JP2004319234A

JP2004319234A - 荷電粒子線装置

Info

Publication number: JP2004319234A
Application number: JP2003110973A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Akatsu; 昌弘赤津; Kaname Takahashi; 要高橋
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2003-04-16
Filing date: 2003-04-16
Publication date: 2004-11-11

Abstract

【課題】数多くの機能の中から、使用している機能が定量的に把握できて、操作に必要な機能を視覚的に容易に認識できる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】ＧＵＩ操作画面で、使用したアイコンの使用回数をカウントして保持する機能を追加した。このデータを基に、あらかじめ設定した使用頻度のしきい値に対して、使用頻度の高いアイコンの色を変化させることにした。これにより、使用頻度の少ないアイコンと視覚的に差別化できるため、操作に必要なアイコンが容易に認識できる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は荷電粒子線装置に係り、特に、パーソナルコンピュータ制御の荷電粒子線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置では、近年パーソナルコンピュータによる制御（以下ＰＣ制御）が一般的になってきた。ＰＣ制御では、図２のように、ＧＵＩ走査画面によりウインドウ形式で表示され、操作に必要な機能の選択コマンドを、操作ボタン（以下アイコンとする）として画面上に表示するのが一般的である。操作者はアイコンを選択し、機能を実行させる。
【０００３】
また、ＰＣ制御では、ＰＣ処理速度の向上とともに、様々なニーズに対応できるように多機能化が進み、ＧＵＩ操作画面上のアイコンの表示数は増える傾向にある。ＧＵＩ上で走査電子顕微鏡を制御する技術の一例として、特許文献１のような技術がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−２８７８６０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、荷電粒子線装置のユーザから見れば、荷電粒子線装置の操作方法は各メーカ，機種ごとに異なる部分があり、使用する機種が変わるたびに操作方法を習得する必要がある。また、単純に同じ作業を繰り返すユーザにとっては、決まった操作しか行わないため、実際に使用する機能が限定されるケースもある。このようなユーザにとっては、必要な機能が簡単な操作で実行できることが重要となるが、数多くの機能の中から視覚的に使用する機能を分類する手段が無かった。
【０００６】
一方、装置の製造メーカにとっては、ユーザが使っている機能を定量的に把握できれば、より使いやすいＧＵＩの構築や、トラブルシューティング，ユーザへのトレーニングなど、様々に活用できるが、現状ではユーザから聞いた情報を基に、使用している機能を定性的に把握するしかなかった。
【０００７】
本発明の目的は、数多くの機能の中から、使用している機能が定量的に把握できて、操作に必要な機能を視覚的に容易に認識できる荷電粒子線装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、ＧＵＩ操作画面で、使用したアイコンの使用回数をカウントして保持する機能を追加した。このデータをもとに、あらかじめ設定したアイコン使用頻度のしきい値に対して、使用頻度の高いアイコンの色を変化させることにした。これにより、使用頻度の少ないアイコンと視覚的に差別化できるため、操作に必要なアイコンが容易に認識できる。
【０００９】
別の方法として、使用頻度の高いアイコンのサイズを変化させることや、使用頻度の高いアイコンの色とサイズを変化させること、あるいは使用頻度に基づいてアイコンの配置を変更するでも、使用頻度の少ないアイコンと視覚的に差別化できるため、操作に必要なアイコンが容易に認識できる。
【００１０】
また、アイコンの使用頻度を表示する機能により、ユーザが使用している機能が視覚的に把握できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００１２】
図１は、本発明の一例である走査電子顕微鏡の概略構成図である。陰極１と第一陽極２の間には、コンピュータ４０で制御される高圧制御電源２０により電圧が印加され、所定のエミッション電流で一次電子線４が陰極１から引き出される。陰極１と第二陽極３の間には、コンピュータ４０で制御される高圧制御電源２０により加速電圧が印加され、陰極１から放出された一次電子線４が加速されて後段のレンズ系に進行する。一次電子線４は、レンズ制御電源２１で制御された収束レンズ５で収束され、対物レンズ絞り８で一次電子線の不要な領域が除去された後に、レンズ制御電源２２で制御された収束レンズ６、および対物レンズ制御電源２３で制御された対物レンズ７により試料１０に微小スポットとして収束される。対物レンズ７は、インレンズ方式，アウトレンズ方式、およびシュノーケル方式（セミインレンズ方式）など、種々の形態をとることができる。また、試料に負の電圧を印加して一次電子線を減速させるリターディング方式も可能である。さらに、各々のレンズは、複数の電極で構成される静電型レンズで構成してもよい。
【００１３】
一次電子線４は、走査コイル９で試料１０上を二次元的に走査される。一次電子線の照射で試料１０から発生した二次電子等の二次信号１２は、対物レンズ７の上部に進行した後、二次信号分離用の直交電磁界発生装置１１により、一次電子と分離されて二次信号用検出器１３に検出される。二次信号用検出器１３で検出された信号は、信号増幅器１４で増幅された後、画像メモリ２５に転送されて表示装置２６に試料象として表示される。
【００１４】
走査コイル９と同じ位置に２段の偏向コイル５１が配置されており、試料１０上における一次電子線４の位置（観察視野）を二次元的に制御できる。
【００１５】
ステージ１５は、試料を少なくとも一次電子線４と垂直な面内の２方向（Ｘ方向，Ｙ方向）に試料１０を移動することができる。
【００１６】
入力装置４２からは、画像の取り込み条件（走査速度，画像積算枚数）や視野補正方式などの指定、および画像の出力や保存などを指定することができる。
【００１７】
なお、図１の説明は制御プロセッサ部が走査電子顕微鏡と一体、或いはそれに準ずるものとして説明したが、無論それに限られることはなく、走査電子顕微鏡鏡体とは別に設けられた制御プロセッサで処理を行っても良い。
【００１８】
図２は、本発明の一例である制御装置４０のＧＵＩ操作画面である。表示装置２６に図２の画面が表示される。操作画面６１の中に観察画像制御画面６２を配置する。観察画像制御画面６２の内部には、観察画像６３を配置する。また、操作に必要なアイコン６４を、必要な画面内に配置する。各アイコンには、それぞれ使用回数を数え、記憶装置４１に使用回数を保持するカウンタ機能をプログラムしておく。
【００１９】
なお、制御画面の表示位置や大きさ，表示数量，アイコンの表示数量や表示位置などの操作画面構成は、一般的なパーソナルコンピュータのＧＵＩ操作と同じで、操作者が偏向可能であり、本例に限ったことではない。
【００２０】
図３は、本発明の一例であるアイコンを選択した場合の処理フローである。ユーザは入力装置４２から、操作に必要なアイコン６４を一つ選択する（処理３０１）。次に、処理３０１で選択したアイコン６４に割り当てられたコマンドを実行する（処理３０２）。次に、記憶装置４１に保持されている処理３０１で選択したアイコン６４のカウンタを、更新して保持する（処理３０３）。次に、ＧＵＩ操作画面上に表示されている全てのアイコンに対して、既に記憶装置４１に保存されている使用回数のデータから、処理３０１で選択したアイコン６４の使用頻度を計算する（処理３０４）。次に、あらかじめ記憶装置４１に登録しておいた使用頻度しきい値と、処理３０４の結果を比較する（処理３０５）。最後に、処理３０５の結果、使用頻度しきい値以上のアイコンは、使用頻度しきい値以下のアイコンに対して、色やサイズの変化を付ける（処理３０６）。以上の処理により、使用頻度の低いアイコン６４Ａと、使用頻度の高いアイコン６４Ｂに分類できる。
【００２１】
なお、図３の説明では、一つのアイコンを選択する毎に使用頻度の計算を行っているが、処理３０１から処理３０３の処理をアイコン選択時に毎回実施し、処理３０４から処理３０６の処理は定期的に行うようにしても良い。
【００２２】
また、処理３０５で計算に用いる使用頻度のしきい値は、一つだけではなく、複数設定できるようにしても良い。
【００２３】
図４は本発明の一例であるＧＵＩ操作画面である。使用頻度の高いアイコン
６４Ｂは、使用頻度の低いアイコン６４Ａより色を変えるようにした例である。なお、使用頻度のしきい値を複数設定した場合には、複数の色を用意すれば良い。
【００２４】
図５は本発明の一例であるＧＵＩ操作画面である。使用頻度の低いアイコン
６４Ａは、使用頻度の高いアイコン６４Ｂよりもサイズを小さくした例である。なお、使用頻度のしきい値を複数設定した場合には、複数のサイズを用意すれば良い。
【００２５】
図６は本発明の一例であるＧＵＩ操作画面である。使用頻度の高いアイコン６４Ｂは、使用頻度の低いアイコン６４Ａに対して大きさと色を変えるようにした例である。なお、使用頻度のしきい値を複数設定した場合には、複数のサイズと色を用意すれば良い。
【００２６】
図７は本発明の一例であるＧＵＩ操作画面である。機能ブロックごとに、左側から使用頻度の高いアイコンの順に配置を変更するようにした例である。なお、本例では機能ブロックごとに配置を変更すると記載したが、これに限られることはない。また、左側から使用頻度の高いアイコンの順に配置を変更すると記載したが、これに限られることはない。
【００２７】
図８は、本発明の一例であるアイコンの使用頻度表示機能である。図３の処理で、記憶装置４１に登録された各アイコンの使用回数をもとに、使用頻度を計算し、グラフ表示する。なお、本例では棒グラフであるが、他の種類のグラフでも良いし、単に数値表示するだけでも良い。
【００２８】
以上により、ＧＵＩ操作画面において使用頻度の高いアイコンは使用頻度の低いアイコンと視覚的に差別化できるので、操作に必要なアイコンが容易に認識できるようになり、従来課題となっていた、視覚的に使用する機能を分類することが可能になった。また、アイコンの使用頻度を表示する機能により、ユーザ以外でも、ユーザが使用している機能が把握できるようになる。
【００２９】
なお、特定のユーザのアイコンの使用頻度情報に基づいて、ＧＵＩ操作画面をカスタマイズすることも可能である。特に電子顕微鏡のような装置は、電子源の交換や、電子源交換に伴う軸出し等、定期的なメンテナンスを必要とするため、装置メーカは、通信回線を経由し、電子源装置を監視することが望ましいが、その際、ユーザの選択等によって、ＧＵＩ操作画面のカスタマイズを行うというビジネスを展開することを可能にする。更に、装置メーカは、ユーザのトレーニングのため電子顕微鏡の操作手順を通信回線を経由して、ユーザに通知し、その手順に沿って、アイコンの色を変更していく等の表示を行うことによって、高度な作業の教示を不特定多数のユーザに行うこともできる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、ＧＵＩ操作画面で、使用頻度の高いアイコンを変化させることにより、使用頻度の少ないアイコンと視覚的に差別化できるため、操作に必要なアイコンが容易に認識できるようになり、操作性が向上する。
【００３１】
他にも、アイコンの使用頻度を表示する機能により、装置メーカ側はユーザが使用している機能が把握できるようになり、トラブルシューティングや、ユーザへのトレーニング、さらには次期製品の開発など、様々に活用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例である走査電子顕微鏡の概略構成図。
【図２】本発明の一例である制御装置のＧＵＩ操作画面。
【図３】本発明の一例であるアイコンを選択した場合の処理フロー。
【図４】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図５】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図６】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図７】本発明の一例であるＧＵＩ操作画面。
【図８】本発明の一例であるアイコンの使用頻度表示機能。
【符号の説明】
１…陰極、２…第一陽極、３…第二陽極、４…一次電子線、５…第一収束レンズ、６…第二収束レンズ、７…対物レンズ、８…対物レンズ絞り、９…走査コイル、１０…試料、１１…直交電磁界（ＥＸＢ）発生器、１２…二次信号、１３…二次信号用検出器、１４…信号増幅器、１５…ステージ、２０…高圧制御電源、２１…第一収束レンズ制御電源、２２…第二収束レンズ制御電源、２３…対物レンズ制御電源、２４…走査コイル制御電源、２５…画像メモリ、２６…表示装置、２７…画像処理装置、３１…電気的視野制御電源、４０…コンピュータ、４１…記憶装置、４２…入力装置、５１…偏向コイル、６１…操作画面、６２…観察画像制御画面、６３…観察画像、６４…アイコン、６４Ａ…使用頻度の低いアイコン、６４Ｂ…使用頻度の高いアイコン。

Claims

荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を収束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、当該荷電粒子線の走査によって試料から放出する荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器によって検出された荷電粒子に基づく前記二次信号粒子検出手段の信号を映像信号に変換試料像を表示する表示装置と、操作に必要な情報を入力するＧｒａｐｈｉｃａｌＵｓｅｒＩｎｔｅｒｆａｃｅ（以下ＧＵＩと略す）と、ＧＵＩの操作により前記各構成を制御する制御手段を備えた荷電粒子線装置において、
前記ＧＵＩ操作画面に表示された操作ボタンの使用回数をカウントして保持する機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１において、
前記アイコンの使用回数から前記操作ボタンの使用頻度を決定し、予め設定した使用頻度のしきい値に準じて操作ボタンの色を変化させる機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１において、
前記操作ボタンの使用回数から操作ボタンの使用頻度を決定し、予め設定した使用頻度のしきい値に準じて操作ボタンの表示サイズを変化させる機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１において、
前記操作ボタンの使用回数から操作ボタンの使用頻度を決定し、予め設定した使用頻度のしきい値に準じて操作ボタンの表示色と表示サイズを変化させる機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記操作ボタンの使用回数から操作ボタンの使用頻度を決定し、操作ボタンの使用頻度に基づいて、操作ボタンの配置を変更する機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記操作ボタンの使用回数から、操作ボタンの使用頻度を決定して表示する機能を具備することを特徴とする荷電粒子線装置。