JP5506394B2 - ウェハから回路パターンを除去する方法 - Google Patents
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Description
202:加圧装置
206:ウェハ
208:粒子流
Claims (2)
- シリコン・ウェハからパターン形成された構造体を除去する方法であって、
粒子ブラスト用ツールを用いて、パターン形成された構造体を含むウェハを保持するステップと、
粒子が所定の速度で前記パターン形成された構造体に接触するように、前記粒子を前記パターン形成された構造体に衝突させて、前記パターン形成された構造体を除去するステップと、
前記粒子の前記衝突を制御し、前記パターン形成された構造体のほぼ全てが前記ウェハから除去されたときに前記粒子の前記衝突させるステップを停止するステップと、
を含み、
前記粒子は、セリウムを含み、
前記粒子の前記衝突させるステップは、3ミクロン以下のサイズを有するように前記粒子を選択するステップをさらに含み、
前記粒子を前記衝突させるステップを停止した後、前記ウェハは、付加的な研磨なしに構造体及び層を形成できる再生ウェハとして直ちに利用できる、方法。 - シリコン・ウェハからパターン形成された構造体を除去する方法であって、
粒子ブラスト用ツールを用いて、以前に製造制御用ウェハとして用いられ、以前の処理後にウェハ・チップに分割されなかった、パターン形成された構造体を含むウェハを保持するステップと、
粒子が所定の速度で前記パターン形成された構造体に接触するように、前記粒子を前記パターン形成された構造体に衝突させて、前記パターン形成された構造体を除去するステップと、
前記粒子の前記衝突を制御し、前記パターン形成された構造体の実質的に全てが前記ウェハから除去されたときに前記粒子を前記衝突させるステップを停止するステップと、
を含み、
前記粒子は、セリウムを含み、
前記粒子の前記衝突させるステップは、3ミクロン以下のサイズを有するように前記粒子を選択するステップをさらに含み、
前記粒子の前記衝突させるステップを停止した後、前記ウェハは、付加的な研磨なしに構造体及び層を形成できる再生ウェハとして直ちに利用できる、方法。
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