JP5527970B2 - 投影対物系の結像特性を改良する方法 - Google Patents
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Description
本発明は、マイクロリソグラフィー投影対物系の複数のレンズのうち少なくとも1つのレンズを、像欠陥を少なくとも部分的に修正するための能動変形可能な素子として選択する方法に関する。
投影対物系は、すべてがレンズであってもよい複数の光学素子から構成され、または投影対物系は、レンズと鏡との組合せからなることもある。
そのような収差は、さまざまな種類がある。したがって、そのような投影対物系を稼働する前に、収差は、不満足な材料仕様または製造もしくは組立における誤差のせいで切迫したものとなることがある。しかしながら、そのように切迫した収差を、対物レンズの個々の光学素子の製造中および組立工程中に大幅に除去することができ、特にこの目的のために、対物レンズの個々のレンズには非球面化された表面が設けられる。
屈折率の変化をもたらし、かつ表面変化ももたらす光学素子の材料の加熱によって生じ、または屈折率の変化によって波面誤差をもたらすことがある密度の変化(圧縮)によって生じる典型的な収差は、たとえば、一定視野非点収差、三葉収差の一定視野発生、または四葉収差の一定視野発生である。しかしながら、一定視野収差に加えて、視野依存性または視野プロファイル、たとえばひずみ(歪像)の一重視野プロファイルおよび像表面の非点視野プロファイルを示す収差も生じる。
この目的のために用いることができる能動変形可能なレンズ素子は、たとえば、下記特許文献1に記載されている。ここで、能動変形可能なレンズはマウントに配置され、レンズには光学軸にほぼ垂直にレンズに作用する1つ以上のアクチュエータを有するマニピュレータが割り当てられる。アクチュエータは、曲げ事例の形態の変形をもたらすために、回転対称ではなくかつ半径方向からそれる力および/またはトルクを光学素子上に生じさせる。マニピュレータがアクチュエータをいくつ有するかに応じて、能動変形可能なレンズを少なくとも部分的に変形することによって相応して1重、2重、3重または略n重収差を修正するために、1重、2重、3重、または略n重変形または曲げ事例を生じさせることが可能である。
能動変形可能なレンズを使用するという従来の概念は、特定の誘起された像欠陥を修正するために用いられることを目的とする1つの能動変形可能な素子の使用に限られている。能動変形可能なレンズを適切に変形し、修正対象の像欠陥(収差)を大幅に修正するこの方法の手順を用いることは確かに可能であるが、この修正は、他の像欠陥を誘起または増大し、この結果、投影対物系の結像品質全体が、改良されないことがあるか、または実質的に改良されない。
さらに、本発明の目的は、結像特性に関して改良される投影対物系を提供することである。
さらに、本発明の目的は、マイクロリソグラフィー投影対物系について、投影対物系の複数のレンズから、少なくとも1つの好適なレンズを像欠陥を少なくとも部分的に修正するための能動変形可能な素子として選択することによる方法を特定することである。
投影対物系の像欠陥を少なくとも部分的に修正するための少なくとも2つの能動変形可能なレンズを使用するさらなる利点は、少なくとも2つの能動変形可能なレンズの位置および/または幾何学形状の好適な選択が与えられたとすると、簡単なマニピュレータを用いて、さらにより複雑な波面プロファイル、すなわち上述したレンズの変形性の限定によって、1つの能動変形可能なレンズのみを用いては実施することができないもの、または費用を実質的に増やしてしか実施することができないものを作成することが可能であるという点にある。
このことは、複雑な視野プロファイルがある波面収差を少なくとも部分的に修正するという有利な可能性となる。
投影対物系において隣接または共役位置に配置されるレンズには像の視野プロファイルに対して実質的に同一な効果があるが、非隣接レンズまたは互いに光学的共役でない位置に配置される投影対物系におけるレンズは、像視野に対して異なる効果がある。両方の場合において特定の収差視野プロファイルまたは一定視野収差を補正するために、少なくとも2つのレンズは、前者の場合には好ましくは異なって変形され、かつ後者の場合には実質的に同一に変形される。
少なくとも2つの能動変形可能なレンズが異なる形状または幾何学的形状を有するなら、2つのレンズに加える同一の力を生じさせても、異なる変形プロファイル、ひいては異なる修正効果がもたらされる。
特に、特定の修正効果を達成するために、逆方向の力を生じさせて第1および少なくとも第2レンズを変形することができる。
さらに、好都合なことには、第1レンズおよび少なくとも第2レンズを互いに対して特定の比で変形することを規定することができる。
さらに、第1レンズおよび少なくとも第2レンズが、像欠陥の半径方向基本ツェルニケ次数をその半径方向高次ツェルニケ次数とは実質的に独立して、またはその逆に修正できるように複数のレンズから選択されることが好ましい。
修正影響の同一の大きさとともに少なくとも第2レンズの修正影響を参照して、線形依存性を第1レンズの修正影響の異なる符号によって断ち切ることができる。
像欠陥が、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは主に視野依存性の要素を含み、複数のレンズから第1レンズとしておよび/または少なくとも第2レンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される。
修正される像欠陥が、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは主に視野依存性の要素を含む前述の場合には、複数のレンズから第1レンズとしておよび/または少なくとも第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より小さく、かつ約0.1より大きいレンズが選択される。
同様に、複数のレンズから第1レンズとしておよび/または少なくとも第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より大きいレンズが選択されることがこの場合好ましい。
能動変形可能な素子としての第1レンズおよび/または第2レンズの投影対物系の複数のレンズからの好適な選択については、レンズ中心部の厚みの最大レンズ高さに対する比は約0.4より小さいレンズを選択することが好ましい。
しかしながら、これらの場合には比較的弱い力を生じさせることによって変形を達成することができるので、能動変形可能な素子としてレンズを薄くすることが優先され、かつこのことは好都合なことに、組立のコストおよびマニピュレータに関する要件を低減する。
ここにおける利点は、そのようなレンズを光が多重、たとえば2重通過することが、このレンズの変形の光学効果を修正潜在力として強化し、かつ2重通過の場合にはその効果をすでに事実上2倍にするということである。たとえば、ビーム偏向を有するカタディオプトリック(反射屈折)投影対物系には、動作中に光が2回通過するレンズが存在する。
前述した改良形態によって、能動変形可能なレンズを用いて、1重、2重、3重またはn重波面収差を、このようにして少なくとも部分的に修正することが可能である。
本発明のさらなる態様によれば、マイクロリソグラフィー投影対物系の複数のレンズのうち少なくとも1つのレンズを、像欠陥を少なくとも部分的に修正するための能動変形可能な素子として選択する方法が特定され、複数のレンズのうち少なくとも1つのレンズの幾何学的形状および/または位置が、修正される像欠陥の関数としての選択基準として用いられる。
好適な幾何学的形状についての選択基準として、少なくとも1つのレンズの正レンズまたは負レンズとしての特性を用いることが好ましい。
さらに、中心部厚みの最大レンズ高さに対する比を、好適な幾何学的形状についての選択基準として用いることが好ましい。
「最大レンズ高さ」は、関連したレンズに対する最大光線高さとして理解されるものである。この選択基準は、強い力を生じることによって作動する必要なく、投影対物系の特定のレンズをマニピュレータを用いて好適な方法で変形することができるという好適性を考慮している。
少なくとも1つのレンズの好適な位置についてのさらに好ましい選択基準は、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比である。
像欠陥が、少なくとも主に一定視野の要素を含む場合、少なくとも1つのレンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される。
像欠陥が、少なくとも主に一定視野の要素を含む場合、少なくとも1つのレンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より大きいレンズが選択される。
さらなる選択基準は、投影対物系の動作中に2回以上光が少なくとも1つのレンズを通過するかどうかということである。
本発明のさらなる態様によれば、マイクロリソグラフィー投影対物系が設けられ、対物レンズの物体平面と像平面との間に配置される複数のレンズを備え、第1レンズを能動変形するための第1マニピュレータは複数のレンズのうち第1レンズに割り当てられ、第1レンズは収差を少なくとも部分的に修正するために変形可能であり、少なくとも1つの第2マニピュレータはさらに複数のレンズのうち少なくとも1つの第2レンズに割り当てられ、かつ少なくとも第2レンズは第1レンズに加えて変形可能である。
さらなる利点および特徴は、次の説明および添付の図面から明らかとなる。
上記の特徴およびさらに以下で説明すべき特徴を、それぞれ特定された組合せにおいてのみならず、本発明の趣旨を逸脱することなく他の組合せで、または単独で用いることができることは自明である。
複数のレンズから構成されるマイクロリソグラフィー投影対物系の場合、光学素子の材料の動作またはエージング中の加熱に基づいて生じることがある像欠陥を修正するために、本発明による方法では、投影対物系の複数のレンズから少なくとも2つのレンズを、選択し、かつ生じる像欠陥を少なくとも部分的に修正するために、マニピュレータを介して能動変形されると規定されている。
まず第一に述べる、かつそれに従って少なくとも2つのレンズが複数のレンズから能動変形可能なレンズとして選択される本発明の態様を、まずより詳細に説明する。
このことを、簡単な場合について、図1に図示する。一番上の曲線Aで図示するのは、投影対物系の複数のレンズのうち第1レンズの、二次であると仮定する波面の影響である。
破線で図示する曲線Cは、曲線Aおよび曲線Bに沿った波面の影響の合計として生じる重ね合わせを示し、単独では、第1レンズおよび第2レンズの個々の波面の影響よりも複雑な視野プロファイルを示す。像視野における波面収差を少なくとも部分的に補正するために、2つ以上のレンズを組み合せ、かつ適切な変形によって波面の複雑な視野プロファイルを生成することは、このようにして可能である。
このことを、その基本ツェルニケ次数Z5および半径方向の次の高次ツェルニケ次数Z12の例で説明する。
たとえば2重対称性を持つ像欠陥の場合には、1つの能動変形可能なレンズのみを用いて一次および高次次数間の線形依存性に基づいて、Z12をZ5と無関係に修正することは不可能であり、結果として、2つのツェルニケ係数の一方が修正後にかなり増加する可能性がある。したがって、合理的な最適化は不可能である。
同様に、投影対物系における選択されたレンズの幾何学的形状および位置について特定の要求をする必要がある。
たとえば第1レンズを負レンズとし、かつたとえば第2レンズを正レンズとすることによって、第1ツェルニケ次数およびそれに関連する半径方向高次ツェルニケ次数に関して独立した修正を達成することが可能である。このことを、図2を参照して以下でより詳細に説明する。
光線14は、負レンズ10のレンズ前側16に入射する。
連続線は非変形状状態の負レンズ10を図示し、かつ破線はマニピュレータ21によって生じた変形状態のレンズを図示している。
負レンズ10内部での入射光線14の伝搬は、非変形状態では線18に沿って、変形状態では線20に沿って起こる。光線は、負レンズ10の後側22から出た後、負レンズ10の非変形状態では線24に沿って、および変形状態では線26に沿ってさらに伝搬する。
負レンズ10の変形は、正レンズ12の変形のように、光学軸zに垂直な距離rの二次関数であると以下で仮定する
次に、変形の後生じるレンズの厚さd(r)については、およそ以下のように考えられる。
それぞれのレンズ前側16または28およびそれぞれのレンズ後側22または30での副開口(subaperture)半径RSによって、n重波面変形WFDをおよそ以下のように説明することができる。
負レンズ10および正レンズ12に付与さられる、n重対称性を有する変形が2重(n=2)であると仮定すると、波面変形WFDについては、およそ以下のようになる。
逆に、もちろん、Z12における波面変形の寄与率が互いに消去し合い、かつこの場合Z5をZ12と独立に修正することができるように、Z5におけるZ5の修正に関する寄与率の合計が有限値になるようにして進めることも可能である。
レンズまたはレンズの変形の像視野における波面変形に対する光学効果も、投影対物系内部のレンズの位置に依存している。
図3は、変形と光学効果との間の関係をさまざまなレンズの副開口半径の関数として図示する図を示している。
図面の縦座標は、レンズ前側における副口径のレンズ後側における副口径に対する比を示す。
光学効果の増加の方向を、矢印AおよびBによって図示している。
光学効果は、すべてのレンズについて同一であると仮定する変形事例の結果生じる波面変形の1つの尺度である。増加する派生波面変形は、増加する光学効果を意味している。
図4aおよび図4bは、上記特許文献2に記載されているような投影対物系50を示している。投影対物系50は、1.1の開口数NAを有している。
光学的に有効なモジュールの以下の配列において、投影対物系50は、光の通過の意味において、正の屈折率の第1純ディオプトリック部、投影対物系50の中間領域に配置される両凹レンズ、および正の屈折率の第3純ディオプトリック部を含んでいる。
図4aは、存在するレンズについて、それぞれのレンズにおける副口径の最大レンズ高さに対する比が、約0.7より小さい投影対物系50の領域を強調している。
この領域では、存在するレンズを、レンズの加熱またはレンズのエージングによって生じることがある圧倒的に視野依存性の像欠陥または一定視野像欠陥と視野依存性像欠陥との組合せ(たとえば、軸上の非点収差および歪像)を少なくとも部分的に修正するために適切なマニピュレータM1,・・・,Mn(n≧1)が次に割り当てられる、収差を修正するための能動変形可能なレンズとして選択することができる。
図4aにおいて暗い背景を有するレンズは、前述したように視野依存性の要素を圧倒的に有する像欠陥を修正するための能動変形可能なレンズとして用いることができる。
図5aおよび図5bに図示する投影対物系は、ちょうど図8aおよび図8bに図示する投影対物系と同様に、上記特許文献3に記載されている。
光の通過の意味において、図9aおよび図9bに図示する投影対物系は、光学的に有効なモジュールの以下の配列において、第1瞳平面を経て物体平面を第1中間像上に結像する第1ディオプトリック部、第2瞳平面を経て第1中間像を第2中間像上に結像する第2カタディオプトリック部、第3瞳平面を経て第2中間像を第3中間像上に結像する第3カタディオプトリック部、および第4瞳平面を経て第3中間像を像上に結像する第4カタディオプトリック部を有している。投影対物系は、NA=1.30の開口数を有し、この投影対物系に対して有することができる像点の最大半径Y’は、15.75mmである。
図10aおよび図10bに図示する投影対物系は、上記特許文献4に記載されている。
それぞれの投影対物系に対して有することができる像点の開口数NAおよび最大半径Y’を以下の表にまとめる。
Claims (31)
- マイクロリソグラフィー投影対物系の結像特性を改良する方法であって、前記投影対物系は、物体平面と像平面との間に複数のレンズを備え、前記複数のレンズのうち第1レンズには前記レンズを能動変形するための第1マニピュレータが割り当てられ、前記第1レンズは像欠陥を少なくとも部分的に修正するために変形され、前記複数のレンズのうちの少なくとも1つの第2レンズにはさらに少なくとも1つの第2マニピュレータが割り当てられ、かつ前記第2レンズは前記第1レンズに加えて変形され、
前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズが協働して半径方向基本ツェルニケ次数の像欠陥および半径方向高次ツェルニケ次数の像欠陥のうちの一方のみを修正するように変形し、
前記像欠陥は、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは主に視野依存性の要素を含み、前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される方法。 - 前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より小さく、約0.1より大きいレンズが選択される、請求項1に記載の方法。
- マイクロリソグラフィー投影対物系の結像特性を改良する方法であって、前記投影対物系は、物体平面と像平面との間に複数のレンズを備え、前記複数のレンズのうち第1レンズには前記レンズを能動変形するための第1マニピュレータが割り当てられ、前記第1レンズは像欠陥を少なくとも部分的に修正するために変形され、前記複数のレンズのうちの少なくとも1つの第2レンズにはさらに少なくとも1つの第2マニピュレータが割り当てられ、かつ前記第2レンズは前記第1レンズに加えて変形され、
前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズが協働して半径方向基本ツェルニケ次数の像欠陥および半径方向高次ツェルニケ次数の像欠陥のうちの一方のみを修正するように変形され、
前記像欠陥は、少なくとも主に一定視野の要素を含み、前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが、負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される方法。 - 前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より大きいレンズが選択される、請求項3に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、隣接しているかまたは前記物体平面と前記像平面との間の互いに光学的に共役な位置に配置され、かつどちらも前記変形が異なる変形プロファイルを示すように変形される、請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、隣接していないかまたは前記物体平面と前記像平面との間の互いに光学的に共役でない位置に配置され、かつどちらも前記変形が異なる変形プロファイルを示すように変形される、請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは形状が異なっている、請求項5または6に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは異なる力を導入することによって変形される、請求項5ないし7のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは逆方向の力を導入することによって変形される、請求項5ないし8のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは前記物体平面と前記像平面との間の互いに光学的に共役でない位置に配置され、かつ少なくとも実質的に同一に変形される、請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは前記物体平面と前記像平面との間の互いに光学的に共役な位置に配置され、かつ実質的に異なるように変形される、請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは互いに対して特定の比で変形される、請求項1ないし11のいずれかに記載の方法。
- 前記比は、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズの半径方向基本ツェルニケ次数および半径方向高次ツェルニケ次数の波面収差に対する影響の関数として選択される、請求項12に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、前記像欠陥の半径方向基本ツェルニケ次数をその半径方向高次ツェルニケ次数とは実質的に独立して、またはその逆に、修正できるように前記複数のレンズから選択される、請求項1ないし13のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、前記半径方向基本ツェルニケ次数と前記半径方向高次ツェルニケ次数との比に対する前記第1レンズの修正影響の大きさが前記少なくとも1つの第2レンズの修正影響にほぼ等しいが、符号が異なるように前記複数のレンズから選択される、請求項14に記載の方法。
- 前記第1レンズは正レンズであり、かつ前記少なくとも1つの第2レンズは負レンズである、請求項15に記載の方法。
- 前記正レンズのすぐ上流の周辺光線のビーム角の大きさは、前記負レンズのすぐ上流の周辺光線のビーム角より小さい、請求項16に記載の方法。
- 前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ中心部厚みの最大レンズ高さに対する比は約0.4より小さいレンズが選択される、請求項1ないし17のいずれかに記載の方法。
- 前記複数のレンズから前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして変形にはそれ自体厚すぎるレンズが選択され、このレンズは少なくとも2つの個別のレンズに分割され、かつ前記個別のレンズのうち少なくとも1つが変形される、請求項1ないし18のいずれかに記載の方法。
- 前記複数のレンズから前記第1レンズとしておよび/または前記第2レンズとして動作中2回以上光が通過するレンズが選択される、請求項1ないし19のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズは、1重、2重、3重またはn(n>3)重対称性によって変形される、請求項1ないし20のいずれかに記載の方法。
- 像欠陥を少なくとも部分的に修正するための能動変形可能な素子として、マイクロリソグラフィー投影対物系の複数のレンズのうち第1レンズおよび少なくとも1つの第2レンズを選択する方法であって、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズの幾何学的形状および/または位置が、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズが協働して半径方向基本ツェルニケ次数の像欠陥および半径方向高次ツェルニケ次数の像欠陥のうちの一方のみを修正するために、修正される前記像欠陥の関数として選択基準として用いられ、
前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズのレンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比は、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの好適な位置についての選択基準として用いられ、
前記像欠陥は、少なくとも主に一定視野の要素を含み、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される方法。 - レンズ前側およびレンズ後側のうち大きい方の副開口半径の最大レンズ高さに対する比が、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの好適な位置についての選択基準として用いられる、請求項22に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約0.7より大きいレンズが選択される、請求項23に記載の方法。
- 像欠陥を少なくとも部分的に修正するための能動変形可能な素子として、マイクロリソグラフィー投影対物系の複数のレンズのうち第1レンズおよび少なくとも1つの第2レンズを選択する方法であって、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズの幾何学的形状および/または位置が、前記第1レンズおよび前記少なくとも1つの第2レンズが協働して半径方向基本ツェルニケ次数の像欠陥および半径方向高次ツェルニケ次数の像欠陥のうちの一方のみを修正するために、修正される前記像欠陥の関数として選択基準として用いられ、
前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズのレンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比は、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの好適な位置についての選択基準として用いられ、
前記像欠陥は、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは主に一定視野の要素を含み、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約0.8〜約0.9または約1.1〜約1.2の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約0.9〜約1.1の範囲にあるレンズが選択される方法。 - レンズ前側およびレンズ後側のうち大きい方の副開口半径の最大レンズ高さに対する比が、前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの好適な位置についての選択基準として用いられる、請求項25に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大高さに対する比の大きさが約0.7より小さく、かつ約0.1より大きいレンズが選択される、請求項26に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの正レンズまたは負レンズとしての特性は、好適な幾何学的形状についての選択基準として用いられる、請求項22ないし27のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズの中心部厚みの最大レンズ高さに対する比は、好適な幾何学的形状についての選択基準として用いられる、請求項22ないし28のいずれかに記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして、中心部厚みの最大レンズ高さに対する比が約0.4より小さいレンズが選択される、請求項29に記載の方法。
- 前記第1レンズおよび/または前記少なくとも1つの第2レンズとして動作中2回以上光が通過するレンズが選択される、請求項22ないし30のいずれかに記載の方法。
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