JP5990734B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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出器によってなる蛍光X線分析装置において、X線結晶分光器として1方向の長さが25mm以上300mm以下で板状単結晶からなる3次元形状に湾曲した1枚のX線結晶分光器を用い、位置敏感のX線検出器を用いることにより、X線結晶分光器の角度走査をすることなくX線の分光波長帯域の蛍光X線分析を行う蛍光X線分析装置が提供される。
図1は、本発明に係わる熱塑性変形による湾曲型X線分光・集光結晶と位置敏感形X線検出器を備えた、小型で高分解能な波長分散型(WD)型蛍光X線分析装置の実施形態の原理を示す斜視図である。この図1では、試料S1から発生し、発散する蛍光X線の一部のF1およびF2は湾曲型X線分光・集光結晶1に入射する。本発明の構成では、湾曲型X線分光・集光結晶1内面が、回転楕円面となっているため、楕円の焦点位置の試料S1で発生し、発散するX線は湾曲型X線分光・集光結晶1内面でBraggの法則に基づく回折を起こし、もう一方の楕円焦点位置S2に収束する。
図2には、本実施の形態の変形例として、上記の一枚の分光結晶に代えて、複数の分光結晶を用いた波長分散型(WD)型蛍光X線分析装置を示す。即ち、その回転角を半分とした回転楕円面からなるGe(111) の湾曲型X線分光・集光結晶1と、当該結晶と全く同じ形状のSi(220)の湾曲型X線分光・集光結晶3とを用いることにより、波長(λ)0.294nm(4.22keV)から0.131nm(9.44keV)までの分光が同時に行える。なお、これら2つの湾曲型X線分光・集光結晶は、それぞれの回転楕円面の2つの焦点が互いに一致するように、配置される。これにより、2つの分光結晶で分光された蛍光X線は、同一の位置敏感型X線検出器2の検出面上に入射し、計数することができる。また、湾曲型X線分光・集光結晶1のGe(111)による分光では、2次は観測されないが、Ge結晶の性質によりGe(333)に分光された3次の高調波が観測され、同一の測定条件で同時に波長(λ)0.167nm(7.50keV)から0.0743nm(16.65keV)の蛍光X線も観測されることになる。湾曲型X線分光・集光結晶2のSi(220)では、Si(440)の分光に相当する2次の高調波が観測され、波長(λ)0.147nm(8.44keV)から0.0655nm(18.88keV)の蛍光X線も同時に観測される。
ここで、図4を参照しながら、検出器信号処理装置4の構成を説明する。検出器2の各々の信号はエネルギー弁別回路61から64に入力され、検出器2のそれぞれの検出器素子21から23で検出される湾曲型X線分光・集光結晶1と湾曲型X線分光・集光結晶2からの4種類の回折面による4種類のX線エネルギーに対応するエネルギー弁別を行った上でカウンター51から54に蓄積される。従って、検出器各素子に接続されたカウンターでGe(111)、Ge(333)、Si(220)、Si(440)に対応する4系列のスペクトルを蓄積することが可能である。本実施の形態での分光帯域は、総合でX線エネルギー2.5keV(波長0.496nm)から、18.8keV(波長0.0657nm)であり、この帯域を、機械的な稼動部分を用いることなく、分光し、かつ、スペクトル測定することが可能となる。また、低X線エネルギー(長波長)の分光を行うためには、PET等の有機分光結晶や、SiやGe湾曲結晶の上に多層膜を形成した分光結晶を用いることが可能である。
次に、本発明の第二の実施の形態(実施の形態2)について、図5を用いて説明する。第一の実施の形態では、試料に含まれる元素が未知である場合の蛍光X線分析装置の構成例について説明した。湾曲分光結晶には回転楕円面に湾曲されたものを用いたが、回転LogSpiralとすることで試料S1から発する蛍光X線のうち回転LogSpiral湾曲分光結晶6に入射する全てのX線の回折角を同一にすることができ、更に、収束点S3に集光することができる。実施の形態1の分光器では同一回折角は分光結晶同一回転面上の円弧状になるのに対し、湾曲分光結晶全面となるため受光立体角が100倍程度大きくなる。図5に示した例では分光結晶の収束点S3の位置に、ピンホール7を配置し、その後方に位置分解能のないX線検出器8を設置して蛍光X線を測定する。X線管9にはコリメータ10を設置し、試料S1への蛍光励起用のX線を照射する。
上述した実施の形態2で用いた蛍光励起方法では、X線管9から発生する全てのX線波長を試料S1に照射し、試料からの蛍光X線を分光して特定元素の蛍光X線強度を測定し、微量分析を行うが、蛍光励起用X線にX線管の全ての波長を用いるため、わずかなノイズ成分が計測される。このノイズ成分を抑制し、更に、蛍光X線測定感度を向上させるためには、蛍光励起用の入射X線を単一波長に単色化することが有効である。
Claims (2)
- X線源とX線結晶分光器とX線検出器によってなる蛍光X線分析装置において、前記X線結晶分光器として1方向の長さが25mm以上300mm以下で板状単結晶からなる3次元形状に湾曲した1枚のX線結晶分光器を用い、位置敏感のX線検出器を用いることにより、前記X線結晶分光器の角度走査をすることなくX線の分光波長帯域の蛍光X線分析を行うことを特徴とする蛍光X線分析装置。
- 前記請求項1に記載した蛍光X線分析装置において、前記X線結晶分光器が回転楕円面
の一部を切り出した形状であり、前記X線検出器が2次元の位置敏感型、あるいは、同心
円状あるいは同心円の一部を切り出した形状の位置敏感型X線検出器であることを特徴と
する蛍光X線分析装置。
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