JP5547261B2 - 光学モジュール - Google Patents
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Description
以下で図1〜図8を参照することにより、マイクロリソグラフィ用の本発明による光学結像装置の本発明による光学モジュールで用いられる本発明による光学支持要素の好適な実施形態を説明する。その際、以下の説明を簡略化するために、z方向が鉛直方向を示すxyz座標系を導入する。しかしながら、本発明の他の変形形態では、結像装置の構成要素の任意の他の空間的位置合わせを行うことができることが自明である。
以下において、図1、図2、及び図9Aを参照して、本発明による支持要素211のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素211は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素211の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には100の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、及び図10Aを参照して、本発明による支持要素311のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素311は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素311の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には200の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、図11A、及び図11Bを参照して、本発明による支持要素411のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素411は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素311の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には300の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、図12、及び図13を参照して、本発明による支持要素511及び611のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素611の511は、結像装置101における支持要素411の代わりに用いられ得る。支持要素511及び611の基本的構造及びその動作方法は、図11Aからの支持要素411に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には100又は200の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、及び図14Aを参照して、本発明による支持要素711のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素711は、結像装置101における支持要素の代わりに用いられ得る。支持要素711の基本的構造及びその動作方法は、図11Aからの支持要素411に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には300の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、図15Aを参照して、本発明による支持要素811のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素811は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素811の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には700の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、図16を参照して、本発明による支持要素911のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素911は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素911の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には800の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
以下において、図1、図2、図17Aを参照して、本発明による支持要素1011のさらなる好適な実施形態を説明する。支持要素1011は、結像装置101における支持要素111の代わりに用いられ得る。支持要素1011の基本的構造及びその動作方法は、図2からの支持要素111に対応するため、ここでは相違点のみを扱う。特に、同様の構成要素には900の値を加えた参照符号が付けてある。以下で別段の記載がない限り、構成要素の特徴に関しては上記の説明を特に参照されたい。
Claims (39)
- 光学モジュールであって、
支持ユニットと、
該支持ユニットに対してマイクロリソグラフィ投影露光システムの光学素子を保持及び/又は位置決めする少なくとも1つのバイポッドと、
を備え、
該バイポッドは、2つのバイポッドブレースを含み、該バイポットブレースはそれぞれ、第1の端でブレースフットが前記支持ユニットに直接的又は間接的に接続され、
前記バイポッドブレースはそれぞれ、第2の端でブレースヘッドが前記光学素子に直接的又は間接的に接続されて、少なくとも一方のブレースヘッドと2つのブレースフットを接続する接続線とがバイポッド平面上に位置するようになっており、
前記ブレースフット間の間隔は、軸受を介して前記支持ユニット上に保持され、かつジョイントユニットを介して少なくとも一方のブレースフットと係合して少なくとも1つの動作方向に可動である、少なくとも1つのレバーにより調整することができ、
該レバーの少なくとも1つの動作方向は、前記バイポッド平面外にあり、
前記ジョイントユニットは、厳密に1つの曲げ平面を有する少なくとも1つのフレクシャを有し、該フレクシャは、前記曲げ平面に対して垂直方向に剛性構成を有し、
前記レバーは、支持ジョイントを介して前記支持ユニットに接続され、前記支持ジョイントは、前記ジョイントユニットの領域内で前記レバーに接続され、かつ、前記ジョイントユニットに関して前記軸受と反対側に配置されている、光学モジュール。 - 前記接続線に沿った前記ブレースフット間の間隔は、前記ブレースヘッド間の間隔よりも大きい、請求項1に記載の光学モジュール。
- 前記接続線に沿った前記ブレースフット間の間隔は、前記ブレースヘッド間の間隔よりも小さい、請求項1に記載の光学モジュール。
- 前記フレクシャは、前記曲げ平面の方向に第1の抵抗モーメントを有し、且つ該曲げ平面に対して垂直方向に第2の抵抗モーメントを有し、該第2の抵抗モーメントは、前記第1の抵抗モーメントの大きさの少なくとも2倍である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記フレクシャは、前記曲げ平面に対して垂直に伸びた曲げ軸を有し、該曲げ軸の方向の前記フレクシャの長さは、前記曲げ軸に対して垂直に曲げ方向に延びる前記少なくとも1つのフレクシャの最大断面寸法の少なくとも2倍である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記レバーの前記動作方向は、前記バイポッド平面に対して垂直であり、前記少なくとも1つのフレクシャの前記曲げ平面は、前記バイポッド平面に対して垂直である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記レバーの前記動作方向は、前記バイポッド平面に対して垂直であり、前記少なくとも1つのフレクシャの前記曲げ軸は、前記バイポッド平面と平行である、請求項5又は6項に記載の光学モジュール。
- 前記ジョイントユニットは、さらなる曲げ平面を有するさらなるフレクシャを含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャの前記さらなる曲げ平面は、前記少なくとも1つのフレクシャの前記曲げ平面に対して垂直である、請求項8に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャは、前記曲げ平面に対して垂直な剛性構成を有する、請求項8又は9のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャは、前記さらなる曲げ平面に対して垂直なさらなる曲げ軸を有する、請求項10に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャは、前記さらなる曲げ軸に対して垂直なねじり軸に対して、前記さらなる曲げ平面の方向の抵抗モーメントの少なくとも2倍である抵抗極モーメントを有する、請求項11に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャは、前記さらなる曲げ平面の方向に第1の抵抗モーメントを有し、且つ前記さらなる曲げ平面に対して垂直方向に第2の抵抗モーメントを有し、該第2の抵抗モーメントは、前記第1の抵抗モーメントの大きさの少なくとも2倍である、請求項10〜12のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記ジョイントユニットの前記少なくとも1つのフレクシャの前記曲げ平面は、前記光学素子の対称面と平行であるか、又は前記投影露光システム内の光軸に対して垂直な平面と平行である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャの前記さらなる曲げ平面は、前記光学素子の対称面に対して垂直であるか、又は前記投影露光システム内の光軸と平行である、請求項8〜14のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャの前記さらなる曲げ平面は、前記バイポッド平面と平行である、請求項8〜15のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記バイポッドブレースは、それらの長手方向で前記支持ユニットの表面と平行に配置され、前記バイポッドブレースの前記ブレースフット及び前記ブレースヘッドはそれぞれ、それらの前記接続線が前記支持ユニットの前記表面と角度をなして交わるように少なくとも1つのフレクシャを含む、請求項1〜16のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記ジョイントユニットの前記少なくとも1つのフレクシャ又は前記さらなるフレクシャは、板ばねとして構成される、請求項1〜17のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記バイポッドそれぞれに割り当てられる前記レバーの前記軸受は、前記レバーを前記支持ユニットに接続するフレクシャとして構成される、請求項1〜18のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記フレクシャは、厳密に1つの曲げ平面を有し、前記軸受の前記フレクシャは、その曲げ平面に対して垂直方向に剛性構造を有するようになっている、請求項19に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記フレクシャは、その曲げ平面の方向に第1の抵抗モーメントを有し、且つその曲げ平面に対して垂直方向に第2の抵抗モーメントを有し、該第2の抵抗モーメントは、前記第1の抵抗モーメントの大きさの少なくとも2倍である、請求項20に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記フレクシャは、その曲げ平面に対して垂直に伸びた曲げ軸を有し、前記軸受の前記フレクシャのその曲げ軸の方向の長さは、前記軸受の前記曲げ軸に対して垂直に曲げ方向に延びる前記軸受の前記フレクシャの最大断面寸法の少なくとも2倍である、請求項20又は21に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記曲げ軸は、前記バイポッド平面と平行であり、その前記バイポッドブレースは、前記軸受により保持される前記レバーで調整可能である、請求項22に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記曲げ平面は、前記光学素子の対称面と平行であるか、又は前記投影露光システム内の光軸に対して垂直な平面と平行である、請求項20〜23のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記軸受の前記フレクシャは、回転中心を構成する平行な曲げ平面をそれぞれが有する複数のフレクシャを含む、請求項19〜24のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記回転中心を構成する前記フレクシャは、各自の曲げ平面に対して垂直方向に剛性であるように構成される、請求項25に記載の光学モジュール。
- 前記レバーは、第2種又は第1種てことして構成される、請求項1〜26のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- バイポッドの少なくとも1つのバイポッドブレースのブレースフットが、フレクシャを介して前記支持ユニットと接続され、前記フレクシャの前記曲げ平面は、前記ブレースフットと係合する前記ジョイントユニットの前記少なくとも1つのフレクシャの前記曲げ平面と平行である、請求項1〜27のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記ブレースフットを前記支持ユニットと接続する前記フレクシャは、その曲げ平面に対して垂直方向に剛性であるように構成される、請求項28に記載の光学モジュール。
- 前記レバーは、少なくとも1つのさらなるフレクシャを介して前記支持ユニットと接続される、請求項20〜29のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記レバーの前記さらなるフレクシャは、前記軸受の前記フレクシャの前記曲げ平面と平行な厳密に1つの曲げ平面を有し、前記レバーの前記さらなるフレクシャは、その曲げ平面と垂直な方向に剛性構造を有する、請求項30に記載の光学モジュール。
- 前記さらなるフレクシャは、前記軸受から、前記レバーの支点・作用点間距離の長さの2倍未満の距離に配置される、請求項30又は31に記載の光学モジュール。
- 前記光学素子に直接的又は間接的に接続されるバイポッドブレースの少なくとも1つのブレースヘッドが、少なくとも1つのフレクシャを含むジョイントユニットを備え、前記少なくとも1つのフレクシャ曲げ平面が、対応する前記バイポッドの前記バイポッド平面と平行である、請求項1〜32のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記光学素子を接続する前記ジョイントユニットは、前記曲げ平面が対応する前記バイポッドの前記バイポッド平面に対して垂直である少なくとも1つのフレクシャを含む、請求項33に記載の光学モジュール。
- 前記光学素子と接続される前記バイポッドの前記ブレースヘッドは、前記ジョイントユニットを介して、それぞれ接続要素を介して前記光学素子を保持する保持要素と接続される、請求項請求項33又は34に記載の光学モジュール。
- 前記保持要素及び/又は前記接続要素は、少なくとも1つのさらなるフレクシャを含む、請求項35に記載の光学モジュール。
- 前記フレクシャは、前記光学素子の光軸の方向の前記バイポッド平面に対して垂直な、且つ/又は前記光学素子の光軸に対して垂直な方向の前記バイポッド平面に対して垂直な、曲げ平面を有する、請求項36に記載の光学モジュール。
- 前記レバーは、プレテンション装置及び調整装置を含む、請求項1〜37のいずれか1項に記載の光学モジュール。
- 前記支持ユニットに対して前記光学素子を保持及び/又は位置決めするためにヘキサポッド構造を形成する、前記少なくとも1つのバイポッドに対応する3つの同一の構成のバイポッドを備え、前記少なくとも1つのバイポッドに対応する各バイポッドにはそれぞれ対応するレバー及び接続ユニットが割り当てられる、請求項1〜38のいずれか1項に記載の光学モジュール。
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