JP5502644B2 - X線検出システム - Google Patents
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Description
上記特許文献1などに記載されたX線検出システムでは、コンパクトな光学系で光分解能な測定が可能になる。一方、測定するエネルギー領域を変更するためにはイメージセンサを交換する必要があるが、X線検出システムは真空中に配置されているため、イメージセンサの交換は容易ではなかった。
以上のようなX線検出システムにより、酸化物・窒素物等の化合物を試料として電子線を照射すると、特性X線以外に、特性X線とは波長が異なるカソードルミネッセンス(CL)と呼ばれる発光が発生する。そして、このカソードルミネッセンスは回折格子において全反射に近い状態で反射され、イメージセンサに入射してしまう。この結果、イメージセンサ上において回折X線の信号レベルが相対的に低下して採取スペクトルが不明瞭な状態になり、測定時間や測定精度に悪影響を及ぼすことになる。この場合に、回折X線とカソードルミネッセンスとを分離できることが望ましいが、これらを分離するのに適したフィルタが存在していないという問題が存在している。
まず図1と図2を参照して第1実施形態のX線検出システムの構成を説明する。
ここで図3を参照して第2実施形態のX線検出システムの構成を説明する。なお、この図3において、図1や図2と同一物には同一番号を付すことで重複した説明を省略する。
ここで図4を参照して第3実施形態のX線検出システムの構成を説明する。なお、この図4において、図1−図3と同一物には同一番号を付すことで重複した説明を省略する。
ここで図5を参照して第4実施形態のX線検出システムの構成を説明する。なお、この図5において、図1と同一物には同一番号を付すことで重複した説明を省略する。
ここで図7を参照して第5実施形態のX線検出システムの構成を説明する。なお、この図7において、図1や図5と同一物には同一番号を付すことで重複した説明を省略する。
ここで図9を参照して第6実施形態のX線検出システムの構成を説明する。なお、この図9において、他の図面と同一物には同一番号を付すことで重複した説明を省略する。
ここで図10を参照して第7実施形態のX線検出システムの構成を説明する。
20 試料
30 X線集光ミラー部
40 回折格子
50 スプリッタ
60 マイクロチャンネルプレート
70 イメージセンサ
Claims (6)
- 試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、
電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子と、
前記回折X線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折X線の結像面を振り分けるように前記回折X線の進行を振り分けるスプリッタと、
前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、
を有することを特徴とするX線検出システム。 - 前記スプリッタは、
前記回折X線を反射させるミラーにより管形状に構成された管形状X線導光ミラー部と、
前記管形状X線導光ミラー部の分岐部分において前記回折X線の進行を振り分ける可動ミラー部と、
前記可動ミラー部の位置を制御する可動ミラー制御部と、を備える、
ことを特徴とする請求項1記載のX線検出システム。 - 前記複数のイメージセンサは、
高エネルギー感度特性側はX線用イメージセンサであり、
低エネルギー感度特性側は、マイクロチャンネルプレートを受光面側に備えたイメージセンサである、
ことを特徴とする請求項1−2のいずれか一項に記載のX線検出システム。 - 前記マイクロチャンネルプレートは、
カソードルミネッセンス領域の量子効率より軟X線領域の量子効率が高い特性を有する、
ことを特徴とする請求項3に記載のX線検出システム。 - 前記マイクロチャンネルプレートを前記回折X線の進行方向に対して傾斜した状態であって回動可能な状態で保持する傾斜回動保持部と、
前記傾斜回動保持部により保持された前記マイクロチャンネルプレートを回動させる回動制御部と、
を有することを特徴とする請求項3−4のいずれか一項に記載のX線検出システム。 - 前記回折格子は不等間隔回折格子である、
ことを特徴とする請求項1−5のいずれか一項に記載のX線検出システム。
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