JP4853255B2 - ガス分析装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 30
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 23
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 20
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 5
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 4
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Description
従って本発明が解決しようとする課題は、光源の強度変動やダストによる影響を受けないガス分析装置を実現することにある。
レーザ光を被測定ガスに照射し被測定ガスの吸収線を測定してガス分析を行うガス分析装置において、
レーザ光源と、このレーザ光源の出力光を信号光と参照光に分岐させ前記信号光を被測定ガスに照射させる光分岐手段と、前記被測定ガスを透過した前記信号光と前記参照光とを合波させ干渉光を発生させる光合波手段と、前記干渉光を受光する受光素子と、この受光素子で受光された干渉信号を測定する干渉信号測定回路と、前記レーザ光源の出力光の発振波長を掃引すると共に前記干渉信号に基づき前記信号光の群遅延を求め前記群遅延と前記発振波長との関係からガス種及びガス濃度を求める制御回路とを備えたことにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記レーザ光源が、
半導体レーザであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項2記載の発明であるガス分析装置において、
前記制御回路が、
前記半導体レーザに供給する注入電流を制御することにより前記発振波長を掃引することにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記レーザ光源が、
面発光型波長可変レーザであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記レーザ光源が、
外部共振型波長可変レーザであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記受光素子が、
フォトダイオードアレイであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記光分岐手段が、
ハーフミラー若しくはファイバカプラであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1記載の発明であるガス分析装置において、
前記光光波手段が、
ハーフミラー若しくはファイバカプラであることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。また、信号光と干渉光を合波した干渉信号に基づき群遅延を求めるため高感度であり、信号光の減衰が大きなアプリケーションへの適用が可能になる。
請求項1,2,3,4,5,6,7及び請求項8の発明によれば、レーザ光の発振波長を掃引する共にレーザ光を参照光と被測定ガスを透過する信号光に分岐し、両者を再び合波して干渉信号を生成し、干渉信号に基づき信号光のガス種及びガス濃度を求めることにより、光源の強度変動やダストによる影響を受けることなく被測定ガスの分析を行うことができる。
2,8 被測定ガス
3,11 受光素子
4 強度信号測定回路
5,13 制御回路
7、10 ハーフミラー
9 ミラー
12 干渉信号測定回路
Claims (8)
- レーザ光を被測定ガスに照射し被測定ガスの吸収線を測定してガス分析を行うガス分析装置において、
レーザ光源と、
このレーザ光源の出力光を信号光と参照光に分岐させ前記信号光を被測定ガスに照射させる光分岐手段と、
前記被測定ガスを透過した前記信号光と前記参照光とを合波させ干渉光を発生させる光合波手段と、
前記干渉光を受光する受光素子と、
この受光素子で受光された干渉信号を測定する干渉信号測定回路と、
前記レーザ光源の出力光の発振波長を掃引すると共に前記干渉信号に基づき前記信号光の群遅延を求め前記群遅延と前記発振波長との関係からガス種及びガス濃度を求める制御回路と
を備えたことを特徴とするガス分析装置。 - 前記レーザ光源が、
半導体レーザであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。 - 前記制御回路が、
前記半導体レーザに供給する注入電流を制御することにより前記発振波長を掃引することを特徴とする
請求項2記載のガス分析装置。 - 前記レーザ光源が、
面発光型波長可変レーザであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。 - 前記レーザ光源が、
外部共振型波長可変レーザであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。 - 前記受光素子が、
フォトダイオードアレイであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。 - 前記光分岐手段が、
ハーフミラー若しくはファイバカプラであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。 - 前記光光波手段が、
ハーフミラー若しくはファイバカプラであることを特徴とする
請求項1記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006318583A JP4853255B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006318583A JP4853255B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | ガス分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008134076A JP2008134076A (ja) | 2008-06-12 |
JP4853255B2 true JP4853255B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=39559033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006318583A Active JP4853255B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4853255B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0919854D0 (en) | 2009-11-12 | 2009-12-30 | Stfc Science & Technology | Detecting species in a dilute medium |
CN101777958B (zh) * | 2010-01-21 | 2013-06-05 | 北京航空航天大学 | 一种预测接收点附近一定范围内群时延的方法 |
CN102721667B (zh) * | 2012-06-29 | 2014-07-16 | 中国科学院自动化研究所 | 光干涉式智能气体传感器 |
CN111855588A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-30 | 南京航空航天大学 | 基于群时延谱的光谱分析方法及装置 |
JP7533516B2 (ja) | 2022-04-05 | 2024-08-14 | 横河電機株式会社 | レーザガス分析計 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS649341A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Fujitsu Ltd | Method for preventing interference of laser gas sensor |
JP2694201B2 (ja) * | 1988-11-16 | 1997-12-24 | 日本電信電話株式会社 | 分散測定方法およびその装置 |
JP3346595B2 (ja) * | 1992-12-08 | 2002-11-18 | 日本電信電話株式会社 | 光ファイバの波長分散測定方法 |
-
2006
- 2006-11-27 JP JP2006318583A patent/JP4853255B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008134076A (ja) | 2008-06-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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