JP2017102273A - 投影光学系、投影方法、投影光学系の調整方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 たとえば光照射に起因して発生する波面収差を調整することのできる投影光学系。【解決手段】 第１面の像を第２面に形成する投影光学系は、第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１補正部材と、第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第２補正部材と、第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第３補正部材とを備えている。第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、所要の条件を満足する。【選択図】 図１

Description

本発明は、投影光学系、投影方法、投影光学系の調整方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法に関する。

半導体素子等のデバイスを製造するためのフォトリソグラフィ工程において、マスク（レチクル）のパターンを、投影光学系を介して、感光性基板（フォトレジストが塗布されたウェハ等）上に投影露光する露光装置が使用される。露光装置では、マスクパターンの微細化が進むにつれて、投影光学系に要求される解像力（解像度）が益々高まっている。投影光学系の解像力に対する要求を満足するには、照明光（露光光）の波長λを短くするとともに、投影光学系の像側開口数ＮＡを大きくする必要がある。

従来、露光装置の投影光学系に好適な投影光学系が種々提案されている（たとえば特許文献１を参照）。

米国特許第７，３８５，７５６号

第１形態では、第１面の像を第２面に形成する投影光学系において、
前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１補正部材と、
前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第２補正部材と、
前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第３補正部材とを備え、
前記第１面における視野領域の中心点からの周辺光線が任意の光学面を通過する位置Ｌｃｒと、前記視野領域の中心点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｃｐとの距離をＨｃとし、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｐｐと前記位置Ｌｃｐとの距離をＨｐとするとき、前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに前記第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ１／Ｈｃ１
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ２／Ｈｃ２
の条件を満足することを特徴とする投影光学系を提供する。

第２形態では、第１形態の投影光学系の調整方法において、
前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、前記投影光学系の光軸、または前記視野領域の中心点からの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化を付与することにより、前記投影光学系の波面収差を調整することを含むことを特徴とする調整方法を提供する。

第３形態では、前記第１面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記所定のパターンを前記第２面に設定された基板上に投影するための第１形態の投影光学系を備えていることを特徴とする露光装置を提供する。

第４形態では、第１面の像を第２面に投影する投影方法において、
前記第１面からの光を、それぞれが入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１、第２および第３補正部材を介して前記第２面に導くことを含み、
前記第１補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
前記第２補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
前記第３補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
前記第１面における視野領域の中心点からの周辺光線が任意の光学面を通過する位置Ｌｃｒと、前記視野領域の中心点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｃｐとの距離をＨｃとし、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｐｐと前記位置Ｌｃｐとの距離をＨｐとするとき、前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに前記第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ１／Ｈｃ１
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ２／Ｈｃ２
の条件を満足することを特徴とする投影方法を提供する。

第５形態では、前記第１面に設定された所定のパターンを照明することと、
第４形態にかかる投影方法を用いて、前記所定のパターンの像を前記第２面に設定された物体上に投影する、露光方法を提供する。

第６形態では、前記第１面に設定された所定のパターンからの光を投影光学系に導いて前記所定のパターンを前記第２面に設定された基板上に投影することと、
第２形態の調整方法を用いて前記投影光学系を調整することとを含むことを特徴とする露光方法を提供する。

第７形態では、第３形態の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記基板に露光することと、
前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成することと、
前記マスク層を介して前記基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。

第８形態では、第５または第６形態の露光方法を用いて、前記所定のパターンを前記基板に露光することと、
前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成することと、
前記マスク層を介して前記基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。

実施形態にかかる投影光学系の一例を概略的に示す図である。 投影光学系の像面における有効結像領域を概略的に示す図である。 投影光学系の物体面における有効視野領域を概略的に示す図である。 凹面反射鏡の背面側に設けられた複数のアクチュエータを備えた能動変形部を概略的に示す図である。 複数のアクチュエータの作用点の分布を概略的に示す図である。 本実施形態における波面収差の調整の一例について説明する図である。 光学面と瞳位置との位置関係を表す指標について説明する図である。 本実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。 本実施形態の各実施例における境界レンズとウェハとの間の構成を模式的に示す図である。 本実施形態の第１実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態の第２実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態の第３実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態の第４実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態の第５実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態の第６実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。 本実施形態における収差調整作用についてさらに説明する第１の図である。 本実施形態における収差調整作用についてさらに説明する第２の図である。 半導体デバイスの製造工程を示すフローチャートである。 液晶表示素子等の液晶デバイスの製造工程を示すフローチャートである。

以下、実施形態を、添付図面に基づいて説明する。図１は、実施形態にかかる投影光学系の一例を概略的に示す図である。図１には、露光装置に搭載される投影光学系の一例であって、後述する第１実施例に対応した投影光学系ＰＬが示されている。具体的に、図１に示す投影光学系ＰＬは、３つの結像光学ユニットＧ１，Ｇ２，Ｇ３からなる３回結像型の反射屈折光学系である。図１において、感光性基板であるウェハＷの転写面（露光面）の法線方向に沿ってＺ軸を、ウェハＷの転写面内において図１の紙面に平行な方向にＹ軸を、ウェハＷの転写面内において図１の紙面に垂直な方向にＸ軸をそれぞれ設定している。

以下、図１に示す投影光学系ＰＬを参照して、本実施形態の特徴的な構成および作用を説明する。図１の投影光学系ＰＬは、露光装置に適用された場合にマスクＭのパターン面が設置される物体面（第１面）ＯＢからウェハＷの露光面が設置される像面（第２面）ＩＭへの光の入射順に、屈折光学系としての第１結像光学ユニットＧ１と、第１平面反射鏡ＦＭ１と、凹面反射鏡ＣＭを含む反射屈折光学系としての第２結像光学ユニットＧ２と、第２平面反射鏡ＦＭ２と、屈折光学系としての第３結像光学ユニットＧ３とを備えている。

この場合、図２に示すように、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲは、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸから離れた領域になる。具体的に、有効結像領域ＥＲは、光軸ＡＸを中心とした半径ＲｂのイメージフィールドＩＦ内において、光軸ＡＸからＹ方向に沿って距離Ｒａだけ離れた矩形状の領域、すなわちＸ方向に沿って長辺（寸法ＬＸ）を有し且つＹ方向に沿って短辺（寸法ＬＹ）を有する長方形状の領域である。したがって、図３に示すように、投影光学系ＰＬの物体面ＯＢにおける有効視野領域ＦＲは、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸからＹ方向に離れた矩形状の領域になる。なお、有効結像領域ＥＲは、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおいて物体面ＯＢからの光が導かれる領域であって且つ収差が実質的に補正されている領域としても良い。また、有効視野領域ＦＲは視野領域と称しても良く、有効結像領域ＥＲは結像領域と称しても良い。

図１の構成では、第１結像光学ユニットＧ１の光路中において互いに近接して配置された一対の平行平面板が第１補正部材Ｃ１を構成し、第３結像光学ユニットＧ３の光路中において互いに近接して配置された一対の平行平面板が第２補正部材Ｃ２を構成している。第１補正部材Ｃ１としての一対の平行平面板は、第１結像光学ユニットＧ１の光路中において物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置、すなわち第１結像光学ユニットＧ１の瞳位置から像面ＩＭ側（ウェハＷ側）に離れた位置に配置されている。

第２補正部材Ｃ２としての一対の平行平面板は、第３結像光学ユニットＧ３の光路中において物体面ＯＢの位置と（ひいては像面ＩＭの位置と）光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置、すなわち第３結像光学ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）から物体面ＯＢ側（マスクＭ側）に離れた位置に配置されている。第２結像光学ユニットＧ２の凹面反射鏡ＣＭは、第３補正部材Ｃ３を構成している。第３補正部材Ｃ３としての凹面反射鏡ＣＭは、第２結像光学ユニットＧ２の光路中において物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置、すなわち第２結像光学ユニットＧ２の瞳位置の近傍に配置されている。
なお、本実施形態および実施例において、瞳位置は、物体面ＯＢの位置または像面ＩＭの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある位置とすることができる。

第１補正部材Ｃ１が第１結像光学ユニットＧ１の瞳位置よりも像面ＩＭ側に配置され且つ第２補正部材Ｃ２が第３結像光学ユニットＧ３の瞳位置よりも物体面ＯＢ側に配置されているので、物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳面および物体面ＯＢの位置と光学的に共役な中間像面に着目すると、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間に位置する面の数は奇数である。具体的に、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間に位置する面は、第１結像光学ユニットＧ１による第１中間像面、第２結像光学ユニットＧ２の瞳面、および第２結像光学ユニットＧ２による第２中間像面の３つである。

補正部材Ｃ１〜Ｃ３は、入射光の波面を能動的に変化させて射出する。具体的に、補正部材Ｃ１〜Ｃ３は、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ、または有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａからの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化、例えば互いに同数の偶数回回転対称な光路長変化を付与するようにそれぞれ構成されている。図１では、物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置と補正部材Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３との位置関係を明瞭に示すために、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａから最も離れた最大物体高の点ＦＲｂからの主光線と投影光学系ＰＬの光軸ＡＸとを含む最大物体高のメリディオナル面に沿った光線を示している。この点は、各実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図１０、図１１、図１２、図１３、図１４、図１５においても同様である。

第１補正部材Ｃ１としての一対の平行平面板（一対の補正素子）および第２補正部材Ｃ２としての一対の平行平面板（一対の補正素子）は、加熱・冷却部ＤＲ１およびＤＲ２からの熱の作用により屈折率分布がそれぞれ変化するように構成されている。具体的に、制御系ＣＲからの指令にしたがって作動する加熱・冷却部ＤＲ１，ＤＲ２からの熱の作用を受けて、補正部材Ｃ１，Ｃ２としての一対の平行平面板には、所要の温度分布が可変的に付与され、ひいては所要の屈折率分布が可変的に付与される。その結果、補正部材Ｃ１，Ｃ２としての一対の平行平面板は、例えば偶数回回転対称な光路長変化を付与し、ひいては入射光の波面を能動的に変化させて射出する。加熱・冷却部ＤＲ１，ＤＲ２の具体的な構成および作用については、米国特許第６，１９８，５７９号公報を参照することができる。また、加熱・冷却部として、米国特許第６，７８１，６６８号公報、第７，８１７，２４９号公報、米国特許公開第２００８／１２３０６６号公報などに開示される加熱機構、冷却機構を単独で、或いは組み合わせて用いることもできる。なお、補正部材としては、一対の平行平面板に限定されず、一枚の平行平面板であっても良い。また、補正部材は、初期状態において屈折力を有しない平行平面板には限定されず、有限の焦点距離を持つ光学部材であっても良い。

第３補正部材Ｃ３としての凹面反射鏡ＣＭの反射面は変形可能に構成され、制御系ＣＲからの指令にしたがって作動する能動変形部ＡＤが凹面反射鏡ＣＭの反射面を能動的に変形させる。その結果、第３補正部材Ｃ３としての凹面反射鏡ＣＭは、例えば偶数回回転対称な光路長変化を付与し、ひいては入射光の波面を能動的に変化させて射出する。一例として、図４に示すように、凹面反射鏡ＣＭの背面側に設けられた複数のアクチュエータＡＣを備えた能動変形部ＡＤを用いることができる。複数のアクチュエータＡＣは、例えば図５に示すように、それらの作用点ＡＣａが放射状に分布するように配置される。また、複数のアクチュエータＡＣを、それらの作用点ＡＣａが２次元マトリクス状に分布するように配置しても良い。

能動変形部ＡＤは、複数のアクチュエータＡＣが凹面反射鏡ＣＭの反射面ＣＭａを背面側から押し引きすることにより、反射面ＣＭａを所望の面形状に変形させる。能動変形部ＡＤの具体的な構成および作用については、米国特許第６，８４２，２７７号公報を参照することができる。能動変形部ＡＤにおける複数のアクチュエータＡＣの作用点ＡＣａの配置については、米国特許第６，８８０，９４２号公報を参照することができる。また、能動変形部として、米国特許第５，１１５，３５１号、第６，３９８，３７３号、第６，４１１，４２６号、第６，８０３，９９４号や米国特許公開第２０１０／００３３７０４Ａ１号などに開示される変形機構を用いることもできる。

一例として、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、極座標系を用いるツェルニケ（Zernike）多項式における第１７項にかかる関数ＦＺ_１７：ρ^４cos４θにしたがう４回回転対称な光路長変化を付与する場合について考える。ここで、ρは光学面における規格化半怪であり、θは極座標の動径角である。この場合、瞳位置から像面ＩＭ側に離れた位置に配置された第１補正部材Ｃ１の作用により、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａ（図２を参照）に関する波面収差として、図６に示すように、関数ＦＺ_１７にしたがって表示される４回回転対称の収差成分Ｚ１７が発生する。

そして、第１補正部材Ｃ１の作用により、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａから＋Ｘ方向に沿った第１周辺位置ＥＲｂ（図２を参照）に関する波面収差として、図６に示すように、４回回転対称の収差成分Ｚ１７と、第１０項にかかる関数ＦＺ_１０：ρ^３cos３θにしたがって表示される３回回転対称の収差成分Ｚ１０（＋）とが発生する。また、第１補正部材Ｃ１の作用により、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａから−Ｘ方向に沿った第２周辺位置ＥＲｃ（図２を参照）に関する波面収差として、図６に示すように、４回回転対称の収差成分Ｚ１７と、３回回転対称の収差成分Ｚ１０（−）とが発生する。

ここで、収差成分Ｚ１７を表す関数ＦＺ_１７の係数の符号は有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向位置に依存することなく同じであり、その係数の大きさは有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向位置に依存することなくほぼ一定である。一方、収差成分Ｚ１０を表す関数ＦＺ_１０の係数の符号は第１周辺位置ＥＲｂと第２周辺位置ＥＲｃとで逆であり、その係数の大きさは有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向位置に依存してほぼ線形的に変化する。このように、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａを通りＸ方向に延びる直線上の各点について第１補正部材Ｃ１の作用により発生する波面収差として、４回回転対称の収差成分Ｚ１７と、３回回転対称の収差成分Ｚ１０（１）とが発生する。

同様に、瞳位置から物体面ＯＢ側（第１補正部材Ｃ１とは反対側）に離れた位置に配置された第２補正部材Ｃ２の場合、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａを通りＸ方向に延びる直線上の各点について発生する波面収差として、４回回転対称の収差成分Ｚ１７と、３回回転対称の収差成分Ｚ１０（２）とが発生する。ただし、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２とが瞳位置に関して反対側に配置されているので、収差成分Ｚ１７を表す関数ＦＺ_１７の係数の符号が同じであれば、収差成分Ｚ１０を表す関数ＦＺ_１０の係数の符号は第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２とで反転する。

したがって、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により収差成分Ｚ１０を相殺し、収差成分Ｚ１７だけを波面収差として発生させることができる。換言すると、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により、像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について一様な０次収差成分Ｚ１７を発生させること、ひいては波面収差の０次収差成分Ｚ１７を調整することができる。また、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により収差成分Ｚ１７を相殺し、収差成分Ｚ１０だけを波面収差として発生させることができる。換言すると、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分Ｚ１０を発生させること、ひいては波面収差の１次収差成分Ｚ１０を調整することができる。

ここで、波面収差の０次収差成分とは、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内の所定方向に沿った各点について一様な収差成分であり、波面収差の１次収差成分とは、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内の所定方向に沿った各点について線形的に変化する収差成分である。

さらに、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２が付与する光路長変化を表現する関数ＦＺ_１７の係数の符号および大きさを適宜設定すれば（あるいは変化させれば）、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を独立的に発生させること、ひいては波面収差の０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を独立的に調整することができる。

第３補正部材Ｃ３は、瞳位置の近傍に配置されている。したがって、第３補正部材Ｃ３の作用により、有効結像領域ＥＲの中心位置ＥＲａを通りＸ方向に延びる直線上の各点について、４回回転対称の収差成分Ｚ１７が支配的に発生し、３回回転対称の収差成分Ｚ１０はほとんど発生しない。ここで、収差成分Ｚ１７を表す関数ＦＺ_１７の係数の符号は有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向位置に依存することなく同じであり、その係数の大きさは有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向位置に依存することなくほぼ一定である。

このように、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との協働作用により、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を独立的に発生させること、ひいては波面収差の０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を独立的に調整することができる。また、第３補正部材Ｃ３の作用により、波面収差の０次収差成分Ｚ１７を主体的に調整することができる。その結果、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、波面収差の０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を独立的に且つ高い自由度で調整することができる。

以上、図１に示す投影光学系ＰＬにおいて、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が関数ＦＺ_１７にしたがう４回回転対称な光路長変化を付与する場合に得られる作用効果について具体的に説明した。本実施形態では、図１に示す構成に限定されることなく、物体面ＯＢ（第１面）の像を像面ＩＭ（第２面）に形成する投影光学系が、物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１補正部材Ｃ１と、物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第２補正部材Ｃ２と、物体面ＯＢの位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第３補正部材Ｃ３とを備えている。

本実施形態では、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が入射光に与える波面の変化の状態を制御することにより、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３が偶数回回転対称な光路長変化を付与するように制御することにより、投影光学系の波面収差を調整することができる。具体的には、像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内の所定方向（図２におけるＸ方向に対応）に沿った各点について一様な０次収差成分、および所定方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分のうちの少なくとも一方の収差成分を調整すること、さらには一様な０次収差成分および１次収差成分を互いに独立に調整することができる。

本実施形態では、任意の光学面と当該任意の光学面に最も近い瞳位置との位置関係を表す指標としてＨｐ／Ｈｃを導入している。図７に示すように、Ｈｃは、矩形状の有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａからの周辺光線が任意の光学面を通過する位置Ｌｃｒと、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａからの主光線が当該任意の光学面を通過する位置Ｌｃｐとの距離である。Ｈｐは、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａから最も離れた最大物体高の点ＦＲｂからの主光線が当該任意の光学面を通過する位置Ｌｐｐと位置Ｌｃｐとの距離である。指標としてのＨｐ／Ｈｃの値が小さくなるほど（０に近づくほど）光学面が瞳位置に近くなり、Ｈｐ／Ｈｃの値が大きくなるほど光学面が瞳位置から離れる。

本実施形態では、波面収差の調整に関する上述の作用効果を得るために、第１補正部材Ｃ１に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、第２補正部材Ｃ２に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに第３補正部材Ｃ３に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３が、次の条件式（１ａ），（１ｂ），（１ｃ），（１ｄ）を満足する。
０．０５＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＜１．０ （１ａ）
０．０５＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＜１．０ （１ｂ）
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ１／Ｈｃ１ （１ｃ）
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ２／Ｈｃ２ （１ｄ）

条件式（１ａ）および（１ｂ）の下限値を下回ると、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２が瞳位置に近づき過ぎて、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分の発生比率が小さくなり、収差補正能力が低下してしまう。一方、条件式（１ａ）および（１ｂ）の上限値を上回ると、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２が瞳位置から離れ過ぎて、意図しない収差成分が発生してしまう。

条件式（１ｃ）は、第１補正部材Ｃ１が瞳位置から離れた位置に配置されているのに対し、第３補正部材Ｃ３が瞳位置またはその近傍に配置されていることを表わしている。同様に、条件式（１ｄ）は、第２補正部材Ｃ２が瞳位置から離れた位置に配置されているのに対し、第３補正部材Ｃ３が瞳位置またはその近傍に配置されていることを表わしている。なお、条件式（１ａ）および（１ｂ）において、その下限値を０．１に設定しても良い。また、条件式（１ａ）および（１ｂ）において、その上限値を０．５に設定しても良い。
ここで、意図しない収差成分の発生について、例示する。
たとえば、補正部材Ｃ１およびＣ２が瞳位置から離れすぎると、補正部材の有効領域内で発生させる収差成分に対して、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向１階微分成分であり、且つＸ方向面内分布が線形的に変化する１次収差成分の発生比率が小さくなる。ここで、収差のＸ方向面内分布とは、有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点についての収差の変化を指す。さらに、Ｘ方向面内分布が２次的に変化するＸ方向２階微分成分、Ｘ方向面内分布が３次的に変化するＸ方向３階微分成分、およびディストーションの発生比率が高くなる。このとき、Ｘ方向１階微分成分においても、Ｘ方向面内分布が非線形的に変化する３次以上の奇数次収差成分の発生比率が高くなる。
有効結像領域ＥＲが光軸から外れている場合、補正部材への有効領域内で発生させる収差成分に対して、有効結像領域ＥＲ内のＹ方向１階微分成分がＸ方向において面内一様に発生する。
補正部材Ｃ１およびＣ２が瞳位置から離れすぎると、Ｙ方向１階微分成分のＸ方向１階微分成分が、Ｘ方向面内分布が線形的に変化する１次収差成分として発生する比率が高くなり、Ｙ方向１階微分成分のＸ方向２階微分成分が、Ｘ方向面内分布の２次収差成分として発生する比率も高くなる。

本実施形態では、関数ＦＺ_１７にしたがう４回回転対称な光路長変化に限定されることなく、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、以下の一群の式（２１）に示す関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与しても良い。この場合、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３を制御することができる。一群の式（２１）において、（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向（またはｙ方向）は矩形状の有効視野領域ＦＲの長辺方向（Ｘ方向）である。この点は、他の関連する一群の式（２２）においても同様である。

また、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、一群の式（２１）に示す関数ｆ_ｎで表される光路長変化を付与しても良い。この場合、関数ｆ_ｎで表される０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１の定数倍で表される１次収差成分、および関数ｇ_ｎ−１の定数倍で表される０次収差成分を調整するように、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３を制御することができる。ちなみに、収差成分Ｚ１７を表す関数ＦＺ_１７は式（２１）における関数ｆ_４に対応し、収差成分Ｚ１０を表す関数ＦＺ_１０は関数ｆ_４−１＝ｆ_３に対応している。

また、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、以下の一群の式（２２）に示す関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与しても良い。この場合、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される０次収差成分、関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される１次収差成分、および関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３を制御することができる。

また、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、一群の式（２２）に示す関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与しても良い。この場合、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、第１乃至第３補正部材Ｃ１〜Ｃ３を制御することができる。

本実施形態では、第３補正部材Ｃ３に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３が、次の条件式（２）を満足しても良い。条件式（２）を満足しない場合、第３補正部材Ｃ３が瞳位置から離れ過ぎて、他の補正部材Ｃ１，Ｃ２と同様の収差発生作用を果たすことになり、収差補正の自由度が低下する。
Ｈｐ３／Ｈｃ３＜０．１ （２）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、並びに第２補正部材Ｃ２に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２が、次の条件式（３）を満足しても良い。条件式（３）を満足することにより、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間で、収差発生作用を無理なく分担することができる。
｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＜０．２ （３）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、並びに第２補正部材Ｃ２に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２が、次の条件式（４）を満足しても良い。条件式（４）を満足しない場合、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２による１次収差成分の発生比率が小さくなり、収差補正能力が低下してしまう。
Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＞０．５ （４）

本実施形態では、任意の光学面と当該任意の光学面に最も近い瞳位置との位置関係を表す別の指標としてＤｐ／Ｄａを導入している。ここで、Ｄａは、有効視野領域ＦＲ内の各点からの光束が任意の光学面に到達したときに当該任意の光学面において占めるパーシャルスポットの集合に外接する投影光学系の光軸ＡＸを中心とした円の直径である。Ｄｐは、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａから最も離れた最大物体高の点ＦＲｂからの光束が当該任意の光学面に到達したときに当該任意の光学面において占めるパーシャルスポットに外接する四角形であって有効視野領域ＦＲの一辺に対応する方向に一辺を有する長方形の短辺の長さと長辺の長さとの平均値である。指標としてのＤｐ／Ｄａの値が１に近づくほど光学面が瞳位置に近くなり、Ｄｐ／Ｄａの値が小さくなるほど光学面が瞳位置から離れる。したがって、Ｄｐ／Ｄａの値が１であるとき光学面の位置が瞳位置と一致し、Ｄｐ／Ｄａの値は物理的に１を超えることができない。

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１に関する直径Ｄａ１および平均値Ｄｐ１、第２補正部材Ｃ２に関する直径Ｄａ２および平均値Ｄｐ２、並びに第３補正部材Ｃ３に関する直径Ｄａ３および平均値Ｄｐ３が、次の条件式（５ａ），（５ｂ），（５ｃ）を満足しても良い。条件式（５ａ），（５ｂ），（５ｃ）の下限値を下回ると、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が瞳位置から離れ過ぎて、意図しない収差成分の発生が大きくなってしまう。条件式（５ａ），（５ｂ），（５ｃ）の上限値は、物理的な制限値である。
０．５＜Ｄｐ１／Ｄａ１＜１．０ （５ａ）
０．５＜Ｄｐ２／Ｄａ２＜１．０ （５ｂ）
０．５＜Ｄｐ３／Ｄａ３≦１．０ （５ｃ）
なお、意図しない収差成分の例示については、条件式（１ａ），（１ｂ），（１ｃ）で説明した内容と同様であるため、ここでは説明を省略する。

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２のうちの少なくとも一方が、次の条件式（６）を満足する光学面を有していても良い。条件式（６）において、Ｈｐｕｂは、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａから最も離れた最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線が光学面を通過する位置と、最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線が光学面を通過する位置との距離である。Ｈｃｕｂは、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａからの上側光線が光学面を通過する位置と、中心点ＦＲａからの下側光線が光学面を通過する位置との距離である。
０．９＜Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＜１．１ （６）

条件式（６）を満足しない場合、例えば有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向に沿って２次的、４次的に変化する湾曲状の収差成分が発生してしまう。なお、上側光線および下側光線の定義については、像面ＩＭ（第２面）側にテレセントリックとなるように、像面ＩＭ側で主光線を定めるとき、有効視野領域ＦＲの中心点ＦＲａから最も離れた最大物体高の点ＦＲｂからの主光線と投影光学系の光軸ＡＸとを含む最大物体高のメリディオナル面内で、光軸ＡＸから離れる向きに最大物体高の点ＦＲｂから射出される周辺光線を最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線とし、光軸ＡＸに近づく向きに最大物体高の点ＦＲｂから射出される周辺光線を最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線とする。また、光軸ＡＸから離れる向きに中心点ＦＲａから射出される周辺光線を中心点ＦＲａからの上側光線とし、光軸ＡＸに近づく向きに中心点ＦＲａから射出される周辺光線を中心点ＦＲａからの下側光線とする。上側光線および下側光線の定義については、他の関連する条件式（７）、（８）、（９）、（１２）および（１３）においても同様である。

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つは光透過部材であり、次の条件式（７）を満足しても良い。条件式（７）において、ＯＬｕは最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線の光透過部材内の光路長であり、ＯＬｂは最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線の光透過部材内の光路長である。条件式（７）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。ここで、高次の収差成分とは、例えば一群の式（２１）に示す関数ｆ_ｎで表される光路長変化を付与した場合に意に反して発生する関数ｆ_ｎ＋１で表わされる成分などである。この点については、他の関連する条件式（８）〜（１３）においても同様である。
０．７＜ＯＬｕ／ＯＬｂ＜１．２ （７）
ここで、意図しない高次の収差成分とは、たとえば補正部材の有効領域内で発生させる収差成分に対して高い次数の収差成分を指し、この場合、次数の高い収差成分の有効結像領域ＥＲ内面内分布がＸ方向に線形的に変化してしまう。

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つは反射面を有する反射部材であり、次の条件式（８）を満足しても良い。条件式（８）において、ＣＡｕは最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線の反射面に対する入射角の余弦であり、ＣＡｂは最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線の反射面に対する入射角の余弦である。条件式（８）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。
０．９９５＜ＣＡｕ／ＣＡｂ＜１．００５ （８）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つが、次の条件式（９）を満足する光学面を有していても良い。条件式（９）において、Ｈｕは、最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線が光学面を通過する位置と最大物体高の点ＦＲｂからの主光線が光学面を通過する位置との距離である。Ｈｂは、最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線が光学面を通過する位置と最大物体高の点ＦＲｂからの主光線が光学面を通過する位置との距離である。条件式（９）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。
０．８５＜Ｈｕ／Ｈｂ＜１．１５ （９）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つが、次の条件式（１０）を満足する光透過部材を有していても良い。条件式（１０）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。
０．８＜（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＜１．２ （１０）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つは反射面を有する反射部材であり、次の条件式（１１）を満足しても良い。条件式（１１）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。
０．９＜（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＣＡｂ／ＣＡｕ）＜１．１ （１１）

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つが、次の条件式（１２）を満足する光透過部材を有していても良い。条件式（１２）において、Ｎｕは最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線の光透過部材内でのＮ方向余弦であり、Ｎｂは最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線の光透過部材内でのＮ方向余弦である。
０．７＜｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＜１．３ （１２）
なお、光線のＮ方向余弦とは、光線が光軸となす角度の余弦である。

条件式（１２）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。なお、条件式（１２）において、その下限値を０．９に設定しても良い。また、条件式（１２）において、その上限値を１．１に設定しても良い。

本実施形態では、第１補正部材Ｃ１、第２補正部材Ｃ２および第３補正部材Ｃ３のうちの少なくとも１つは反射面を有する反射部材であり、次の条件式（１３）を満足しても良い。条件式（１３）において、Ｎｕは、反射面に入射する直前における、最大物体高の点ＦＲｂからの上側光線のＮ方向余弦である。Ｎｂは、反射面で反射された直後における、最大物体高の点ＦＲｂからの下側光線のＮ方向余弦である。
０．７＜｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＜１．３ （１３）

条件式（１３）を満足しない場合、意図しない高次の収差成分が発生してしまう。なお、条件式（１３）において、その下限値を０．９に設定しても良い。また、条件式（１３）において、その上限値を１．１に設定しても良い。

第１実施例〜第３実施例では、補正部材Ｃ１，Ｃ２として、互いに近接して配置された一対の平行平面板を用いている。また、第４実施例〜第６実施例では、補正部材Ｃ１〜Ｃ３として、互いに近接して配置された一対の平行平面板を用いている。この場合、一対の平行平面板からなる補正部材の条件対応値を、光の入射側に配置された平行平面板の射出面における値に基づいて算出することができる。各実施例では、光の入射側に配置された平行平面板の射出面における値に基づいて算出された条件対応値を示している。

各実施例において、関数ＦＺ_１７にしたがう４回回転対称な光路長変化に限定されることなく、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、関数ＦＺ_５：ρ^２cos２θにしたがう２回回転対称な光路長変化を付与しても良い。この場合、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、関数ＦＺ_５にしたがって表示される２回回転対称の０次収差成分Ｚ５および関数ＦＺ_２：ρcosθにしたがって表示される１回回転対称の１次収差成分Ｚ２を独立的に且つ高い自由度で調整することができる。ちなみに、０次収差成分Ｚ５を表す関数ＦＺ_５は式（２１）における関数ｆ_２に対応し、１次収差成分Ｚ２を表す関数ＦＺ_２は関数ｆ_２−１＝ｆ_１に対応している。

また、各実施例では、偶数回回転対称な光路長変化に限定されることなく、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、関数ＦＺ_１１：ρ^３sin３θにしたがう３回回転対称な光路長変化を付与しても良い。この場合、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、関数ＦＺ_１１にしたがって表示される３回回転対称の０次収差成分Ｚ１１および関数ＦＺ_６：ρ^２sin２θにしたがって表示される２回回転対称の１次収差成分Ｚ６を独立的に且つ高い自由度で調整することができる。ちなみに、０次収差成分Ｚ１１を表す関数ＦＺ_１１は式（２１）における関数ｇ_３に対応し、１次収差成分Ｚ２を表す関数ＦＺ_６は関数ｇ_３−１＝ｇ_２に対応している。

また、各実施例では、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３が、関数ＦＺ_１２：（４ρ^２−３）ρ^２cos２θにしたがう２回回転対称な光路長変化を付与しても良い。この場合、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、関数ＦＺ_１２にしたがって表示される２回回転対称の０次収差成分Ｚ１２、並びに関数ＦＺ_２にしたがって表示される１回回転対称の１次収差成分Ｚ２、関数ＦＺ_７：（３ρ^２−２）ρcosθにしたがって表示される１回回転対称の１次収差成分Ｚ７、および関数ＦＺ_１０にしたがって表示される２回回転対称の１次収差成分Ｚ１０を独立的に且つ高い自由度で調整することができる。ちなみに、０次収差成分Ｚ１２を表す関数ＦＺ_１２は式（２２）における関数Ｆ_２に対応し、１次収差成分Ｚ７を表す関数ＦＺ_７は関数Ｆ_２−１＝Ｆ_１に対応している。１次収差成分Ｚ１０を表す関数ＦＺ_１０は関数ｆ_２＋１＝ｆ_３に対応し、１次収差成分Ｚ２を表す関数ＦＺ_２は関数ｆ_２−１＝ｆ_１に対応している。

図８は、本実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。図８においても図１の場合と同様に、感光性基板であるウェハＷの転写面（露光面）の法線方向に沿ってＺ軸を、ウェハＷの転写面内において図８の紙面に平行な方向にＹ軸を、ウェハＷの転写面内において図８の紙面に垂直な方向にＸ軸をそれぞれ設定している。

本実施形態の露光装置は、図８に示すように、たとえばオプティカル・インテグレータ（ホモジナイザー）、視野絞り、コンデンサレンズ等から構成される照明光学系１を備えている。露光光源であるＡｒＦエキシマレーザ光源から射出された波長１９３ｎｍの紫外パルス光からなる露光光（露光ビーム）ＩＬは、照明光学系１を通過し、マスク（レチクル）Ｍを照明する。マスクＭには転写すべきパターンが形成されており、パターン領域全体のうちＸ方向に沿って長辺を有し且つＹ方向に沿って短辺を有する矩形状（スリット状）のパターン領域が照明される。

マスクＭを通過した光は、液浸型の反射屈折光学系としての投影光学系ＰＬを介して、フォトレジストが塗布されたウェハ（感光性基板）Ｗ上の露光領域に所定の投影倍率でマスクパターンを形成する。すなわち、マスクＭ上での矩形状の照明領域に光学的に対応するように、ウェハＷ上ではＸ方向に沿って長辺を有し且つＹ方向に沿って短辺を有する矩形状の静止露光領域（実効露光領域；有効結像領域）にパターン像が形成される。ただし、第６実施例では、通常の乾燥型の屈折光学系としての投影光学系ＰＬを用いている。以下、液浸型の反射屈折光学系としての投影光学系ＰＬを用いる例に着目して露光装置の構成および作用を説明する。

マスクＭはマスクステージＭＳＴ上においてＸＹ平面に平行に保持され、マスクステージＭＳＴにはマスクＭをＸ方向、Ｙ方向および回転方向に微動させる機構が組み込まれている。マスクステージＭＳＴは、マスクステージＭＳＴ上に設けられた移動鏡１２ｍを用いるマスクレーザ干渉計１３ｍによってＸ方向、Ｙ方向および回転方向の位置がリアルタイムに計測され、且つ制御される。ウェハＷは、ウェハホルダＷＨを介してＺステージ９上においてＸＹ平面に平行に固定されている。

また、Ｚステージ９は、投影光学系ＰＬの像面と実質的に平行なＸＹ平面に沿って移動するＸＹステージ１０上に固定されており、ウェハＷのフォーカス位置（Ｚ方向の位置）および傾斜角を制御する。Ｚステージ９は、Ｚステージ９上に設けられた移動鏡１２ｗを用いるウェハレーザ干渉計１３ｗによってＸ方向、Ｙ方向および回転方向の位置がリアルタイムに計測され、且つ制御される。また、ＸＹステージ１０は、ベース１１上に載置されており、ウェハＷのＸ方向、Ｙ方向および回転方向を制御する。

一方、本実施形態の露光装置に設けられた制御系ＣＲは、マスクレーザ干渉計１３ｍにより計測された計測値に基づいてマスクＭのＸ方向、Ｙ方向および回転方向の位置の調整を行う。即ち、制御系ＣＲは、マスクステージＭＳＴに組み込まれている機構に制御信号を送信し、マスクステージＭＳＴを微動させることによりマスクＭの位置調整を行う。また、制御系ＣＲは、オートフォーカス方式及びオートレベリング方式によりウェハＷ上の表面を投影光学系ＰＬの像面に合わせ込むため、ウェハＷのフォーカス位置（Ｚ方向の位置）および傾斜角の調整を行う。

即ち、制御系ＣＲは、ウェハステージ駆動系１５に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系１５によりＺステージ９を駆動させることによりウェハＷのフォーカス位置および傾斜角の調整を行う。更に、制御系ＣＲは、ウェハレーザ干渉計１３ｗにより計測された計測値に基づいてウェハＷのＸ方向、Ｙ方向および回転方向の位置の調整を行う。即ち、制御系ＣＲは、ウェハステージ駆動系１５に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系１５によりＸＹステージ１０を駆動させることによりウェハＷのＸ方向、Ｙ方向および回転方向の位置調整を行う。

露光時には、制御系ＣＲは、マスクステージＭＳＴに組み込まれている機構に制御信号を送信すると共に、ウェハステージ駆動系１５に制御信号を送信し、投影光学系ＰＬの投影倍率に応じた速度比でマスクステージＭＳＴおよびＸＹステージ１０を駆動させつつ、マスクＭのパターン像をウェハＷ上の所定のショット領域内に投影露光する。その後、制御系ＣＲは、ウェハステージ駆動系１５に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系１５によりＸＹステージ１０を駆動させることによりウェハＷ上の別のショット領域を露光位置にステップ移動させる。

また、制御系ＣＲは、露光に先だって、あるいは露光中に、加熱・冷却部ＤＲや能動変形部ＡＤを介して補正部材Ｃ１〜Ｃ３が入射光に与える波面の変化の状態を制御することにより、投影光学系ＰＬの波面収差を調整する。具体的に、制御系ＣＲは、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について一様な０次収差成分および各点について線形的に変化する１次収差成分を互いに独立に調整する。

このように、ステップ・アンド・スキャン方式によりマスクＭのパターン像をウェハＷ上に走査露光する動作を繰り返す。すなわち、本実施形態では、ウェハステージ駆動系１５およびウェハレーザ干渉計１３ｗなどを用いてマスクＭおよびウェハＷの位置制御を行いながら、矩形状の静止露光領域および静止照明領域の短辺方向すなわちＹ方向に沿ってマスクステージＭＳＴとＸＹステージ１０とを、ひいてはマスクＭとウェハＷとを同期的に移動（走査）させることにより、ウェハＷ上には静止露光領域の長辺ＬＸに等しい幅を有し且つウェハＷの走査量（移動量）に応じた長さを有する領域に対してマスクパターンが走査露光される。

図９は、本実施形態の各実施例における境界レンズとウェハとの間の構成を模式的に示す図である。本実施形態では、図９に示すように、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路が、露光光に対して比較的大きい屈折率を有する液体（第１実施例〜第５実施例では水）Ｌｍで満たされている。境界レンズＬｂは、マスクＭ側に凸面を向け且つウェハＷ側に平面を向けた正レンズである。本実施形態では、図８に示すように、給排水機構２１を用いて、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路中において液体Ｌｍを循環させている。

投影光学系ＰＬに対してウェハＷを相対移動させつつ走査露光を行うステップ・アンド・スキャン方式の露光装置において、走査露光の開始から終了まで投影光学系ＰＬの境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路中に液体Ｌｍを満たし続けるには、たとえば米国特許出願公開第２００７／２４２２４７号明細書等に開示された技術や、米国特許第６，１９１，４２９号公報に開示された技術などを用いることができる。米国特許出願公開第２００７／２４２２４７号明細書等に開示された技術では、液体供給装置から供給管および排出ノズルを介して所定の温度に調整された液体を境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路を満たすように供給し、液体供給装置により回収管および流入ノズルを介してウェハＷ上から液体を回収する。

一方、米国特許第６，１９１，４２９号公報に開示された技術では、液体を収容することができるようにウェハホルダテーブルを容器状に構成し、その内底部の中央において（液体中において）ウェハＷを真空吸着により位置決め保持する。また、投影光学系ＰＬの鏡筒先端部が液体中に達し、ひいては境界レンズＬｂのウェハ側の光学面が液体中に達するように構成する。このように、浸液としての液体を微小流量で循環させることにより、防腐、防カビ等の効果により液体の変質を防ぐことができる。また、露光光の熱吸収による収差変動を防ぐことができる。なお、ここでは米国特許出願公開第２００７／２４２２４７号明細書および米国特許第６，１９１，４２９号公報を参照として援用する。

［第１実施例］
図１０は、本実施形態の第１実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第１実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、第１平面反射鏡ＦＭ１の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、反射屈折光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、第２平面反射鏡ＦＭ２の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第２中間像を形成する。第２中間像からの光は、屈折光学系としての第３結像ユニットＧ３を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。ここで、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができる。各実施例において、投影光学系ＰＬは、物体側および像側の双方にほぼテレセントリックに構成されている。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、平行平面板Ｐ１１と、７つのレンズＬ１１〜Ｌ１７と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１２およびＰ１３からなる第１補正部材Ｃ１と、７つのレンズＬ１８〜Ｌ１１４とにより構成されている。ここで、第１結像ユニットＧ１を第１結像光学系と称しても良い。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。第２結像ユニットＧ２は、光の進行往路に沿って光の入射側から順に、３つのレンズＬ２１〜Ｌ２３と、光の入射側に凹面を向けた凹面反射鏡ＣＭとにより構成されている。ここで、第２結像ユニットＧ２を第２結像光学系を称しても良い。第２結像ユニットＧ２の瞳位置の近傍に配置された凹面反射鏡ＣＭは、第３補正部材Ｃ３を構成している。

第３結像ユニットＧ３は、光の入射側から順に、６つのレンズＬ３１〜Ｌ３６と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ３１およびＰ３２からなる第２補正部材Ｃ２と、１０個のレンズＬ３７〜Ｌ３１６と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズＬ３１７（境界レンズＬｂ）とにより構成されている。ここで、第３結像ユニットＧ３を第３結像光学系と称しても良い。第２補正部材Ｃ２は、第３結像ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）からマスク側（物体面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、２つの中間像面（第１結像ユニットＧ１による第１中間像面および第２結像ユニットＧ２による第２中間像面）と、１つの瞳面（第２結像ユニットＧ２の瞳面）とが位置している。なお、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２の各瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。第１平面反射鏡ＦＭ１および第２平面反射鏡ＦＭ２は、光路を９０度だけ折り曲げる偏向部材を構成している。

第１実施例では、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路に、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３０６ｎｍ）に対して１．４３５８７６の屈折率を有する水が満たされている。また、境界レンズＬｂを含むすべての光透過部材は、使用光の中心波長に対して１．５６０３２６１の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。

次の表（１）に、第１実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。表（１）の主要諸元の欄において、λは露光光の中心波長を、βは投影倍率（全系の結像倍率）の大きさ（絶対値）を、ＮＡは像側（ウェハ側）開口数を、ＲｂはウェハＷ上でのイメージサークルＩＦの半径を、Ｒａは静止露光領域ＥＲの軸外し量を、ＬＸは静止露光領域ＥＲのＸ方向に沿った寸法（長辺の寸法）を、ＬＹは静止露光領域ＥＲのＹ方向に沿った寸法（短辺の寸法）をそれぞれ表している。

表（１）のレンズデータの欄は、ＯＲＡ（Optical Research Associates）社の光学設計ソフトである「Code V」の書式に従って記述されている。表（１）のレンズデータの欄において、SOはマスクＭのパターン面を、SIはウェハＷの露光面を、SOとSIとの間の複数のSはマスクＭとウェハＷとの間に介在する複数の光学面を光の入射順に示している。Sの右隣の数値はその光学面の曲率半径（非球面の場合には頂点曲率半径；単位：ｍｍ）を、曲率半径の右隣の数値は当該光学面から次の光学面までの距離すなわち面間隔（単位：ｍｍ）を、面間隔の右隣に必要に応じて記載された数値は使用光の中心波長に対する屈折率を示している。ただし、平面の曲率半径は無限大であるが、表（１）では0.0と表記している。

CIRは、その光学面の有効径（直径；単位：ｍｍ）を示している。REFLは反射面を意味し、REFL(FM1)は第１平面反射鏡ＦＭ１の反射面を、REFL(CM)は凹面反射鏡ＣＭの反射面を、REFL(FM2)は第２平面反射鏡ＦＭ２の反射面を、STOは開口絞りＡＳの面を示している。ASPは、対応する面が以下の式（ａ）で表される非球面であることを意味している。

ｓ＝（ｈ^２／ｒ）／［１＋｛１−（１＋κ）・ｈ^２／ｒ^２｝^１／２］＋Ｃ_４・ｈ^４
＋Ｃ_６・ｈ^６＋Ｃ_８・ｈ^８＋Ｃ_１０・ｈ^１０＋Ｃ_１２・ｈ^１２＋Ｃ_１４・ｈ^１４＋Ｃ_１６・ｈ^１６
＋Ｃ_１８・ｈ^１８＋Ｃ_２０・ｈ^２０ （ａ）

式（ａ）において、ｈは光軸に垂直な方向の高さ（単位：ｍｍ）であり、ｓは非球面の頂点における接平面から高さｈにおける非球面上の位置までの光軸に沿った距離（サグ量）（単位：ｍｍ）であり、ｒは頂点曲率半径（単位：ｍｍ）であり、κは円錐係数であり、Ｃ_ｎはｎ次の非球面係数である。表（１）のレンズデータの欄において、Ｋは円錐係数κ、Ａはｈ^４の係数Ｃ_４、Ｂはｈ^６の係数Ｃ_６、Ｃはｈ^８の係数Ｃ_８、Ｄはｈ^１０の係数Ｃ_１０、Ｅはｈ^１２の係数Ｃ_１２、Ｆはｈ^１４の係数Ｃ_１４、Ｇはｈ^１６の係数Ｃ_１６、Ｈはｈ^１８の係数Ｃ_１８、Ｊはｈ^２０の係数Ｃ_２０である。なお、表（１）における表記は、以降の表（２）〜（６）においても同様である。

表（１）
（主要諸元）
λ＝１９３．３０６ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝１．３５
Ｒａ＝３ｍｍ
Ｒｂ＝１３．８ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝３．２ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 46.875
S 0.0 9.375 'SiO2_A25' CIR 72.00878162363784
S 0.0 8.964872821044679 CIR 74.08604722342892
S 154.5347534862455 19.66875 'SiO2_A25' CIR 86.88989840739512
S 217.8660083495539 5.435092652596127 CIR 86.32451938567913
S 177.5265054293837 26.4375 'SiO2_A25' CIR 88.17159143728111
S 361.8963559018858 2.386985039495995 CIR 86.78396839333954
S 146.4582440190349 26.15625 'SiO2_A25' CIR 86.33516972026219
S 200.7010062342586 42.56964930865269
ASP
K 0.0
A 0.9657380579471532e-7; B 0.5571798463621144e-11
C 0.1482219493705185e-15; D 0.2484414653982933e-19
E -0.3920048254140071e-23; F 0.6407480519735456e-27
G -0.4831157695573194e-31; H 0.7724372812732487e-35
J -0.3664259536484197e-39
CIR 80.79688468226398
S -1573.345703125288 25.3125 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A -0.2819595341241867e-6; B 0.2224851142995943e-10
C -0.1197548550305713e-14; D -0.4337749014398764e-19
E 0.327178729236286e-23; F 0.1817693584731592e-26
G -0.3684719358728479e-30; H 0.3644354517090777e-34
J -0.1597861147519227e-38
CIR 81.04071034322804
S -185.4226825988274 0.9375 CIR 83.46890561464264
S 197.6268395894893 21.5625 'SiO2_A25' CIR 82.15441733712866
S 226.8970049579553 9.183984543643403
ASP
K 0.0
A -0.2745665453705683e-6; B 0.2688328774349237e-10
C -0.6778547577265039e-15; D -0.3610125619483899e-18
E 0.2372022505849642e-22; F 0.1125071590377305e-25
G -0.2339097421861309e-29; H 0.1800872589630924e-33
J -0.5186267178892416e-38
CIR 80.0327889038813
S 192.0800236999848 32.10871148523133 'SiO2_A25' CIR 76.33483222407475
S -407.0405154590894 17.06999763310436 CIR 73.52964330046213
S -1247.284327954835 11.07326869649497 'SiO2_A25' CIR 58.35051590006611
S 445.1230239449072 32.05077209853 CIR 52.71480305552345
S 0.0 7.562079445661058 'SiO2_A25' CIR 56.1383893236495
S 0.0 0.0 CIR 57.648228358759
S 0.0 7.5 'SiO2_A25' CIR 57.64822835
S 0.0 29.43006754199 CIR 59.14567265
S -81.69343496832828 14.03366369760807 'SiO2_A25' CIR 60.12279011882585
S -102.3020965194698 9.240306610461744 CIR 68.11008340001419
S -86.75495257370105 16.29323518236507 'SiO2_A25' CIR 68.68323177711378
S -124.9641822322816 0.9375 CIR 81.58375061022697
S -271.4521486919552 25.11838884318665 'SiO2_A25' CIR 90.28468358323269
S -220.6303873314592 8.210805089094738 CIR 98.54054513378172
S -3259.477285808828 30.9375 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A -0.3470064442526652e-7; B 0.1117187471555603e-11
C -0.9118776211578038e-16; D 0.3203065344800807e-20
E -0.1904698778994097e-24; F 0.1407299009347875e-28
G -0.1092244369603828e-32; H 0.5010676598643483e-37
J -0.111026665520346e-41
CIR 110.107662070979
S -329.5914199816676 19.38059987657242 CIR 116.1168741995378
S -12863.09363143381 62.41544090001936 'SiO2_A25' CIR 130.6735977640397
S -191.4963843326699 8.907314332008326 CIR 132.853609250878
S 194.2840781073621 39.37306255199165 'SiO2_A25' CIR 115.879795412836
S 363.7403274981381 17.15607114705817 CIR 109.4832325877847
S 427.2055492462409 24.94971534139209 'SiO2_A25' CIR 104.4321158499862
S 1229.332189569908 98.8163521927746
ASP
K 0.0
A 0.3454982039307704e-7; B 0.5771825355008789e-13
C 0.4232277570165835e-17; D -0.82081704340973e-21
E 0.2260027969576253e-24; F -0.3892334395701923e-28
G 0.3914723097250041e-32; H -0.2070383491950092e-36
J 0.4354602528292519e-41
CIR 98.13104062311233
S 0.0 -23.4375 REFL
BEN
XDE 0.0; YDE 0.0; ZDE 0.0
ADE 45.0; BDE 0.0; CDE 0.0
CIR 144.7905290770873
S -138.1115540632036 -38.5528193704904 'SiO2_A25' CIR 68.10254410463332
S -337.2371846624171 -127.9798490917232 CIR 65.65093145904251
S 169.8127247969807 -15.0 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A 0.3684638411379366e-7; B -0.9617296777005284e-11
C 0.8268255937310578e-15; D 0.2316077149347672e-18
E -0.1513799236273965e-21; F 0.906846852872763e-25
G -0.2627046331943983e-28; H 0.4494555159629496e-32
J -0.3399163698816349e-36
CIR 62.417898855037
S 278.1956200501832 -40.27556822594972 CIR 65.22032839389
S 91.88330188858626 -16.875 'SiO2_A25' CIR 66.9410139931645
S 844.0088548765448 -28.03551331183673
ASP
K 0.0
A 0.8225049493235817e-7; B -0.7755320392500969e-11
C 0.8211204250121265e-15; D -0.9496743260547387e-19
E 0.9841575118595884e-23; F -0.7836170983484421e-27
G 0.3526790382999234e-31; H -0.1803889846474957e-36
J -0.5199434083274551e-40
CIR 83.7778375700845
S 133.0838839239761 28.03551331183673 REFL CIR 86.00619895663743
S 844.0088548765448 16.875 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A 0.8225049493235817e-7; B -0.7755320392500969e-11
C 0.8211204250121265e-15; D -0.9496743260547387e-19
E 0.9841575118595884e-23; F -0.7836170983484421e-27
G 0.3526790382999234e-31; H -0.1803889846474957e-36
J -0.5199434083274551e-40
CIR 83.77783757008459
S 91.88330188858626 40.27556822594972 CIR 66.94101399316428
S 278.1956200501832 15.0 'SiO2_A25' CIR 65.2203283938899
S 169.8127247969807 127.9798490917232
ASP
K 0.0
A 0.3684638411360852e-7; B -0.961729677619206e-11
C 0.8268255923411375e-15; D 0.2316077161815804e-18
E -0.1513799242767147e-21; F 0.906846854892712e-25
G -0.2627046335612435e-28; H 0.4494555163172778e-32
J -0.3399163700195895e-36
CIR 62.41789885503685
S -337.2371846624171 38.5528193704904 'SiO2_A25' CIR 65.6509314590425
S -138.1115540632036 23.4375 CIR 68.1025441046335
S 0.0 -75.0 REFL
BEN
XDE 0.0; YDE 0.0; ZDE 0.0
ADE 45.0; BDE 0.0; CDE 0.0
CIR 151.8282934460826
S -1611.874037756843 -29.0625 'SiO2_A25' CIR 95.9316768897361
S 293.2469552456957 -0.9375 CIR 97.90973933967339
S -259.5961684763586 -30.9375 'SiO2_A25' CIR 103.4082431938861
S 43902.59405777642 -0.9375 CIR 102.7974453889627
S -195.2911558192688 -29.63162600382002 'SiO2_A25' CIR 99.93023407748571
S -663.4462545572453 -0.9375 CIR 97.43793870461087
S -227.392250990642 -27.07370929773809 'SiO2_A25' CIR 92.85755320081935
S -1327.307191552806 -5.657977529448736 CIR 89.00654669615879
S 3046.6158765747 -17.8125 'SiO2_A25' CIR 88.18220640754217
S -103.947624595339 -45.54999867526954 CIR 72.18605327471768
S 181.141431668706 -15.9375 'SiO2_A25' CIR 72.14871500206772
S -146.3927101686743 -28.70676824428549
ASP
K 0.0
A 0.4112021140189568e-7; B -0.3087941106204604e-11
C 0.1074298442972768e-14; D -0.2065513292755998e-18
E 0.6536976386970961e-22; F -0.1544795238836226e-25
G 0.2166297401099234e-29; H -0.1647425336853533e-33
J 0.5315622269752071e-38
CIR 79.29793066792963
S 0.0 -8.966127191901457 'SiO2_A25' CIR 84.88446935805339
S 0.0 0.0 CIR 88.7191747818282
S 0.0 -8.96612683173826 'SiO2_A25' CIR 88.71917480000001
S 0.0 -1.90808942075344 CIR 92.55388005
S -296.1717199800739 -22.5 'SiO2_A25' CIR 110.7236661011568
S -459.5655077746619 -2.908216816782057
ASP
K 0.0
A -0.5099632463238152e-7; B 0.1855287298074156e-11
C -0.1712111142606192e-15; D 0.4319414954936879e-19
E -0.5916349291019085e-23; F 0.4859502876686646e-27
G -0.2439292360028275e-31; H 0.6937291218967103e-36
J -0.8683578512791871e-41
CIR 115.0644809363089
S -249.8769891086972 -26.22706898363248 'SiO2_A25' CIR 129.0403505540618
S -440.1303006514563 -0.9375 CIR 129.9574274169617
S -283.2748124604191 -33.81187630171751 'SiO2_A25' CIR 135.5282429445849
S -3204.328800284678 -53.28437199400015
ASP
K 0.0
A -0.27514483886001e-8; B -0.1356085647220049e-11
C 0.2431918473123486e-15; D -0.4210032896102705e-19
E 0.3639496018105029e-23; F -0.19266424661484e-27
G 0.6448946083376976e-32; H -0.1272556346327265e-36
J 0.1143950199047057e-41
CIR 135.5012971973242
S 331.7381063694797 -34.89967067927505 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A 0.397334809091249e-7; B -0.3996271971904667e-11
C 0.5396238581271246e-15; D -0.5182295041593598e-19
E 0.2893681220368655e-23; F -0.917838357634169e-28
G 0.129071675691098e-32; H 0.8037385046269887e-38
J -0.357821282743742e-42
CIR 137.2806411208252
S 260.0391658504441 -1.776826964712175 CIR 145.6735978908685
S 847.9963589755918 -37.5 'SiO2_A25'
ASP
K 0.0
A 0.3550075073669952e-8; B 0.2724022865298539e-11
C -0.334324782366514e-15; D 0.3038111937159099e-19
E -0.1757711981253151e-23; F 0.6401191898431677e-28
G -0.14075078269889e-32; H 0.1463667279745686e-37
J -0.1986564154833581e-43 CIR 149.4351689142299
S 259.255531303753 -0.9375 CIR 152.1721219455893
S -1923.590815317554 -30.0 'SiO2_A25' CIR 152.5170009821898
S -4687.499999999999 -0.9375
ASP
K 0.0
A -0.1609814820374495e-7; B 0.2904007169185752e-12
C -0.614127110640645e-16; D 0.4690737913695037e-20
E -0.2313610952517202e-24; F 0.5577067233107244e-29
G -0.3312707466288583e-34; H -0.1454807561079102e-38
J 0.28488357915185e-43
CIR 151.5900687478678
S -799.6026033403349 -40.97588287936281 'SiO2_A25' CIR 151.9692114886144
S 719.9476489259737 -46.5625 CIR 152.5667661001955
S 0.0 45.625 STO CIR 151.1456615521992
S -232.9857272112585 -61.10758777877856 'SiO2_A25' CIR 151.8354657072381
S -1391.211766470954 -0.9375 CIR 148.8513701611776
S -171.9402138599056 -61.29098007289619 'SiO2_A25' CIR 132.1495482486076
S -363.6757082006581 -0.9375
ASP
K 0.0
A 0.9409390934251139e-7; B -0.1218206249320651e-10
C 0.1173207156151119e-14; D -0.8593312051731178e-19
E 0.5298179392309338e-23; F -0.262881313566226e-27
G 0.9078635385442346e-32; H -0.1852196891730955e-36
J 0.1654326809190812e-41
CIR 124.0815742273488
S -122.7880059746857 -45.30514322860986 'SiO2_A25' CIR 96.20136515371696
S -391.8663861042934 -0.9375
ASP
K 0.0
A 0.1192124146140909e-7; B -0.5369008273944626e-11
C -0.5054779779086847e-15; D 0.1562297602617132e-18
E -0.2282636766952827e-22; F 0.1832188357521997e-26
G -0.6713899013920442e-31; H -0.9944481311781087e-36
J 0.1177320424874634e-39
CIR 86.21161640201233
S -61.31515272715914 -47.33401407429891 'SiO2_A25' CIR 52.39433961051832
S 0.0 -2.8125 'Water' CIR 21.5626410575723
SI 0.0 0.0

（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．２３３
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３７５
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．２３３
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３７５
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．１４２
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．６０８
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．７９６
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．８０１
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．９８１
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０２１（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９９９（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９８１（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０２７（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９８１（第２補正部材Ｃ２）
（８） ＣＡｕ／ＣＡｂ＝０．９９８（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０００（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．７１４（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９６０（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．０２７（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．５００（第２補正部材Ｃ２）
（１１） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＣＡｂ／ＣＡｕ）＝０．９２３（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９７４（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０１９（第２補正部材Ｃ２）
（１３） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０１０（第３補正部材Ｃ３）

［第２実施例］
図１１は、本実施形態の第２実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第２実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、第１実施例と同様に、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、第１平面反射鏡ＦＭ１の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、反射屈折光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、第２平面反射鏡ＦＭ２の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第２中間像を形成する。第２中間像からの光は、屈折光学系としての第３結像ユニットＧ３を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、平行平面板Ｐ１１と、８つのレンズＬ１１〜Ｌ１８と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１２およびＰ１３からなる第１補正部材Ｃ１と、６つのレンズＬ１９〜Ｌ１１４とにより構成されている。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。第２結像ユニットＧ２は、光の進行往路に沿って光の入射側から順に、３つのレンズＬ２１〜Ｌ２３と、光の入射側に凹面を向けた凹面反射鏡ＣＭとにより構成されている。第２結像ユニットＧ２の瞳位置の近傍に配置された凹面反射鏡ＣＭは、第３補正部材Ｃ３を構成している。

第３結像ユニットＧ３は、光の入射側から順に、６つのレンズＬ３１〜Ｌ３６と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ３１およびＰ３２からなる第２補正部材Ｃ２と、１０個のレンズＬ３７〜Ｌ３１６と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズＬ３１７（境界レンズＬｂ）とにより構成されている。第２補正部材Ｃ２は、第３結像ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）からマスク側（物体面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、２つの中間像面（第１結像ユニットＧ１による第１中間像面および第２結像ユニットＧ２による第２中間像面）と、１つの瞳面（第２結像ユニットＧ２の瞳面）とが位置している。第１平面反射鏡ＦＭ１および第２平面反射鏡ＦＭ２は、光路を９０度だけ折り曲げる偏向部材を構成している。
なお、第２実施例においても、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができ、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３を第１〜第３結像光学系と呼ぶことができる。また、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２の各瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。

第２実施例では、第１実施例と同様に、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路に、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３０６ｎｍ）に対して１．４３５８７６の屈折率を有する水が満たされている。また、境界レンズＬｂを含むすべての光透過部材は、使用光の中心波長に対して１．５６０３２６１の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。次の表（２）に、第２実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。

表（２）
（主要諸元）
λ＝１９３．３０６ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝１．３５
Ｒａ＝４ｍｍ
Ｒｂ＝１４．５４ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝５ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 50.0
S 0.0 10.0 1.5603261 CIR 76.60700245751723
S 0.0 1.0 CIR 78.82247685146166
S 200.2493369206191 20.98 1.5603261 CIR 86.16804360651382
S 294.756342227646 20.32378769523729 CIR 86.564805517697
S 231.4647891118107 28.2 1.5603261 CIR 92.64938670881628
S 333.5729970519678 1.0 CIR 92.18516384396976
S 138.6583451691494 27.9 1.5603261 CIR 95.6381247966151
S 251.8460166869481 46.43488634000146
ASP
K 0.0
A 0.7009148389803257e-7; B 0.1832588779278885e-11
C 0.3763863941752869e-16; D -0.5691849514333787e-20
E 0.257921791479503e-23; F -0.6942716717030093e-27
G 0.9796175427741869e-31; H -0.6843563725779751e-35
J 0.1896877998437042e-39
CIR 92.33533308570938
S -4999.999999999997 27.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.1670855523858288e-6; B 0.1247650749239603e-10
C -0.7941141985031352e-15; D 0.1312654718675108e-19
E 0.4328386003376216e-23; F -0.122796881718633e-26
G 0.1814079904414421e-30; H -0.1333021432019688e-34
J 0.3844328243586309e-39
CIR 92.23485241351553
S -228.4851824607919 4.78806620373495 CIR 93.83853742544606
S 166.7006850470554 23.0 1.5603261 CIR 89.32100027628275
S 191.5701056069842 18.58781714050591
ASP
K 0.0
A -0.1805645025451811e-6; B 0.1457393853608223e-10
C -0.1147897148568135e-14; D 0.7414526051960267e-19
E -0.2777631086085111e-22; F 0.6318256911774635e-26
G -0.6172023765212812e-30; H 0.2654700066829551e-34
J -0.3621025176889907e-39
CIR 86.34100981930136
S 168.657658788996 33.32632543850831 1.5603261 CIR 79.12593776701743
S -853.9212665017593 17.27804104335119 CIR 75.25501262067732
S -413.8551859460841 12.0 1.5603261 CIR 63.18381505419028
S 2833.310390808639 43.3230297884872 CIR 57.2511937169824
S -129.4129073629609 13.0 1.5603261 CIR 59.8208138637836
S -145.3487815350866 1.0 CIR 64.35099712365334
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 68.95158598921525
S 0.0 1.0 CIR 70.3893387017298
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 70.67649082604082
S 0.0 37.43716954326456 CIR 72.11424353855537
S -91.7639057669363 18.00842767188962 1.5603261 CIR 72.62202266750299
S -452.1231863398724 4.52520088521965 CIR 97.49342832538059
S -549.4992490576848 25.82163658858059 1.5603261 CIR 102.2541415280666
S -242.5447110922332 1.0 CIR 107.9182642369007
S -3118.741915450667 33.36717958219477 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.3428760129611502e-7; B 0.1481990031463129e-11
C -0.100705435904819e-15; D 0.4818618383634394e-20
E -0.2753338997406382e-24; F 0.1542236390443514e-28
G -0.7227424814175584e-33; H 0.2144476343861245e-37
J -0.3066472776520968e-42
CIR 119.1920567202753
S -263.85401440419 1.0 CIR 123.7029777834782
S 4137.970101070519 67.11119288394228 1.5603261 CIR 137.4011150592203
S -206.5339735474636 1.0 CIR 139.8006360089251
S 216.6135552816912 43.08059984639572 1.5603261 CIR 126.8609754331018
S 958.6387831462264 38.27672984705939 CIR 123.5574407098611
S 1583.788355416751 31.10434036726893 1.5603261 CIR 108.1846945455564
S 3911.162519979975 94.08151066581959
ASP
K 0.0
A 0.3933727922916226e-7; B 0.1209750325870323e-12
C 0.4063493117898908e-17; D -0.1084433728028985e-20
E 0.2757451251764457e-24; F -0.4344659815201796e-28
G 0.412819178998479e-32; H -0.2122928582617826e-36
J 0.4540397939930008e-41
CIR 98.80876112068975
S 0.0 -25.0 REFL(FM1) CIR 147.1025824786995
S -143.2708924443722 -26.72465702742612 1.5603261 CIR 78.29031936609722
S -449.498384589861 -148.2843923019341 CIR 77.16734353860096
S 167.3063311156945 -16.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.5583900240415324e-8; B -0.4327665082733756e-11
C 0.2970680274629553e-15; D 0.184653184911985e-18
E -0.9618803114052752e-22; F 0.4520393771156989e-25
G -0.1093513214333539e-28; H 0.1576659916633068e-32
J -0.1001768863681151e-36
CIR 67.50597299359126
S 238.5381134217574 -46.66154854582906 CIR 69.85994491655735
S 90.4994557279535 -18.0 1.5603261 CIR 70.22294150059933
S 637.7298286180885 -28.82940212480981
ASP
K 0.0
A 0.4755957346291252e-7; B -0.3700499994852688e-11
C 0.298632618087275e-15; D -0.3154788608600966e-19
E 0.4016268248767176e-23; F -0.501990810313913e-27
G 0.4384446679502679e-31; H -0.2054044149840771e-35
J 0.3132597493513006e-40
CIR 88.5830862886035
S 141.3718981914678 28.82940212480981 REFL(CM) CIR 91.20766686145029
S 637.7298286180885 18.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.4755957346291657e-7; B -0.3700499994860287e-11
C 0.298632618093188e-15; D -0.3154788608848957e-19
E 0.4016268249382443e-23; F -0.5019908104068837e-27
G 0.4384446680342181e-31; H -0.2054044150256689e-35
J 0.3132597494382859e-40
CIR 88.58308628860355
S 90.4994557279535 46.66154854582906 CIR 70.2229415005995
S 238.5381134217574 16.0 1.5603261 CIR 69.8599449165575
S 167.3063311156945 148.2843923019341
ASP
K 0.0
A 0.5583900240211621e-8; B -0.4327665081827412e-11
C 0.2970680259007823e-15; D 0.1846531863219363e-18
E -0.9618803187855309e-22; F 0.4520393794241516e-25
G -0.1093513218557292e-28; H 0.1576659920761071e-32
J -0.1001768865321142e-36
CIR 67.5059729935915
S -449.498384589861 26.72465702742612 1.5603261 CIR 77.167343538601
S -143.2708924443722 25.0 CIR 78.290319366097
S 0.0 -80.0 REFL(FM2) CIR 157.9531691163233
S -2305.858270031141 -31.0 1.5603261 CIR 100.9462262162529
S 346.242402115098 -1.0 CIR 103.596474424108
S -275.8120647278547 -33.0 1.5603261 CIR 109.6327592351186
S 27915.62589125666 -1.0 CIR 109.0482988507884
S -206.8428518669621 -33.46089540993823 1.5603261 CIR 106.3073460868591
S -898.5377232199435 -1.0 CIR 103.6898848601172
S -272.9070336506144 -27.18600457895031 1.5603261 CIR 98.99146014036002
S -2373.703799577038 -8.693914454039186 CIR 95.19429497121898
S 845.3515471301819 -18.0 1.5603261 CIR 94.31030178703684
S -118.6710363541025 -43.65957043812812 CIR 78.86298026590268
S 264.4215739158636 -16.0 1.5603261 CIR 78.8774639716251
S -141.8932313604963 -31.17208008010393
ASP
K 0.0
A 0.5594056138753629e-7; B -0.2368945886457294e-11
C 0.7048062483887555e-15; D -0.6527438917017777e-19
E 0.104695733468548e-22; F -0.1422715126774761e-26
G 0.127634285898013e-30; H -0.6658534600676847e-35
J 0.1577351416199361e-39
CIR 85.05981092457354
S 0.0 -10.00000000000391 1.5603261 CIR 89.69252995230562
S 0.0 -1.0 CIR 93.84514526014671
S 0.0 -10.00000000000393 1.5603261 CIR 94.59202667632798
S 0.0 -2.197534797615539 CIR 98.74464198416908
S -369.2618576195928 -28.0741244496914 1.5603261 CIR 113.8126913201363
S -466.7920236016304 -5.788390035554578
ASP
K 0.0
A -0.3923554325449941e-7; B 0.2147265153916602e-11
C -0.1399176772735086e-15; D 0.2298912482454124e-19
E -0.2273925380230968e-23; F 0.1227570393957229e-27
G -0.3674054996462827e-32; H 0.524802449457065e-37
J -0.2130264925497659e-42
CIR 120.9681730964655
S -271.1455523922338 -28.72765413160387 1.5603261 CIR 140.3802916622808
S -483.7542431069629 -1.0 CIR 141.3957047034132
S -275.8037884902083 -36.7240910230584 1.5603261 CIR 149.9889662058005
S -1140.989828534551 -46.91284914840689
ASP
K 0.0
A 0.3366676721647656e-8; B -0.1657621622038372e-11
C 0.2137536014622266e-15; D -0.253236752748408e-19
E 0.1680464215792855e-23; F -0.6638767950768438e-28
G 0.1530196890610257e-32; H -0.189994024789334e-37
J 0.1036798114874458e-42
CIR 149.5550743507921
S 565.4711150616952 -37.65005647188136 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.2511698139652333e-7; B -0.2207263767188628e-11
C 0.323888518651729e-15; D -0.2765723816139656e-19
E 0.1221156927942321e-23; F -0.2516219571288884e-28
G -0.812240398807257e-34; H 0.1410447878383558e-37
J -0.1868989645392163e-42
CIR 150.2652869398537
S 351.9765247674748 -1.0 CIR 157.104263510862
S 1191.539897458297 -40.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.6492401042944656e-8; B 0.1397684329672922e-11
C -0.1750285297380683e-15; D 0.1535336631095389e-19
E -0.6908310874124358e-24; F 0.1435807043175586e-28
G 0.5317294398207926e-34; H -0.9373594674535955e-38
J 0.1373570872787262e-42
CIR 159.1297687227697
S 281.6824772143962 -1.0 CIR 161.9939334235475
S -1938.709261912418 -32.0 1.5603261 CIR 162.6011378190103
S -4999.999999999999 -1.0
ASP
K 0.0
A -0.1553952720982023e-7; B 0.1297184861684532e-12
C -0.2715895230306379e-16; D 0.2364762020169299e-20
E -0.9560685388910312e-25; F 0.8507529679059445e-30
G 0.4311928160464749e-34; H -0.1369649059613329e-38
J 0.1331534391516915e-43
CIR 161.66265038607
S -856.6666206962605 -42.0 1.5603261 CIR 162.0337094944572
S 906.5355914623309 -52.0 CIR 162.6407524528943
S 0.0 51.0 STO CIR 161.6209919896419
S -258.8134467850274 -61.27978644947457 1.5603261 CIR 161.9711984278348
S -1408.181296315806 -1.0 CIR 158.9977054484348
S -186.90610405275 -69.28667055390994 1.5603261 CIR 143.2102488849212
S -420.9905400121687 -1.0
ASP
K 0.0
A 0.9189883102268336e-7; B -0.1031522033147976e-10
C 0.8299343476178452e-15; D -0.5127533828628468e-19
E 0.2611498524206514e-23; F -0.1050741980096239e-27
G 0.2959018250231586e-32; H -0.4996230318703132e-37
J 0.3746090133939515e-42
CIR 134.4831074810166
S -130.4838421249915 -49.57887911994793 1.5603261 CIR 103.1091838998436
S -450.4416568823462 -1.0
ASP
K 0.0
A -0.1218965973121416e-7; B 0.1190409212898798e-11
C -0.1140198960786639e-14; D 0.1999834556676476e-18
E -0.23466402468636e-22; F 0.1847563098543386e-26
G -0.9336901878687093e-31; H 0.2550859373287529e-35
J -0.2538577044743534e-40
CIR 92.54095337498414
S -65.31846308020069 -50.65155732620378 1.5603261 CIR 55.91174984240008
S 0.0 -3.0 1.435876 CIR 22.95015046141045
SI 0.0 0.0

（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．３８７
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３５１
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．３８７
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３５１
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１４
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．０３６
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．７３８
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．６９６
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．７９７
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．９８３
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．００７（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９９９（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９８２（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０２７（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９８０（第２補正部材Ｃ２）
（８） ＣＡｕ／ＣＡｂ＝０．９９７（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝１．００４（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．７３７（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９８２（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．０３５（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．５３２（第２補正部材Ｃ２）
（１１） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＣＡｂ／ＣＡｕ）＝０．９６７（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９７４（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０２０（第２補正部材Ｃ２）
（１３） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．００３（第３補正部材Ｃ３）

［第３実施例］
図１２は、本実施形態の第３実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第３実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、第１実施例および第２実施例と同様に、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、第１平面反射鏡ＦＭ１の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、反射屈折光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、第２平面反射鏡ＦＭ２の近傍の光軸から離れた位置にマスクパターンの第２中間像を形成する。第２中間像からの光は、屈折光学系としての第３結像ユニットＧ３を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、平行平面板Ｐ１１と、８つのレンズＬ１１〜Ｌ１８と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１２およびＰ１３からなる第１補正部材Ｃ１と、６つのレンズＬ１９〜Ｌ１１４とにより構成されている。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。第２結像ユニットＧ２は、光の進行往路に沿って光の入射側から順に、３つのレンズＬ２１〜Ｌ２３と、光の入射側に凹面を向けた凹面反射鏡ＣＭとにより構成されている。第２結像ユニットＧ２の瞳位置の近傍に配置された凹面反射鏡ＣＭは、第３補正部材Ｃ３を構成している。

第３結像ユニットＧ３は、光の入射側から順に、６つのレンズＬ３１〜Ｌ３６と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ３１およびＰ３２からなる第２補正部材Ｃ２と、１０個のレンズＬ３７〜Ｌ３１６と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズＬ３１７（境界レンズＬｂ）とにより構成されている。第２補正部材Ｃ２は、第３結像ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）からマスク側（物体面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、２つの中間像面（第１結像ユニットＧ１による第１中間像面および第２結像ユニットＧ２による第２中間像面）と、１つの瞳面（第２結像ユニットＧ２の瞳面）とが位置している。第１平面反射鏡ＦＭ１および第２平面反射鏡ＦＭ２は、光路を９０度だけ折り曲げる偏向部材を構成している。
なお、第３実施例においても、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができ、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３を第１〜第３結像光学系と呼ぶことができる。また、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２の各瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。

第３実施例では、第１実施例および第２実施例と同様に、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路に、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３０６ｎｍ）に対して１．４３５８７６の屈折率を有する水が満たされている。また、境界レンズＬｂを含むすべての光透過部材は、使用光の中心波長に対して１．５６０３２６１の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。次の表（３）に、第３実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。

表（３）
（主要諸元）
λ＝１９３．３０６ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝１．３５
Ｒａ＝４ｍｍ
Ｒｂ＝１４．５４ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝５ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 50.0
S 0.0 10.0 1.5603261 CIR 76.60692180492274
S 0.0 1.0 CIR 78.8223641666671
S 163.4714345316295 20.98 1.5603261 CIR 88.51675220263027
S 174.0438634421736 20.66777700424838 CIR 87.79175704094038
S 188.1136373917615 28.2 1.5603261 CIR 94.63281198673069
S 596.0826876875858 1.0 CIR 94.24709347742693
S 137.6823363728649 27.9 1.5603261 CIR 95.21317133031725
S 193.953040505624 47.34278326157193
ASP
K 0.0
A 0.6820440079709235e-7; B 0.3288835105229799e-11
C 0.1087373222439615e-15; D 0.9479639102917208e-20
E 0.4017937612224253e-24; F -0.3832333731204465e-27
G 0.8000358842118681e-31; H -0.6931628668168958e-35
J 0.2234844290918948e-39
CIR 89.70782714389615
S -564.4768239113386 27.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.1792419543309892e-6; B 0.6505146205447286e-11
C 0.1808525461540181e-15; D -0.1650282703110289e-18
E 0.3580160524915177e-22; F -0.5676839623303248e-26
G 0.6046428312880922e-30; H -0.3785429399743764e-34
J 0.1029255951927903e-38
CIR 89.71544197057821
S -178.8826306378576 1.0 CIR 93.1052254091595
S 141.2961128788091 40.26251776115807 1.5603261 CIR 91.64401663701658
S 269.8817347390934 2.361975781855824
ASP
K 0.0
A -0.2042525827923615e-6; B 0.2007814037711963e-10
C -0.3864506934044541e-15; D -0.4757542189441706e-18
E 0.1255809481536133e-21; F -0.1624755208754856e-25
G 0.1209922831241383e-29; H -0.4977780060399905e-34
J 0.8848547020237841e-39
CIR 87.20435566735108
S 441.3672420983558 24.61728102049258 1.5603261 CIR 86.22900999480831
S -587.7025390557377 25.21579016931245 CIR 82.96988790082696
S -1928.854672883683 12.0 1.5603261 CIR 62.17028665001971
S -1844.694751362882 51.73515030303353 CIR 57.63173075670043
S -85.364446142869 13.0 1.5603261 CIR 56.79048144056544
S -117.2090648629355 1.0 CIR 63.84137020469756
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 70.74574310042226
S 0.0 1.0 CIR 72.46370315006935
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 72.81044139138794
S 0.0 36.13013314644334 CIR 74.52840144103503
S -99.22937913288293 17.0 1.5603261 CIR 75.12708211654919
S -664.6333943291041 1.0 CIR 100.841948091788
S -11674.5468005536 24.64428485973507 1.5603261 CIR 108.7592160061639
S -437.6021520280287 1.0 CIR 113.8346143531161
S -2351.645221306413 46.64264776975997 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.2867879107871531e-7; B 0.1685362879552979e-11
C -0.1430764328675409e-15; D 0.6346320883820365e-20
E -0.2698800919494648e-24; F 0.1524186035272372e-28
G -0.8941584880630049e-33; H 0.3200627884550222e-37
J -0.5030385246583236e-42
CIR 119.4676164904928
S -197.5651174996494 5.218010956933229 CIR 124.3241504719914
S -4548.413066811702 62.79424941192571 1.5603261 CIR 139.4073071068998
S -210.6041740319367 1.0 CIR 141.5726423349632
S 194.8030206276277 46.95888588723913 1.5603261 CIR 124.3745182951222
S 913.7793581269843 7.310331072720613 CIR 120.5160263976301
S 3278.199050967317 23.9 1.5603261 CIR 119.6950810707665
S 4033.723516024433 104.560127989945
ASP
K 0.0
A 0.38852703392776e-7; B 0.3783132506179641e-13
C -0.6889081890159379e-18; D -0.3674306493956471e-21
E 0.7361793845428412e-25; F -0.8869137914615057e-29
G 0.6699634810284345e-33; H -0.276491478661576e-37
J 0.4707495093724702e-42
CIR 110.2086278220394
S 0.0 -25.0 REFL(FM1) CIR 167.2466248186007
S -152.8357692636603 -32.15577288691076 1.5603261 CIR 82.817372465955
S -599.2333680321976 -142.0062641824815 CIR 81.33053204075399
S 115.0606509882796 -14.75910329480399 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.3314926526489702e-7; B -0.8548574615667326e-11
C 0.6914701868781849e-15; D -0.1125766696842744e-18
E 0.66517961779668e-22; F -0.2251796811108014e-25
G 0.4315465520852687e-29; H -0.5046009533411928e-33
J 0.2438641334141446e-37
CIR 70.205246907823
S 167.0259522422779 -39.57372428087203 CIR 73.6164200280685
S 101.9425463093284 -17.21061962379319 1.5603261 CIR 73.5622562289625
S 812.4273100927173 -29.81674671197953
ASP
K 0.0
A 0.4077865758083002e-7; B -0.4740154942338998e-11
C 0.3830976492963081e-15; D -0.3925310139623697e-19
E 0.5316521520699435e-23; F -0.781753035442325e-27
G 0.8860878603010958e-31; H -0.6228051517399147e-35
J 0.1903892156127556e-39
CIR 87.9375188248585
S 140.9742810080678 29.81674671197953 REFL(CM) CIR 89.56796085786766
S 812.4273100927173 17.21061962379319 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.4077865758083493e-7; B -0.4740154942348646e-11
C 0.3830976493042171e-15; D -0.3925310139976778e-19
E 0.5316521521642044e-23; F -0.7817530355972467e-27
G 0.8860878604549045e-31; H -0.6228051518246232e-35
J 0.1903892156326581e-39
CIR 87.93751882485874
S 101.9425463093284 39.57372428087203 CIR 73.56225622896267
S 167.0259522422779 14.75910329480399 1.5603261 CIR 73.61642002806858
S 115.0606509882796 142.0062641824815
ASP
K 0.0
A -0.3314926526523749e-7; B -0.85485746136701e-11
C 0.691470182346138e-15; D -0.112576664299921e-18
E 0.66517958072652e-22; F -0.225179665882782e-25
G 0.4315465155868831e-29; H -0.5046009068183944e-33
J 0.2438641094973576e-37
CIR 70.20524690782284
S -599.2333680321976 32.15577288691076 1.5603261 CIR 81.33053204075395
S -152.8357692636603 25.0 CIR 82.81737246595502
S 0.0 -80.0 REFL(FM2) CIR 177.2609345294405
S -9458.154790266797 -35.2313832381031 1.5603261 CIR 110.8970975783701
S 271.87932037044 -1.0 CIR 112.870313654231
S -259.4005092688892 -33.0 1.5603261 CIR 115.924203381002
S -1494.935153621139 -1.0 CIR 114.5221549576165
S -211.0342993946923 -31.0 1.5603261 CIR 109.7263317832461
S -581.8141627058169 -1.0 CIR 106.4943924637687
S -277.9411410987319 -25.9 1.5603261 CIR 102.2095299956425
S -1165.210157349251 -12.17898907877671 CIR 97.98923736307312
S 726.9779758272081 -18.0 1.5603261 CIR 97.02498485711564
S -118.2422094517889 -41.3733464703607 CIR 80.46985377534314
S 406.8223663723441 -16.0 1.5603261 CIR 80.50402159425023
S -133.5284265737336 -32.14364807813184
ASP
K 0.0
A 0.361936198298351e-7; B 0.232332757709958e-11
C -0.1305947056760356e-15; D 0.1507957912911365e-18
E -0.2860409770538982e-22; F 0.3684259505544233e-26
G -0.3223677982105408e-30; H 0.1790235885856842e-34
J -0.4843543392167335e-39
CIR 84.8308940184214
S 0.0 -10.0000000000115 1.5603261 CIR 88.4522466490823
S 0.0 -1.0 CIR 92.40504306293748
S 0.0 -10.00000000001151 1.5603261 CIR 93.1052587657003
S 0.0 -3.169343978603417 CIR 97.0580551795555
S -379.731583815582 -28.75160508253971 1.5603261 CIR 110.8609742725119
S -507.4325762371788 -7.782952793504887
ASP
K 0.0
A -0.3927797536423384e-7; B 0.9490404895112939e-12
C 0.7361043100916401e-16; D -0.143351627208948e-20
E -0.3990082133356255e-24; F 0.3877110411257187e-28
G -0.2180523498033813e-32; H 0.7045387355237335e-37
J -0.104541435924117e-41
CIR 118.0054995914667
S -263.2386680098106 -29.691211766146 1.5603261 CIR 140.4797060803932
S -471.9181573044791 -3.387997285263786 CIR 141.3036629984362
S -273.146286908057 -38.61813904132241 1.5603261 CIR 149.947475223516
S -1306.960868546584 -48.14691467553357
ASP
K 0.0
A 0.4159279009742075e-8; B -0.5187242310920805e-12
C -0.3102017567814053e-16; D -0.1809718203426595e-20
E 0.3227210574790941e-24; F -0.1644502952666074e-28
G 0.3977010421236449e-33; H -0.4620903488202398e-38
J 0.2189066773346789e-43
CIR 149.3512358164094
S 522.3405419898537 -37.8085460738263 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.2109595755982378e-7; B -0.3073123841552396e-12
C 0.172511564653983e-16; D -0.4318344610031966e-20
E 0.3327389147507158e-24; F -0.1115493465627187e-28
G 0.5433032665339803e-34; H 0.5753102078994894e-38
J -0.1023368868201228e-42
CIR 150.0097472637225
S 365.475999813085 -1.739788291300496 CIR 157.6560950096943
S 1319.736656439152 -40.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.134815893410118e-7; B 0.15376226895681e-12
C -0.5076324675658641e-17; D 0.2436608160853156e-20
E -0.2152946235318145e-24; F 0.9702169301502175e-29
G -0.2509512423097804e-33; H 0.2912136717467778e-38
J -0.5694819360154327e-44
CIR 159.8099067440782
S 289.9403800515067 -1.0 CIR 162.5669777789964
S -2418.729418577736 -32.0 1.5603261 CIR 162.5628520152098
S -5000.0 -1.0
ASP
K 0.0
A -0.1236264069299949e-7; B -0.1282398036814769e-12
C -0.3719428519519095e-17; D 0.4810279621579066e-21
E -0.4529787745714262e-25; F 0.184847971897719e-29
G -0.481252531992485e-34; H 0.7982494251293501e-39
J -0.5899880051902654e-44
CIR 161.556214658191
S -828.3701186978542 -44.10866581529948 1.5603261 CIR 161.9793558121783
S 771.1314760529214 -48.0 CIR 162.6338890943552
S 0.0 47.0 STO CIR 161.4740767086008
S -268.8138219254615 -56.71756688989315 1.5603261 CIR 161.9044063024951
S -1335.855453274339 -1.0 CIR 159.3997491610973
S -205.2947313886112 -69.83321003908002 1.5603261 CIR 146.3886085920489
S -595.4955195517123 -1.0
ASP
K 0.0
A 0.7385960464084912e-7; B -0.7025124574794629e-11
C 0.5279532449502142e-15; D -0.3055153955134537e-19
E 0.1384389203950308e-23; F -0.4857386209563287e-28
G 0.122352885071103e-32; H -0.1920847611367425e-37
J 0.1383801864280739e-42
CIR 138.6769804801989
S -128.3335295378918 -49.32318767972791 1.5603261 CIR 102.2456415126088
S -423.8231502810654 -1.0
ASP
K 0.0
A -0.2321489332340922e-7; B 0.24967814936012e-11
C -0.1276439794547601e-14; D 0.241284522174375e-18
E -0.325029799060697e-22; F 0.3093652181074322e-26
G -0.1997120563661343e-30; H 0.7707377214078065e-35
J -0.1350328554090161e-39
CIR 91.64723131110317
S -65.31846308020059 -50.65155732620374 1.5603261 CIR 55.91174984240001
S 0.0 -3.0 1.435876 CIR 22.95015046141045
SI 0.0 0.0

（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．５８１
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３８２
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．１１４＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．５８１
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．１１４＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．３８２
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．１１４
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．１９９
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．９６３
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．６０２
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．７８５
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．８９１
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０１１（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９９９（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９６８（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０２７（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９７６（第２補正部材Ｃ２）
（８） ＣＡｕ／ＣＡｂ＝１．０００（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９９５（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．７１３（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９９６（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．０１６（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．４９６（第２補正部材Ｃ２）
（１１） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＣＡｂ／ＣＡｕ）＝０．９９２（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９７４（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０２５（第２補正部材Ｃ２）
（１３） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０６７（第３補正部材Ｃ３）

［第４実施例］
図１３は、本実施形態の第４実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第４実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、光軸から離れた位置に第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、一対の凹面反射鏡ＣＭ１とＣＭ２とからなる反射光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、光軸から離れた位置に第２中間像を形成する。第２中間像からの光は、屈折光学系としての第３結像ユニットＧ３を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。ここで、第４実施例においても、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができる。
また、第４実施例においては、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３は、それぞれの結像ユニットの光軸が互いに共軸となっており、投影光学系ＰＬは１本の直線状に延びた光軸を有する。なお、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３を第１〜第３結像光学系と呼ぶことができる。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、平行平面板Ｐ１１と、６つのレンズＬ１１〜Ｌ１６と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１２およびＰ１３からなる第１補正部材Ｃ１と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１４およびＰ１５からなる第２補正部材Ｃ２と、４つのレンズＬ１７〜Ｌ１１０とにより構成されている。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からマスク側（物体面側）に配置されている。第２補正部材Ｃ２は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、１つの瞳面（第１結像ユニットＧ１の瞳面）が位置している。

第３結像ユニットＧ３は、光の入射側から順に、１０個のレンズＬ３１〜Ｌ３１０と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ３１およびＰ３２からなる第３補正部材Ｃ３と、３つのレンズＬ３１１〜Ｌ３１３と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズＬ３１４（境界レンズＬｂ）とにより構成されている。第３補正部材Ｃ３は、第３結像ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）の近傍に配置されている。ここで、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２の各瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。

第４実施例では、第１実施例〜第３実施例と同様に、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路に、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３０６ｎｍ）に対して１．４３５８７６の屈折率を有する水が満たされている。また、境界レンズＬｂを含むすべての光透過部材は、使用光の中心波長に対して１．５６０３２６１の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。表（４）のレンズデータの欄において、REFL(CM1)は凹面反射鏡ＣＭ１の反射面を、REFL(CM2)は凹面反射鏡ＣＭ２の反射面を示している。次の表（４）に、第４実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。

表（４）
（主要諸元）
λ＝１９３．３０６ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝１．３５
Ｒａ＝５．６ｍｍ
Ｒｂ＝１５．３２ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝５ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 30.0
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 72.75779969395933
S 0.0 3.0 CIR 74.53034484068112
S 145.4851362052943 45.36703149333058 1.5603261 CIR 85.58862974004249
S -393.4091310582861 49.64423044812114
ASP
K 0.0
A 0.3111345634313794e-7; B 0.4274784186932709e-11
C -0.1261219879893561e-14; D 0.3161271637211313e-18
E -0.8041537313757898e-22; F 0.1580191247501999e-25
G -0.1948762141670179e-29; H 0.1317599768117247e-33
J -0.3729862514069936e-38
CIR 84.86573372822912
S -68315.25938138469 12.0 1.5603261 CIR 74.19981296824761
S 200.6334247796518 0.8142379640925881
ASP
K 0.0
A -0.6621137446039807e-7; B -0.2891249084655952e-10
C 0.4239595330308564e-14; D -0.4514027965412637e-18
E 0.3053599241222289e-22; F 0.298622083359266e-25
G -0.1030407808870622e-28; H 0.1355359664961392e-32
J -0.6402879679509102e-37
CIR 71.6073261803858
S 240.3409392603186 12.41203067860117 1.5603261 CIR 71.4806653445751
S 178.9303271858941 5.95037796570062 CIR 69.10335902852856
S 270.5911647852232 15.0927962039532 1.5603261 CIR 69.09218563817412
S -929.7335893377926 9.526596833986153
ASP
K 0.0
A 0.1974807449487394e-6; B 0.2409379212019413e-10
C 0.3943515404724108e-14; D -0.18750112733217e-17
E 0.6285266910285877e-21; F -0.1884707561331461e-24
G 0.3731435690750807e-28; H -0.3766363342637835e-32
J 0.1397709713188909e-36
CIR 68.03263922409863
S 219.7856725616435 14.03216416911019 1.5603261 CIR 69.10415870930187
S 330.2935282109293 1.09587712503348 CIR 68.33559719062826
S 120.9947607476901 36.87471291642205 1.5603261 CIR 68.3105889352573
S -403.342070254464 1.651900483149431 CIR 65.88519805416846
S -2366.493731106742 12.0 1.5603261 CIR 62.64099415004362
S -7133.902556436733 5.044961863357802
ASP
K 0.0
A 0.1583247920329411e-7; B 0.1472981110756254e-10
C -0.1296375177588865e-13; D 0.245480816070559e-16
E -0.1923586328486366e-19; F 0.9131755116604167e-23
G -0.2631831394405066e-26; H 0.425141551425402e-30
J -0.290522894415693e-34
CIR 58.51224147124591
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 56.98642309886478
S 0.0 0.0 CIR 55.11131755722767
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 55.11131755
S 0.0 6.0 CIR 53.236212
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 53.11909735242309
S 0.0 0.0 CIR 54.55339932795161
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 54.55339935
S 0.0 6.237273026607 CIR 55.9877013
S 300.7455795205888 42.66128552270055 1.5603261 CIR 59.47551742349661
S -110.1935829617628 5.904727726293126 CIR 61.29540812993132
S -112.7220020532478 14.76330404480606 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.2462966223726127e-6; B -0.2149357574687737e-10
C -0.285297203096197e-14; D 0.4406097817013035e-18
E -0.5808794504338973e-21; F 0.268182363716565e-24
G -0.8350294477587152e-28; H 0.1388050027421282e-31
J -0.1101511972706145e-35
CIR 61.00603547309268
S -85.8768540026814 2.799887307436188 CIR 63.48963393851048
S -84.3172382182906 17.53172189735836 1.5603261 CIR 62.89608417298725
S -86.54484917336708 7.201252090802639 CIR 66.57022554143607
S -82.31459028936817 12.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.6179043439490821e-7; B 0.1180348903397621e-10
C 0.1266542902294212e-14; D 0.1096949351017635e-18
E 0.3479195574112621e-22; F -0.1038496061296726e-25
G 0.504287217507029e-29; H -0.893278702419737e-33
J 0.8343310859914801e-37
CIR 63.34013902405471
S 810.1125492076101 425.77394537393 CIR 71.11304871389929
S -236.5006661836832 -339.5025925371031 REFL
ASP
K -0.4045645227935771
CUF 0.0
A 0.6326679222544917e-9; B 0.1383669125775656e-14
C -0.5270499247943131e-21; D 0.3501739628761104e-24
E -0.2397755936044579e-28; F 0.83791774505376e-33
G -0.1789429505012304e-37; H 0.2121451179596552e-42
J -0.115315919905238e-47
CIR 219.6128576396858
S 295.9660800087922 389.502592537103 REFL
ASP
K -1.707154377169867 CUF 0.0
A 0.7012680172203512e-8; B 0.1305178248999478e-14
C 0.1965999975699913e-19; D 0.6389302045615129e-23
E -0.2431820991445791e-27; F 0.5874642580441685e-32
G -0.8649004063218681e-37; H 0.7121199735796514e-42
J -0.2526901548584509e-47
CIR 235.308763840904
S 295.8743177820886 45.94759800435186 1.5603261 CIR 150.0823515390443
S 1555.913905550986 1.395782191921879 CIR 146.7598201272101
S 547.4568916684684 15.36674876445077 1.5603261 CIR 141.6861529976995
S 165.9432499950626 180.997763174297
ASP
K 0.0
A -0.5462604079119157e-7; B -0.1263012332604856e-11
C -0.195258134065826e-16; D 0.3611241526969733e-20
E -0.5424465562661557e-24; F 0.5134406036761078e-28
G -0.3015259031600678e-32; H 0.9604370214603085e-37
J -0.1312942661432389e-41
CIR 129.2963825214225
S -225.5574085930466 16.0 1.5603261 CIR 96.01124761043707
S -190.5216952091591 22.11003490016927 CIR 96.1032834691739
S -176.7122337032468 25.85770449760043 1.5603261 CIR 86.50705490416004
S 105.3700132795065 30.87497717917313
ASP
K 0.0
A -0.1897398325427052e-6; B 0.5571731746649382e-11
C -0.248513028667802e-14; D 0.5153904387892856e-18
E -0.1051848791486384e-21; F 0.164850843379237e-25
G -0.1881537268110852e-29; H 0.1305442775378752e-33
J -0.4245011830617231e-38
CIR 86.42109328506521
S 261.1518929625271 24.84542493217111 1.5603261 CIR 97.57493905578339
S -624.2276104527746 4.543622472650183
ASP
K 0.0
A 0.1063804689236821e-6; B -0.1525648940191519e-11
C 0.2269599683604976e-15; D 0.4236896927254702e-19
E 0.2032657259611588e-23; F -0.172429054367104e-26
G 0.2512794817852777e-30; H -0.1834981364978382e-34
J 0.5196745776710281e-39
CIR 99.34758988887522
S 5515.438155587502 33.10432549118207 1.5603261 CIR 100.1677985850295
S 242.1533730420658 43.89252053605544
ASP
K 0.0
A -0.5155285829371853e-7; B 0.1284923111521807e-11
C 0.2278286968546491e-15; D -0.8997784497443399e-19
E 0.1043870285078453e-22; F -0.749214583342085e-27
G 0.3628534441254094e-31; H -0.1086280576297168e-35
J 0.1489182825264256e-40
CIR 117.8338745374705
S -1285.500547588613 24.26203098010687 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.2900573259960314e-7; B -0.3854635357923479e-11
C 0.3111567147544671e-15; D -0.6451717906821843e-20
E -0.1535822959629415e-23; F 0.2289596752932702e-27
G -0.1559649018024322e-31; H 0.5318125826428666e-36
J -0.7282656839237716e-41
CIR 122.8517203564137
S -301.4925747011012 6.695363984964581 CIR 129.8123247019263
S -2926.097807526583 50.0289441115705 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.3593551098313398e-7; B 0.23854307667084e-11
C -0.1459129466310567e-15; D 0.5934093976531744e-20
E -0.2378453899014771e-24; F 0.1018082546735628e-28
G -0.36804517670437e-33; H 0.8076060724175014e-38
J -0.8580968727769309e-43
CIR 145.4471603439651
S -244.697387993982 1.000000000249392 CIR 151.0480450120288
S -309.6875206999293 42.79914397820607 1.5603261 CIR 155.6536028913617
S -211.1648568866537 1.000000000000008 CIR 160.6487894351687
S -303.4535826390777 32.612533073537 1.5603261 CIR 165.0148077173198
S -235.670522546712 1.0 CIR 168.4626878813869
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 167.8569552519798
S 0.0 0.0 CIR 167.8137406894656
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 167.8137407
S 0.0 2.0 CIR 167.77052615
S 313.8607466195004 60.02670730809381 1.5603261 CIR 167.3462616180913
S -44219433.19726914 17.0 CIR 164.8338912158523
S 0.0 -15.0 STO CIR 159.5438185931268
S 181.2045100496967 67.51928500335079 1.5603261 CIR 145.5448098856924
S 391.1204751723359 1.0
ASP
K 0.0
A -0.357127726642754e-7; B 0.1357523048562144e-11
C -0.6477272948358842e-16; D 0.1854644054935488e-20
E 0.3906681726437694e-25; F -0.370450095797961e-29
G 0.6102516621975171e-34; H 0.6270022236693386e-39
J -0.1744747469780269e-43
CIR 139.0444716953745
S 123.5687497629095 55.96182786856351 1.5603261 CIR 105.093867248886
S 533.7119803144433 1.0
ASP
K 0.0
A 0.5914314078308663e-7; B 0.2103221254213935e-11
C -0.2246476323750983e-15; D 0.1275193517583264e-19
E 0.1976720143701352e-23; F -0.6469643969345099e-27
G 0.7603040070901787e-31; H -0.4511503974487933e-35
J 0.1088525321569598e-39
CIR 93.78444909778597
S 69.60809733137023 51.77734641254171 1.5603261 CIR 58.39219429951868
S 0.0 3.0 1.435876 CIR 23.78015046141045
SI 0.0 0.0

（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．０６０
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．０６４
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１８＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．０６０
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１８＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．０６４
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０１８
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．００４
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．１２４
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．９５４
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．９４９
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．９７１
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．００６（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．００５（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９９６（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０１１（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０１１（第２補正部材Ｃ２）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９９７（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９５８（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０４１（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０１７（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．９２７（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．０９６（第２補正部材Ｃ２）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．０３２（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９８９（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９８９（第２補正部材Ｃ２）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．００３（第３補正部材Ｃ３）

［第５実施例］
図１４は、本実施形態の第５実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第５実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、第４実施例と同様に、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、光軸から離れた位置に第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、一対の凹面反射鏡ＣＭ１とＣＭ２とからなる反射光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、光軸から離れた位置に第２中間像を形成する。第２中間像からの光は、屈折光学系としての第３結像ユニットＧ３を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。第５実施例においても、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができる。
また、第５実施例においても、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３は、それぞれの結像ユニットの光軸が互いに共軸となっており、投影光学系ＰＬは１本の直線状に延びた光軸を有する。なお、第１〜第３結像ユニットＧ１〜Ｇ３を第１〜第３結像光学系と呼ぶことができる。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、６つのレンズＬ１１〜Ｌ１６と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１１およびＰ１２からなる第１補正部材Ｃ１と、レンズＬ１７と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１３およびＰ１４からなる第２補正部材Ｃ２と、２つのレンズＬ１８およびＬ１９とにより構成されている。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からマスク側（物体面側）に配置されている。第２補正部材Ｃ２は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、１つの瞳面（第１結像ユニットＧ１の瞳面）が位置している。

第３結像ユニットＧ３は、光の入射側から順に、９つのレンズＬ３１〜Ｌ３９と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ３１およびＰ３２からなる第３補正部材Ｃ３と、３つのレンズＬ３１０〜Ｌ３１２と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズＬ３１３（境界レンズＬｂ）とにより構成されている。第３補正部材Ｃ３は、第３結像ユニットＧ３の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）の近傍に配置されている。ここで、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２の各瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。

第５実施例では、第１実施例〜第４実施例とは異なり、境界レンズＬｂとウェハＷとの間の光路に、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３７ｎｍ）に対して１．４３６１８２の屈折率を有する水が満たされている。また、境界レンズＬｂを含むすべての光透過部材は、使用光の中心波長に対して１．５６０１８８の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。表（５）のレンズデータの欄において、REFL(CM1)は凹面反射鏡ＣＭ１の反射面を、REFL(CM2)は凹面反射鏡ＣＭ２の反射面を示している。次の表（５）に、第５実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。

表（５）
（主要諸元）
λ＝１９３．３７ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝１．３５
Ｒａ＝６．３ｍｍ
Ｒｂ＝１５．７ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝５ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 40.1378903116523
S 261.0532855071198 54.88192113979026 1.560188 CIR 82.3739861140121
S -266.9104526317861 1.00000310065289
ASP
K 0.0
A 0.5894400179616041e-7; B 0.1457009342237706e-12
C -0.8614340246488096e-16; D 0.1464412374215961e-19
E -0.2509201300787248e-23; F 0.3039099241284139e-27
G -0.1200628861149666e-31; H 0.0; J 0.0
CIR 85.01299143077128
S 175.730693223658 7.999828545501078 1.560188 CIR 85.95912938357685
S 124.5084623406007 24.18144841275286 CIR 82.90652744503798
S 234.5789830676253 63.75863694642862 1.560188 CIR 84.89676594145641
S -221.8776883722626 1.000395856948152 CIR 84.9178022567373
S -2194.540198880003 17.3573090689406 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.4508807058038935e-6; B 0.1630563199341085e-10
C 0.2347725051346788e-14; D -0.114690172180535e-18
E -0.4000690682480089e-23; F -0.2328516696380625e-27
G 0.5044254857742966e-31; H 0.0; J 0.0
CIR 84.18670134366937
S -158.574804800203 2.37840625617793 CIR 84.2328192483233
S -161.9141796424364 33.42010543569471 1.560188 CIR 82.53019050050341
S -155.1006346631319 1.0
ASP
K 0.0
A -0.1880863755728269e-6; B 0.3230706978769162e-10
C -0.3896886875582085e-14; D 0.5706744717282543e-18
E -0.5224885560084825e-22; F 0.2789931563204562e-26
G -0.7922711798451244e-31; H 0.0; J 0.0
CIR 82.27389118970903
S 1292.8716318034 16.98462476748442 1.560188 CIR 69.25446121769268
S 5190370.475281678 1.021717680355304 CIR 64.75933996881874
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 64.25807100602191
S 0.0 1.0 CIR 61.95110020215426
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 61.48132744049835
S 0.0 11.18709946296611 CIR 59.27082348651569
S 296.8523976341224 43.81463142800177 1.560188 CIR 52.67650930206284
S -761.0180822465001 1.82785586035 CIR 51.89484380322152
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 52.8558158680765
S 0.0 1.0 CIR 54.1969472708445
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 54.463935343193
S 0.0 65.70930367791 CIR 55.805066745961
S -178.2216298059147 54.59330801359923 1.560188 CIR 69.57323818984219
S -166.2098363855944 27.79959690588669 CIR 84.30402931959839
S -110.3089252932562 10.08505848032287 1.560188 CIR 86.06114162355493
S -117.952440758331 259.404834809562 CIR 90.56189372680026
S -197.4912221120776 -238.0009226271849 REFL(CM1)
ASP
K -2.375892792391789
A -0.3127687773827504e-7; B 0.3294643591676787e-12
C -0.8944840484874587e-17; D 0.1774902216458702e-21
E -0.3484126606475524e-26; F 0.4417268891484616e-31
G -0.3030070670238212e-36; H 0.0; J 0.0
CIR 172.0281094841028
S 196.5065427498821 308.059568300385 REFL(CM2)
ASP
K -0.744437078885327
A 0.5201257832679512e-8; B 0.5170559824529151e-13
C 0.3832651541372835e-18; D 0.8171426129922625e-23
E -0.1317263206773176e-27; F 0.3058061975024004e-32
G -0.2138725416754549e-37; H 0.0; J 0.0
CIR 156.2519028903548
S 4764.847114543177 21.48394359518421 1.560188 CIR 121.2675388696213
S -764.923828 97.41918613409307 CIR 121.4890880761897
S -933.573206 37.37136494015321 1.560188 CIR 115.8311176595142
S 782.2670296706571 10.36085950710814
ASP
K 0.0
A -0.1473070274247608e-6; B 0.4117147970713087e-11
C -0.3612274193866038e-16; D -0.5908992023088428e-21
E 0.6569183094862008e-25; F -0.6001257620608303e-29
G 0.1770004129086018e-33; H 0.0; J 0.0
CIR 116.1402308271134
S 126.1534599543259 40.69055393061486 1.560188 CIR 102.4009005232671
S 102.8318291951895 65.42142283064763 CIR 84.82956667206527
S -279.3237250489696 11.197639 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.2399164751723355e-8; B -0.1029582316807052e-10
C 0.467701086548179e-15; D -0.4846983697319375e-19
E 0.2438855878042559e-23; F 0.1270013633583428e-26
G -0.1352024665683155e-30; H 0.0; J 0.0
CIR 84.00373518077039
S 161.574469140152 16.41547435698445 CIR 88.10106417077259
S 297.1375069721215 18.371287 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.8081297777832484e-9; B -0.4846920963443484e-12
C -0.469263399869246e-15; D 0.3668707130890467e-19
E -0.3071730452158582e-23; F 0.8167690785221917e-28
G 0.1441403736579223e-32; H 0.0; J 0.0
CIR 90.1409180825769
S 2253.140989926932 24.32989103383988 CIR 92.84447771396717
S -221.3545310836862 10.212957 1.560188 CIR 93.80491182561332
S -556.8106603803592 1.000003726593996
ASP
K 0.0
A 0.121683024042576e-6; B 0.2442397112449036e-12
C -0.4042443864485838e-15; D -0.4333212667171998e-21
E 0.152417965863569e-23; F -0.5786216806812075e-28
G 0.5034827923951696e-33; H 0.0; J 0.0
CIR 112.0973210388421
S 598.8678535631671 45.614756 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.2733699285110929e-7; B 0.4675473017219885e-12
C -0.1573424794945783e-15; D 0.1505094327047606e-19
E -0.8241771685472185e-24; F 0.3091680362526987e-28
G -0.601014506827352e-33; H 0.0; J 0.0
CIR 120.8101384759394
S -267.0034413532259 3.038651278846692 CIR 126.1102127056728
S -575.7626405096829 62.876806 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.1392245732783381e-7; B -0.2169185458018412e-11
C 0.9432313888810679e-16; D 0.1220028716230747e-21
E -0.586362333683134e-25; F 0.1766251971794975e-29
G 0.0; H 0.0; J 0.0
CIR 134.1517110839029
S -162.1891770543271 11.19746919154985 CIR 138.9984935330892
S -3755.427170113595 47.355581 1.560188
ASP
K 0.0
A -0.456248041110721e-7; B 0.1421329701823032e-11
C 0.4090225302569714e-17; D -0.1147773924029965e-20
E 0.1700706578064621e-25; F -0.9815360566786285e-31
G 0.1875446036239102e-37; H 0.0; J 0.0
CIR 154.9803809903546
S -273.4084140960856 1.060562999837233 CIR 157.7847878852276
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 157.0786345932263
S 0.0 1.0 CIR 157.0078966643287
S 0.0 8.0 1.560188 CIR 156.9941003323241
S 0.0 1.060566743841051 CIR 156.9233624034265
S 471.3556367279283 43.310049 1.560188 CIR 157.0241189500665
S 2403.404200999254 1.50024991742178
ASP
K 0.0
A -0.5067689670229783e-7; B 0.2016874608479392e-11
C 0.1429117040352547e-16; D -0.3555755952580009e-20
E 0.1685276383805486e-24; F -0.41359733367395e-29
G 0.3920462853525892e-34; H 0.0; J 0.0
CIR 155.6183418704121
S 0.0 1.0 STO CIR 155.1137939522021
S 398.4562087288555 57.784133 1.560188 CIR 151.5161143451393
S -615.1215908215304 1.032173052548603
ASP
K 0.0
A 0.1853268417060387e-7; B -0.126404360913942e-11
C -0.5109813473648017e-16; D 0.6647946502234711e-20
E -0.255167734093824e-24; F 0.4746340313922296e-29
G -0.3585375271055897e-34; H 0.0; J 0.0
CIR 149.8509363204819
S 121.6742046292244 60.833075 1.560188 CIR 101.3717455864608
S 989.82448936095 1.0
ASP
K 0.0
A 0.2713120921221937e-7; B 0.6515094158921018e-11
C -0.8602256621002085e-15; D 0.8140433679767001e-19
E -0.5648452066281098e-23; F 0.2377310071773151e-27
G -0.3252381178297756e-32; H 0.0; J 0.0
CIR 89.29167797948946
S 58.53842007552235 43.354396 1.560188 CIR 50.17603068349796
S 0.0 3.1 1.436182 CIR 24.34048308836163
SI 0.0 0.0

（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．２５０
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．２５２
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０３４＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．２５０
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０３４＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．２５２
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．０３４
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．００２
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．５０２
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．７９４
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．７９４
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．９９０
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０２８（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０２４（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝０．９９６（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０１０（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝１．０６０（第２補正部材Ｃ２）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９９９（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９５９（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０７５（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９４５（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．９２９（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．２２６（第２補正部材Ｃ２）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．８９１（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９９０（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝０．９４３（第２補正部材Ｃ２）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．００１（第３補正部材Ｃ３）

［第６実施例］
図１５は、本実施形態の第６実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。第６実施例にかかる投影光学系ＰＬでは、マスクＭからの光が、屈折光学系としての第１結像ユニットＧ１を介して、光軸を含む領域に第１中間像を形成する。第１中間像からの光は、屈折光学系としての第２結像ユニットＧ２を介して、マスクパターンの最終像をウェハＷ上に形成する。第６実施例では、有効結像領域ＥＲおよび有効視野領域ＦＲが、光軸ＡＸを中心としてＸ方向に細長く延びる矩形状である。ここで、第６実施例においても、マスクパターンの中間像が形成される位置を物体面または像面と光学的に共役な共役位置と呼ぶことができる。
また、第６実施例においては、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２は、それぞれの結像ユニットの光軸が互いに共軸となっており、投影光学系ＰＬは１本の直線状に延びた光軸を有する。なお、第１および第２結像ユニットＧ１，Ｇ２を第１および第２結像光学系と呼ぶことができる。

第１結像ユニットＧ１は、マスク側から順に、平行平面板Ｐ１１と、４つのレンズＬ１１〜Ｌ１４と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１２およびＰ１３からなる第１補正部材Ｃ１と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ１４およびＰ１５からなる第２補正部材Ｃ２と、１０個のレンズＬ１５〜Ｌ１１４とにより構成されている。第１補正部材Ｃ１は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からマスク側（物体面側）に配置されている。第２補正部材Ｃ２は、第１結像ユニットＧ１の瞳位置からウェハ側（像面側）に配置されている。すなわち、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２との間には、１つの瞳面（第１結像ユニットＧ１の瞳面）が位置している。

第２結像ユニットＧ２は、光の入射側から順に、７つのレンズＬ２１〜Ｌ２７と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ２１およびＰ２２と、６つのレンズＬ２８〜Ｌ２１３と、互いに近接して配置された一対の平行平面板Ｐ２３およびＰ２４からなる第３補正部材Ｃ３と、５つのレンズＬ２１４〜Ｌ２１８とにより構成されている。第３補正部材Ｃ３は、第２結像ユニットＧ２の瞳位置（開口絞りＡＳが配置されている位置）の近傍に配置されている。ここで、第１結像ユニットＧ１の瞳位置は、投影光学系ＰＬにおける開口絞りＡＳが配置されている位置と光学的に共役な位置である。

第６実施例では、第１実施例〜第５実施例とは異なり、最も像面側のレンズＬ２１８とウェハＷとの間には、液体ではなく気体が介在している。また、すべての光透過部材は、使用光（露光光）であるＡｒＦエキシマレーザ光（中心波長λ＝１９３．３０６ｎｍ）に対して１．５６０３２６１の屈折率を有する光学材料（たとえば石英ガラス（ＳｉＯ_２））により形成されている。次の表（６）に、第６実施例にかかる投影光学系ＰＬの諸元の値を掲げる。

表（６）
（主要諸元）
λ＝１９３．３０６ｎｍ
β＝１／４
ＮＡ＝０．９２
Ｒｂ＝１３．５ｍｍ
ＬＸ＝２６ｍｍ
ＬＹ＝７．２ｍｍ

（レンズデータ）
SO 0.0 61.1580567735251
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 68.46053056173714
S 0.0 18.22461485803798 CIR 69.65332949110776
S -666.4828775195921 16.42461584972872 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.109785118098491e-6; B 0.2920221746806661e-10
C -0.2662961643559324e-14; D 0.9783537625993036e-19
E 0.3422853047703026e-22; F -0.1013228343031147e-25
G 0.1532453591685005e-29; H -0.1356794120757741e-33
J 0.5537792575855761e-38
CIR 72.9560975291261
S -224.4194611294672 10.18431997153086 CIR 74.36961440144934
S 272.7928999514436 26.90912227988591 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.1136664893052381e-6; B -0.2558891208417544e-10
C 0.2274911849745584e-14; D -0.8878052288343102e-19
E -0.3275880125601603e-22; F 0.9576863477572913e-26
G -0.1430241574760264e-29; H 0.1206652119839085e-33
J -0.4553254634194116e-38
CIR 77.20687460622344
S -412.2605692008707 91.64767313438665 CIR 76.88177483113448
S -390.2376425344913 9.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.2456739001717333e-6; B 0.9420158183448752e-10
C -0.1057003335183922e-13; D 0.1424221401992497e-17
E -0.9469283063018286e-21; F 0.3878183313922589e-24
G -0.8301162762794908e-28; H 0.9201502287119977e-32
J -0.4018808343742762e-36
CIR 60.4549173437718
S -1167.040930391384 1.0 CIR 59.60871945050379
S 178.201493256251 12.88879288254524 1.5603261 CIR 57.948471770017
S 327.6161217878556 15.78546782983034
ASP
K 0.0
A -0.2200394652262553e-6; B 0.1174562755154311e-9
C -0.1963345856585105e-13; D 0.3179651253910365e-17
E -0.1718822108710849e-20; F 0.6207495362445155e-24
G -0.1167077131116979e-27; H 0.8975141384691851e-32
J 0.8815785570624583e-37
CIR 56.27642080718164
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 53.90893953861887
S 0.0 0.0 CIR 52.81915478852452
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 52.8191548
S 0.0 72.70790908574 CIR 51.72937005
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 58.78778075041916
S 0.0 0.0 CIR 60.70687817021592
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 60.70687815
S 0.0 9.008244325629001 CIR 62.6259756
S -133.8619058997463 9.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.5145751012410512e-6; B -0.4795280007957922e-11
C 0.1600111604987869e-13; D -0.594213780018428e-17
E 0.1650253481738364e-20; F -0.4963263005175016e-2
G 0.1052570320015588e-27; H -0.1198244167225459e-31
J 0.5566045466251927e-36
CIR 63.42190270947057
S 220.0953603221849 14.47460092321203 CIR 69.60315281589433
S -1554.486611719846 9.450532988892325 1.5603261 CIR 70.72313500249584
S -1710.385908292998 7.45470981543951 CIR 74.72138988028686
S -966.1616299761072 46.28683660611666 1.5603261 ASP
K 0.0
A -0.6928494261253487e-7; B 0.9354133383999794e-11
C -0.1789634565907134e-14; D 0.2852617218426128e-18
E -0.4427451079142836e-22; F 0.6841851219595494e-26
G -0.841358821486727e-30; H 0.6817466358266456e-34
J -0.257862341917017e-38
CIR 77.81061471914963
S -196.6950758550633 2.703065946301366 CIR 91.44326604781548
S -952.5420298039819 44.86099666813111 1.5603261 CIR 100.4674124695305
S -146.8991218994956 1.0 CIR 103.0146794774447
S 175.489709986644 43.90367767020417 1.5603261 CIR 103.7993534735155
S -1817.795411752599 1.0 CIR 102.2134782073804
S 220.0109784571179 24.80905362584459 1.5603261 CIR 92.53253429251707
S 1476.704789042587 1.0 CIR 89.56589089431009
S 207.1783644414953 17.76670771026461 1.5603261 CIR 79.96011679310902
S 559.5545635204007 29.7565372797475
ASP
K 0.0
A -0.2315710309448987e-8; B 0.3756894277333758e-11
C -0.1459627417285368e-15; D -0.4537051868994056e-19
E 0.1848148732115733e-22; F -0.4082730158878787e-26
G 0.5677768764795868e-30; H -0.4454283381711863e-34
J 0.1516097926734732e-38
CIR 75.81897837715475
S -276.1264233946554 9.0 1.5603261 CIR 60.94656531055908
S 108.1488088369274 21.37473812670281
ASP
K 0.0
A 0.3151333813386788e-6; B 0.1716863139916119e-10
C 0.3961678327237524e-14; D -0.7381816352610004e-19
E 0.5323531818512206e-21; F -0.30975129016473e-24
G 0.1190603731730392e-27; H -0.246823088254293e-31
J 0.2191710513926627e-35
CIR 51.08999511265007
S -335.503360920852 9.0 1.5603261 CIR 50.94252165890615
S 143.0880169544459 15.6616477247743 CIR 51.2195372868853
S -318.6418539486148 9.0 1.5603261 CIR 51.73065132580215
S 318.9928634355688 37.53135700868739 CIR 55.90498758479812
S -413.3430514285664 23.69885599943084 1.5603261 CIR 70.15558711131124
S -148.5707097232307 17.50706688517395 CIR 74.08312242507745
S 305.1346095036433 9.0 1.5603261
ASP
K 0.0
A 0.2305251078850228e-7; B 0.1144984009616489e-11
C -0.202506309237938e-16; D -0.7698889963073689e-20
E 0.9741539369912004e-24; F -0.11050572321171e-27
G 0.1120421342051093e-31; H -0.6813381745253549e-36
J 0.1749150813907968e-40
CIR 90.31135014883043
S 214.6880349317277 21.59113087047778 CIR 90.77163689992986
S 0.0 4.766971501886546 CIR 91.30482436240615
S -1290.920127351751 42.18643115612129 1.5603261 CIR 91.85172305324083
S -136.2457295501691 2.0 CIR 93.87444001202344
S 186.0628848732624 33.49890591624991 1.5603261 CIR 95.33195150342236
S 5707.382802345217 1.0 CIR 94.29914902626786
S 119.008099602645 36.47095602452689 1.5603261 CIR 86.93609301551172
S 378.4880955444204 52.03900914332361 CIR 83.23508543246325
S 3526.796035290821 9.0 1.5603261 CIR 56.40193817631949
S 61.22677605220507 29.92226249636682 CIR 45.73900637769535
S -128.6816280769079 9.0 1.5603261 CIR 45.72430517037182
S 152.2294304725448 9.071680766970866 CIR 48.91158044697141
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 49.36047271145484
S 0.0 0.0 CIR 51.53644091814689
S 0.0 8.0 1.5603261 CIR 51.5364409
S 0.0 22.53389070515 CIR 53.7124091
S -82.88526434844447 9.0 1.5603261 CIR 54.61019365380601
S -365.0895433939556 1.0 CIR 68.16537929910594
S -1812.702739560422 9.185572998495374 1.5603261 CIR 73.57156568253733
S -712.0862914192812 27.55485046228024
ASP
K 0.0
A 0.1029936779303519e-8; B 0.7680385334488553e-11
C 0.2448239772577824e-14; D -0.106305070151996e-17
E 0.2823107920894995e-21; F -0.4649880220898531e-25
G 0.4646505290475132e-29; H -0.2460929653850812e-33
J 0.4532959155566989e-38
CIR 78.02043030786196
S -275.195086789815 13.91260916670095 1.5603261 CIR 93.36944324697573
S -217.2958559112028 10.27086349761896
ASP
K 0.0
A 0.3459795342773525e-7; B 0.1116958649581907e-10
C -0.4221057786210247e-14; D 0.5241157238648237e-18
E -0.1151543722485615e-22; F -0.4420844076560085e-26
G 0.6045647851939263e-30; H -0.350153032400879e-34
J 0.7742180546863839e-39
CIR 99.87554988914006
S -317.8037731876253 38.19606392399909 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.5800716790331521e-7; B 0.1604012080932778e-10
C -0.4033385113212462e-14; D 0.5416366647214304e-18
E -0.422874982380621e-22; F 0.2013413424911186e-26
G -0.3980290778513156e-31; H -0.1270849995731347e-35
J 0.6176141824106344e-40
CIR 109.40289579375
S -152.322538784317 1.0 CIR 115.5533818132377
S -895.1246794305047 55.28880622634421 1.5603261
ASP
K 0.0
A -0.5329489337932154e-8; B -0.255403970909529e-11
C 0.3660968930563295e-15; D -0.2829464516369178e-19
E 0.1176701367847969e-23; F -0.1575882222312233e-28
G -0.6062986297448638e-33; H 0.2687360231994787e-37
J -0.3241851219335099e-42
CIR 138.7782810459327
S -193.9545887929653 -19.0 CIR 142.4583086413592
S 0.0 20.0 STO CIR 150.4819503461273
S 853.3585037876621 34.04344203383074 1.5603261 CIR 160.3117736176969
S -1201.672043890145 1.0 CIR 161.1174903174276
S 0.0 12.0 1.5603261 CIR 162.0824422626568
S 0.0 0.0 CIR 162.7074739421618
S 0.0 12.0 1.5603261 CIR 162.70747395
S 0.0 3.0 CIR 163.3325056
S 404.0691015042456 31.81016513688282 1.5603261 CIR 166.4999999999996
S 1140.683437163507 18.46542245283294 CIR 165.6255057200547
S 558.7999235866553 63.10856467707343 1.5603261 CIR 162.9142400831667
S -391.9901083967835 17.47793495467031
ASP
K 0.0
A -0.1313881776173745e-7; B 0.2209024950291428e-11
C -0.1545151831327248e-15; D 0.8226823755699644e-20
E -0.3112303325526587e-24; F 0.8228480695088418e-29
G -0.1464533340894598e-33; H 0.1607460199682837e-38
J -0.8501008191667199e-44
CIR 161.5957277142432
S 161.2660712543238 31.97139922364232 1.5603261 CIR 114.2855478878839
S 397.3966095882735 23.5746469606612
ASP
K 0.0
A 0.1025220880927646e-6; B -0.1013644611627852e-10
C 0.1208380599796752e-14; D -0.112785609219617e-18
E 0.1098700322146215e-22; F -0.1006970182832963e-26
G 0.6734488084661016e-31; H -0.2709691329522105e-35
J 0.4898036827122166e-40
CIR 108.7908128078088
S 101.2360021120002 28.51841535632741 1.5603261 CIR 81.0539392125076
S 103.1186115103987 9.61505762715054
ASP
K 0.0
A -0.2880536193666914e-6; B 0.6729833569962576e-10
C -0.7815566633938817e-14; D -0.9377753385197237e-18
E 0.7991260392335316e-21; F -0.1994531481133782e-24
G 0.269632480603705e-28; H -0.1916440915816305e-32
J 0.5477806400916101e-37
CIR 69.7755322325297
S 154.1768094742367 56.74574475058465 1.5603261 CIR 68.8874577640099
S 0.0 11.0 CIR 39.32170437183936
SI 0.0 0.0
（条件式対応値）
（１ａ） Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．３００
（１ｂ） Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．２７７
（１ｃ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．００９＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＝０．３００
（１ｄ） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．００９＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．２７７
（２） Ｈｐ３／Ｈｃ３＝０．００９
（３） ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＝０．０２３
（４） Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＝０．５７７
（５ａ） Ｄｐ１／Ｄａ１＝０．７６６
（５ｂ） Ｄｐ２／Ｄａ２＝０．７８０
（５ｃ） Ｄｐ３／Ｄａ３＝０．９８２
（６） Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０２３（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．０３０（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＝１．００２（第３補正部材Ｃ３）
（７） ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９８１（第１補正部材Ｃ１）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９８１（第２補正部材Ｃ２）
ＯＬｕ／ＯＬｂ＝０．９９９（第３補正部材Ｃ３）
（９） Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０１４（第１補正部材Ｃ１）
Ｈｕ／Ｈｂ＝１．０００（第２補正部材Ｃ２）
Ｈｕ／Ｈｂ＝０．９８５（第３補正部材Ｃ３）
（１０） （Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝１．００８（第１補正部材Ｃ１）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．９８２（第２補正部材Ｃ２）
（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＝０．９６９（第３補正部材Ｃ３）
（１２） ｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０１９（第１補正部材Ｃ１）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．０１９（第２補正部材Ｃ２）
｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＝１．００１（第３補正部材Ｃ３）

各実施例の投影光学系ＰＬでは、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が所要の条件式を満足しているので、補正部材Ｃ１〜Ｃ３が入射光に与える波面の変化の状態を制御することにより、意図しない収差成分の発生を抑えつつ、投影光学系ＰＬの像面ＩＭにおける有効結像領域ＥＲ内のＸ方向に沿った各点について一様な０次収差成分および各点について線形的に変化する１次収差成分のうちの少なくとも一方の収差成分を調整すること、さらには一様な０次収差成分および１次収差成分を互いに独立に且つ高い自由度で調整することができる。

具体的には、上述したように、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１７の係数の符号および大きさを適宜設定する（あるいは変化させる）ことにより、投影光学系ＰＬの波面収差の０次収差成分Ｚ１７および１次収差成分Ｚ１０を互いに独立に調整し、ひいては投影光学系ＰＬの波面収差を調整することができる。また、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_５の係数の符号および大きさを適宜設定する（あるいは変化させる）ことにより、投影光学系ＰＬの波面収差の０次収差成分Ｚ５および１次収差成分Ｚ２を互いに独立に調整することができる。

さらに、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１１の係数の符号および大きさを適宜設定する（あるいは変化させる）ことにより、投影光学系ＰＬの波面収差の０次収差成分Ｚ１１および１次収差成分Ｚ６を互いに独立に調整することができる。また、例えば補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１２の係数の符号および大きさを適宜設定する（あるいは変化させる）ことにより、投影光学系ＰＬの波面収差の０次収差成分Ｚ１２と、１次収差成分Ｚ２、１次収差成分Ｚ７および１次収差成分Ｚ１０を互いに独立に調整することができる。

すなわち、本実施形態の投影光学系ＰＬでは、たとえば露光光などの光照射に起因して発生する波面収差をアクティブに調整することができる。その結果、本実施形態の露光装置では、波面収差がアクティブに調整可能な投影光学系ＰＬを用いて、マスクＭの微細パターンをウェハＷに高精度に投影露光することができ、ひいては良好なデバイスを製造することができる。

以下、第５実施例を参照して、本実施形態における収差調整作用についてさらに説明する。図１６は、第５実施例において補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１７の係数の符号および大きさを適宜変化させることにより、投影光学系ＰＬの波面収差を調整する様子を示している。図１６の各図において、縦軸は収差量（単位：ｍλ＝１０^−３×λ）を、横軸は有効結像領域ＥＲにおけるＸ方向をそれぞれ示している。図１６の表記は、他の関連する図１７の各図においても同様である。

第５実施例において第３補正部材Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１７の係数の符号および大きさを適宜設定すると、参照符号３１で示すように、所要量の０次収差成分Ｚ１７と、所要量の１次収差成分Ｚ１０と、意図しない収差成分Ｚ２８とが発生する状態が得られる。ここで、副作用としての収差成分Ｚ２８は、関数ＦＺ_２８：（６ρ^２−５）ρ^４cos４θにしたがって表示される４回回転対称の収差成分である。

次いで、参照符号３１で示す状態において第３補正部材Ｃ３が付与する光路長変化（関数ＦＺ_１７にしたがって表現される光路長変化）に対して関数ＦＺ_２８にしたがって表現される光路長変化を適宜付加すると、参照符号３２で示すように、１次収差成分Ｚ１０はほとんど変化することなく、０次収差成分Ｚ１７はある程度変化し、副作用としての収差成分Ｚ２８はほぼ０になる状態が得られる。

また、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１７の係数の符号および大きさを適宜設定すると、参照符号３３で示すように、０次収差成分Ｚ１７および副作用としての収差成分Ｚ２８がほとんど発生することなく、所要量の１次収差成分Ｚ１０が発生する状態が得られる。

したがって、第１補正部材Ｃ１により付与される光路長変化と第２補正部材Ｃ２により付与される光路長変化と第３補正部材Ｃ３により付与される光路長変化との比率を調整すると、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、参照符号３２で示す状態と参照符号３３で示す状態とが適宜組み合わされた状態、すなわち参照符号３４で示すように、所要量の０次収差成分Ｚ１７および所要量の１次収差成分Ｚ１０が発生し、副作用としての収差成分Ｚ２８がほとんど発生しない状態が得られる。

図１７は、第５実施例において補正部材Ｃ１〜Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１２の係数の符号および大きさを適宜変化させることにより、投影光学系ＰＬの波面収差を調整する様子を示している。第５実施例において第３補正部材Ｃ３により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１２の係数の符号および大きさを適宜設定すると、図示を省略したが、所要量の０次収差成分Ｚ１２および１次収差成分Ｚ７が発生し、意図しない収差成分Ｚ５およびＺ２１も発生する状態が得られる。ここで、副作用としての収差成分Ｚ２１は、関数ＦＺ_２１：（１５ρ^４−２０ρ^２＋６）ρ^２cos２θにしたがって表示される２回回転対称の収差成分である。

そこで、第３補正部材Ｃ３が付与している光路長変化（関数ＦＺ_１２にしたがって表現される光路長変化）に対して関数ＦＺ_５にしたがって表現される光路長変化および関数ＦＺ_２１にしたがって表現される光路長変化を適宜付加すると、参照符号４１で示すように、所要量の０次収差成分Ｚ１２および１次収差成分Ｚ７が発生し、副作用としての収差成分Ｚ５およびＺ２１がほとんど発生しない状態が得られる。

また、第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２により付与される光路長変化を表現する関数ＦＺ_１２の係数の符号および大きさを適宜設定すると、参照符号４２で示すように、０次収差成分Ｚ１２がほとんど発生することなく、所要量の１次収差成分Ｚ７が発生し、さらに副作用としての収差成分Ｚ２、Ｚ５およびＺ１０が発生する状態が得られる。

次いで、参照符号４２で示す状態において第１補正部材Ｃ１および第２補正部材Ｃ２が付与する光路長変化（関数ＦＺ_１２にしたがって表現される光路長変化）に対して関数ＦＺ_５にしたがって表現される光路長変化および関数ＦＺ_１７にしたがって表現される光路長変化を適宜付加すると、参照符号４３で示すように、１次収差成分Ｚ７はほとんど変化することなく、副作用としての収差成分Ｚ２、Ｚ５およびＺ１０がほぼ０になる状態が得られる。

したがって、補正部材Ｃ１〜Ｃ３によりそれぞれ付与される光路長変化の比率を調整すると、第１補正部材Ｃ１と第２補正部材Ｃ２と第３補正部材Ｃ３との協働作用により、参照符号４１で示す状態と参照符号４３で示す状態とが適宜組み合わされた状態、すなわち参照符号４４で示すように、所要量の０次収差成分Ｚ１２が発生し、１次収差成分Ｚ７がほとんど発生することなく、副作用としての収差成分Ｚ２、Ｚ５、Ｚ１０、Ｚ２１もほとんど発生しない状態が得られる。
このように、上述の実施形態では、たとえば光照射に起因して発生する波面収差を良好に調整することができる。

なお、上述の各実施例では、熱の作用により屈折率分布が可変の光透過部材からなる補正部材として、互いに近接して配置された一対の平行平面板を用いている。しかしながら、これに限定されることなく、熱の作用により屈折率分布が可変の光透過部材の具体的な構成については様々な形態が可能である。例えば、熱の作用により屈折率分布が可変の光透過部材として、両凹レンズを用いることもできる。また、補正部材として、熱の作用により屈折率分布が可変の光透過部材に代えて、非回転対称な非球面形状の光学面を有し且つ位置調整可能な光透過部材を用いることや、表面形状を能動的に変更可能な光透過部材を用いることもできる。非回転対称な非球面形状の光学面を有し且つ光軸を横切る方向に移動可能な光透過部材として、例えば米国特許第６，１０４，４７２号公報などに開示されるものを用いることができる。また、非回転対称な非球面形状の光学面を有し且つ光軸方向に移動可能な光透過部材として、例えば米国特許公開第２０１０／００３３７０４号公報に開示されるものを用いることができる。そして、非回転対称な非球面形状の光学面を有し且つ光軸を中心として回転可能な光透過部材として、例えば米国特許第７，３７２，６３３号公報に開示されるものを用いることができる。表面形状を能動的に変更可能な光透過部材として、例えば米国特許第６，８４４，９９４号公報、第７，７１５，１０７号公報、第７，７９１，８２６号公報、第７，８３０，６１１号公報および米国特許公開第２０１０／０１２８３６７号公報などに開示されるものを用いることができる。

上述の実施形態では、マスクの代わりに、所定の電子データに基づいて所定パターンを形成する可変パターン形成装置を用いることができる。なお、可変パターン形成装置としては、たとえば所定の電子データに基づいて駆動される複数の反射素子を含む空間光変調素子を用いることができる。空間光変調素子を用いた露光装置は、たとえば米国特許公開第２００７／０２９６９３６号公報に開示されている。また、上述のような非発光型の反射型空間光変調器以外に、透過型空間光変調器を用いても良く、自発光型の画像表示素子を用いても良い。

上述の実施形態の露光装置は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行っても良い。

次に、上述の実施形態にかかる露光装置を用いたデバイス製造方法について説明する。図１９は、半導体デバイスの製造工程を示すフローチャートである。図１９に示すように、半導体デバイスの製造工程では、半導体デバイスの基板となるウェハＷに金属膜を蒸着し（ステップＳ４０）、この蒸着した金属膜上に感光性材料であるフォトレジストを塗布する（ステップＳ４２）。つづいて、上述の実施形態の露光装置を用い、マスク（レチクル）Ｍに形成されたパターンをウェハＷ上の各ショット領域に転写し（ステップＳ４４：露光工程）、この転写が終了したウェハＷの現像、つまりパターンが転写されたフォトレジストの現像を行う（ステップＳ４６：現像工程）。

その後、ステップＳ４６によってウェハＷの表面に生成されたレジストパターンをマスクとし、ウェハＷの表面に対してエッチング等の加工を行う（ステップＳ４８：加工工程）。ここで、レジストパターンとは、上述の実施形態の露光装置によって転写されたパターンに対応する形状の凹凸が生成されたフォトレジスト層であって、その凹部がフォトレジスト層を貫通しているものである。ステップＳ４８では、このレジストパターンを介してウェハＷの表面の加工を行う。ステップＳ４８で行われる加工には、例えばウェハＷの表面のエッチングまたは金属膜等の成膜の少なくとも一方が含まれる。なお、ステップＳ４４では、上述の実施形態の露光装置は、フォトレジストが塗布されたウェハＷを、感光性基板としてパターンの転写を行う。

図２０は、液晶表示素子等の液晶デバイスの製造工程を示すフローチャートである。図２０に示すように、液晶デバイスの製造工程では、パターン形成工程（ステップＳ５０）、カラーフィルタ形成工程（ステップＳ５２）、セル組立工程（ステップＳ５４）およびモジュール組立工程（ステップＳ５６）を順次行う。ステップＳ５０のパターン形成工程では、プレートＰとしてフォトレジストが塗布されたガラス基板上に、上述の実施形態の露光装置を用いて回路パターンおよび電極パターン等の所定のパターンを形成する。このパターン形成工程には、上述の実施形態の露光装置を用いてフォトレジスト層にパターンを転写する露光工程と、パターンが転写されたプレートＰの現像、つまりガラス基板上のフォトレジスト層の現像を行い、パターンに対応する形状のフォトレジスト層を生成する現像工程と、この現像されたフォトレジスト層を介してガラス基板の表面を加工する加工工程とが含まれている。

ステップＳ５２のカラーフィルタ形成工程では、Ｒ（Red）、Ｇ（Green）、Ｂ（Blue）に対応する３つのドットの組をマトリックス状に多数配列するか、またはＲ、Ｇ、Ｂの３本のストライプのフィルタの組を水平走査方向に複数配列したカラーフィルタを形成する。ステップＳ５４のセル組立工程では、ステップＳ５０によって所定パターンが形成されたガラス基板と、ステップＳ５２によって形成されたカラーフィルタとを用いて液晶パネル（液晶セル）を組み立てる。具体的には、例えばガラス基板とカラーフィルタとの間に液晶を注入することで液晶パネルを形成する。ステップＳ５６のモジュール組立工程では、ステップＳ５４によって組み立てられた液晶パネルに対し、この液晶パネルの表示動作を行わせる電気回路およびバックライト等の各種部品を取り付ける。

また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置への適用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに形成される液晶表示素子、若しくはプラズマディスプレイ等のディスプレイ装置用の露光装置や、撮像素子（ＣＣＤ等）、マイクロマシーン、薄膜磁気ヘッド、及びＤＮＡチップ等の各種デバイスを製造するための露光装置にも広く適用できる。更に、本発明は、各種デバイスのマスクパターンが形成されたマスク（フォトマスク、レチクル等）をフォトリソグラフィ工程を用いて製造する際の、露光工程（露光装置）にも適用することができる。

なお、上述の実施形態では、ＡｒＦエキシマレーザ光源を用いているが、これに限定されることなく、他の適当な光源、たとえば波長２４８ｎｍのレーザ光を供給するＫｒＦエキシマレーザ光源、波長１５７ｎｍのレーザ光を供給するＦ_２レーザ光源、波長１４６ｎｍのレーザ光を供給するＫｒ₂レーザ光源、波長１２６ｎｍのレーザ光を供給するＡｒ₂レーザ光源などを用いることができる。また、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの輝線を発する超高圧水銀ランプなどのＣＷ（Continuous Wave）光源を用いることも可能である。また、ＹＡＧレーザの高調波発生装置などを用いることもできる。この他、例えば米国特許第７,０２３,６１０号明細書に開示されているように、真空紫外光としてＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（又はエルビウムとイッテルビウムの両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。

また、上述の実施形態では、走査型の露光装置に対して本発明を適用しているが、これに限定されることなく、投影光学系に対してマスクおよびウェハ（感光性基板）を静止させた状態で投影露光を行う一括露光型の露光装置に対しても本発明を適用することができる。

また、上述の実施形態では、露光装置に搭載される投影光学系に対して本発明を適用している。しかしながら、露光装置に限定されることなく、第１面の像を第２面に形成する投影光学系に対して本発明を適用することができる。

Ｍ マスク
ＭＳＴ マスクステージ
ＰＬ 投影光学系
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３ 結像光学ユニット
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３ 補正部材
ＤＲ１，ＤＲ２，ＤＲ３ 加熱・冷却部
ＡＤ 能動変形部
ＣＭ，ＣＭ１，ＣＭ２ 凹面反射鏡
ＦＭ１，ＦＭ２ 平面反射鏡
Ｌｂ 境界レンズ
Ｌｍ 水（液体）
Ｗ ウェハ
ＣＲ 制御系
１ 照明光学系
９ Ｚステージ
１０ ＸＹステージ
２１ 給排水機構

Claims (49)

1. 第１面の像を第２面に形成する投影光学系において、
   前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１補正部材と、
   前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第２補正部材と、
   前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍に配置され、入射光の波面を能動的に変化させて射出する第３補正部材とを備え、
   前記第１面における視野領域の中心点からの周辺光線が任意の光学面を通過する位置Ｌｃｒと、前記視野領域の中心点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｃｐとの距離をＨｃとし、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｐｐと前記位置Ｌｃｐとの距離をＨｐとするとき、前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに前記第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、
   Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ１／Ｈｃ１
   Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ２／Ｈｃ２
   の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
2. 以下の条件を満足する、請求項１に記載の投影光学系。
   ０．０５＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＜１．０
   ０．０５＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＜１．０
3. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材は、前記投影光学系の光軸、または前記視野領域の中心点からの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化を付与するようにそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の投影光学系。
4. 前記第１補正部材と前記第２補正部材と前記第３補正部材とは互いに同数の偶数回回転対称な光路長変化を付与することを特徴とする請求項３に記載の投影光学系。
5. 前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳面と前記第１面の位置と光学的に共役な中間像面とのうち、前記第１補正部材と前記第２補正部材との間に位置する面の数は奇数であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の投影光学系。
6. 前記第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、
   Ｈｐ３／Ｈｃ３＜０．１
   の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の投影光学系。
7. 前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、並びに前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２は、
   ｜Ｈｐ１／Ｈｃ１−Ｈｐ２／Ｈｃ２｜＜０．２
   の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の投影光学系。
8. 前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、並びに前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２は、
   Ｈｐ１／Ｈｃ１＋Ｈｐ２／Ｈｃ２＞０．５
   の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の投影光学系。
9. 前記視野領域は矩形状であり、前記視野領域内の各点からの光束が任意の光学面において占めるパーシャルスポットの集合に外接する前記投影光学系の光軸を中心とした円の直径をＤａとし、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの光束が前記任意の光学面において占めるパーシャルスポットに外接する四角形であって前記視野領域の一辺に対応する方向に一辺を有する長方形の短辺の長さと長辺の長さとの平均値をＤｐとするとき、前記第１補正部材に関する直径Ｄａ１および平均値Ｄｐ１、前記第２補正部材に関する直径Ｄａ２および平均値Ｄｐ２、並びに前記第３補正部材に関する直径Ｄａ３および平均値Ｄｐ３は、
   ０．５＜Ｄｐ１／Ｄａ１＜１．０
   ０．５＜Ｄｐ２／Ｄａ２＜１．０
   ０．５＜Ｄｐ３／Ｄａ３≦１．０
   の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の投影光学系。
10. 前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記光軸から離れる向きに前記中心点から射出される周辺光線を前記中心点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記中心点から射出される周辺光線を前記中心点からの下側光線とし、
    前記最大物体高の点からの前記上側光線が任意の光学面を通過する位置と、前記最大物体高の点からの前記下側光線が前記任意の光学面を通過する位置との距離をＨｐｕｂとし、前記視野領域の中心点からの上側光線が前記任意の光学面を通過する位置と、前記中心点からの下側光線が前記任意の光学面を通過する位置との距離をＨｃｕｂとするとき、前記第１補正部材および前記第２補正部材のうちの少なくとも一方は、
    ０．９＜Ｈｐｕｂ／Ｈｃｕｂ＜１．１
    の条件を満足する光学面を有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光学系。
11. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは光透過部材であり、
    前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記最大物体高の点からの前記上側光線の前記光透過部材内の光路長をＯＬｕとし、前記最大物体高の点からの前記下側光線の前記光透過部材内の光路長をＯＬｂとするとき、
    ０．７＜ＯＬｕ／ＯＬｂ＜１．２
    の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の投影光学系。
12. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは反射面を有する反射部材であり、
    前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記最大物体高の点からの前記上側光線の前記反射面に対する入射角の余弦をＣＡｕとし、前記最大物体高の点からの前記下側光線の前記反射面に対する入射角の余弦をＣＡｂとするとき、
    ０．９９５＜ＣＡｕ／ＣＡｂ＜１．００５
    の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の投影光学系。
13. 前記最大物体高の点からの前記上側光線が任意の光学面を通過する位置と前記最大物体高の点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置との距離をＨｕとし、前記最大物体高の点からの前記下側光線が前記任意の光学面を通過する位置と前記最大物体高の点からの前記主光線が前記任意の光学面を通過する位置との距離Ｈｂとするとき、前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、
    ０．８５＜Ｈｕ／Ｈｂ＜１．１５
    の条件を満足する光学面を有することを特徴とする請求項１１または１２に記載の投影光学系。
14. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、
    ０．８＜（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＯＬｕ／ＯＬｂ）＜１．２
    の条件を満足する光透過部材を有することを特徴とする請求項１３に記載の投影光学系。
15. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、反射面を有する反射部材であり、
    前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記最大物体高の点からの前記上側光線の前記反射面に対する入射角の余弦をＣＡｕとし、前記最大物体高の点からの前記下側光線の前記反射面に対する入射角の余弦をＣＡｂとするとき、
    ０．９＜（Ｈｕ／Ｈｂ）^２（ＣＡｂ／ＣＡｕ）＜１．１
    の条件を満足することを特徴とする請求項１３または１４に記載の投影光学系。
16. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは光透過部材であり、
    前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記最大物体高の点からの前記上側光線の前記光透過部材内でのＮ方向余弦をＮｕとし、前記最大物体高の点からの前記下側光線の前記光透過部材内でのＮ方向余弦をＮｂとするとき、
    ０．７＜｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＜１．３
    の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の投影光学系。
17. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは反射面を有する反射部材であり、
    前記第２面側にテレセントリックとなるように、前記第２面側で主光線を定めるとき、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線と前記投影光学系の光軸とを含む前記最大物体高のメリディオナル面内で、前記光軸から離れる向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの上側光線とし、前記光軸に近づく向きに前記最大物体高の点から射出される周辺光線を前記最大物体高の点からの下側光線とし、前記反射面に入射する直前における、前記最大物体高の点からの前記上側光線のＮ方向余弦をＮｕとし、前記反射面で反射された直後における、前記最大物体高の点からの前記下側光線のＮ方向余弦をＮｂとするとき、
    ０．７＜｜Ｎｕ／Ｎｂ｜＜１．３
    の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の投影光学系。
18. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、熱の作用により屈折率分布が可変の光透過部材を有することを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の投影光学系。
19. 前記光透過部材は両凹レンズであることを特徴とする請求項１８に記載の投影光学系。
20. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、反射面の面形状が可変の反射鏡を有することを特徴とする請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の投影光学系。
21. 前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材のうちの少なくとも１つは、非回転対称な非球面形状の光学面を有し且つ前記光軸を横切る方向に移動可能な光透過部材を有することを特徴とする請求項１乃至２０のいずれか１項に記載の投影光学系。
22. 請求項１乃至２１のいずれか１項に記載の投影光学系において、
    前記第１乃至第３補正部材が入射光に与える波面の変化の状態を制御する制御部を備え、
    該制御部は、前記第１乃至第３補正部材が、前記投影光学系の光軸、または前記視野領域の中心点からの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化を付与するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする投影光学系。
23. 前記制御部は、前記第２面における有効結像領域内の所定方向に沿った各点について一様な０次収差成分、および前記所定方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分のうちの少なくとも一方の収差成分を調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２２に記載の投影光学系。
24. 前記制御部は、前記一様な０次収差成分および前記１次収差成分を互いに独立に調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系。
25. 前記視野領域は矩形状であり、前記制御部は、前記第１乃至第３補正部材が、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
26. 前記視野領域は矩形状であり、前記制御部は、前記第１乃至第３補正部材が、関数ｆ_ｎで表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎで表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１の定数倍で表される前記１次収差成分、および関数ｇ_ｎ−１の定数倍で表される前記０次収差成分を調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
27. 前記視野領域は矩形状であり、前記制御部は、前記第１乃至第３補正部材が、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
28. 前記視野領域は矩形状であり、前記制御部は、前記第１乃至第３補正部材が、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整するように、前記第１乃至第３補正部材を制御することを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
29. 請求項１乃至２８のいずれか１項に記載の投影光学系の調整方法において、
    前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、前記投影光学系の光軸、または前記視野領域の中心点からの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化を付与することにより、前記投影光学系の波面収差を調整することを含むことを特徴とする調整方法。
30. 前記波面収差を調整することは、前記第２面における有効結像領域内の所定方向に沿った各点について一様な０次収差成分、および前記所定方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分のうちの少なくとも一方の収差成分を調整することを含むことを特徴とする請求項２９に記載の調整方法。
31. 前記波面収差を調整することは、前記一様な０次収差成分および前記１次収差成分を互いに独立に調整することを含むことを特徴とする請求項３０に記載の調整方法。
32. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整することを特徴とする請求項２９に記載の調整方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
33. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、関数ｆ_ｎで表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎで表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１の定数倍で表される前記１次収差成分、および関数ｇ_ｎ−１の定数倍で表される前記０次収差成分を調整することを特徴とする請求項２９に記載の調整方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
34. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整することを特徴とする請求項２９に記載の調整方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
35. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１補正部材、前記第２補正部材および前記第３補正部材が、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整することを特徴とする請求項２９に記載の調整方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
36. 前記第１面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記所定のパターンを前記第２面に設定された基板上に投影するための請求項１乃至２８のいずれか１項に記載の投影光学系を備えていることを特徴とする露光装置。
37. 第１面の像を第２面に投影する投影方法において、
    前記第１面からの光を、それぞれが入射光の波面を能動的に変化させて射出する第１、第２および第３補正部材を介して前記第２面に導くことを含み、
    前記第１補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
    前記第２補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置から離れた位置で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
    前記第３補正部材は、前記第１面の位置と光学的にフーリエ変換の関係にある瞳位置またはその近傍で入射光の波面を能動的に変化させて射出し、
    前記第１面における視野領域の中心点からの周辺光線が任意の光学面を通過する位置Ｌｃｒと、前記視野領域の中心点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｃｐとの距離をＨｃとし、前記視野領域の中心点から最も離れた最大物体高の点からの主光線が前記任意の光学面を通過する位置Ｌｐｐと前記位置Ｌｃｐとの距離をＨｐとするとき、前記第１補正部材に関する距離Ｈｃ１およびＨｐ１、前記第２補正部材に関する距離Ｈｃ２およびＨｐ２、並びに前記第３補正部材に関する距離Ｈｃ３およびＨｐ３は、
    Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ１／Ｈｃ１
    Ｈｐ３／Ｈｃ３＜Ｈｐ２／Ｈｃ２
    の条件を満足することを特徴とする投影方法。
38. 以下の条件を満足する、請求項３７に記載の投影方法。
    ０．０５＜Ｈｐ１／Ｈｃ１＜１．０
    ０．０５＜Ｈｐ２／Ｈｃ２＜１．０
39. 請求項３７または３８に記載の投影方法において、
    前記第１乃至第３補正部材は、前記投影光学系の光軸、または前記視野領域の中心点からの主光線に関して偶数回回転対称な光路長変化を付与する、投影方法。
40. 前記第１乃至第３補正部材は、前記第２面における有効結像領域内の所定方向に沿った各点について一様な０次収差成分、および前記所定方向に沿った各点について線形的に変化する１次収差成分のうちの少なくとも一方の収差成分を調整する、請求項３９に記載の投影方法。
41. 前記第１乃至第３補正部材は、前記一様な０次収差成分および前記１次収差成分を互いに独立に調整する、請求項４０に記載の投影方法。
42. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１乃至第３補正部材は、前記第１乃至第３補正部材が、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整する、請求項４１に記載の投影方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
43. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１乃至第３補正部材は、関数ｆ_ｎで表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎで表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１の定数倍で表される前記１次収差成分、および関数ｇ_ｎ−１の定数倍で表される前記０次収差成分を調整する、請求項４１に記載の投影方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
44. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１乃至第３補正部材は、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整する、請求項４１に記載の投影方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
45. 前記視野領域は矩形状であり、前記第１乃至第３補正部材は、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される光路長変化を付与することにより、関数ｆ_ｎと関数ｇ_ｎと関数Ｆ_ｎと関数Ｇ_ｎとの線形和で表される前記０次収差成分、関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記１次収差成分、および関数ｆ_ｎ−１と関数ｇ_ｎ−１と関数ｆ_ｎ＋１と関数ｇ_ｎ＋１と関数Ｆ_ｎ−１と関数Ｇ_ｎ−１との線形和で表される前記０次収差成分のうちの少なくとも１つの収差成分を調整する、請求項４１に記載の投影方法。
    ただし、以下の式において（ρ，θ）は瞳極座標であり、（ｘ，ｙ）は瞳直交座標であり、ｎは偶数であり、ｘ方向またはｙ方向は前記矩形状の視野領域の長辺方向である。
    

    
46. 前記第１面に設定された所定のパターンを照明することと、
    請求項３７乃至４５のいずれか１項に記載の投影方法を用いて、前記所定のパターンの像を前記第２面に設定された物体上に投影する、露光方法。
47. 前記第１面に設定された所定のパターンからの光を投影光学系に導いて前記所定のパターンを前記第２面に設定された基板上に投影することと、
    請求項２９乃至３５のいずれか１項に記載の調整方法を用いて前記投影光学系を調整することとを含むことを特徴とする露光方法。
48. 請求項３６に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記基板に露光することと、
    前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成することと、
    前記マスク層を介して前記基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
49. 請求項４６または４７に記載の露光方法を用いて、前記所定のパターンを前記基板に露光することと、
    前記所定のパターンが転写された前記基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記基板の表面に形成することと、
    前記マスク層を介して前記基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。

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