JP5547043B2 - 粗面を有するledを形成するための光学アライメント法 - Google Patents
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Description
さらに、この方法では、検出画像がアライメント対照と比較されてウエハアライメントが確立される。さらに、この方法では、確立されたウエハアライメントに基づいて、粗面上に少なくとも一つの電気コンタクトが形成されるのが好ましい。
また、この方法では、粗面が形成される層の屈折率をnとした場合、σsは、
i)約2λLEDから約8λLED
ii)約(0.5)λLED/nからλLED/n
iii)約λLED/nからλLED
の範囲のうち少なくとも何れか一つの範囲にあるのが好ましい。
また、この方法では、アライメント対照としてレチクルアライメントマークが利用され、ウエハアライメントマーク画像とレチクルアライメントマーク画像とが重畳されるのが好ましい。
また、この方法では、アライメント光の波長λAが約1μmから約2μmの範囲にあるのが好ましい。
また、この方法では、粗面形成時に、ウエハに対してプラズマエッチングが実行されるのが好ましい。
さらに、この方法では、複数のウエハアライメントマークを利用してエンハンストグローバルアライメントが実行されるのが好ましい。
また、この方法では、粗面は、a)p型GaN層上と、b)透明導電層上または透明導電層下との少なくとも何れかに形成されるのが好ましい。
また、この方法では、アライメント対照にレチクルアライメントマークが含まれるのが好ましい。
さらに、この方法では、プラズマエッチングを利用して、少なくとも一つの粗面化アライメントマークが形成されるのが好ましい。
また、この方法では、粗面化アライメントマークが透明導電層の下方に位置するのが好ましい。
さらに、この方法では、確立したウエハアライメントに基づいて、ウエハ上に少なくとも一つの電気コンタクトが形成されるのが好ましい。
また、この方法では、λLEDはLEDが発光する光の波長であり、nは少なくとも一つの粗面化アライメントマークを支持する層の屈折率であり、σsは、a)約λLED/nから約λLEDの範囲と、b)約(0.5)λLED/nから約λLED/nの範囲との少なくとも一つの範囲にあるのが好ましい。
また、この方法では、アライメント光の波長λAは約1μmから約2μmの範囲にあるのが好ましい。
また、この方法では、確立したウエハアライメントにエンハンストグローバルアライメントが含まれるのが好ましい。
また、この方法では、LED構造の上面がp型GaN層の上面であり、少なくとも一つの電気コンタクトがp型コンタクトであるのが好ましい。
また、この方法では、LED構造の上面が粗面化されるとき、プラズマエッチングが実行されるのが好ましい。
また、この方法では、ウエハアライメントの確立時、検出画像及びアライメント対照に対してパターン認識が実行され、検出画像の位置がアライメント対照の位置と一致するまでウエハが移動されるのが好ましい。
図2は、スルーザレンズ光学アライメントシステム150を有するリソグラフィシステム100の一例の概略図である。光学アライメントシステムの一例は、米国特許第5,402,205号及び米国特許第5,621,813号に開示されており、これらの特許は参照することにより本発明に援用される。参照として直交座標XYZが示される。
Claims (10)
- 発光ダイオード(LED)によって発光される光の波長であるLED波長λLEDと、LED構造とを有するLED上に少なくとも一つの電気コンタクトを形成する方法であって、
前記LED構造の上面に複数のウエハアライメントマークを形成する工程と、
前記複数のウエハアライメントマークを含む前記LED構造の上面を粗面化することによって、表面粗さσ S を有する前記上面と複数の粗面化ウエハアライメントマークとを形成する工程と、
a)2σ S から8σ S の範囲かつb)2λ LED から8λ LED の範囲の波長λAを有するアライメント光を利用して、少なくとも一つの粗面化ウエハアライメントマークを結像する工程と、
前記検出画像をアライメント対照と比較してウエハアライメントを確立する工程と、
前記LED構造の上面上に少なくとも一つの電気コンタクトを形成する工程と
を備える方法。 - 前記LED構造の上面はp型GaN層の上面であり、
前記少なくとも一つの電気コンタクトはp型コンタクトである
請求項1に記載の方法。 - 前記LED構造の上面を粗面化する工程では、プラズマエッチングが実行される
請求項1又は2に記載の方法。 - ウエハアライメントの確立は、前記検出画像及び前記アライメント対照に対してパターン認識を実行することと、前記検出画像の位置が前記アライメント対照の位置と一致するまで前記ウエハを移動することとを含む
請求項1から3のいずれかに記載の方法。 - nを前記粗面が形成される層の屈折率とした場合、σ S は、
i)2λ LED から8λ LED
ii)(0.5)λ LED /nからλ LED /n
iii)λ LED /nからλ LED
の範囲のうち少なくとも何れか一つの範囲にある
請求項1から4のいずれかに記載の方法。 - 前記アライメント対照としてレチクルアライメントマークを利用することと、前記ウエハアライメントマーク画像とレチクルアライメントマーク画像とを重畳させることを含む
請求項1から5のいずれかに記載の方法。 - 前記アライメント光の波長λ A は、1μmから2μmの範囲にある
請求項1から6のいずれかに記載の方法。 - 複数のウエハアライメントマークを利用してエンハンストグローバルアライメントを実行する工程をさらに備える
請求項1から7のいずれかに記載の方法。 - 前記LED構造は、p型GaN層を含み、
前記粗面は、p型GaN層上に形成される
請求項1から8のいずれかに記載のウエハアライメント方法。 - 前記LED構造は、透明導電層を含み、
前記粗面は、前記透明導電層上または前記透明導電層下に形成される
請求項1から9のいずれかに記載のウエハアライメント方法。
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