JP5501514B1 - 電子顕微鏡設定システム - Google Patents
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Abstract
本発明は、電子顕微鏡における加速電圧の設定を、熟練に頼らずに操作者にとって直感的に理解しやすく、効率的に行うことができるような操作制御を実現できる電子顕微鏡設定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、電子顕微鏡の加速電圧の設定値の選択操作を行う第1の操作子としてのスライダ531が表示される第1の操作子の表示領域を有する電子顕微鏡設定画面を表示部に表示する表示プログラムを有し、前記表示プログラムは、前記第1の操作子としてのスライダ531の選択範囲に対応して付されている、少なくとも低加速域521を含む目盛りの目盛り数値間隔が、低加速域において広くなるように表示させることを特徴とする。
【選択図】図5
Description
図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡の一例を示す概略構成図である。
電子顕微鏡(電子顕微鏡設定システム)101において、電子銃1から放射された一次電子ビーム2は、まず、収束レンズ3及び対物レンズ8によって収束される。その後、一次電子ビーム2は上段偏向器6と下段偏向器7によって試料9上に照射される。試料9から発生した信号電子は検出器10で検出され、後記する検出信号制御回路17を介し、CPU(Central Processing Unit)等のコンピュータ19で処理される。走査位置に対応して記録された信号が画像表示装置18に表示される。試料9上に一次電子ビーム2を点状に集束させるため、フォーカスX調整を行うX方向非点補正器4、フォーカスY調整を行うY方向非点補正器5が設けられ、これらの制御条件を調整することでフォーカスX調整、フォーカスY調整(非点収差補正)ができる。また収束レンズ3又は対物レンズ8の励磁強度が調整されることで試料9上にフォーカス調整を行うことができる。以上の電子光学系は電子顕微鏡カラム100に収められている。
図2は、本実施形態に係る電子顕微鏡の操作手順を示すフローチャートである。図1を適宜参照しつつ、図2に沿って本実施形態に係る操作手順を説明する。
まず、ユーザは、操作プログラム31及び表示プログラム32を起動することで、設定画面200(図3等)を起動する(S101)。なお、試料9のセットは、設定画面200の起動後に行われてもよいし、設定画面200の起動前に行われてもよい。
そして、コンピュータ19がデフォルトの観察条件で試料9を走査し、走査像(以下、画像と称する)を取得する(S102)。表示プログラム32は、取得された画像を画像表示装置18に表示する。ここで、観察条件とは、電子顕微鏡101の設定値の組み合わせである。デフォルトの観察条件は、前回終了時の設定値が用いられる。なお、ステップS102の前に加速電圧や、リターディング時の加速電圧や、スポット強度や、倍率調整等の各種設定を行ってもよい。
続いて、ユーザは取得された画像に対し、視野探しを行うとともに、加速電圧や、リターディング時の加速電圧や、スポット強度や、倍率調整等の各種設定を行う(S103)。リターディング時の加速電圧、スポット強度については、後記して説明する。
そして、ユーザがコンピュータ19に画像表示装置18に表示されている画像を記憶装置21に保存させる(S104)。本実施形態では、画像を記憶装置21に記憶させることを適宜「撮影」と称する。
続いて、ユーザは取得した画像でOKか否かを判断する(S105)。
ステップS105の結果、OKである場合(S105→Yes)、ユーザは処理を終了する。
以降、電子顕微鏡101はステップS103〜S105の処理を繰り返す。
なお、本実施形態は、ステップS103の各種設定に関するものである。
《第1実施形態》
[操作例]
図3は、本実施形態に係る設定画面の画面例を示す図である。
設定画面200は、大きく操作パネル画面201と、画像表示画面202とを有する。
画像表示画面202は、電子顕微鏡101による画像(走査像)401が表示される画面である。また、画像表示画面202には、過去に保存された画像402も表示されている。
電圧設定窓301では、電圧設定ボタン311が選択入力されると、操作画面200は、図4、図7、図9で示すような画面となり、加速電圧の値が設定される。それぞれの図の説明は後記する。
なお、スポット強度とは、電子プローブ内を流れる電流量である。電子プローブとは、電子銃1から放出され、収束レンズ3と対物レンズ8によって収束され、試料9に照射される一次電子ビーム2のことである。スポット強度を大きくすると、試料9への照射電流が大きくなる。ユーザが高倍率でシャープな画像を得ようとする場合、ユーザはスポット強度を小さく設定する。
なお、図3の例では、リターディング「OFF」状態となっている。
画面倍率設定窓305は、表示されている画像401をオリジナルの画像に対して何倍で表示するかを設定する領域である。
スタート・ストップボタン307は、一次電子ビーム2の照射開始・終了の操作を行うものである。スタートボタンが選択入力されると、一次電子ビーム2が試料9に照射され、その撮像画像が画像表示画面202の画像401に表示される。また、ストップボタンが選択入力されると、一次電子ビーム2の照射が停止し、画像表示画面202の画像401が非表示となる。
図3の状態から、電圧設定ボタン311が選択入力されると、電子顕微鏡設定画面として加速電圧設定メニュー500がプルダウンメニューとして表示される。
プルダウンメニューである加速電圧設定メニュー500は、加速電圧スライダ設定部(第1の操作子の表示領域)501、履歴表示窓(履歴表示領域)502、微調整表示窓(第2の操作子の表示領域)503、スライダ設定値表示窓504、セットボタン505を有している。ユーザは、入力装置23を介してスライダ(第1の操作子)531を操作して加速電圧の値を調節する。
なお、図5に示すように、低加速域521と、高加速域523との間に、中加速域522を設けてもよい。この場合、中加速域522の目盛り間隔は、低加速域521と、高加速域523との中間の間隔としてもよい。図5では、低加速域521と、中加速域522との境界は5.0kVとなっており、中加速域522と、高加速域523との境界は20.0kVとなっているが、前記したように、5.0kVを低加速域521と、高加速域523との境界としてもよい。
なお、中加速域522は、省略可能である。
このようにすることで、特に、初心者のユーザに対して、マニュアル等を参考せずに、画面を見るという行為のみで、本技術分野において低加速域における微調整が重要であることの「気づき」を与えることができる。
ちなみに、加速電圧の値を大きくすると、分解能が高くなり、一次電子ビーム2の試料内散乱領域が大きくなり、表面情報が少なくなり、チャージアップが多くなる。
また他の例として、よく使用される領域521では目盛り間隔が大きくし、あまり使用されない領域523の目盛り間隔を小さくすることも可能である。そして、使用頻度が中程度の使用領域522では目盛り間隔が領域521と領域523の中間とすることも可能である。
また、低加速域521の目盛り間隔が広い状態から、さらに、よく使用される領域521では目盛り間隔が大きくし、あまり使用されない領域523の目盛り間隔を小さくすることも可能である。
ユーザが、入力装置23を介して、履歴表示窓502に表示されている値のうち、1つを選択すると、その値に電子顕微鏡101における加速電圧の値が設定され、加速電圧設定メニュー500が非表示となる。
なお、前記したように、履歴表示窓502に表示されている値をユーザが選択入力すると、セットボタン505の選択入力なしで加速電圧の値が設定される。
リターディングが「ON」に切り換えられると、図3の加速電圧の設定上下限値[0.5−30.0]の表示から、リターディング時における照射電圧の設定上下限値[0.5−2.0]の表示651に変化する。ここでは、リターディング電圧の値は設定値であり、固定値であるものとする。
図6の状態から、照射電圧設定ボタン311が選択入力されると、リターディング用の照射電圧設定メニュー600がプルダウンメニューとして表示される。
プルダウンメニューである照射電圧設定メニュー600は、図5の加速電圧設定メニュー500と同様、照射電圧スライダ設定部(第1の操作子の表示領域)601、履歴表示窓602を有している。また、照射電圧設定メニュー600は、微調整表示窓(第2の操作子の表示領域)603、スライダ設定値表示窓604、セットボタン605、モード切替ボタン606を有している。ユーザは、入力装置23を介してスライダ(第1の操作子)631を操作して加速電圧の値を調節する。
ここで、照射電圧スライダ設定部601は、目盛り間隔が一定となっていない。つまり、図8の照射電圧スライダ設定部601の目盛りは、低照射電圧域622(例えば1kV未満)において目盛り間隔が大きくなっており、低照射電圧域よりも大きい数値領域621(例えば1kV以上)では目盛り間隔が小さくなっている。
上記の例では、低照射電圧域622の範囲を1kV未満としたが、これに限らず、0.5kVや、1.5kV等、装置仕様により任意に設定できることはいうまでもない。
上記は一例であるが、表示プログラム32は、他の例としてよく使用される領域622の目盛り間隔を大きくし、あまり使用されない領域621の目盛り間隔が小さくすることも可能である。低照射電圧域622の目盛り間隔が広く表示されている状態から、さらに、よく使用される領域622の目盛り間隔を大きくし、あまり使用されない領域621の目盛り間隔が小さくすることも可能である。
ユーザが、入力装置23を介して、履歴表示窓602に表示されている値のうち、1つを選択すると、その値に照射電圧が設定され、照射電圧設定メニュー600が非表示となる。
この微調整ボタン611の数値の選択幅は、照射電圧スライダ設定部601の設定値に応じて変化させることも可能である。例えば、設定値が高照射電圧域621である場合には、選択幅を広く設定し、低照射電圧域622である場合には、選択幅を小さく設定する。具体的には、設定値が1kV未満であるときは、選択幅が0.01kV刻みとし、1kVを超える場合には、0.05kV刻みとする等である。このとき、さらに選択幅を中間を含めた3刻みとしたり、それ以上とすることも可能である。この選択幅はユーザが任意に設定することも可能である。
なお、前記したように、履歴表示窓602に表示されている値をユーザが選択入力すると、セットボタン605の選択入力なしで照射電圧の値が設定される。
ユーザが、入力装置23を介して、モード切替ボタン606を選択入力すると、リターディング「ON」、かつ、低照射電圧モードの設定画面に切り替わる。
低照射電圧モードになると、リターディング時における照射電圧の設定上下限値751の値が、図7の[0.5−2.0]から、[0.1−2.0]と低照射電圧モード向けの設定上下限値に変化する。
そして、図8のモード変更ボタン606が選択入力されることで、図8の照射電圧設定メニュー600が低照射電圧モード用の照射電圧設定メニュー700へと変化する。
プルダウンメニューである照射電圧設定メニュー700は、以下の点で図8の照射電圧設定メニュー600と異なっている。まず、照射電圧スライダ設定部701が、図8の照射電圧スライダ設定部601より低電圧まで設定可能になっている。そして、図8のモード切替ボタン606が非表示となり、代わりにモード切替ボタン706が表示されている。
なお、照射電圧スライダ設定部701は、目盛り間隔が一定となっていない。つまり、図10の照射電圧スライダ設定部701の目盛りは、低照射電圧域722(例えば1kV未満)では目盛り間隔が大きくなっており、あまり高照射電圧域721(例えば1kV以上)では目盛り間隔が小さくなっている。
上記例では、低照射電圧域722、高照射電圧域721による目盛り間隔の相違について述べたが、よく使用される領域722の目盛り間隔を大きくし、あまり使用されない領域721の目盛り間隔を小さくするように構成することも可能である。
このようにすることで、正確かつ効率的な加速電圧又は照射電圧の値の設定が可能となる。
さらに、表示プログラム32は、目盛りがリターディング用となっている照射電圧スライダ設定部601,701を有する照射電圧設定メニュー600,700の表示を行う。このようにすることで、ユーザは、リターディング向けの設定が可能となる。
上記実施形態においては、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,601,701における加速電圧又は照射電圧の選択、設定において第1の操作子であるスライダ531,631,731を用いてスライダ操作を行う例を示したが、上記に限らず、ラジオボタン等を設けて、マウスカーソルやタッチパネル等の指示手段を第1の操作子として、ユーザが当該操作子を介してクリック操作で選択、設定を行うことも可能である。本実施形態はスライド操作に限らず、その他操作においても適用可能であることはいうまでもない。
第1実施形態では、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,601,701の目盛り間隔について、どの範囲を広くし、どの範囲が狭くなるかは固定であったが、第2実施形態〜第4実施形態では可変となる。
図11は、第2実施形態に係る設定画面の例を示す図である。
設定画面200には、図3の設定画面200と同様の画面上に、観察目的変更画面800が表示されている。観察目的変更画面800は、例えば、設定画面200における図示しない観察目的変更画面切替ボタンが選択入力されることを契機として表示される。
図11に示すように、観察目的設定ボタン801のそれぞれには、観察目的が表示されている。
図11の例では、5つの観察目的設定ボタン801が上下に並んでおり、上から順に、「標準の観察」、「表面構造を強調する観察」、「表面構造と材料分布を強調する観察」、「材料分布を強調する観察」及び「元素を分析する観察」となっている。
図12に示す観察条件設定テーブル41における各レコードは、観察目的設定ボタン801のそれぞれに対応付けられたものであって、観察目的ごとに設定値(加速電圧、検出信号、Scan方式)を組み合わせたものである。図12に示すように、「凹凸 小 見やすさ」や、「凹凸 大 見やすさ」や、「組成情報 見やすさ」等の観察目的は、観察条件設定テーブル41における◎、○、△、×等で評価されている。
また、図13において、縦軸は目盛りの値を示す目盛値であり、横軸は実際に加速電圧スライダ設定部501に表示されるスライダ目盛である。なお、図13では、図5の加速電圧スライダ設定部501におけるスライダ目盛パターンを想定しているが、図8の照射電圧スライダ設定部601や、図10の照射電圧スライダ設定部701にも適用可能である。
図13(a)におけるスライダ目盛パターンAの表示される目盛りは、小さな値の範囲では目盛り間隔が狭く、値が大きくなるに従って目盛り間隔が広くなる。
図13(c)に示すスライダ目盛パターンCの表示される目盛りは、小さな値の範囲における目盛り間隔と、大きな値の範囲における目盛り間隔との差が、スライダ目盛パターンBよりも大きくなっている。
このように、観察目的設定ボタン801と、スライダ目盛パターンとを対応付けることで、ユーザはどのような観察目的のときには、どの加速電圧の値がよく用いられるのかを学習することができる。また、観察目的毎に最適なスライダ目盛パターンが加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,601,701に表示されるので、使い勝手がよくなる。
図14は、第3実施形態に係る設定画面の例を示す図である。
図14における設定画面200の加速電圧設定メニュー500aでは、加速電圧スライダ設定部501aにおいて、履歴表示窓502で選択入力された値(ドットで示している)周辺の目盛りが細かく表示されている(符号531)。つまり、表示プログラム32は、履歴表示窓502で選択入力された値の周辺を細かく表示するよう図5の加速電圧スライダ設定部501から図14の加速電圧スライダ設定部501aへ表示を変化させる。
それ以外は、図4、図5と同様であるので符号及び説明を省略する。
このようにすることで、ユーザは、過去に使用した値を基にした加速電圧の値の設定を効率的に行うことができる。
また、第2実施形態によれば、加速電圧の値の細かい設定に不慣れな初級者でも平易に扱うことができる。
図15は、第4実施形態に係るスライダ目盛パターンの変化を示す図である。
第4実施形態では、表示プログラム32が、ユーザによる加速電圧の値の設定頻度に応じて、スライダ目盛パターンを変化させる。ここでは、図5の加速電圧スライダ設定部501を想定して説明を行うが、本実施形態は、図8の照射電圧スライダ設定部601や、図10の照射電圧スライダ設定部701に適用可能である。
また、図15における横軸と縦軸は、図13と同様である。
そして、例えば、加速電圧の値として「5」が選択されると、表示プログラム32は、図15(b)に示すように「5」の点において、スライダ目盛パターンを下方に移動させる。
そして、加速電圧の値として「5」がさらに選択されると、表示プログラム32は、図15(c)に示すように「5」の点において、スライダ目盛パターンをさらに下方へ移動させる。
この結果、加速電圧の値「5」付近の目盛り間隔が大きい加速電圧スライダ設定部501が表示される。
また、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,501a,601,701において、よく使用する領域、中程度に使用する領域、あまり使用しない領域において、目盛りを色分けしてもよい。
また、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,501a,601,701において、目盛りの幅をユーザが任意に調節できるようにしてもよい。例えば、ユーザがマウス(不図示)等で加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,501a,601,701上の領域を指定した後、その領域をマウスによって伸ばしたり、縮めたりすることで目盛りの幅を調節できるようにしてもよい。
また、図8、図10において、図8のモード変更ボタン606が選択入力されることによって、図9に示す低照射電圧モードの設定画面に切り替わっている。しかしながら、これに限らず、照射電圧スライダ設定部601のスライダ631が一番下に到達すると、図9に示す低照射電圧モードの設定画面に切り替わるようにしてもよい。
なお、本実施形態は、走査型電子顕微鏡における設定画面200を想定しているが、透過型電子顕微鏡における設定画面に適用してもよい。
また、表示プログラム32は、リターディング「ON」時と、「OFF」時とで、表示される文字の色を変えてもよい。
さらに、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,501a,601、701は横向きに表示されてもよい。
そして、加速電圧又は照射電圧のスライダ設定部501,501a,601、701は、例えば円形でありスライダ531,631,731はダイヤル状や、ダイヤル上を移動するスライダとなっていてもよい。
また、各実施形態において、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしもすべての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には、ほとんどすべての構成が相互に接続されていると考えてよい。
19 コンピュータ
21 記憶装置
22 メモリ
23 入力装置
31 操作プログラム
32 表示プログラム(GUI表示処理部)
100 電子顕微鏡カラム
101 電子顕微鏡(電子顕微鏡設定システム)
200 設定画面
301 電圧設定窓
302 スポット強度設定窓
303 リターディング切替ボタン
304 倍率設定窓
305 画面倍率設定窓
306 画像保存操作領域
307 スタート・ストップボタン
500,500a 加速電圧設定メニュー
600,700 照射電圧設定メニュー
501,501a 加速電圧スライダ設定部(第1の操作子の表示領域)
601,701 照射電圧スライダ設定部(第1の操作子の表示領域)
502,602,702 履歴表示窓(履歴表示領域)
503,603,703 微調整表示窓(第2の操作子の表示領域)
504,604,704 スライダ設定値表示窓
505,605,705 セットボタン
511,611,711 微調整ボタン(第2の操作子)
531,631,731 スライダ(第1の操作子)
606,706 モード切替ボタン
651 照射電圧の設定上下限値の表示
Claims (11)
- 電子顕微鏡の加速電圧の設定値の選択操作を行う第1の操作子が表示される第1の操作子の表示領域を有する電子顕微鏡設定画面を表示部に表示するGUI表示処理部を有し、
前記GUI表示処理部は、
前記第1の操作子の選択範囲に対応して付されている、少なくとも低加速域を含む目盛りの目盛り間隔が、低加速域において広くなるように表示させ、
前記第1の操作子で選択された前記設定値の微調整を選択的に行う第2の操作子が表示される第2の操作子の表示領域を前記電子顕微鏡設定画面上に表示させ、
前記第2の操作子による選択幅が、前記第1の操作子で選択された設定値に応じて変化することを特徴とする電子顕微鏡設定システム。 - 前記低加速域は5kV以下であって、前記目盛り間隔は5kV以下において、その幅が広くなることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。
- 前記第2の操作子による選択幅は、前記第1の操作子で選択された設定値が5kV未満である場合、前記選択幅が0.1kV刻みとなり、5kVを超える場合、1kV刻みとなることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。
- 前記GUI表示処理部は、
前記電子顕微鏡設定画面上に、過去に選択された前記設定値の履歴が表示される履歴表示領域を表示させることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。 - 前記第一の操作子にスライダを含み、前記選択操作にスライド操作を含むことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。
- 前記目盛り間隔は、使用頻度が所定の頻度以上である値の範囲については、前記使用頻度が所定の頻度未満である値の範囲に比してより広いことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。
- 前記GUI表示処理部は、
リターディング用の照射電圧の設定値の選択操作を行う第1の操作子が表示される第1の操作子の表示領域を表示させ、
前記第1の操作子の選択範囲に対応して付されている、少なくとも低照射域を含む目盛りの目盛り間隔が、前記低照射域において広くなるように表示させることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。 - 前記電子顕微鏡設定画面には、前記低照射域を含む目盛りにおいて設定された目盛り値よりも更に低い値を選択できるように、リターディング時における低照射用の目盛り表示に切り替え可能な切替ボタンが表示されており、
当該切替ボタンが入力部を介して選択入力されると、
前記低照射域を含む目盛りが表示された状態から、前記リターディング時における低照射用の目盛り表示に切り替わることを特徴とする請求項7に記載の電子顕微鏡設定システム。 - 前記表示部に、前記電子顕微鏡における観察目的に応じた、設定値を設定するための観察目的設定ボタンが表示されており、
前記観察目的設定ボタンにおける観察目的に対する設定値に応じて、前記目盛り間隔が異なることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。 - 前記履歴表示領域に表示されている設定値のうち、1つが選択されると、前記第1の操作子の表示領域における、前記選択された設定値近傍の値を細かく表示することを特徴とする請求項4に記載の電子顕微鏡設定システム。
- 前記設定値の使用頻度に応じて、前記第1の操作子の表示領域に表示される目盛り間隔が変化することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡設定システム。
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