JP5811942B2 - ガス濃度測定装置 - Google Patents
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Description
実施例1のガス濃度測定装置は、TDLASにおいて、ガスの吸収のない波長領域のモニタ用フォトダイオード1bの出力と受光素子4からの受光出力との比によって、光学系の汚れや光路中のダストなどによる光強度の低下を検出し、ガス濃度の測定誤差を補正することを特徴とする。
Claims (4)
- レーザダイオードと該レーザダイオードの出射出力をモニタするモニタ用フォトダイオードとを有する光源部と、
前記レーザダイオードからの光を測定ポイントに導く光ファイバと、
前記光ファイバからの光を2分岐する分岐器と、
前記分岐器で分岐された一方の光を受光するファイバ用フォトダイオードと、
前記分岐器で分岐され且つ測定対象ガスを透過した他方の光を受光する受光素子と、
前記受光素子の出力に基づき前記レーザ光の光路上に存するガスの濃度を演算する演算回路とを備え、
前記演算回路は、前記モニタ用フォトダイオードからの信号と前記ファイバ用フォトダイオードからの信号との比を算出し且つこの比の変化に基づき前記光ファイバの異常を判定し、前記ガスの吸収を受けない波長を用い且つ前記ファイバ用フォトダイオードからの信号と前記受光素子からの信号との比に基づきガスの濃度を補正することを特徴とするガス濃度測定装置。 - 前記演算回路は、前記ガスの吸収を受けない波長を用い且つ前記受光素子からの信号と前記モニタ用フォトダイオードからの信号との比に基づきガスの濃度を補正することを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定装置。
- 光学系内にパージガスを供給するパージガス供給管を備え、
前記演算回路は、前記ファイバ用フォトダイオードからの信号と前記受光素子からの信号との比に基づきダストの濃度を補正することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のガス濃度測定装置。 - 前記演算回路は、前記モニタ用フォトダイオードからの信号の変化に基づき前記レーザダイオードの異常を判定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のガス濃度測定装置。
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