JP5481454B2 - 流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 - Google Patents
流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5481454B2 JP5481454B2 JP2011208007A JP2011208007A JP5481454B2 JP 5481454 B2 JP5481454 B2 JP 5481454B2 JP 2011208007 A JP2011208007 A JP 2011208007A JP 2011208007 A JP2011208007 A JP 2011208007A JP 5481454 B2 JP5481454 B2 JP 5481454B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film
- flow path
- flow
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 25
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 25
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 53
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 15
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 7
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/006—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus characterised by the use of a particular material, e.g. anti-corrosive material
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0201—Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
- H05K1/0212—Printed circuits or mounted components having integral heating means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09372—Pads and lands
- H05K2201/09481—Via in pad; Pad over filled via
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
Description
Claims (10)
- 第1の主面の流路形成領域上に、一対の感熱膜と、前記一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜と、前記感熱膜と前記ヒータ膜の形成位置以外に設けられる耐腐食性を有する流路保護膜と、を有し、前記第1の主面の前記流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属からなる金属保護膜を有する第1の基板と、
前記第1の主面に対向して配置される第2の主面の前記流路形成領域に形成される溝と、前記流路形成領域以外の他の領域と前記溝とを区切り、前記他の領域に比して突出して設けられる側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される第2の基板と、
前記第1の主面と前記第2の主面とが対向するように貼り合わせて両者を固定する固定部材と、
を備え、
前記第2の基板の前記側壁構成部は、前記第1の基板の前記金属保護膜上に位置するように圧着され、
前記流路保護膜は、アルミナ膜またはイットリア膜であることを特徴とする流量センサ。 - 第1の主面上の流路形成領域に、一対の感熱膜と、前記一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜と、前記感熱膜と前記ヒータ膜の形成位置以外に設けられる耐腐食性を有する流路保護膜と、を有し、前記第1の主面上の前記流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する第1の基板と、
前記第1の主面に対向して配置される第2の主面の前記流路形成領域に形成される溝と、前記流路形成領域以外の他の領域と前記溝とを区切り、前記他の領域に比して突出して設けられる側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される第2の基板と、
前記第1の主面と前記第2の主面とが対向するように貼り合わせて両者を固定する固定部材と、
を備え、
前記第2の基板の前記側壁構成部は、前記第1の基板の前記金属保護膜上に位置するように圧着されることを特徴とする流量センサ。 - 前記第1の基板は、断熱性を有する材料によって構成され、
前記第2の基板は、耐腐食性を有する材料によって構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の流量センサ。 - 前記感熱膜と前記ヒータ膜は、Ptによって構成され、
前記金属保護膜は、Agによって構成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の流量センサ。 - ガス流路を構成するガス流路構成部材と、
前記ガス流路中に配置され、ガスの流量を調整する弁、および前記弁の開度を調整するアクチュエータを有する流量調整手段と、
前記ガス流路を流れる前記ガスの流量である流量測定値を検出する請求項1から4のいずれか1つに記載の流量センサと、
前記流量センサによって検出される前記流量測定値が、前記ガス流路に流す流量である流量設定値となるように前記流量調整手段を制御する流量制御手段と、
を備えることを特徴とするマスフローコントローラ。 - 前記ガス流路構成部材は、主流部と、前記主流部から分岐し、再び前記主流部に合流するバイパス路と、を有するように構成され、
前記流量センサは、前記バイパス路に設けられることを特徴とする請求項5に記載のマスフローコントローラ。 - 第1の基板の第1の主面上の流路形成領域に、一対の感熱膜とヒータ膜とを形成する感熱膜形成工程と、
前記第1の基板の前記第1の主面上の前記流路形成領域以外の他の領域に金属保護膜を形成する金属保護膜形成工程と、
前記第1の基板の前記流路形成領域の前記感熱膜と前記ヒータ膜が形成されていない領域に耐腐食性を有する流路保護膜を形成する流路保護膜形成工程と、
を含む第1の基板加工工程と、
前記第1の主面に対向する第2の基板の第2の主面の前記流路形成領域に流路となる溝と、前記流路形成領域以外の他の領域と前記溝とを区切り、前記他の領域に比して突出する側壁構成部と、を形成する第2の基板加工工程と、
前記第1の基板の前記第1の主面と前記第2の基板の前記第2の主面とを対向させて、両者を貼り合わせ、前記第2の基板の前記側壁構成部を前記第1の基板の前記金属保護膜と圧着させるように固定する基板貼り合わせ工程と、
を含むことを特徴とする流量センサの製造方法。 - 前記第2の基板は、耐腐食性材料からなることを特徴とする請求項7に記載の流量センサの製造方法。
- 前記第2の基板は、アルミニウムからなる場合に、前記第2の基板加工工程では、前記第2の基板の加工後に、前記第2の基板をアルマイト処理することを特徴とする請求項7に記載の流量センサの製造方法。
- 前記流路保護膜形成工程では、前記流路保護膜としてアルミナ膜またはイットリア膜を形成することを特徴とする請求項7から10のいずれか1つに記載の流量センサの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011208007A JP5481454B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 |
US13/419,675 US8689623B2 (en) | 2011-09-22 | 2012-03-14 | Flow sensor, mass flow controller, and method for manufacturing flow sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011208007A JP5481454B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013068549A JP2013068549A (ja) | 2013-04-18 |
JP5481454B2 true JP5481454B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=47909751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011208007A Expired - Fee Related JP5481454B2 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8689623B2 (ja) |
JP (1) | JP5481454B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016031341A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012106657A1 (de) * | 2012-04-23 | 2013-10-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Verfahren zum thermischen Bestimmen eines Massedurchflusses eines gasförmigen Mediums und thermischer Massedurchflussmesser |
DE102014000939A1 (de) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | Hydrometer Gmbh | Verfahren zum Bestimmen wenigstens eines Gasparameters eines strömenden Gases |
DE102015222072B4 (de) * | 2015-11-10 | 2019-03-28 | Robert Bosch Gmbh | Heizvorrichtung für MEMS-Sensor |
JP6738617B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2020-08-12 | 株式会社フジキン | サーマルアクチュエータ、サーマルバルブ、およびマスフローコントローラ |
CN112630465B (zh) * | 2020-11-27 | 2023-03-28 | 上海应用技术大学 | 一种mems热式流速传感器封装装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0625684B2 (ja) | 1989-03-31 | 1994-04-06 | 山武ハネウエル株式会社 | 流体の流量検出センサー |
JP3524707B2 (ja) | 1996-12-28 | 2004-05-10 | 株式会社堀場製作所 | マイクロフローセンサ素子 |
US6794981B2 (en) * | 1998-12-07 | 2004-09-21 | Honeywell International Inc. | Integratable-fluid flow and property microsensor assembly |
JP2002062306A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Tokyo Gas Co Ltd | 流速検出装置 |
JP4576597B2 (ja) | 2001-06-01 | 2010-11-10 | 株式会社フジキン | 耐腐食性集積化マスフローコントローラ |
EP1365216B1 (en) * | 2002-05-10 | 2018-01-17 | Azbil Corporation | Flow sensor and method of manufacturing the same |
JP3754678B2 (ja) | 2003-04-16 | 2006-03-15 | 株式会社フジキン | 耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器 |
US6901794B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-06-07 | Festo Corporation | Multiple technology flow sensor |
JP2005241279A (ja) | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Fujikin Inc | 耐食金属製流体用センサ及びこれを用いた流体供給機器 |
US7181963B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-02-27 | Codman & Shurtleff, Inc | Thermal flow sensor having streamlined packaging |
US7069779B2 (en) * | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Codman & Shurtleff, Inc. | Thermal flow sensor having an inverted substrate |
US7331224B2 (en) * | 2004-12-07 | 2008-02-19 | Honeywell International Inc. | Tilt-insensitive flow sensor |
JP5062652B2 (ja) * | 2006-02-07 | 2012-10-31 | アズビル株式会社 | センサの取付構造及びフローセンサの取付構造 |
US20070295082A1 (en) * | 2006-06-06 | 2007-12-27 | Honeywell International Inc. | Flow sensor transducer with dual spiral wheatstone bridge elements |
US7603898B2 (en) * | 2007-12-19 | 2009-10-20 | Honeywell International Inc. | MEMS structure for flow sensor |
JP5175152B2 (ja) | 2008-09-22 | 2013-04-03 | アルプス電気株式会社 | Memsセンサ |
US8113046B2 (en) * | 2010-03-22 | 2012-02-14 | Honeywell International Inc. | Sensor assembly with hydrophobic filter |
JP2012033150A (ja) | 2010-06-30 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | マスフローコントローラ、マスフローコントローラシステム、基板処理装置およびガス流量調整方法 |
-
2011
- 2011-09-22 JP JP2011208007A patent/JP5481454B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-03-14 US US13/419,675 patent/US8689623B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016031341A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8689623B2 (en) | 2014-04-08 |
US20130074593A1 (en) | 2013-03-28 |
JP2013068549A (ja) | 2013-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5481454B2 (ja) | 流量センサ、マスフローコントローラ、および流量センサの製造方法 | |
JP6539335B2 (ja) | センサ及びセンサを製造するための方法 | |
TWI261667B (en) | Fluid sensor of anticorrosive metal and fluid supply device using same | |
JP6382979B2 (ja) | 載置用部材 | |
JP2008020193A (ja) | 熱式流量センサ | |
KR100714779B1 (ko) | 내식 금속제 열식 질량 유량 센서 및 이것을 이용한 유체공급 기기 | |
JP2006242941A (ja) | マイクロヒータ及びセンサ | |
CN106102979A (zh) | 具有至少两个部件的组合装置及用于产生该组合装置的方法 | |
JP5243348B2 (ja) | 流量検出装置 | |
JP2008111778A (ja) | ピラニ真空計および圧力測定方法 | |
KR20100097257A (ko) | 마이크로 가스 센서 및 그 제조 방법 | |
KR20190035306A (ko) | 가스센서 패키지용 필터 및 이를 구비한 가스센서 패키지 | |
CN111579012A (zh) | Mems热式流量传感器及其制作方法 | |
WO2005024354A1 (ja) | フローセンサ | |
US20210380400A1 (en) | Micro-Electromechanical Systems Including Printed Circuit Boards and Pre-Fabricated Polymer Films | |
JP3686398B2 (ja) | フローセンサの製造方法 | |
JP2006147812A (ja) | 積層薄膜電気配線板 | |
JP2016142710A (ja) | 熱式フローセンサ | |
JP5902003B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP6219769B2 (ja) | フローセンサおよびフローセンサの製造方法 | |
JP2020122752A (ja) | 検出素子の形成方法及び検出装置 | |
JP2015194428A (ja) | フローセンサおよびフローセンサの製造方法 | |
JP2012093174A (ja) | フローセンサ | |
Yang | Resealable, Ultra-Low Leak Micro Valve Using Solder Sealing | |
JP2015194425A (ja) | フローセンサおよびフローセンサの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140109 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140217 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5481454 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |