JP5560738B2 - 半導体装置、三次元集積回路およびその製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、バルクウェーハを用いたCMOS−LSIでは、微細化による高集積化よって、MOSFETの動作時における基板に起因する消費電力の増加と、高速信号伝播時の基板での損失が課題となっていた。
また、MOSFETの微細化による高速化の進展によって、その応用分野が、例えば高周波用のアナログデバイスや、RFデバイスにまで広がっている。しかしながら、一般的に使用されている低抵抗シリコン基板を用いたCMOSLSIでは基板でのエネルギー損失が大きく、これらのデバイスに適用することは困難であった。
加えて、半導体装置をより高集積化するために、半導体素子を厚み方向に積む、あるいは重ねる構造を有することが必須となってきている。
極薄の単結晶半導体層を用いて素子を形成する技術に関しては、従来、SOIウェーハを用いて、その薄膜シリコン層(SOI層)のみを、別な基板に移し変えて作製する手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
さらに、薄膜半導体素子と貫通配線を組み合わせたものも提案されている(例えば、特許文献3参照)。
また、こうした実用化TSVとして後工程のものが主に存在するが、後工程TSVでは、製造コスト低減のため、貫通ビアのアスペクト比は1〜3、TSVの側壁絶縁にはCVDによる酸化膜(TEOS−SiO2)が用いられ、充填金属はめっきによるCuを用いられることが多い。基板厚さを保持して、更に高いアスペクト比の貫通ビアの場合には更なる高温、及び高真空環境下にて、側壁絶縁、及び金属充填を行わなければならない。このため、TSVでは、集積回路の配線密度の向上、及び配線自由度がまったく改善しないという課題があった。
貫通配線を短縮し、配線密度を向上させるには、直径が多層配線のローカル配線層と、長さが薄膜半導体素子と、それぞれ同程度の寸法とし、なおかつ、ローカル配線(1stレイヤー)形成時にローカル配線形成時に一括して貫通配線を形成できる必要があった。
すなわち、本発明の半導体装置は、SOIウェーハの薄膜単結晶シリコンを用いて形成した薄膜半導体素子、 該薄膜半導体素子の両面に位置し、少なくとも一方は前記薄膜半導体素子とコンタクトビアを介して接続する多層配線と前記薄膜半導体素子との間に形成された前記薄膜半導体素子の両面の多層配線をつなぐ貫通配線、前記薄膜半導体素子と前記多層配線と前記貫通配線とを取り囲み、その隙間を埋める絶縁材料、前記薄膜半導体素子の両面の前記多層配線のうち少なくとも一方のグローバル配線で、前記絶縁材料の一部が開口した位置に設置されたバンプ電極、を少なくとも備え、
前記貫通配線が、前記薄膜半導体素子に隣接して、その直径が前記コンタクトビアと同じかあるいは近似しており、かつ、その長さが前記薄膜半導体素子の厚さとと同じかあるいは近似しており、前記薄膜半導体素子の両面の多層配線うち、ローカル配線の第1層目から延び、前記薄膜半導体素子の両面の多層配線を接続しており、メッシュ状、または短冊状に分割され、分割した個々の半導体装置どうしを弾性材料でつなぎ合わせた構造であり、前記弾性材料は、2層の弾性膜から構成され、一方の弾性膜は他方の弾性膜よりも熱膨張係数が小さく、かつその幅がチップ端面の厚さの2倍と同じ長さであり、他方の弾性膜は、その幅がチップ端面の厚さの2倍より短い長さであることを特徴とする。
更には、貫通配線を、その直径が薄膜半導体素子のコンタクトビアと同程度で、長さが薄膜半導体素子の厚さと同程度とすることで、ローカル配線形成時に、貫通配線も一括して製造でき、製造コストの低減にも繋がる。
メッシュ以外に短冊構造とすれば、弾性材料の曲率を制御することで、折り畳む方向に荷重を印加するだけで、個々の半導体装置を横方向に積層でき、従来の積層チップのように、高精度に位置合わせする工程を無くすことができる。
図1は本発明の第一実施形態を示した半導体装置の断面構造図である。また、図2は、半導体装置の製造方法の主要工程段階を示した断面図である。
薄膜半導体素子2から図面上方に示されたコンタクトビア3で素子と繋がる上面の多層配線4と、貫通配線6によって繋がる多層配線5があり、更に、これら部材はすべて絶縁材料7によって取り囲まれている構造を成す。
また、貫通配線6は、装置の表面と裏面を貫通するのではなく、薄膜半導体素子に隣接して、コンタクトビア形成時に一括で形成するため、その直径が薄膜半導体素子のコンタクトビアと同程度で、長さが薄膜半導体素子の厚さと同程度である。
図2(a)に示すように、SOIウェーハのSOI層に半導体素子を形成した後、図2(b)のようにコンタクトビア形成時に素子間に貫通配線用のビアを形成する。この後、図2(c)のようにすべてのビア内部に金属を充填し、その上面に多層配線を形成していく。尚、このときSOIウェーハのシリコン基板は残した状態である。
このとき、シリコン基板の除去工程では、エッチング(ドライ、ないしウェット)にてシリコン基板をすべて除去する方法もあるが、スマートカットで薄膜半導体素子層とシリコン基板を分離する方法も考えられる。続いて、図2(f)、図2(g)のように、シリコン基板除去後の薄膜半導体素子裏面に多層配線を形成する。
図4は本発明の第二実施形態を示した半導体装置の断面構造である。
本構造では、半導体装置1をメッシュ状、または短冊状に分割し、図4(a)のように個々の半導体装置100の側面を弾性材料16でつなぎ合わせている。尚、弾性材料については、柔軟膜で、図4(b)のように、任意の方向に曲がるように形成する必要がある。
尚、図5は2層の弾性材料で構成した場合のチップ間隙の断面構造を示したものである。
図6は本発明の三次元集積回路の断面構造である。本構造では、図4(b)の構造に対し、更に両端から荷重を印加して横方向に折り畳むことで積層構造体となす。
このとき、最終的に半導体装置100の表面及び裏面に設けたバンプ電極同士が接合される。また、表面及び裏面を接着層19とすることで、装置間を強固に接合できる。
図6では横方向に6層積層した三次元集積回路の断面構造を示したが、短冊形状の幅を更に細分化し、折り畳むことで、半導体素子を横方向に高密度に集積することも可能である。
2 薄膜半導体素子(SOIウェーハを用いて形成した)
3 コンタクトビア
4 薄膜半導体素子上面の多層配線
5 薄膜半導体素子下面の多層配線
6 貫通配線
7 絶縁材料
8 バンプ電極
9 薄膜半導体素子のソース/ドレイン
10 薄膜半導体素子のゲート
11 薄膜半導体素子のソース/ドレイン
12 埋め込み酸化膜(Buried Oxide:BOX)
13 シリコン基板
14 支持基板
15 めっき電極用金属膜
16 弾性材料
17 熱膨張係数の低い弾性材料
18 熱膨張係数の高い弾性材料
19 接着層
100 メッシュ状または短冊状に分割した個々の半導体装置
Claims (3)
- SOIウェーハの薄膜単結晶シリコンを用いて形成した薄膜半導体素子、
該薄膜半導体素子の両面に位置し、少なくとも一方は前記薄膜半導体素子とコンタクトビアを介して接続する多層配線と前記薄膜半導体素子との間に形成された前記薄膜半導体素子の両面の多層配線をつなぐ貫通配線、
前記薄膜半導体素子と前記多層配線と前記貫通配線とを取り囲み、その隙間を埋める絶縁材料、
前記薄膜半導体素子の両面の前記多層配線のうち少なくとも一方のグローバル配線で、前記絶縁材料の一部が開口した位置に設置されたバンプ電極、
を少なくとも備え、
前記貫通配線が、前記薄膜半導体素子に隣接して、その直径が前記コンタクトビアと同じかあるいは近似しており、かつ、その長さが前記薄膜半導体素子の厚さと同じかあるいは近似しており、前記薄膜半導体素子の両面の多層配線うち、ローカル配線の第1層目から延び、前記薄膜半導体素子の両面の多層配線を接続しており、
メッシュ状、または短冊状に分割され、分割した個々の半導体装置どうしを弾性材料でつなぎ合わせた構造であり、
前記弾性材料は、2層の弾性膜から構成され、一方の弾性膜は他方の弾性膜よりも熱膨張係数が小さく、かつその幅がチップ端面の厚さの2倍と同じ長さであり、他方の弾性膜は、その幅がチップ端面の厚さの2倍より短い長さであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置を、折り畳むことによって形成されることを特徴とする三次元集積回路。
- 請求項1記載の半導体装置を折り畳むことによって形成される三次元集積回路の製造方法であって、
端面からの荷重によって、前記半導体装置の位置合わせ、および貼り合わせを行う折り畳み工程を備えたことを特徴とする三次元集積回路の製造方法。
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