JP2006071451A - 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 - Google Patents
試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】試料表示装置は、観察対象の画像を濃淡で表示する顕微鏡画像を取得するための顕微鏡画像撮像部と、顕微鏡画像撮像部で顕微鏡画像を撮像する際の像観察条件を設定するための観察条件設定部と、顕微鏡画像撮像部で撮像された顕微鏡画像を表示するための表示部と、同一の観察対象について色情報を有する可視光画像を取得するための可視光画像取得部と、可視光画像から、顕微鏡画像に着色する所望の色を選択するための色選択部と、色選択部で選択された色に、顕微鏡画像に着色する着色部とを備える。
【選択図】図6
Description
(試料台33)
(試料表示装置操作プログラム)
(可視光撮像部44A)
(保持機構)
(カメラユニット60)
(合焦距離)
(色選択機能)
(ポインタ792)
(色表示領域795)
(着色機能)
200…試料表示装置
1…コンピュータ;2…中央演算処理部
3…電子銃高圧電源;4…フィラメント;5…ウェーネルト;6…アノード
7…電子銃;8…電子線
9…ガンアライメントコイル;10…ガンアライメントコイル制御部
11…収束レンズ制御部;12…収束レンズ
13…対物レンズ絞り;14…非点収差補正コイル制御部
15…電子線偏向走査コイル制御部;16…対物レンズ制御部
17…非点収差補正コイル;18…電子線偏向走査コイル
19…対物レンズ;20…試料
21…二次電子検出器;22…反射電子検出器
23…二次電子検出増幅部;24…反射電子検出増幅部
25…A/D変換器;26…A/D変換器
27…画像データ生成部;28…表示部
29…プリンタ;30…排気系ポンプ
31…試料室;32…排気制御部;33…試料台
42…顕微鏡画像撮像部;42A…電子線撮像部
44…可視光画像取得部;44A…可視光撮像部
46…撮像切換制御部
47…第1表示領域;47A…第1分割表示領域;47B…第2分割表示領域
48…第2表示領域
50…電子顕微鏡本体
52…正面パネル;54…ガイドロッド;56…水平台
58…ホルダ保持穴;59…装着穴
60…カメラユニット;62…ロッド;64…挿入穴;66…パイプ
68…ボス;69…回転部
70…演算部;72…着色部
601…画像補正設定手段;601a…シャープネス設定手段
601b…ハイライト設定手段;601c…ガンマ補正設定手段
601d…輝度分布図;601e…オーバーレンジ抽出設定手段
603…個別条件設定手段;603a…「検出器」ボックス
603b…「加速電圧」ボックス;603c…「真空度」ボックス
603d…「スポットサイズ」ボックス
604…ファイル対応条件設定手段;605…「eプレビュー設定」ボタン
611…倍率設定部;611a…「倍率」ボタン
612…観察視野移動設定部;612a…「中心移動」ボタン
613…コントラスト・明るさ設定手段;614…非点収差調整設定手段
615…光軸調整設定手段
621…「3D」タブ
630…説明表示欄;
638…色選択部
640…フロー図
641…「1枚目の撮影」欄
650…観察条件設定部
654…「撮影」ボタン;656…「次へ」ボタン
670…3次元画像生成モード選択部;672…「次へ」ボタン
681…枠状
682…ガイド線
730…照明シミュレーション設定部
738…「色指定」欄;738a…「スポイト」ボタン;738b…「背景色」ボタン
790…顕微鏡画像表示領域;791…可視光画像表示領域
792…ポインタ;793…「スポイト」画面;794…説明欄
795…色表示領域
796…「OK」ボタン
797…「3D表示」タブ;798…「プロファイル計測」タブ
A…着色前の顕微鏡画像;G…可視光画像;B…着色した顕微鏡画像
S…スポイト状アイコン
Claims (9)
- 観察対象の画像を濃淡で表示する顕微鏡画像を取得するための顕微鏡画像撮像部と、
前記顕微鏡画像撮像部で顕微鏡画像を撮像する際の像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記顕微鏡画像撮像部で撮像された顕微鏡画像を表示するための表示部と、
同一の観察対象について色情報を有する可視光画像を取得するための可視光画像取得部と、
前記可視光画像から、前記顕微鏡画像に着色する所望の色を選択するための色選択部と、
前記色選択部で選択された色に、前記顕微鏡画像に着色する着色部と、
を備えることを特徴とする試料表示装置。 - 請求項1に記載の試料表示装置であって、
前記色選択部が、前記表示部上を指定可能なポインタと、前記ポインタで指定された部位の色を表示するための色表示領域とを備えており、
前記ポインタで可視光画像中の着色したい色の部位を指定することで、指定された部位に含まれる色が前記色表示領域に表示されるように構成されていることを特徴とする試料表示装置。 - 請求項1または2に記載の試料表示装置であって、
前記表示部が、前記顕微鏡画像と可視光画像とを同一画面上に表示可能に構成していることを特徴とする試料表示装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の試料表示装置であって、
前記可視光画像取得部が、観察対象について色情報を有する可視光画像を撮像するための可視光撮像部であることを特徴とする試料表示装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の試料表示装置であって、
前記色選択部で選択された色を着色する領域を、前記顕微鏡画像上に指定可能に構成されていることを特徴とする試料表示装置。 - 観察対象を裁置するためのステージと、前記ステージ上の観察対象に対して電子線を照射するための電子銃と、観察対象から放出される二次電子または反射電子を検出するための1以上の検出器と、前記検出器で検出された情報に基づいて電子線観察像を結像するための電子線撮像部と、前記電子線撮像部で撮像された電子線観察像を表示するための表示部と、
を備え、
所定の像観察条件に基づいて、前記電子銃に加速電圧を印加して電子線を観察対象に照射し、観察対象から放出される二次電子または反射電子を前記検出器で検出しながら観察対象表面の所望の領域を走査することで、電子線観察像を結像し前記表示部に表示可能な試料表示装置であって、さらに、
同一の観察対象について色情報を有する可視光画像を取得するための可視光画像取得部と、
前記可視光画像から、前記電子線観察像に着色する所望の色を選択するための色選択部と、
前記色選択部で選択された色に、電子線観察像に着色する着色部と、
を備えることを特徴とする試料表示装置。 - 試料表示装置の操作方法であって、
観察対象の濃淡情報を有する顕微鏡画像を取得すると共に、同一の観察対象について色情報を有する可視光画像を取得するステップと、
前記可視光画像から、前記顕微鏡画像に着色する所望の色を選択するステップと、
可視光画像上で選択された色に、前記顕微鏡画像を着色するステップと、
を有することを特徴とする試料表示方法。 - 試料表示装置の操作プログラムであって、
観察対象の濃淡情報を有する顕微鏡画像を取得すると共に、同一の観察対象について色情報を有する可視光画像を取得する画像取得機能と、
前記可視光画像から、前記顕微鏡画像に着色する所望の色を選択する色選択機能と、
可視光画像上で選択された色に、前記顕微鏡画像を着色する着色機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする試料表示装置操作プログラム。 - 請求項8に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。
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JP2004255163A JP4456962B2 (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 |
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JP4456962B2 JP4456962B2 (ja) | 2010-04-28 |
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---|---|---|---|---|
JP2007218752A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
JP2012015033A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置及び拡大観察方法 |
JP5416319B1 (ja) * | 2012-03-16 | 2014-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム |
CN114300329A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-08 | 欧波同科技产业有限公司 | 一种电子显微镜及其照片着色处理的方法 |
WO2023100529A1 (ja) * | 2021-12-02 | 2023-06-08 | 株式会社日立ハイテク | 自動分析装置用カメラ保持装置 |
-
2004
- 2004-09-02 JP JP2004255163A patent/JP4456962B2/ja not_active Expired - Fee Related
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