JP2000315472A - 分析装置 - Google Patents
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- JP2000315472A JP2000315472A JP12601499A JP12601499A JP2000315472A JP 2000315472 A JP2000315472 A JP 2000315472A JP 12601499 A JP12601499 A JP 12601499A JP 12601499 A JP12601499 A JP 12601499A JP 2000315472 A JP2000315472 A JP 2000315472A
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- Japan
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- analysis
- analyzer
- operations
- function
- analysis operation
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- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 設定した一連の分析操作の操作内容や手順の
確認し、分析操作の設定や分析操作の再生を行う。 【解決手段】 分析装置１行わせる分析操作を設定する
機能、及び設定した分析操作を再生する機能を備える制
御手段４と、制御手段４で設定した分析操作を記憶する
記憶手段５とを備え、制御手段の分析操作の再生機能
は、記憶手段に記憶した分析操作を再生し、再生するこ
とによって分析操作の設定動作の再現、または分析装置
の操作の実行又は再現を行う構成とし、設定した操作内
容や操作手順などの記憶内容に基づいて分析操作を再現
し、設定した一連の分析操作の操作内容や手順の確認を
可能とする。
確認し、分析操作の設定や分析操作の再生を行う。 【解決手段】 分析装置１行わせる分析操作を設定する
機能、及び設定した分析操作を再生する機能を備える制
御手段４と、制御手段４で設定した分析操作を記憶する
記憶手段５とを備え、制御手段の分析操作の再生機能
は、記憶手段に記憶した分析操作を再生し、再生するこ
とによって分析操作の設定動作の再現、または分析装置
の操作の実行又は再現を行う構成とし、設定した操作内
容や操作手順などの記憶内容に基づいて分析操作を再現
し、設定した一連の分析操作の操作内容や手順の確認を
可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査電子顕微鏡等
の分析装置に関する。
の分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の分析装置では、コンピュータ制御
装置と組み合わせることによって、一般的なアプリケー
ションソフトと同様のＧＵＩ機能を適用させて、分析に
伴う種々の操作を行うものが知られており、制御機能や
データ処理機能等の種々の機能を組み合わせることも行
われている。例えば、走査電子顕微鏡の電子ビームの焦
点合わせや非点収差補正などの制御機能や、分析結果を
フィルタリングするなどのデータ処理機能などの個々の
機能を組み合わせてより複雑な機能が可能となってい
る。
装置と組み合わせることによって、一般的なアプリケー
ションソフトと同様のＧＵＩ機能を適用させて、分析に
伴う種々の操作を行うものが知られており、制御機能や
データ処理機能等の種々の機能を組み合わせることも行
われている。例えば、走査電子顕微鏡の電子ビームの焦
点合わせや非点収差補正などの制御機能や、分析結果を
フィルタリングするなどのデータ処理機能などの個々の
機能を組み合わせてより複雑な機能が可能となってい
る。
【０００３】このような各機能は、コンピュータ処理に
おいて通常マクロ機能と呼ばれるコマンドやパラメータ
の組み合わせによって定められている。コマンドやパラ
メータは、マウス等のポインティングデバイスやキーボ
ード等の入力手段を操作して入力することができる。分
析装置は、試料観察の操作、分析操作等の分析にかかわ
る制御操作や、分析結果のデータ解析にかかわる解析操
作などの各種の操作を含んでおり、これらの操作に対応
する機能を選択し、該機能を呼び出して実行させること
によって、分析処理を行っている。
おいて通常マクロ機能と呼ばれるコマンドやパラメータ
の組み合わせによって定められている。コマンドやパラ
メータは、マウス等のポインティングデバイスやキーボ
ード等の入力手段を操作して入力することができる。分
析装置は、試料観察の操作、分析操作等の分析にかかわ
る制御操作や、分析結果のデータ解析にかかわる解析操
作などの各種の操作を含んでおり、これらの操作に対応
する機能を選択し、該機能を呼び出して実行させること
によって、分析処理を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】分析装置による分析に
おいて、マクロ機能を用いて個々の機能を組み合わせた
一連の制御操作や解析操作を行う場合には、分析対象で
ある試料や求める分析データに対応して、最適な機能を
選択し該機能について最適なコマンドやパラメータを選
択してマクロ機能を設定し、その手順についても分析対
象に応じて定める必要がある。したがって、分析対象毎
に一連のマクロ機能の組み合わせからなるマクロ情報を
作成する必要があり、分析対象や分析内容が類似する場
合においてもマクロ機能の選択及び手順設定の作業を要
することになり、操作性の点で問題がある。
おいて、マクロ機能を用いて個々の機能を組み合わせた
一連の制御操作や解析操作を行う場合には、分析対象で
ある試料や求める分析データに対応して、最適な機能を
選択し該機能について最適なコマンドやパラメータを選
択してマクロ機能を設定し、その手順についても分析対
象に応じて定める必要がある。したがって、分析対象毎
に一連のマクロ機能の組み合わせからなるマクロ情報を
作成する必要があり、分析対象や分析内容が類似する場
合においてもマクロ機能の選択及び手順設定の作業を要
することになり、操作性の点で問題がある。
【０００５】また、作成したマクロ情報を用いて分析装
置を動作させて分析操作を実行する場合には、通常設定
されたマクロ機能に基づいて分析操作置を実行するだけ
であり、実行中の操作段階や操作内容を確認することが
できず、分析操作の内容や操作状況の把握が困難である
という問題がある。特に、マクロ情報の作成者以外の者
や分析装置の初心者等の作成時の情報や分析操作につい
ての知識が不足している者にとって、分析操作について
の情報や知識を得ることができず、教示的な面や教育的
面からも問題がある。
置を動作させて分析操作を実行する場合には、通常設定
されたマクロ機能に基づいて分析操作置を実行するだけ
であり、実行中の操作段階や操作内容を確認することが
できず、分析操作の内容や操作状況の把握が困難である
という問題がある。特に、マクロ情報の作成者以外の者
や分析装置の初心者等の作成時の情報や分析操作につい
ての知識が不足している者にとって、分析操作について
の情報や知識を得ることができず、教示的な面や教育的
面からも問題がある。
【０００６】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、分析装置において、設定した一連の分析操作の
操作内容や手順の確認を可能とすることを目的とする。
解決し、分析装置において、設定した一連の分析操作の
操作内容や手順の確認を可能とすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、分析装置に対
して行う制御操作や解析操作について、設定した操作内
容や操作手順を記憶し、記憶内容を用いて分析操作を再
現することによって、一連の分析操作の操作内容や手順
の確認を可能とする。
して行う制御操作や解析操作について、設定した操作内
容や操作手順を記憶し、記憶内容を用いて分析操作を再
現することによって、一連の分析操作の操作内容や手順
の確認を可能とする。
【０００８】本発明の分析装置は、分析装置に行わせる
分析操作を設定する機能、及び設定した分析操作を再生
する機能を備える制御手段と、制御手段で設定した分析
操作を記憶する記憶手段とを備え、制御手段の分析操作
の再生機能は、記憶手段に記憶した分析操作を再生し、
再生することによって分析操作の設定動作の再現、また
は分析装置の操作の実行又は再現を行う構成とすること
によって、設定した操作内容や操作手順などの記憶内容
に基づいて分析操作を再現し、これによって設定した一
連の分析操作の操作内容や手順の確認を可能とする。
分析操作を設定する機能、及び設定した分析操作を再生
する機能を備える制御手段と、制御手段で設定した分析
操作を記憶する記憶手段とを備え、制御手段の分析操作
の再生機能は、記憶手段に記憶した分析操作を再生し、
再生することによって分析操作の設定動作の再現、また
は分析装置の操作の実行又は再現を行う構成とすること
によって、設定した操作内容や操作手順などの記憶内容
に基づいて分析操作を再現し、これによって設定した一
連の分析操作の操作内容や手順の確認を可能とする。
【０００９】本発明において、分析操作は、分析装置を
駆動する装置制御操作やデータを解析するデータ解析操
作を含み、各操作はマウスやキーボード等の入力手段に
よって設定することができる。入力手段による設定動作
は、機能を選択するためのメニューやボタン等の操作対
象の選定動作、メニュー内の選択やボタン動作やキー入
力等の操作対象に対する操作内容の選定動作を含む。記
憶手段は、これらの操作対象や操作内容を記憶すること
によって分析操作を記憶する。
駆動する装置制御操作やデータを解析するデータ解析操
作を含み、各操作はマウスやキーボード等の入力手段に
よって設定することができる。入力手段による設定動作
は、機能を選択するためのメニューやボタン等の操作対
象の選定動作、メニュー内の選択やボタン動作やキー入
力等の操作対象に対する操作内容の選定動作を含む。記
憶手段は、これらの操作対象や操作内容を記憶すること
によって分析操作を記憶する。
【００１０】本発明の制御装置は、分析装置に行わせる
分析操作を設定する設定機能と設定した分析操作を再生
する再生機能とを備える。設定機能は、試料や求める分
析結果などに応じて、前記した操作対象や操作内容を定
めることによって分析操作を設定する。なお、設定機能
は、作成した分析操作を編集する編集機能を含むことが
できる。また、再生機能は、記憶した分析操作を読み出
して再生する。分析操作の再生の一形態は、分析操作の
設定する動作の再現であり、どの操作対象を選定し、選
定した操作対象中からどの操作内容を選定したかを、そ
の動作順を含めて再現する。分析操作の再生の他の形態
は、分析装置の操作の実行であり、設定した分析操作を
分析装置に実行させ、分析結果を求めることができる。
分析操作を設定する設定機能と設定した分析操作を再生
する再生機能とを備える。設定機能は、試料や求める分
析結果などに応じて、前記した操作対象や操作内容を定
めることによって分析操作を設定する。なお、設定機能
は、作成した分析操作を編集する編集機能を含むことが
できる。また、再生機能は、記憶した分析操作を読み出
して再生する。分析操作の再生の一形態は、分析操作の
設定する動作の再現であり、どの操作対象を選定し、選
定した操作対象中からどの操作内容を選定したかを、そ
の動作順を含めて再現する。分析操作の再生の他の形態
は、分析装置の操作の実行であり、設定した分析操作を
分析装置に実行させ、分析結果を求めることができる。
【００１１】また、分析操作の再生の別の形態は、分析
装置の操作の再現であり、実行した分析操作と同一の分
析操作の動作状態を表示装置等に表示し、模擬的に分析
操作を実行する。この形態において、求めておいた分析
結果や解析データを表示することもできる。この形態に
よれば、分析装置において、実際の分析操作を再生する
ことができる。
装置の操作の再現であり、実行した分析操作と同一の分
析操作の動作状態を表示装置等に表示し、模擬的に分析
操作を実行する。この形態において、求めておいた分析
結果や解析データを表示することもできる。この形態に
よれば、分析装置において、実際の分析操作を再生する
ことができる。
【００１２】再生機能の形態によれば、分析装置におい
て、分析操作の再生において、操作対象の動作を再現す
ることができ、また、再生した操作内容を確認すること
ができる。また、マクロ情報の作成者以外の者や分析装
置の初心者等の作成時の情報や分析操作についての知識
が不足している者にとって、分析操作についての情報や
知識を得ることができ、教育的効果を奏することができ
る。
て、分析操作の再生において、操作対象の動作を再現す
ることができ、また、再生した操作内容を確認すること
ができる。また、マクロ情報の作成者以外の者や分析装
置の初心者等の作成時の情報や分析操作についての知識
が不足している者にとって、分析操作についての情報や
知識を得ることができ、教育的効果を奏することができ
る。
【００１３】本発明の形態によれば、分析装置におい
て、実際の動作前に、設定した分析操作の内容及び手順
を動作に沿って確認することができる。なお、本発明の
分析装置は、走査電子顕微鏡に限らずコンピュータ制御
装置と組み合わせた操作を行う分析装置一般に適用する
ことができる。
て、実際の動作前に、設定した分析操作の内容及び手順
を動作に沿って確認することができる。なお、本発明の
分析装置は、走査電子顕微鏡に限らずコンピュータ制御
装置と組み合わせた操作を行う分析装置一般に適用する
ことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の分析装
置の構成を説明するための概略図である。図１におい
て、分析装置１は、通常の分析処理に供する走査分析装
置本体２及び分析装置用制御部３と、本発明が備える分
析操作の設定や再生を行うための制御部４，記憶部５，
入力部６，及び表示部７を備える。
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の分析装
置の構成を説明するための概略図である。図１におい
て、分析装置１は、通常の分析処理に供する走査分析装
置本体２及び分析装置用制御部３と、本発明が備える分
析操作の設定や再生を行うための制御部４，記憶部５，
入力部６，及び表示部７を備える。
【００１５】分析装置本体２は分析装置用制御部３によ
って制御される。分析装置本体２が走査電子顕微鏡であ
る場合には、分析装置用制御部３は電子線の加速電圧の
制御、収束レンズや偏向コイルや非点補正コイルや対物
レンズの制御による電子線の調整、試料ステージの制
御、検出信号の信号処理等の各種の制御を行う。
って制御される。分析装置本体２が走査電子顕微鏡であ
る場合には、分析装置用制御部３は電子線の加速電圧の
制御、収束レンズや偏向コイルや非点補正コイルや対物
レンズの制御による電子線の調整、試料ステージの制
御、検出信号の信号処理等の各種の制御を行う。
【００１６】制御部４は、分析装置用制御部３に対して
操作を指令する機能と、分析装置２に行わせる分析操作
を設定する機能と、設定した分析操作を再生する機能を
備える。記憶部５は、制御部４で設定した分析操作や分
析装置３の分析データを記憶する。また、表示部７は、
分析装置２の分析データや解析データの表示の他、制御
部４による分析操作を設定する際の表示や、設定した分
析操作を再生する際の表示に用いる。
操作を指令する機能と、分析装置２に行わせる分析操作
を設定する機能と、設定した分析操作を再生する機能を
備える。記憶部５は、制御部４で設定した分析操作や分
析装置３の分析データを記憶する。また、表示部７は、
分析装置２の分析データや解析データの表示の他、制御
部４による分析操作を設定する際の表示や、設定した分
析操作を再生する際の表示に用いる。
【００１７】入力部６は、分析制御部３に対する入力の
他、制御部４による分析操作の設定や、各種動作に選択
を行う部分であり、マウス等のポインティング装置やキ
ーボード等の周知入力装置を用いることができる。ま
た、該入力部６は、通常の像観察操作や電子光学系の軸
調整、試料ステージの移動等の操作にも用いる。
他、制御部４による分析操作の設定や、各種動作に選択
を行う部分であり、マウス等のポインティング装置やキ
ーボード等の周知入力装置を用いることができる。ま
た、該入力部６は、通常の像観察操作や電子光学系の軸
調整、試料ステージの移動等の操作にも用いる。
【００１８】記憶部５は、制御部４で設定した操作対象
や操作内容によって手順を含めた操作動作を記憶する。
操作対象や操作内容は、所定の動作の定めるマクロ命令
やパラメータの組み合わせによって設定することがで
き、記憶内容は制御部に読み出して再生することができ
る。
や操作内容によって手順を含めた操作動作を記憶する。
操作対象や操作内容は、所定の動作の定めるマクロ命令
やパラメータの組み合わせによって設定することがで
き、記憶内容は制御部に読み出して再生することができ
る。
【００１９】記憶部５は、上記した操作対象や操作内容
を格納する他、マクロ命令を格納し、入力手段６からの
指令に基づいてマクロ命令を読み出し、該マクロ命令や
パラメータを組み合わせて操作対象や操作内容を記憶す
る。また、記憶部５は、分析装置３からの分析データを
格納することもでき、分析操作の動作と対応付けを行う
ことができる。
を格納する他、マクロ命令を格納し、入力手段６からの
指令に基づいてマクロ命令を読み出し、該マクロ命令や
パラメータを組み合わせて操作対象や操作内容を記憶す
る。また、記憶部５は、分析装置３からの分析データを
格納することもでき、分析操作の動作と対応付けを行う
ことができる。
【００２０】図２は表示部７が備える表示画面中の操作
画面の一例である。図２において、操作画面１０は、画
像１５を表示する部分、操作対象を表示する部分１１，
１２、画像１５上の位置を表示する部分１３、パラメー
タを表示する部分１４等を備える。画像１５は、分析装
置で得られる分析データや該分析データを解析処理した
後の解析データ等の種々のデータや画像を表示する部分
であり、表示内容は入力部６で選択し切り換えることが
できる。
画面の一例である。図２において、操作画面１０は、画
像１５を表示する部分、操作対象を表示する部分１１，
１２、画像１５上の位置を表示する部分１３、パラメー
タを表示する部分１４等を備える。画像１５は、分析装
置で得られる分析データや該分析データを解析処理した
後の解析データ等の種々のデータや画像を表示する部分
であり、表示内容は入力部６で選択し切り換えることが
できる。
【００２１】操作対象を表示する部分１１，１２は、例
えば焦点合わせや非点収差補正、倍率設定、走査速度設
定等の分析操作に関する設定や、コントラスト・ブライ
トネス調節等の一般的な画面設定を選択する選択手段で
あり、操作メニュー１１や操作ボタン１２を用いること
ができる。また、分析操作の設定において、位置データ
を要する場合には、位置データ１３に示される画像１５
内のカーソル位置データを用いたり、キーボードから入
力することができる。また、パラメータを要する場合に
ついても、パラメータデータ１４に示される値を用いた
り、キーボードから入力することができる。なお、図２
に示される操作対象１１の操作メニューでは、該操作メ
ニューをマウス等で選択することによって、操作メニュ
ーに含まれる操作内容（図中では操作１から操作６を表
示している）をプルダウン方式等で表示することができ
る。
えば焦点合わせや非点収差補正、倍率設定、走査速度設
定等の分析操作に関する設定や、コントラスト・ブライ
トネス調節等の一般的な画面設定を選択する選択手段で
あり、操作メニュー１１や操作ボタン１２を用いること
ができる。また、分析操作の設定において、位置データ
を要する場合には、位置データ１３に示される画像１５
内のカーソル位置データを用いたり、キーボードから入
力することができる。また、パラメータを要する場合に
ついても、パラメータデータ１４に示される値を用いた
り、キーボードから入力することができる。なお、図２
に示される操作対象１１の操作メニューでは、該操作メ
ニューをマウス等で選択することによって、操作メニュ
ーに含まれる操作内容（図中では操作１から操作６を表
示している）をプルダウン方式等で表示することができ
る。
【００２２】以下、本発明の分析装置による動作例を図
３，５，６，７のフローチャート及び図４の動作説明図
を用いて説明する。なお、図３は分析操作の記憶動作を
説明するフローチャートを示し、図５は分析操作の再現
動作を説明するフローチャートを示し、図６は分析操作
のシミュレート動作を説明するフローチャートを示し、
図７は分析操作の編集動作を説明するフローチャートを
示している。
３，５，６，７のフローチャート及び図４の動作説明図
を用いて説明する。なお、図３は分析操作の記憶動作を
説明するフローチャートを示し、図５は分析操作の再現
動作を説明するフローチャートを示し、図６は分析操作
のシミュレート動作を説明するフローチャートを示し、
図７は分析操作の編集動作を説明するフローチャートを
示している。
【００２３】はじめに、本発明の分析装置による分析操
作の記憶動作について図１，３，４を用いて説明する。
制御部４は分析操作を設定し、記憶部５は制御部４で設
定した分析操作の全部あるいは一部を選択して記憶す
る。記憶部５に記憶する分析操作の選択は、キーボード
や図示しない選択手段によって行うことができ、記憶開
始の選択（ステップＳ１）と記憶終了の選択（ステップ
Ｓ５）との間で設定する分析操作を記憶する。
作の記憶動作について図１，３，４を用いて説明する。
制御部４は分析操作を設定し、記憶部５は制御部４で設
定した分析操作の全部あるいは一部を選択して記憶す
る。記憶部５に記憶する分析操作の選択は、キーボード
や図示しない選択手段によって行うことができ、記憶開
始の選択（ステップＳ１）と記憶終了の選択（ステップ
Ｓ５）との間で設定する分析操作を記憶する。
【００２４】制御部４による分析操作の設定動作におい
て、入力部６からの指令に基づいたマクロ命令を記憶部
５から読み出し、これらマクロ命令や入力部６等から入
力したパラメータを組み合わせて、所望の操作を行わせ
るマクロ情報を形成する。
て、入力部６からの指令に基づいたマクロ命令を記憶部
５から読み出し、これらマクロ命令や入力部６等から入
力したパラメータを組み合わせて、所望の操作を行わせ
るマクロ情報を形成する。
【００２５】以下に、分析操作の一例を示す。 ＩＤ ＭＥＮＵ ＭＡＧ、選択、倍率＝１０００ ＩＤ ＢＵＴＴＯＮ、ＡＦ クリック、オートフォーカ
ス ＩＤ ＩＭＡＧＥ、ドラッグ、開始位置＝（100,100）
終了位置＝（300,300） 上記した分析操作において、ＩＤで始まる「ＩＤ ＭＥ
ＮＵ ＭＡＧ」、「ＩＤ ＢＵＴＴＯＮ」、「ＩＤ Ｉ
ＭＡＧＥ」は、倍率やボタン選択やイメージ処理等の操
作対象を表すオブジェクトＩＤであり、オブジェクトＩ
Ｄの後に示される「選択」は操作対象である倍率１１ａ
から倍率１０００の操作内容を選択したことを示し、
「クリック」は操作対象であるＡＦのボタン１２ａを選
択したことを示し、「ドラッグ」は操作対象であるイメ
ージ１１ｂからドラッグの操作内容を選択したことを示
している。
ス ＩＤ ＩＭＡＧＥ、ドラッグ、開始位置＝（100,100）
終了位置＝（300,300） 上記した分析操作において、ＩＤで始まる「ＩＤ ＭＥ
ＮＵ ＭＡＧ」、「ＩＤ ＢＵＴＴＯＮ」、「ＩＤ Ｉ
ＭＡＧＥ」は、倍率やボタン選択やイメージ処理等の操
作対象を表すオブジェクトＩＤであり、オブジェクトＩ
Ｄの後に示される「選択」は操作対象である倍率１１ａ
から倍率１０００の操作内容を選択したことを示し、
「クリック」は操作対象であるＡＦのボタン１２ａを選
択したことを示し、「ドラッグ」は操作対象であるイメ
ージ１１ｂからドラッグの操作内容を選択したことを示
している。
【００２６】また、その後に示される「倍率＝１００
０」は選択した操作内容のパラメータ値を示し、「オー
トフォーカス」はオートフォーカス機能を選択したこと
を示し、「開始位置＝（１００，１００）終了位置＝
（３００，３００）」はイメージ処理を行う領域の位置
データを示しており、マウス６ｂで定められる画像中の
座標位置１３で定めることができる。なお、パラメータ
値及び開始位置，終了位置は、キーボード６ａから入力
することもできる。
０」は選択した操作内容のパラメータ値を示し、「オー
トフォーカス」はオートフォーカス機能を選択したこと
を示し、「開始位置＝（１００，１００）終了位置＝
（３００，３００）」はイメージ処理を行う領域の位置
データを示しており、マウス６ｂで定められる画像中の
座標位置１３で定めることができる。なお、パラメータ
値及び開始位置，終了位置は、キーボード６ａから入力
することもできる。
【００２７】記憶開始が選択されると（ステップＳ
１）、制御部４は、前記したような操作対象や操作内容
の選択動作を操作が終了するまで繰り返し（ステップＳ
３，４）、記憶終了が指令されるるまで分析操作を記憶
部５に記憶する（ステップＳ５）。なお、記憶開始及び
記憶終了は操作メニュー中に操作対象として用意し、選
択することによって記憶処理を制御する。
１）、制御部４は、前記したような操作対象や操作内容
の選択動作を操作が終了するまで繰り返し（ステップＳ
３，４）、記憶終了が指令されるるまで分析操作を記憶
部５に記憶する（ステップＳ５）。なお、記憶開始及び
記憶終了は操作メニュー中に操作対象として用意し、選
択することによって記憶処理を制御する。
【００２８】なお、図４において、倍率の分析操作とマ
クロ命令との関係は実線の矢印で示し、オートフォーカ
スの分析操作とマクロ命令との関係は一点鎖線の矢印で
示し、イメージの分析操作とマクロ命令との関係は破線
の矢印で示している。
クロ命令との関係は実線の矢印で示し、オートフォーカ
スの分析操作とマクロ命令との関係は一点鎖線の矢印で
示し、イメージの分析操作とマクロ命令との関係は破線
の矢印で示している。
【００２９】記憶部５は、前記した分析操作の設定動作
をマクロ命令の組み合わせであるマクロ情報の形態で記
憶し、記憶した分析操作は読み出して、分析操作を再生
する。ここで、分析操作の再生は、同一の分析操作を実
際に行う再現動作の他に、分析操作を模擬的に行うシミ
ュレート動作を行うことができる。シミュレート動作で
は、分析操作の指令のみを再生して表示することも、記
憶しておいた分析データを用いて分析操作の指令と分析
データとを再生して表示することもできる。
をマクロ命令の組み合わせであるマクロ情報の形態で記
憶し、記憶した分析操作は読み出して、分析操作を再生
する。ここで、分析操作の再生は、同一の分析操作を実
際に行う再現動作の他に、分析操作を模擬的に行うシミ
ュレート動作を行うことができる。シミュレート動作で
は、分析操作の指令のみを再生して表示することも、記
憶しておいた分析データを用いて分析操作の指令と分析
データとを再生して表示することもできる。
【００３０】図５は分析操作の再現動作を説明するため
のフローチャートである。分析操作を再現する場合に
は、再現を行う操作対象（図示しない）を選択し、記憶
部５から分析操作を表す操作一覧（例えばマクロ情報）
を読み出し、表示部７等に表示する（ステップＳ１
１）。分析操作を開始した後（ステップＳ１２）、実行
する操作を読み出し（ステップＳ１３）、一覧表示した
操作の中で実行中の操作を識別可能に表示する。これに
よって、全体の分析操作の中で実行しようとする操作を
確認することができる（ステップＳ１４）。
のフローチャートである。分析操作を再現する場合に
は、再現を行う操作対象（図示しない）を選択し、記憶
部５から分析操作を表す操作一覧（例えばマクロ情報）
を読み出し、表示部７等に表示する（ステップＳ１
１）。分析操作を開始した後（ステップＳ１２）、実行
する操作を読み出し（ステップＳ１３）、一覧表示した
操作の中で実行中の操作を識別可能に表示する。これに
よって、全体の分析操作の中で実行しようとする操作を
確認することができる（ステップＳ１４）。
【００３１】操作を実行し（ステップＳ１５）、分析装
置用制御装置３から分析データを読み出し（ステップＳ
１６）、分析データを画像部分に表示する（ステップＳ
１７）。ステップＳ１３からステップＳ１７までの動作
を繰り返すことによって（ステップＳ１８）、設定した
分析操作を再現することができる。なお、図５のフロー
チャートに示す動作例では、はじめに分析操作の一覧表
示しているが、実行する操作を逐次表示する形態とする
こともできる。
置用制御装置３から分析データを読み出し（ステップＳ
１６）、分析データを画像部分に表示する（ステップＳ
１７）。ステップＳ１３からステップＳ１７までの動作
を繰り返すことによって（ステップＳ１８）、設定した
分析操作を再現することができる。なお、図５のフロー
チャートに示す動作例では、はじめに分析操作の一覧表
示しているが、実行する操作を逐次表示する形態とする
こともできる。
【００３２】この再現動作によれば、分析操作中で現在
実行中の操作を確認することができ、マクロ情報の作成
者以外の者や分析装置の初心者等の作成時の情報や分析
操作についての知識が不足している者であっても、分析
操作についての情報や知識を実際の動作に即して知るこ
とができ、教育的効果を奏することができる。図６は分
析操作のシミュレート動作を説明するためのフローチャ
ートである。分析操作をシミュレートする場合には、シ
ミュレートを行う操作対象（図示しない）を選択し、記
憶部５から分析操作を表す操作一覧（例えばマクロ情
報）を読み出し、表示部７等に表示する（ステップＳ２
１）。順に操作を読み出し（ステップＳ２２）、一覧表
示した操作の中で読み出した操作を識別可能に表示する
（ステップＳ２３）。
実行中の操作を確認することができ、マクロ情報の作成
者以外の者や分析装置の初心者等の作成時の情報や分析
操作についての知識が不足している者であっても、分析
操作についての情報や知識を実際の動作に即して知るこ
とができ、教育的効果を奏することができる。図６は分
析操作のシミュレート動作を説明するためのフローチャ
ートである。分析操作をシミュレートする場合には、シ
ミュレートを行う操作対象（図示しない）を選択し、記
憶部５から分析操作を表す操作一覧（例えばマクロ情
報）を読み出し、表示部７等に表示する（ステップＳ２
１）。順に操作を読み出し（ステップＳ２２）、一覧表
示した操作の中で読み出した操作を識別可能に表示する
（ステップＳ２３）。
【００３３】該操作に対応する動作や分析データが記憶
されている場合には、該動作や分析データを読み出し
（ステップＳ２４）、表示する（ステップＳ２５）。こ
れによって、全体の分析操作の中で実行しようとする操
作を確認することができる。上記した分析操作の再生に
おいて、パラメータ値を変数を用いて設定して変更可能
とすることによって、再生中にパラメータの変更を行う
ことができる。
されている場合には、該動作や分析データを読み出し
（ステップＳ２４）、表示する（ステップＳ２５）。こ
れによって、全体の分析操作の中で実行しようとする操
作を確認することができる。上記した分析操作の再生に
おいて、パラメータ値を変数を用いて設定して変更可能
とすることによって、再生中にパラメータの変更を行う
ことができる。
【００３４】図７は分析操作の編集動作を説明するため
のフローチャートである。作成した分析操作を編集する
場合には、編集を行う操作対象（図示しない）を選択
し、記憶部５から分析操作を読み出して一覧表示し（ス
テップＳ３１）、編集作業を行う場合には（ステップＳ
３２）ポインティングデバイスやキーボードによって編
集を行う操作を選択し（ステップＳ３３）、選択した操
作を識別可能に表示する（ステップＳ３４）。選択した
操作について変更、追加、削除等の編集を行う（ステッ
プＳ３５）。
のフローチャートである。作成した分析操作を編集する
場合には、編集を行う操作対象（図示しない）を選択
し、記憶部５から分析操作を読み出して一覧表示し（ス
テップＳ３１）、編集作業を行う場合には（ステップＳ
３２）ポインティングデバイスやキーボードによって編
集を行う操作を選択し（ステップＳ３３）、選択した操
作を識別可能に表示する（ステップＳ３４）。選択した
操作について変更、追加、削除等の編集を行う（ステッ
プＳ３５）。
【００３５】上記した例では、像観察等の操作を例とし
て説明しているが、画像データのフィルタリング処理等
のデータ処理やデータ加工についても同様に適用するこ
とができる。
て説明しているが、画像データのフィルタリング処理等
のデータ処理やデータ加工についても同様に適用するこ
とができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の分析装置
によれば、設定した一連の分析操作の操作内容や手順の
確認を行うことができ、分析操作の設定や分析操作の再
生を行うことができる。
によれば、設定した一連の分析操作の操作内容や手順の
確認を行うことができ、分析操作の設定や分析操作の再
生を行うことができる。
【図１】本発明の分析装置の構成を説明するための概略
図である。
図である。
【図２】本発明の表示部が備える表示画面中の操作画面
の一例である。
の一例である。
【図３】本発明の分析操作の記憶動作を説明するフロー
チャートである。
チャートである。
【図４】本発明の分析装置による動作例を説明するため
の動作図である。
の動作図である。
【図５】本発明の分析操作の再現動作を説明するフロー
チャートである。
チャートである。
【図６】本発明の分析操作のシミュレート動作を説明す
るフローチャートである。
るフローチャートである。
【図７】本発明の分析操作の編集動作を説明するフロー
チャートである。
チャートである。
１…分析装置、２…分析装置本体、３…分析装置用制御
部、４…制御部、５…記憶部、６…入力部、６ａ…キー
ボード、６ｂ…マウス、７…表示部、１０…操作画面、
１１…操作メニュー、１１ａ…倍率、１１ｂ…イメー
ジ、１２…操作ボタン、１２ａ…オートフォーカスボタ
ン、１３…位置表示、１４…パラメータ表示、１５…画
像。
部、４…制御部、５…記憶部、６…入力部、６ａ…キー
ボード、６ｂ…マウス、７…表示部、１０…操作画面、
１１…操作メニュー、１１ａ…倍率、１１ｂ…イメー
ジ、１２…操作ボタン、１２ａ…オートフォーカスボタ
ン、１３…位置表示、１４…パラメータ表示、１５…画
像。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA07 CA03 FA06 GA09 HA07 HA13 JA02 JA03 JA07 2G058 GD07 GE00 5C033 UU05 UU10 5E501 AA01 AA24 AC34 BA05 CA02 CB02 CB09 EA05 EA07 EB05 FA03 FA05
Claims (1)
- 【請求項１】 分析装置に行わせる分析操作を設定する
機能、及び設定した分析操作を再生する機能を備える制
御手段と、制御手段で設定した分析操作を記憶する記憶
手段とを備え、制御手段の分析操作の再生機能は、記憶
手段に記憶した分析操作を再生し、該再生によって分析
操作の設定動作の再現、又は分析装置の操作の実行又は
再現を行うことを特徴とする分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12601499A JP2000315472A (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12601499A JP2000315472A (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000315472A true JP2000315472A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14924600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12601499A Pending JP2000315472A (ja) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | 分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000315472A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006017637A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Sysmex Corp | 分析装置および分析プログラム |
| JP2007206406A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 画像形成装置 |
| JP2007242605A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-09-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| WO2011064960A1 (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微鏡および当該荷電粒子顕微鏡の制御方法 |
| JP2016061765A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 日本電子株式会社 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
| JP2020056712A (ja) * | 2018-10-03 | 2020-04-09 | 株式会社日立ハイテク | 分析装置のシミュレーション方法及び装置 |
| WO2020230182A1 (ja) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置、制御方法、およびプログラム |
-
1999
- 1999-05-06 JP JP12601499A patent/JP2000315472A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8934006B2 (en) | 2009-11-26 | 2015-01-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged-particle microscope and method for controlling same |
| JP2016061765A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 日本電子株式会社 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
| US10269535B2 (en) | 2014-09-22 | 2019-04-23 | Jeol Ltd. | Information processing device and information processing method |
| JP2020056712A (ja) * | 2018-10-03 | 2020-04-09 | 株式会社日立ハイテク | 分析装置のシミュレーション方法及び装置 |
| JP7175153B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-11-18 | 株式会社日立ハイテク | 分析装置のシミュレーション方法及び装置 |
| WO2020230182A1 (ja) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置、制御方法、およびプログラム |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070831 |