された第1の金属遮光膜Aと近接し、チャネル層8の両端部はゲート回路から絶縁された第2の金属遮光膜Cと近接している。
したがって、第1実施形態と同様、本実施形態のアクティブマトリック基板202を透過型の液晶表示装置の基板として用いた時に、バックライトからの光が第1の金属遮光膜Aで遮光されて、半導体積層膜10に光が入射することが回避される。そのため、バックライトからの光に起因する光リーク電流の発生が低減される。
本実施形態においても、ゲート電極2が遮光膜を兼ねているので、ゲート電極と別に遮光膜を設けるよりも製造効率が良い。
本実施形態においても、チャネル層8を微結晶シリコン膜8Aと非晶質シリコン膜8Bとの積層構造としたので、チャネル層8とN型非晶質シリコン膜9との界面のバンドギャップの不整合を小さくし、リーク電流を抑制することができる。
バックライトからの光に起因する光リーク電流の問題は特に非晶質シリコンに比べて正孔移動度の大きい微結晶シリコン膜を備えたTFTにおいて顕著であるが、本実施形態においても、チャネル層8にバックライトからの光が入射すること自体が抑制されるので、チャネル層8をなす半導体膜の組成や結晶状態に関わらず、上記効果が得られる。
したがって、本発明は、非晶質シリコン膜に比べて正孔移動度の大きい微結晶シリコン膜を備えたTFTに特に有効である。同様の理由から、本発明は、多結晶シリコン膜を備えたTFTにも有効である。
はじめに図6A〜図6Cに示すプロセスで、ゲート電極2、ゲート配線3、ゲート端子部4、及び補助容量電極5を形成した。
まず、ガラス基板などの透光性を有する絶縁性基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄した後、この基板上にスパッタ法で第1の金属遮光膜AとしてAl合金膜を200nm厚で成膜し、プラズマCVD法で絶縁膜BとしてSiNx膜を100nm厚で成膜し、再度スパッタ法で第2の金属遮光膜CとしてAl合金膜を200nm厚で成膜した。
フォトレジストパターンPRの形成に際しては、フォトマスクPMとして、ゲート配線3、ゲート端子部4、補助容量電極5、及びゲート電極2の第2の金属遮光膜Cの非形成領域は一部光を通し、第2の金属遮光膜Cの非形成領域を除くゲート電極2の形成領域は光を通さないハーフトーンマスクを用いて露光量を部分的に調節した。これによって、ゲート電極2の形成領域は、レジスト断面形状を両端部(第2の金属遮光膜Cの形成領域)が厚くその内側が薄い凹型とした。
図6AのフォトレジストパターンPRは現像後のパターンであるが、ここでは露光工程のフォトマスクPMについても合わせて図示してある。
続いて、図6Cに示すように、残ったフォトレジストパターンPRをマスクとして、第2の金属遮光膜C及び絶縁膜Bに対して順次ドライエッチングを実施した。エッチングガスは上記と同様とした。続いてフォトレジストパターンPRを除去して、図5Aに示したパターンを有するゲート電極2/ゲート配線3/ゲート端子部4/補助容量電極5を形成した。
第1実施形態では、ゲート配線3、ゲート端子部4、及び補助容量電極5をAl合金膜/SiNx膜/Al合金膜としたが、本実施形態ではこれらをAl合金膜の単層膜とした。これらはAl合金膜/SiNx膜/Al合金膜あるいはSiNx膜/Al合金膜としてもよい。
続いて、フォトリソグラフィ法により、上記の半導体積層膜10をTFTの構成要素となる形状にパターニングした。本実施形態では、微結晶シリコン膜8A、非晶質シリコン8B、及びN型非晶質シリコン9は、ゲート電極2の第1の金属遮光膜Aよりも小さい形成面積とし、平面視、ゲート電極2の第1の金属遮光膜Aより外側にはみ出さないパターンとした。
その後第1実施形態の図4Cと同様のプロセスを実施して、アクティブマトリックス基板202及び液晶表示装置を得た。
本実施形態によれば、バックライトからの光に起因する光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFT102及びその製造方法を提供することができる。
本実施形態によれば、チャネル層に結晶性半導体膜(微結晶シリコン膜8A)を備え、安定的な駆動が可能であり、製造効率が良く、かつ、光リーク電流の発生が抑制された逆スタガード型のTFT102を提供することができる。
本実施形態のTFT102を備えたアクティブマトリック基板を透過型の液晶表示装置の基板として用いることで、表示品質の優れた画像表示が可能となる。
第1及び第2実施形態では、TFTの製造方法において、ゲート電極2の形成工程が、第1の金属遮光膜Aを成膜する工程と、絶縁膜Bを成膜する工程と、第2の金属遮光膜Cを成膜する工程とを順次有する場合について説明した。
また、第1の金属遮光膜Aの主成分を陽極酸化可能な金属(Al等)とすれば、絶縁処理を陽極酸化処理により実施することもできる。第1の金属遮光膜Aの主成分がAlの場合、陽極酸化処理によってAl2O3を主成分とする絶縁膜Bが形成される。
例えば、第1の金属遮光膜Aを8族、炭素元素、及び窒素元素を不純物レベル以上に含まないAl合金膜とし、第2の金属遮光膜Cをインジウム錫酸化物(ITO)膜と金属遮光膜との積層膜とし、Al合金膜とインジウム錫酸化物膜との界面反応によりAl2O3を主成分とする絶縁膜Bを形成することができる。Al合金膜とITO膜との界面反応は熱処理等により実施することができる。この熱処理は後工程の成膜温度を利用することができる。
かかる方法では、絶縁膜Bを別途プラズマCVD法などで成膜する工程、あるいはプラズマ処理や陽極酸化処理等による絶縁処理の工程が不要であり、より簡単な処理で絶縁膜Bを形成できるため、歩留まり良くTFT及びアクティブマトリックスTFT基板を製造できる。
図8を参照して、製造方法の変更に係る一実施例について説明する。
まず、図8Aに示すように、ガラス基板などの透光性を有する絶縁性基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄した後、この基板上にスパッタ法で第1の金属遮光膜AとしてAl合金膜を200nm厚で成膜し、これをフォトリソグラフィ法によりパターニングした。
次に図8Bに示すように、この基板をホウ酸溶液に浸し、外部より電流を流して陽極酸化することで、Al合金膜の表面に絶縁膜BとなるAl2O3膜を30nm厚で形成した。
陽極酸化に用いる電解液や電解条件は適宜変更できる。また、ここでは陽極酸化する金属してAlを用いたが、Taなどを用いることもできる。Taを用いる場合は、基板を酒石酸アンモニウム溶液等に浸し、外部より電流を流すことで陽極酸化することができる。
陽極酸化を実施する代わりに、Al合金膜に対して酸素プラズマ処理を実施して、絶縁膜BとしてAl2O3膜を形成してもよい。Al合金膜に対して窒素プラズマ処理を実施して、絶縁膜BとしてAlN膜を形成してもよい。
陽極酸化あるいはプラズマ処理による絶縁処理方法では、パターニングされた第1の金属遮光膜Aの側面にも絶縁膜Bが形成される。
本実施例では、ゲート配線3、ゲート端子部4、及び補助容量電極5はAl合金膜/Al2O3膜/Al合金膜としたが、Al2O3膜/Al合金膜あるいはAl合金膜の単層膜としてもよい。
図9を参照して、製造方法の変更に係るその他の実施例について説明する。
まず、図9Aに示すように、ガラス基板などの透光性を有する絶縁性基板1を洗浄液または純水を用いて洗浄した後、この基板上にスパッタ法で第1の金属遮光膜AとしてAl合金膜を200nm厚で成膜した。このとき、Al合金としては8族とC,Nを不純物レベル以上に含まないものを選択した。
続いて、第2の金属遮光膜Cとして、スパッタ法により非晶質ITO膜とMo合金膜とをそれぞれ20nm厚、180nm厚で順次成膜した。図中、ITO膜に符号C1、Mo合金膜に符号C2を付してある。
複数の成膜室を有するスパッタ装置、例えばクラスタ型のスパッタ装置を用いた場合、各成膜室で異なるターゲット材料を用いることが可能である。かかる装置を用いることで、Al合金膜、ITO膜、及びMo合金膜の成膜を連続成膜することができ、好ましい。
ここでは第2の金属遮光膜Cの上層膜としてMo合金を用いたが、充分な遮光性及び導電性を得られるものであれば、他の金属を用いて構わない。ここでMo合金を用いたのは、加工プロセスを簡便にできるためである。
フォトレジストパターンPRの形成に際しては、フォトマスクPMとして、ゲート配線3、ゲート端子部4、補助容量電極5、及びゲート電極2の第2の金属遮光膜Cの形成領域は光を通さず、第2の金属遮光膜Cの形成領域を除くゲート電極2の形成領域は一部の光を通すハーフトーンマスクを用いて露光量を部分的に調節した。これによって、ゲート電極2の形成領域は、レジスト断面形状を中央部(第2の金属遮光膜Cの形成領域)が厚くその外側が薄い凸型とした(第1実施形態と同様)。図9AのフォトレジストパターンPRは現像後のパターンであるが、ここでは露光工程のフォトマスクPMについても合わせて図示してある。
なお、非晶質ITO膜は170℃以上の熱が加わると結晶化して、容易にエッチングできなくなる。本実施例のフォトリソグラフィプロセスにおけるフォトレジストの焼き締め温度や、その他工程における加熱温度は100〜130℃であるため、問題なくエッチング可能である。Mo合金膜、非晶質ITO膜、及びAl合金膜はそれぞれエッチングレートに違いがあるので、エッチング液の濃度やエッチング温度等を調整することで選択比を変更し好適化することができる。
続いてフォトレジストパターンPRを除去して、図9Cに示したパターンを有するゲート電極2/ゲート配線3/ゲート端子部4/補助容量電極5を形成した。
これらの成膜温度は200℃であり、この工程において、非晶質ITO膜とAl合金膜との界面反応によって5〜10nmの厚さで絶縁膜BとしてAl2O3膜が形成された。この界面反応で得られるAl2O3膜は充分な絶縁性を持ち、下層の第1の金属遮光膜AであるAl合金膜と、上層の第2の金属遮光膜であるMo合金膜/ITO膜とを電気的に遮断する。
なお、第1の金属遮光膜Aとして形成するAl合金膜に8族元素、C、あるいはNが不純物レベル以上に含まれると、非晶質ITO膜とAl合金膜との界面に形成されるAl2O3膜の絶縁性が悪くなるので、該当する元素を不純物レベル以上に含まないAl合金を選択する必要がある。
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、設計変更可能である。
上記の第1〜第2実施形態では、チャネル層8を微結晶シリコン膜8Aと非晶質シリコン膜8Bとの積層構造としたが、チャネル層8は多結晶シリコン膜と非晶質シリコン膜との積層構造、あるいは非晶質シリコン単層膜等でもよい。
ただし、微結晶シリコン膜あるいは多結晶シリコン膜等の結晶性半導体膜を備えたTFTにおいて特に光リーク電流の問題が大きいことから、本発明は結晶性半導体膜を備えたTFTに特に有効である。
Claims (12)
- 絶縁性基板上に順次形成されたゲート電極及びゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された結晶性半導体膜及び/又は非晶質半導体膜からなるチャネル層を含む少なくとも1層の半導体膜と、
前記半導体膜上に互いに離間して形成されたソース電極及びドレイン電極とを備えた逆スタガード型の薄膜トランジスタであって、
前記ゲート電極は、前記基板側から見て、第1の金属遮光膜と絶縁膜と前記第1の金属遮光膜よりも形成面積の小さい第2の金属遮光膜との積層構造を有し、前記第1の金属遮光膜が前記ゲート回路に電気的に接続され、前記第2の金属遮光膜が前記ゲート回路から絶縁された構造を有するものであり、
前記第1の金属遮光膜は、前記半導体膜の形成領域を含む領域に形成されており、
前記チャネル層において、少なくとも前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の領域は前記第1の金属遮光膜と近接し、前記チャネル層の両端部は前記第2の金属遮光膜と近接するよう、前記第1の金属遮光膜及び前記第2の金属遮光膜が形成された薄膜トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜には、前記第2の金属遮光膜の非形成領域内において、前記ソース電極及び前記ドレイン電極のチャネル側端面の真下を含む領域に、その他の部分より厚い厚膜部が形成された請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
- 請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
前記ゲート電極の形成工程が、前記第1の金属遮光膜を成膜する工程と、前記絶縁膜を成膜する工程と、前記第2の金属遮光膜を成膜する工程とを順次有する薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
前記ゲート電極の形成工程が、前記第1の金属遮光膜を成膜する工程と、前記第1の金属遮光膜の表面を絶縁処理して前記絶縁膜を形成する工程と、前記第2の金属遮光膜を成膜する工程とを順次有する薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記絶縁処理を酸素プラズマ処理及び/又は窒素プラズマ処理により実施する請求項4に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記第1の金属遮光膜の主成分を陽極酸化可能な金属とし、
前記絶縁処理を陽極酸化処理により実施する請求項4に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
前記ゲート電極の形成工程が、前記第1の金属遮光膜を成膜する工程と、前記第2の金属遮光膜を成膜する工程と、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜との界面反応により前記絶縁膜を形成する工程とを順次有する薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第1の金属遮光膜を8族、炭素元素、及び窒素元素を不純物レベル以上に含まないAl合金膜とし、前記第2の金属遮光膜をインジウム錫酸化物膜と金属遮光膜との積層膜とし、
前記Al合金膜と前記インジウム錫酸化物膜との界面反応により前記絶縁膜を形成する請求項7に記載の薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記基板上に、請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタと画素電極とが複数対アレイ状に配置されたアクティブマトリックス基板。
- 請求項9に記載のアクティブマトリックス基板を用い、画素毎に光を変調することが可能な電気光学装置。
- 前記アクティブマトリックス基板、対向基板、及び当該2つの基板間に挟持された液晶層を含む液晶パネルを備えた液晶装置である請求項10に記載の電気光学装置。
- さらにバックライトを備えた透過型液晶装置である請求項11に記載の電気光学装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010110116A JP5563888B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010110116A JP5563888B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011238835A JP2011238835A (ja) | 2011-11-24 |
JP5563888B2 true JP5563888B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=45326469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010110116A Active JP5563888B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5563888B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235690A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
KR102067669B1 (ko) | 2012-11-06 | 2020-01-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP2014149429A (ja) | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Japan Display Inc | 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
US10088727B2 (en) | 2015-10-29 | 2018-10-02 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal device and electronic apparatus |
WO2020174605A1 (ja) * | 2019-02-27 | 2020-09-03 | シャープ株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
US11631704B2 (en) * | 2020-04-21 | 2023-04-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate and display device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0359542A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-14 | Hitachi Ltd | 表示装置 |
JPH06347823A (ja) * | 1993-06-04 | 1994-12-22 | Hitachi Ltd | 表示装置 |
EP2284605A3 (en) * | 1999-02-23 | 2017-10-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device and fabrication method thereof |
JP2009130819A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Canon Inc | 画像処理装置、その制御方法、そのプログラム、その記憶媒体 |
JP5514474B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2014-06-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 薄膜トランジスタの作製方法、不揮発性半導体記憶素子の作製方法 |
-
2010
- 2010-05-12 JP JP2010110116A patent/JP5563888B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011238835A (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101325053B1 (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 | |
US9640557B2 (en) | TFT array substrate and method for producing the same | |
US9190524B2 (en) | Thin film transistor substrate, method for producing the same, and display device | |
US8928044B2 (en) | Display device, switching circuit and field effect transistor | |
US8487309B2 (en) | Thin film transistor with a semiconductor layer that includes a microcrystalline semiconductor layer and display device | |
JP6867832B2 (ja) | アレイ基板、液晶表示装置、薄膜トランジスタ、およびアレイ基板の製造方法 | |
JP5563888B2 (ja) | 薄膜トランジスタとその製造方法、アクティブマトリックス基板、及び電気光学装置 | |
US20190013333A1 (en) | Thin film transistor substrate and method of manufacturing thin film transistor substrate | |
US8310613B2 (en) | Active matrix substrate and liquid crystal device | |
JP2008003319A (ja) | Tftアレイ基板及びその製造方法 | |
JP2011181596A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20180277661A1 (en) | Thin film transistor substrate, manufacturing method for thin film transistor substrate, and liquid crystal display | |
JP5563787B2 (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法、並びに薄膜トランジスタアレイ基板及び表示装置 | |
JP6584157B2 (ja) | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタ基板、液晶表示装置及び薄膜トランジスタの製造方法 | |
US8835206B2 (en) | Pixel structure, array substrate and method of fabricating the same | |
KR101947808B1 (ko) | 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
JP5667424B2 (ja) | 薄膜トランジスタ、アクティブマトリクス基板、およびそれらの製造方法 | |
JP4238155B2 (ja) | 薄膜トランジスタ基板及びそれを備えた液晶表示装置並びにその製造方法 | |
JP2019062041A (ja) | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 | |
JP2008218626A (ja) | Tftアレイ基板及びその製造方法 | |
US8664703B2 (en) | Display device having a shield | |
JP2020031107A (ja) | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 | |
JP5419730B2 (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JP2011171437A (ja) | 表示装置 | |
KR101301520B1 (ko) | 액정표시장치 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140603 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140613 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5563888 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |