JP5532608B2 - レーザガス分析方法 - Google Patents
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TDLSは例えば、煙道中のガスを直接かつ高速に測定でき、そのリアルタイム性、コストパフォーマンスの高さから、今後のガス分析計の主流になっていくものと考えられている。
(ハ)で囲った部分は受光側で、第1レンズ3aに対向して第2レンズ3bが配置され、このレンズの後段に45度傾斜して第2ダイクロイックミラー2aが配置されている。 第1PD4aは第2ダイクロイックミラーを透過した光を受光する位置に配置され、第2PD4bは第2ダイクロイックミラーで反射した光を受光する位置に配置されている。
しかしながら、2種類の測定対象ガスの吸収ピークが比較的近い場合(1つのレーザで掃引できないピーク位置のとき)、ダイクロイックミラーに代表される光学素子では波長分離ができない。そのため、第1、第2PDで構成される検出器では2種類の成分の吸収スペクトル信号を受光することとなる。
波長λ1からλ2まで第1の掃引幅で掃引する第1のレーザダイオードと、
波長λ3からλ4まで前記第1の掃引幅とは異なる第2の掃引幅で掃引する第2のレーザダイオードと、
前記第1のレーザダイオードと前記第2のレーザダイオードから出射したレーザ光が測
定対象ガスを透過した光を受光するフォトダイオードと、
を備えたレーザガス分析方法であって、
前記フォトダイオードから出力される複数の測定成分が重畳した合成波の吸収スペクトルから各成分のベースライン補正を行い、ベースライン補正後のピークの面積から各成分の濃度を算出することを特徴とするレーザガス分析方法。
前記第1,第2レーザダイオードは出射方向が略直角になるように配置され、これらのレーザダイオードから出射したレーザ光が交差する点に光学素子が配置されており、該光学素子を透過及び反射したレーザ光を前記光学素子の後段に配置された第1レンズでコリメートし、該第1レンズでコリメートした光を測定対象ガスに透過させ、その透過した光を第2レンズで集光し、その集光された光を前記フォトダイオードで受光することを特徴とする。
前記光学素子はダイクロイックミラーであることを特徴とする。
請求項4においては、請求項1〜3のいずれかに記載のレーザガス分析方法において、前記第1のレーザダイオードの波長は測定すべき第1のガス成分に吸収を持つ波長とされ、前記第2のレーザダイオードの波長は測定すべき第2のガス成分に吸収を持つ波長とされることを特徴とする。
請求項5においては、請求項1〜4のいずれかに記載のレーザガス分析方法において、前記波長λ3およびλ4は、前記波長λ1からλ2の範囲に含まれることを特徴とする。
(ハ)で囲った部分は受光側で、第1レンズ3aに対向して第2レンズ3bが配置されている。PD4はこのレンズで集光された光を受光する位置に配置されている。
また、第1のダイクロイックミラー2aは第1LD1aから出射する光を透過し、第2LD1bから出射する光を反射するように作製されているものとする。
図1(b)は掃引幅に差をつけて掃引した場合のPD4の出力信号を示すもので、(ニ)で示す曲線は合成波である。(ホ)で示す曲線は例えばLD1から出射する波長をλ1〜λ2まで変化させ掃引幅を0.3nmとした場合であり、(ヘ)で示す曲線は例えばLD2から出射する波長をλ3〜λ4まで変化させ掃引幅を0.05nmとした場合である。なお、図では省略するがそれぞれのLDには出射するレーザの出力波長や掃引幅を制御する装置が設けられているものとする。
(1)図2に示すように、測定成分2の吸収ピークであるピーク(ニ)に対して、A地点およびB地点でベースライン補正を行う。(AB間の補正式を公知の演算方法により算出する)これにより、PDで受光された信号から測定成分2のみを抽出できる。
(2)ベースライン補正後のピーク(ニ)の面積を公知の演算手法により求め、測定成分2の濃度を算出する。(測定成分ヘを単独で測定したことと同等である)
(4)吸収ピーク(ホ)の頂点部分でピーク(ニ)と結合している箇所(AB間)に関しては、先に求めたAB間の補正式を利用し、ピーク(ホ)の面積を求め、測定成分1の濃度を算出する。これにより、PD4で受光された信号から測定成分1のみのピークを抽出することができる。
また、本発明によれば、図3に示す従来例で第1、第2PD(検出器)直前に設置してあるダイクロイックミラーに代表される光学素子の必要性がなくなるとともにPD(検出器)も1つで十分であるため、図3に示す第2PD(4b)も必要なくなり、コストを下げることができる。
さらに、光学系の簡素化による光学設計の容易性が向上する利点もある。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2 光学素子(ダイクロイックミラー)
3 レンズ
4 PD(フォトダイオード)
Claims (5)
- 波長λ1からλ2まで第1の掃引幅で掃引する第1のレーザダイオードと、
波長λ3からλ4まで前記第1の掃引幅とは異なる第2の掃引幅で掃引する第2のレーザダイオードと、
前記第1のレーザダイオードと前記第2のレーザダイオードから出射したレーザ光が測
定対象ガスを透過した光を受光するフォトダイオードと、
を備えたレーザガス分析方法であって、
前記フォトダイオードから出力される複数の測定成分が重畳した合成波の吸収スペクトルから各成分のベースライン補正を行い、ベースライン補正後のピークの面積から各成分の濃度を算出することを特徴とするレーザガス分析方法。 - 前記第1,第2レーザダイオードは出射方向が略直角になるように配置され、これらのレーザダイオードから出射したレーザ光が交差する点に光学素子が配置されており、該光学素子を透過及び反射したレーザ光を前記光学素子の後段に配置された第1レンズでコリメートし、該第1レンズでコリメートした光を測定対象ガスに透過させ、その透過した光を第2レンズで集光し、その集光された光を前記フォトダイオードで受光することを特徴とする請求項1に記載のレーザガス分析方法。
- 前記光学素子はダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項2に記載のレーザガス分析方法。
- 前記第1のレーザダイオードの波長は測定すべき第1のガス成分に吸収を持つ波長とされ、
前記第2のレーザダイオードの波長は測定すべき第2のガス成分に吸収を持つ波長とされることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザガス分析方法。 - 前記波長λ3およびλ4は、前記波長λ1からλ2の範囲に含まれることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のレーザガス分析方法。
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