JP5536713B2 - 脆性材料基板の加工方法 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態による加工方法は、主に、無アルカリガラスよりも線膨張係数が大きいD263(SCHOTT製)等のガラスに対して交差するスクライブ溝(クロススクライブ)を形成する場合に適用される。
図1は、本発明の一実施形態による加工方法を実施するためのレーザ加工装置5の概略構成を示したものである。レーザ加工装置5は、レーザ光線発振器6aやレーザ制御部6bを含むレーザ光線発振ユニット6と、レーザ光を所定の方向に導くための複数のミラーを含む伝送光学系7と、伝送光学系7からのレーザ光を集光させるための集光レンズ8と、を有している。レーザ光線発振ユニット6からは、ビーム強度等の照射条件が制御されたパルスレーザ光(以下、単にレーザ光と記す)が出射される。なお、ガラス基板1はテーブル9に載置されている。テーブル9は、駆動制御部20によって駆動制御され、水平面内で移動が可能である。すなわち、テーブル9に載置されたガラス基板1と集光レンズ8から照射されるレーザ光線とは水平面内で相対移動が可能である。また、レーザ光とガラス基板1が載置されるテーブル9とは、相対的に上下方向に移動が可能である。レーザ制御部6b及び駆動制御部20は、加工制御部21によって制御されるようになっている。
ガラス基板を分断する場合は、まず、レーザ加工装置5によって各分断予定ラインに沿ってスクライブ溝を形成する。このとき、前述のように、パルスレーザ光をオーバーラップさせずに、パルスレーザ光による加工痕がオーバーラップするようにレーザ光が照射される。
図2に、加工対象基板としてD263を例にとり、格子状のスクライブ溝(クロススクライブ)を形成し、分断した場合の実験例を示す。
<レーザ条件>
波長:266nm
パルス幅:18ns
集光径(基板上面の直径):3.4μm
繰り返し周波数:60kHz
強度:3.08×1010W/cm2
走査速度:300mm/s−−−オーバーラップ率:−47.3%
焦点位置:基板上面
走査回数:1回
<基板>
種類:D263(SCHOTT製)
厚み:0.3mm
なお、「オーバーラップ率」は、以下の式から算出される値である。
=(1−(走査速度[mm/s]/(繰り返し周波数[Hz]×集光径[mm])))
以上の条件で加工した結果を、図2に示している。図2(a)はスクライブ溝を加工した後の基板上面の様子を拡大して示したものである。この図から、パルスレーザ光による加工痕がオーバーラップしていることは明らかである。図2(b)は分断後の端面を上方から見た様子を拡大して示したものである。また図2(c)は分断後の分断面の様子を示したものである。これらの図2(b)(c)から、分断後にスクライブ溝の交点部にバリや欠け等の欠陥が発生していないことが確認できる。
次に、レーザ強度及びオーバーラップ率を変化させた場合の分断評価を表1に示す。この表1では、レーザ強度を1.0〜5.1×1010W/cm2の範囲で、またオーバーラップ率を75.4〜−96.8%の範囲で変化させた場合の、分断品質の結果を示している。なお、他のレーザ条件及び加工対象については、実験例1と同じである。
×:分断不良(品質:欠け又はクラックが発生)
以上の実験結果から、スクライブ溝の形成に際し、パルスレーザ光のオーバーラップ率が−97%以上−47%以下に設定され、かつレーザ強度が3.1×1010W/cm2以上5.1×1010W/cm2以下に設定することによって、クロススクライブを良好な分断品質で行うことができることがわかる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
Claims (4)
- 格子状の分断予定ラインに沿ってパルスレーザ光を脆性材料基板に照射し、脆性材料基板を分断するための脆性材料基板の加工方法であって、
第1方向に延びる分断予定ラインに沿ってパルスレーザ光を走査し、基板表面に第1スクライブ溝を形成する第1工程と、
前記第1スクライブ溝の形成後に、前記第1方向と直交する第2方向に延びる分断予定ラインに沿って、パルスレーザ光をオーバーラップさせずにかつパルスレーザ光による基板への加工痕がオーバーラップするようにパルスレーザ光を照射し、基板表面に第2スクライブ溝を形成する第2工程と、
前記各スクライブ溝の両側を押圧して前記各スクライブ溝に沿って基板を分断する第3工程と、
を含む、脆性材料基板の加工方法。 - 前記第1工程では、分断予定ラインに沿って、パルスレーザ光をオーバーラップさせずにかつパルスレーザ光による基板への加工痕がオーバーラップするようにパルスレーザ光を照射する、請求項1に記載の脆性材料基板の加工方法。
- 前記脆性材料基板は、無アルカリガラスに比較して線膨張係数が大きいガラス材料基板である、請求項1又は2に記載の脆性材料基板の加工方法。
- 前記第2工程では、パルスレーザ光のオーバーラップ率が−97%以上−47%以下に設定され、かつレーザ強度が3.1×1010[W/cm2]以上5.1×1010[W/cm2]以下に設定される、請求項1から3のいずれかに記載の脆性材料基板の加工方法。
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