JP2011200926A - レーザ加工方法及び脆性材料基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このレーザ加工方法は、パルスレーザ光線を照射して脆性材料基板を分断するレーザ加工方法であって、第1及び第2工程を含んでいる。第1工程は、所定の繰り返し周波数のパルスレーザ光を、集光点が脆性材料基板の内部に位置するように照射し、脆性材料基板の内部に改質層を形成する。第2工程はパルスレーザ光を分断予定ラインに沿って走査する。そして、以上の工程によって、脆性材料基板の厚みtに対して、厚みtの15%以上55%以下の長さで改質層から基板の表面に向かって亀裂を進展させる。
【選択図】図4
Description
各参考例及び実施例に共通の実験条件は以下の通りである。なお、ここでは、半導体ウェハ1を構成するサファイア基板を分断対象としている。
走査回数:1回
パルスレーザ繰り返し周波数:5MHz
集光位置:基板内部170μm
<参考例1>
レーザ出力2.8Wで、レーザ光線の基板に対する相対走査速度(以下、単に走査速度と記す)を25mm/s、50mm/s、100mm/s、200mm/s、500mm/sと変化させて観察したが、改質層及び亀裂進展層は見られなかった。
レーザ出力3.3Wで、走査速度を同様に25mm/s〜500mm/sまで変化させて観察したが、改質層及び亀裂進展層は見られなかった。
レーザ出力3.84Wで、走査速度を同様に25mm/s〜500mm/sまで変化させて観察したが、一部で改質層は観察されたものの、亀裂進展層は見られなかった。
レーザ出力4.27Wで、走査速度を25mm/s〜500m/sまで変化させた場合、走査速度が25mm/s〜300mm/sにおいて以下に示すような長さの亀裂進展が観察できた。なお、亀裂進展長さとともに、基板に対する比率を示している。
50mm/s:159.5μm−−−(48%)
100mm/s:158.9μm−−−(48%)
200mm/s:189.9μm−−−(58%)
300mm/s: 93.6μm−−−(28%)
<実施例2>
レーザ出力4.62Wで、走査速度を25mm/s〜500m/sまで変化させた場合、走査速度が25mm/s〜400mm/sにおいて以下に示すような長さの亀裂進展が観察できた。なお、亀裂進展長さとともに、基板に対する比率を示している。
50mm/s: 86.8μm−−−(26%)
100mm/s: 71.4μm−−−(22%)
200mm/s:104.3μm−−−(32%)
300mm/s:113.1μm−−−(34%)
400mm/s: 54.6μm−−−(17%)
<実施例3>
レーザ出力4.95Wで、走査速度を25mm/s〜500m/sまで変化させた場合、走査速度が25mm/s〜500mm/sにおいて以下に示すような長さの亀裂進展が観察できた。なお、亀裂進展長さとともに、基板に対する比率を示している。
50mm/s:130.5μm−−−(40%)
100mm/s:105μm−−−−−(32%)
200mm/s: 84μm−−−−−(25%)
300mm/s:111.9μm−−−(34%)
400mm/s: 75μm−−−−−(23%)
500mm/s:78.7μm−−−−(24%)
<実施例4>
レーザ出力6.62Wで、走査速度を25mm/s〜500m/sまで変化させた場合、走査速度が25mm/s〜500mm/sにおいて以下に示すような長さの亀裂進展が観察できた。なお、亀裂進展長さとともに、基板に対する比率を示している。
50mm/s:165μm−−−−−(50%)
100mm/s:152.7μm−−−(46%)
200mm/s:134.2μm−−−(41%)
300mm/s:140μm−−−−−(42%)
400mm/s:125.4μm−−−(38%)
500mm/s:107.4μm−−−(33%)
以上の実験結果をまとめた表を図5に示す。図5において、「×」は亀裂進展が見られなかったもの、「○」は亀裂進展が観察されたことを示している。また、「○」の欄に並べて記載している数値が亀裂進展の長さである。この結果から、以上の実験では、基板厚みtに対して、この厚みtの15%以上55%以下の長さの亀裂進展が観察されたことがわかる。また、レーザ光の繰り返し周波数については、すべての加工条件で実験がなされたわけではないが、例えば出力5.5W、走査速度300mm/sにおいては、2MHz〜5MHzで所望の亀裂進展が観察できた。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
4 分断予定ライン
12 改質層
13 亀裂進展層
Claims (9)
- パルスレーザ光線を照射して脆性材料基板を分断するレーザ加工方法であって、
所定の繰り返し周波数のパルスレーザ光を、集光点が脆性材料基板の内部に位置するように照射し、脆性材料基板の内部に改質層を形成する第1工程と、
パルスレーザ光を分断予定ラインに沿って走査する第2工程と、
を含み、
脆性材料基板の厚みtに対して、前記厚みtの15%以上55%以下の長さで前記改質層から前記基板の表面に向かって亀裂を進展させる、
レーザ加工方法。 - 前記亀裂進展幅は、50μm以上で前記基板表面に到達しない長さである、請求項1に記載のレーザ加工方法。
- 前記第2工程におけるレーザ光の走査速度は、25mm/s以下500mm/s以上である、請求項1又は2に記載のレーザ加工方法。
- 前記第1工程におけるレーザ光の出力は、4.2W以上である、請求項1から3のいずれかに記載のレーザ加工方法。
- 前記第2工程の後に、前記分断予定ラインの両側に力を加えて脆性材料基板を分断する第3工程をさらに含む、請求項1から4のいずれかに記載のレーザ加工方法。
- 前記分断加重は60N以下である、請求項5に記載のレーザ加工方法。
- パルスレーザ光線を照射してレーザ加工された脆性材料基板であって、
所定の繰り返し周波数のパルスレーザ光を照射することによって内部に形成された改質層と、
パルスレーザ光を分断予定ラインに沿って走査することによって形成され、前記改質層から表面に向かって延びる亀裂が形成された亀裂進展層と、
を有し、
前記亀裂進展層の基板厚み方向の幅は、脆性材料基板の厚みtの15%以上55%以下である、
脆性材料基板。 - 前記亀裂進展層の幅は、50μm以上で前記基板表面に到達しない長さである、請求項7に記載の脆性材料基板。
- 前記脆性材料はサファイアである、請求項7又は8に記載の脆性材料基板。
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