CN110261349A - 基于tdlas的气体浓度测量方法及装置 - Google Patents

基于tdlas的气体浓度测量方法及装置 Download PDF

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Abstract

基于TDLAS的气体浓度测量方法及装置，涉及气体浓度测量技术。本发明是为了解决常规的TDLAS气体测量装置容易引起气体泄漏、以及对激光器和探测器位置要求高的问题。本发明利用已知浓度的待测气体进行标定，得到光强差分值‑气体浓度的关系曲线，作为求取差分值的参考基线，控制激光器产生一定波数范围的激光。采用光纤耦合器使所述激光分成两路：一路直接由激光探测器进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜反射后原路返回至光纤耦合器，然后由另一激光探测器进行探测；采集两个激光探测器的输出信号，并计算得到管道内待测气体的浓度。本发明适用于各种气体的浓度检测。

Description

基于TDLAS的气体浓度测量方法及装置
技术领域
本发明涉及气体浓度测量技术，属于排放测试领域。
背景技术
近年来，随着光谱学与激光器技术的迅速发展，可调谐半导体激光器吸收光谱技术(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy，TDLAS)等激光光谱技术逐步应用于尾气排放气体浓度测量。其中，可调谐二极管激光吸收光谱技术则是根据由探测器检测到的吸收曲线中两个吸收峰之间的关系，从而获得气体的浓度。TDLAS技术在波长调制光谱(WMS)与气体浓度测量结合中的应用具有竞争力和前景。
基于可调谐激光吸收光谱技术(TDLAS)属于光谱测量的一种，采用可调谐激光器作为探测光源，利用比尔-兰伯特吸收定律中吸收光强与气体浓度之间的线性关系实现气体浓度测量。TDLAS技术具有测试方法简单、测试精度高、动态响应特性好以及环境适应能力强等特点。适合于船舶柴油机复杂的污染物排放特性，可实现污染物排放浓度的高精度在线测量，可有效解决现有测试方法及仪器无法实现在线测量的问题。
目前存在的TDLAS测量装置中有两个典型的代表：以上海镭芯微电子有限公司提出来的多种气体的TDLAS检测装置为例，该装置的使用需要将待测气体引入到检测气室中，这种方法容易引起气体泄漏造成环境污染，并且会影响进一步进行温度测量的结果；另一种TDLAS气体检测装置可以直接安装在排气管管道上，需要利用支架等固定装置将激光器和激光探测器等固定在同一水平线上，这在某些工业环境中是难以满足这一条件的。
发明内容
本发明是为了解决常规的TDLAS气体测量装置容易引起气体泄漏、以及对激光器和探测器位置要求高的问题。现提供一种基于TDLAS的气体浓度测量方法及装置。
本发明所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法包括以下步骤：
步骤一、利用已知浓度的待测气体进行标定作为公式(4)求取差分值的参考基线；
步骤二、控制激光器，使所述激光器产生一定波数范围的激光；
步骤三、采用光纤耦合器使所述激光分成两路：一路直接由激光探测器进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜反射后原路返回至光纤耦合器，然后由另一激光探测器进行探测；
步骤四、采集两个激光探测器的输出信号，并计算得到管道内待测气体的浓度。
进一步地，测量过程中，采用温度传感器和压力传感器监测待测气体的温度和压强。
进一步地，步骤二采用三角波信号控制激光器的工作温度，使所述激光器产生一定波数范围的激光。
进一步地，步骤三中，激光进入管壁前先进行准直处理。
进一步地，步骤四对两个激光探测器的输出信号逐点进行差分计算，并将差分值与浓度的关系绘制出来，以得到待测气体浓度值。
本发明所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置包括控制器1、激光器2、温度传感器3、压力传感器4、全反射镜9、一号半导体探测器10、二号半导体探测器11、光纤耦合器12、数据采集卡14以及计算机14；
所述温度传感器3和压力传感器4用于监测待测气体的温度和压强；
控制器1用于控制激光器2产生一定波数范围的激光；
所述激光器2产生的激光经光纤耦合器12分成两路：一路直接由一号半导体探测器10进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜9反射后原路返回至光纤耦合器12，然后由二号半导体探测器11进行探测；
数据采集卡14用于采集一号半导体探测器10和二号半导体探测器11输出的信号，并将信号发送至计算机14；
所述计算机14用于根据数据采集卡14发来的信号进行计算，得到待测气体的浓度。
进一步地，所述控制器1用于产生三角波信号，以控制激光器2的工作温度，使激光器2产生一定波数范围的激光。
进一步地，所述装置还包括光纤准直器8，用于对进入管道内的激光进行准直。
进一步地，所述全反射镜9内嵌在管道的内壁中。
由气体的吸收光谱特性可知，当频率为v的单色辐射与气体吸收光谱重叠时，就会发生吸收，导致光强度衰减。根据比尔-兰伯特定律，一束入射频率为v、光强为I0的激光与出射光光强It之间的关系可以表示为：
It(v)＝I0(v)exp[-α(v)PXL] (1)
式中I0表示的是原始光强，即还未经过气体介质吸收时激光的光强，It表示的是出射光强，即经吸收介质处理后激光的光强，T表示的是被测气体当时状态下的温度[K]，P表示的是被测气体的总压[atm]，X表示的是被测气体的体积浓度[mol·cm-3·atm-1]，L表示的是激光的传播的距离[cm]，α(v)表示的是待测气体分子的吸收系数。α(v)的表示如下：
式中：N[mol·cm-3·atm-1]为单位压强、单位体积内的气体分子密度，S(T)[cm·mol-1]表示的是被测气体特征谱线的线强，表示的是线型函数，满足归一化条件其中S(T)为温度的函数可以表示为
式中：h为普朗克常数常数；c为真空中光速；k为Boltzmann常数；E”为低能级能量；T0为参考温度；通常取296K；v0为谱线中心频率；Q(T)为吸收组分配分函数，是温度的分段函数。
对于气体的浓度测量，利用TDLAS技术产生一束激光通过流场，当可调谐激光器的扫描范围中包含两个吸收峰时，光强的差分变化量可以由下式表示：
其中：k为玻尔兹曼的常数[J/K]；Itv1为频率为v1时穿过待检测区域以后的光强，Itv2为频率为v2时穿过待检测区域以后的光强。当气体浓度不同时，两个相邻的吸收峰的差分值与浓度呈现正相关趋势。因此，能够通过该方法进行检测气体浓度。
本发明中采用处理器来产生一定频率的三角波信号，并通过其中的温度控制芯片控制激光器的工作温度。此时，由激光器发射出一束单一的平行的一定波数范围的激光，通过耦合器后被分为两束相同的光，其中一束直接通过光纤传送到激光探测器上，另一束通过管道的光学窗口穿过待检测区域垂直照射到管壁另一侧的全反射镜上，然后光经过反射镜按原路返回射回光纤内。返回来的光经过耦合器传送至另一探测器上。采用数据采集卡采集激光探测器输出的探测信号并传送给计算机，计算机利用激光强度的变化检测出待测区域的气体浓度。
本发明具有以下有益效果：
1.本发明直接在气体流通管道上进行测量，不需要将气体额外引入检测气室中，避免了气体泄漏。
2.本发明中采用了光纤耦合器来传递光源，简化了传统光学TDLAS测量装置中激光器、检测气室和激光探测器的中心必须在同一水平线上的高要求，降低了实验的难度，也最大程度的保证了传递信息的完整性。
3.所用激光器为可调谐激光器，改变加在其相应的配置参数即可改变输出激光的波数，操作简单方便。
4.只需一个光学窗口，减少了光学窗口的开口数量，增强了管道完整性。
附图说明
图1为本发明所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置管道部分的结构示意图；
图2为本发明所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置的整体结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：参照图1和图2具体说明本实施方式，本实施方式所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法包括：
步骤一、利用已知浓度的待测气体进行标定，得到光强差分值-气体浓度的关系曲线，作为求取差分值的参考基线；
步骤二、控制激光器，使所述激光器产生一定波数范围的激光；
步骤三、采用光纤耦合器使所述激光分成两路：一路直接由激光探测器进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜反射后原路返回至光纤耦合器，然后由另一激光探测器进行探测；
步骤四、采集两个激光探测器的输出信号，并计算得到管道内待测气体的浓度。
测量过程中，采用温度传感器和压力传感器监测待测气体的温度和压强。
步骤二采用三角波信号控制激光器的工作温度，使所述激光器产生一定波数范围的激光。
步骤三中，激光进入管壁前先进行准直处理。
步骤四对两个激光探测器的输出信号逐点进行差分计算，根据公式(4)可知光强差分值与待测气体浓度之间的关系，根据表达式绘制出差分值与浓度的关系图，由图便可以得到待测气体浓度值。
上述方法原理如图1和图2所示。温度传感器和压力传感器检测待测区域的温度和压力值。图中管道两侧的进气口和出气口为气体的流动条件，此处的进气口和出气口只是示意装置，在实际测试的过程中可以之间看作流通气体的管道两侧。密封压盖6上需要配置能够使光纤通过的小口，使得激光能够射入管道内，密封压盖6主要起到了密封的作用，防止气体泄漏。光纤准直器8能够通过聚焦透镜将光纤耦合器12尾纤传送过来的发散的光信号变成平行信号，使其传播距离更长。
如图2所示，采用光纤耦合器12作为中心，实现光信号的分路，并将信号向不同方向传递。利用ARM系列处理器作为控制器1来产生特定频率的三角波信号，并通过处理器内部配置的温度控制芯片控制激光器2的工作温度。激光器2受激会产生出一束单色平行的一定波数范围的激光。起到枢纽作用的光纤耦合器12将激光分为两束相同的光：一束作为初始信号(参考信号)经过光纤传送到一号半导体探测器10上；另一束光则通过管道的光学窗口穿过待检测区域，对待测区域的气体浓度进行检测。全反射镜9用来将垂直照射过来的激光进行反射，然后按原路返回射回光纤内。在半导体探测器与计算机13之间配置数据采集卡14进行信息传递。数据采集卡14能够将经过探测器转换得到的电信号传送到计算机13，从而对数据进行归一化等处理。在计算机13数据将会逐点进行差分计算，并将差分值与浓度的关系绘制出来，这样便可以得到相关的气体浓度值。
具体实施方式二：参照图1和图2具体说明本实施方式，本实施方式所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置包括控制器1、激光器2、温度传感器3、压力传感器4、全反射镜9、一号半导体探测器10、二号半导体探测器11、光纤耦合器12、数据采集卡14以及计算机14；
所述温度传感器3和压力传感器4用于监测待测气体的温度和压强；
控制器1用于控制激光器2产生一定波数范围的激光；
所述激光器2产生的激光经光纤耦合器12分成两路：一路直接由一号半导体探测器10进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜9反射后原路返回至光纤耦合器12，然后由二号半导体探测器11进行探测；
数据采集卡14用于采集一号半导体探测器10和二号半导体探测器11输出的信号，并将信号发送至计算机14；
所述计算机14用于根据数据采集卡14发来的信号进行计算，得到待测气体的浓度。
所述控制器1用于产生三角波信号，以控制激光器2的工作温度，使激光器2产生一定波数范围的激光。
所述装置还包括光纤准直器8，用于对进入管道内的激光进行准直。如图1所示，管壁上开设光学窗口，光纤准直器8嵌固在该光学窗口中。
所述全反射镜9内嵌在管道的内壁中，不仅牢固，而且能够减少对气体流场的影响。全反射平面镜9可采用特殊材质对其进行镀膜处理，以减少颗粒物的附着。
所述计算机13可以用来编辑后期的计算处理模块，实现浓度计算过程。同时，该部分也可以采用以单片机为核心的电路板来代替。
如图1所示，该装置配有温度传感器和压力传感器检测待测区域的温度和压力值。图中管道两侧的进气口和出气口为气体的流动条件，此处的进气口和出气口只是示意装置，在实际测试的过程中可以之间看作流通气体的管道两侧。密封压盖6上需要配置能够使光纤通过的小口，使得激光能够射入管道内，密封压盖6主要起到了密封的作用，防止气体泄漏。光纤准直器8能够通过聚焦透镜将光纤耦合器12尾纤传送过来的发散的光信号变成平行信号，使其传播距离更长。
如图2所示，采用光纤耦合器12作为中心，实现光信号的分路，并将信号向不同方向传递。利用ARM系列处理器作为控制器1来产生特定频率的三角波信号，并通过处理器内部配置的温度控制芯片控制激光器2的工作温度。激光器2受激会产生出一束单一的平行的一定波数范围的激光。起到枢纽作用的光纤耦合器12将激光分为两束相同的光：一束作为初始信号(参考信号)经过光纤传送到一号半导体探测器10上；另一束光则通过管道的光学窗口穿过待检测区域，对待测区域的气体浓度进行检测。全反射镜9用来将垂直照射过来的激光进行反射，然后按原路返回射回光纤内。在半导体探测器与计算机13之间配置数据采集卡14进行信息传递。数据采集卡14能够将经过探测器转换得到的电信号传送到计算机13，从而对数据进行归一化等处理。在计算机13数据将会逐点进行差分计算，并将差分值与浓度的关系绘制出来，这样便可以得到相关的气体浓度值。

Claims (9)

1.基于TDLAS的气体浓度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、利用已知浓度的待测气体进行标定，得到光强差分值-气体浓度的关系曲线，作为求取差分值的参考基线；
步骤二、控制激光器，使所述激光器产生一定波数范围的激光；
步骤三、采用光纤耦合器使所述激光分成两路：一路直接由激光探测器进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜反射后原路返回至光纤耦合器，然后由另一激光探测器进行探测；
步骤四、采集两个激光探测器的输出信号，并计算得到管道内待测气体的浓度。
2.根据权利要求1所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法，其特征在于，测量过程中，采用温度传感器和压力传感器监测待测气体的温度和压强。
3.根据权利要求1所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法，其特征在于，步骤二采用三角波信号控制激光器的工作温度，使所述激光器产生一定波数范围的激光。
4.根据权利要求1所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法，其特征在于，步骤三中，激光进入管壁前先进行准直处理。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的基于TDLAS的气体浓度测量方法，其特征在于，步骤四对两个激光探测器的输出信号逐点进行差分计算，并将差分值与浓度的关系绘制出来，以得到待测气体浓度值。
6.基于TDLAS的气体浓度测量装置，其特征在于，包括控制器、激光器、温度传感器、压力传感器、全反射镜、一号半导体探测器、二号半导体探测器、光纤耦合器、数据采集卡以及计算机；
所述温度传感器和压力传感器用于监测待测气体的温度和压强；
控制器用于控制激光器产生一定波数范围的激光；
所述激光器产生的激光经光纤耦合器分成两路：一路直接由一号半导体探测器进行探测；另一路穿过管壁后进入管道内部，穿过管道内的待测气体，经管道内壁上布置的全反射镜反射后原路返回至光纤耦合器，然后由二号半导体探测器进行探测；
数据采集卡用于采集一号半导体探测器和二号半导体探测器输出的信号，并将信号发送至计算机；
所述计算机用于根据数据采集卡发来的信号进行计算，得到待测气体的浓度。
7.根据权利要求6所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置，其特征在于，所述控制器用于产生三角波信号，以控制激光器的工作温度，使激光器产生一定波数范围的激光。
8.根据权利要求6所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置，其特征在于，所述装置还包括光纤准直器，用于对进入管道内的激光进行准直。
9.根据权利要求6、7或8所述的基于TDLAS的气体浓度测量装置，其特征在于，所述全反射镜内嵌在管道的内壁中。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110907105A (zh) * 2019-12-27 2020-03-24 杭州梅格森测控技术有限公司 基于tdlas的烟道省煤器泄漏检测装置及检测方法
CN113640248A (zh) * 2021-07-06 2021-11-12 杭州春来科技有限公司 一种气体多组分浓度在位监测方法
CN115265927A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 南京旭奥科技有限公司 一种容器密封检测方法以及检测装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1544918A (zh) * 2003-11-14 2004-11-10 上海波汇通信科技有限公司 差分吸收式光纤甲烷气体传感器
JP2010164480A (ja) * 2009-01-16 2010-07-29 Yokogawa Electric Corp レーザガス分析計
CN103698298A (zh) * 2013-12-29 2014-04-02 哈尔滨工业大学 基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置及采用该装置测量气体浓度的方法
US20140211208A1 (en) * 2001-03-19 2014-07-31 C. Kumar N. Patel Diagnostic method for high sensitivity detection of component concentrations in human gas emissions
CN104568836A (zh) * 2015-01-26 2015-04-29 南京国电环保科技有限公司 基于多种光谱技术融合的低浓度、多组分气体检测方法
CN105388125A (zh) * 2015-10-30 2016-03-09 苏州优康通信设备有限公司 一氧化碳浓度的光学检测系统
CN205374298U (zh) * 2016-01-15 2016-07-06 鞍山哈工激光科技有限公司 基于tdlas的痕量气体浓度检测装置
CN109085133A (zh) * 2018-06-12 2018-12-25 东南大学 一种基于实时反射率修正的离轴积分腔大气ch4浓度的测量装置及其测量方法
CN109724948A (zh) * 2019-01-17 2019-05-07 哈尔滨工程大学 一种基于单纵模稳频激光器的柴油机排放测试装置及方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140211208A1 (en) * 2001-03-19 2014-07-31 C. Kumar N. Patel Diagnostic method for high sensitivity detection of component concentrations in human gas emissions
CN1544918A (zh) * 2003-11-14 2004-11-10 上海波汇通信科技有限公司 差分吸收式光纤甲烷气体传感器
JP2010164480A (ja) * 2009-01-16 2010-07-29 Yokogawa Electric Corp レーザガス分析計
CN103698298A (zh) * 2013-12-29 2014-04-02 哈尔滨工业大学 基于短腔腔增强关联光谱技术测量气体浓度的装置及采用该装置测量气体浓度的方法
CN104568836A (zh) * 2015-01-26 2015-04-29 南京国电环保科技有限公司 基于多种光谱技术融合的低浓度、多组分气体检测方法
CN105388125A (zh) * 2015-10-30 2016-03-09 苏州优康通信设备有限公司 一氧化碳浓度的光学检测系统
CN205374298U (zh) * 2016-01-15 2016-07-06 鞍山哈工激光科技有限公司 基于tdlas的痕量气体浓度检测装置
CN109085133A (zh) * 2018-06-12 2018-12-25 东南大学 一种基于实时反射率修正的离轴积分腔大气ch4浓度的测量装置及其测量方法
CN109724948A (zh) * 2019-01-17 2019-05-07 哈尔滨工程大学 一种基于单纵模稳频激光器的柴油机排放测试装置及方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李传亮 等: "基于TDLAS平衡差分技术的CO气体检测", 《光谱学与光谱分析》 *
杨晓涛 等: "基于可调谐激光吸收光谱技术（ＴＬＡＳ）的 内燃机排放组分浓度测试技术研究", 《内燃机工程》 *
谢品华 等: "差分光学吸收光谱( DOAS)技术在 烟气SO2 监测中的应用", 《光子学报》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110907105A (zh) * 2019-12-27 2020-03-24 杭州梅格森测控技术有限公司 基于tdlas的烟道省煤器泄漏检测装置及检测方法
CN113640248A (zh) * 2021-07-06 2021-11-12 杭州春来科技有限公司 一种气体多组分浓度在位监测方法
CN115265927A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 南京旭奥科技有限公司 一种容器密封检测方法以及检测装置
CN115265927B (zh) * 2022-09-26 2022-12-23 南京旭奥科技有限公司 一种容器密封检测方法以及检测装置

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Application publication date: 20190920

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