JP5477478B2 - 圧電素子の製造方法及び電極付きマザー圧電基板 - Google Patents

Description

本発明は、例えば圧電アクチュエータや圧電共振子などの圧電素子を製造するための圧電素子の製造方法に関し、より詳細には、マザー圧電基板から個々の圧電素子を得る工程を備える圧電素子の製造方法及び電極付きマザー圧電基板に関する。

従来、圧電アクチュエータなどの圧電素子の製造に際しては、量産性を高めるために、マザー圧電基板を用意する。このマザー圧電基板を分割し、個々の圧電素子に個片化している。ところで、圧電素子の製造に際しては、マザー圧電基板段階において分極処理が行われている。従って、マザー圧電基板を分割して個片化してなる圧電素子を基板などに実装するに際し、圧電素子の分極方向を確認し、正しい分極方向となるように圧電素子を実装する必要がある。

上記のような圧電素子の分極方向を確認するために、下記の特許文献１では、図９に示す構造が用いられている。図９は、従来の圧電素子１００１を示す斜視図である。

図９に示す圧電素子１００１では、圧電基板１００２の上面に第１電極１００３が形成されている。第１電極１００３には、中央に貫通孔１００４が形成されている。他方、圧電基板１００２の下面には、第１電極１００３と対向するように全面に第２電極１００５が形成されている。第２電極１００５には貫通孔は設けられていない。また、圧電基板１００２は、図示の矢印で示すように厚み方向に分極処理されている。

圧電素子１００１では、上記貫通孔１００４が第１電極１００３に設けられているため、分極方向を識別することができる。すなわち、量産された圧電素子１００１を外部から観察した場合、貫通孔１００４の有無により、分極方向を確認することができる。

また、特許文献２には、下記の製造方法が開示されている。先ず、マザー圧電基板の両主面に全面に電極を形成する。次に、マザー圧電基板を分極処理する。しかる後、マザー圧電基板の両主面の電極のうち一方の電極に溝を形成する。次に、マザー圧電基板を分割し、個片化された多数の圧電素子を得る。

実開昭６１−７５６３１号公報 特開平１１−９４５５５号公報

特許文献１に記載の圧電素子１００１では、貫通孔１００４により分極方向を識別することができる。しかしながら、圧電素子１００１では、貫通孔１００４が設けられている部分において、電界強度が低下する。そのため、圧電アクチュエータとして用いた場合の駆動力が低下するという問題があった。また、貫通孔１００４が設けられている部分において、電界強度が局所的に低下し、応力集中により圧電基板１００２が破損するという問題もあった。

他方、特許文献２に記載の製造方法では、分極処理後に電極に溝を形成している。従って、溝の形成前には、マザー圧電基板の分極方向を外観により識別することはできなかった。そのため、分極処理後のマザー圧電基板を次工程に供給するに際し、目的とする分極方向とは反対方向の分極方向のマザー圧電基板に後加工が行われるおそれがあった。

本発明の目的は、分極処理後のマザー圧電基板段階で分極方向を外観により確実に識別することを可能とする工程を備え、かつ電界強度の局所的な低下が生じ難い圧電素子の製造方法を提供すること、並びに分極方向を外観により確認することができる電極付きマザー圧電基板を提供することにある。

本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１の主面と、第１の主面と対向している第２の主面とを有するマザー圧電基板を用意する工程と、マザー圧電基板の第１の主面に、第１電極を形成する第１電極形成工程と、マザー圧電基板の第２の主面に、第２電極を形成する第２電極形成工程とを備える。マザー圧電基板は矩形板状の形状を有する。マザー圧電基板に第１電極を形成するにあたり第１電極に切欠きを形成し、第２電極形成に際し、第２電極に、マザー圧電基板を厚み方向に透視した際に、第１電極と第２電極の形状が一致するように第２電極に切欠きを形成する。さらに、本発明の圧電素子の製造方法は、マザー圧電基板を分極する工程と、切欠きを外部から観察し得るようにマザー圧電基板を保持部材に保持する工程と、マザー圧電基板を保持部材に保持した状態でマザー圧電基板を個々の圧電素子に分割する分割工程とを備える。この場合には、第１電極の形状と、マザー圧電基板を反転して観察し得る第２電極の形状が異なることになるため、マザー圧電基板の第１の主面及び第２の主面を外観により識別することができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法の他の特定の局面では、分割工程の後に、マザー圧電基板を保持部材に保持した状態で圧電素子をピックアップするピックアップ工程がさらに備えられている。この場合には、個片化された圧電素子をその分極方向を把握しつつピックアップすることができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法のさらに特定の局面では、ピックアップ工程において、切欠きが形成されている圧電素子をピックアップせず、残りの圧電素子をピックアップする。この場合には、切欠きが形成されている圧電素子を利用せず、電界強度分布が均一な残りの圧電素子のみをピックアップすることができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法のさらに別の特定の局面では、ピックアップ工程において、切欠きが形成されている圧電素子よりも、残りの圧電素子を先にピックアップし、次に切欠きが設けられている圧電素子をピックアップする。この場合には、切欠きが形成されている圧電素子を後にピックアップする。そのため、電界強度分布が一様ではない切欠きが形成されている圧電素子を残りの正常な圧電素子と区別してピックアップすることができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法のさらに別の特定の局面では、ピックアップ工程において、切欠きが形成されている圧電素子を検出する。このように、予め切欠きが形成されている圧電素子を検出することにより、電界強度分布が一様ではない圧電素子を選別することができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法のさらに他の特定の局面では、マザー圧電基板の第１及び第２の主面を覆うようにそれぞれマスクを配置し、スパッタリング法により第１及び第２電極をそれぞれ形成する。この場合には、電極の形成と切欠きの形成を同時に行うことができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法のさらに他の特定の局面では、保持部材が、粘着性表面を有し、該粘着性表面にマザー圧電基板を粘着保持する。この場合には、粘着性表面の粘着力を利用して、保持部材のマザー圧電基板を容易に仮着することができる。

本発明に係る電極付きマザー圧電基板は、第１の主面と、第１の主面と対向する第２の主面とを有するマザー圧電基板と、マザー圧電基板の第１の主面に設けられた第１電極と、マザー圧電基板の第２の主面に設けられた第２電極とを備える。マザー圧電基板は矩形板状の形状を有し、第１電極及び第２電極にマザー圧電基板を反転した際に第１の主面及び第２の主面を外観により区別し得るように、第１電極及び第２電極が矩形の対角位置に存在する２つのコーナー部に切欠きを有する矩形形状を有し、マザー圧電基板を厚み方向に透視した際に、第１電極と第２電極とが一致する外形形状を有する。この場合には、マザー圧電基板を反転させた場合、電極形状が異なることになる。そのため、マザー圧電基板の第１の主面及び第２の主面を容易に識別することができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法によれば、マザー圧電基板を反転した際に形状が異なるように第１電極及び第２電極の少なくとも一方に切欠きを有するように第１電極及び第２電極を形成した後に分極しているため、分極後のマザー圧電基板を外部から観察することにより、マザー圧電基板の第１の主面及び第２の主面を容易に識別することができる。すなわち、マザー圧電基板の分極方向を容易にかつ確実に確認することが可能となる。よって、分極方向が確認されたマザー圧電基板から、分極方向を確認した上で個片化された圧電素子をピックアップし、供給することが可能となる。

本発明に係る電極付きマザー圧電基板では、第１電極及び第２電極のうち少なくとも一方に、マザー圧電基板を反転させた際に電極形状が異なるように切欠きが形成されているので、該電極付きマザー圧電基板を分極処理することにより、マザー圧電基板における分極方向を確実に外観により確認することができる。従って、該マザー圧電基板から、個片化された圧電素子を分極方向を把握しつつ取り出すことが可能となる。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、第１電極の模式的平面図であり、図１（ｃ）は、マザー圧電基板を透視した際の第２電極の模式的平面図である。 図２（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、分極処理後のマザー圧電基板の模式的平面図であり、図２（ｂ）は、（ａ）に示したマザー圧電基板を反転し、第２電極側から見た模式的平面図である。 図３（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板をダイシングする工程を説明するための断面図であり、図３（ｂ）は、その模式的平面図である。 図４は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法で得られた圧電素子を示す斜視図である。 図５（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図及びマザー圧電基板を透視した際の第２電極の模式的平面図である。 図６は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。 図７は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。 図８は、本発明の第１の実施形態の第４の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。 図９は、従来の圧電素子を示す斜視図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１〜図４を参照して、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法を説明する。図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、第１電極の模式的平面図であり、図１（ｃ）は、マザー圧電基板を透視した際の第２電極の模式的平面図である。図２（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、分極処理後のマザー圧電基板の模式的平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示したマザー圧電基板を反転し、第２電極側から見た模式的平面図である。図３（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板をダイシングする工程を説明するための断面図であり、図３（ｂ）は、その模式的平面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係る圧電素子の製造方法で得られた圧電素子を示す斜視図である。

本実施形態に係る圧電素子の製造方法では、まず、図１（ａ）に示すマザー圧電基板１を用意する。マザー圧電基板１は、主面が長辺及び短辺を有する矩形板状の形状を有する。マザー圧電基板１は、第１の主面１ａと、第１の主面１ａと対向している第２の主面１ｂとを有する。マザー圧電基板１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックスのような適宜の圧電セラミックスからなる。

マザー圧電基板１は、矩形板状の形状に限定されず、他の平面形状を有していてもよい。マザー圧電基板１の主面は、その外形形状が回転対称でなく、主面の向きに方向性があることが、マザー圧電基板１の外形で方向性が判定できる点で好ましい。

本実施形態では、上記のマザー圧電基板１の第１の主面１ａに、第１電極２を形成する。第１電極２は、図１（ｂ）に示すような平面形状を有する。

第１電極２は、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕなどの適宜の金属もしくはこれらの金属の合金からなる。

上記第１電極２の形成に続いて、マザー圧電基板１の第２の主面１ｂに、第２電極３を形成する。なお、第２電極３を第１電極２よりも先に形成してもよい。第２電極３は、図１（ｃ）に示すような平面形状を有する。第２電極３は、第１電極２と同様に、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕなどの適宜の金属もしくはこれらの金属の合金からなる。

図１（ａ）に示すように、第１電極２は、略矩形形状の長辺及び短辺を有する長方形形状を有し、第１の主面１ａ上において、周囲に矩形枠状の余白を残すように形成されている。 図１（ｂ）に示すように、第１電極２は、矩形の形状において対角位置に相当する第１及び第２のコーナー部に、切欠き２ａ，２ｂを有する。すなわち、図１（ｂ）の矩形形状の長辺及び短辺に対して傾斜する方向に延ばされた傾斜線部分の外側の部分が切り欠かれている。

同様に、図１（ｃ）に示すように、第２電極３もまた、対角位置にある第１及び第２のコーナー部に切欠き３ａ，３ｂを有する。第２電極３は、マザー圧電基板１を平面視した場合、第１電極２と重なり合うように形成されている。すなわち、第２電極３は、マザー圧電基板１を第１の主面１ａ側から透視した際、第１電極２と同じ形状の矩形形状に対して同じ位置に同じ大きさの切欠きを設けた形状に相当する。

本実施形態では、次に、マザー圧電基板１において、第１電極２と第２電極３との間に直流電圧を印加し、マザー圧電基板１を厚み方向に分極する。ここでは、第２電極３を正の電位、第１電極２を負の電位に接続することにより、図１（ａ）に示す矢印で示すようにマザー圧電基板１を分極処理する。なお、分極方向は逆であってもよい。

上記のようにして分極されたマザー圧電基板１を、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、保持部材としてのダイシングシート４上に貼り合わせる。図３（ａ）では、第１電極２及び第２電極３の図示は省略していることを指摘しておく。

ダイシングシート４は、その上面が粘着性表面とされている。このような粘着性表面は、ダイシングシート４全体を粘着剤により形成することにより、あるいは合成樹脂フィルムの上面に粘着剤層を形成することにより構成することができる。

上記ダイシングシート４の粘着力を利用して、分極処理後の上記マザー圧電基板１がダイシングシート４に貼りつけられる。ここでは、第２電極３側からマザー圧電基板１がダイシングシート４の上面に貼り合わされている。

なお、上記ダイシングシート４の上面には、ダイシングリング５が貼り合わされている。そして、この状態で、図３（ｂ）の一点鎖線Ｘ及び一点鎖線Ｙで示す方向に切断し、マザー圧電基板１を個々の圧電素子１Ａに分割する。この切断は、ダイシングブレードによる切断、あるいはレーザー光の照射等により行い得る。

上記のようにして、マザー圧電基板１を、複数の圧電素子１Ａに分割する。この分割された圧電素子１Ａを図４に斜視図で示す。圧電素子１Ａでは、圧電基板１の上面に第１電極２Ａが形成されており、下面に第２電極３Ａが形成されている。そして、圧電基板１は図示の矢印で示す方向に分極処理されていることになる。

図３（ｂ）に戻り、上記のようにダイシングブレードやレーザー光の照射等により、マザー圧電基板１を分割した後に、ダイシングシート４に径方向外側への引張応力を加える。この引張応力は、ダイシングシート４の下面に円筒状の治具を当接させ、ダイシングリング５を治具側に移動させることなどにより付与し得る。このようにして、分割ラインの両側の圧電素子１Ａ，１Ａ間がラインに沿って遠ざけられる。しかる後、圧電素子１Ａをピックアップする。このようにして、図４に示す圧電素子１Ａを取り出すことができる。

ところで、図３（ｂ）に示すように、上記マザー圧電基板１を分割した場合、最終的に製品として用いられる圧電素子１Ａ以外に、上記切欠き２ａ，２ｂが設けられている部分に存在する圧電素子１Ｂ，１Ｂが形成されることになる。言い換えれば、圧電素子１Ｂ，１Ｂは、切欠き３ａ，３ｂが設けられている部分に存在する。

圧電素子１Ｂ，１Ｂでは、圧電基板の上面及び下面の全面に電極が形成されていない。従って、上記圧電素子１Ｂでは、使用時に電界強度が局所的に低下する。よって、圧電素子１Ｂは製品として用いられないものである。そのため、先に、複数の圧電素子１Ａをピックアップし、最後に製品として用いない圧電素子１Ｂをピックアップする。このようにして、製品として用いられる圧電素子１Ａのみを選別する。さらに、上記圧電素子１Ａ，１Ｂ以外に、第１電極２及び第２電極３が形成されていない余白部分である圧電基板片１Ｃを最後にピックアップする。

本実施形態の製造方法では、分極処理後のマザー圧電基板１をダイシングシート４に貼り付けるに際し、分極方向を確認してダイシングシート４に貼り合わせることができる。すなわち、前述した切欠き２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂが第１電極２及び第２電極３に形成されている。従って、図１（ａ）に示した分極方向を維持し、すなわち分極方向の矢印が上向きとなるようにマザー圧電基板１を用意するには、第１電極２が上面となるように、第２電極３側からダイシングシート４に貼り付ければよい。この場合、図２（ａ）に示すように、マザー圧電基板１又は第１電極２の長辺が下側として平面視した場合、第１電極２の左上側及び右下側のコーナー部分に切欠き２ａ，２ｂが位置することになる。

他方、分極処理後のマザー圧電基板１を誤って反転させた場合、マザー圧電基板１を平面視すると、図２（ｂ）に示すように、マザー圧電基板１又は第２電極３の長辺が下側として平面視することになるため、第２電極３の左下側及び右上側のコーナー部分に切欠き３ａ，３ｂが位置する状態となり、第２電極３が上面側に位置すると判定できる。よって、第１電極２が上面側になるようにマザー圧電基板１が配置された場合、マザー圧電基板１を平面視すると、切欠き２ａ，２ｂは、図３（ｂ）に示すように、左上側及び右下側に位置することとなる。従って、切欠きの位置によってマザー圧電基板１の分極方向を確認しつつ、ダイシングシート４にマザー圧電基板１を確実に第２電極３側から貼り合わせることができる。

よって、上記のように分極方向を確認した上で、マザー圧電基板１をダイシングシート４に貼り合わせた状態で、マザー圧電基板１の分割及び上記ピックアップを行うことができる。さらに、マザー圧電基板を第１の主面側から透視した際、すなわち、マザー圧電基板の厚み方向に透視した際における、第１電極と第２電極との形状を一致させる場合は、マザー圧電基板の厚み方向に透視した際における、第１電極と第２電極との形状が一致しない場合と比べてマザー圧電基板を分極する際に印加される電界が不連続となる領域が小さくなり、均一に分極されたマザー圧電基板を得ることができる。

なお、上記実施形態では、分割工程後に、製品として使用しない圧電素子１Ｂ及び圧電基板片１Ｃもピックアップしたが、これらはピックアップせずともよい。また、好ましくは、上記ピックアップ工程において、カメラで撮影した画像を判定し、肉眼で観察することにより、上記切欠き２ａ，２ｂが形成されている圧電素子１Ｂを検出し、該圧電素子１Ｂをピックアップ対象から除いてもよい。あるいは、検出された圧電素子１Ｂを、残りの圧電素子１Ａをピックアップした後に、不用品としてピックアップしてもよい。

上記のように、本実施形態の圧電素子の製造方法によれば、マザー圧電基板１を厚み方向に分極処理した後に、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを識別し得るように、第１電極２及び第２電極３に、切欠き２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂが形成されている。それによって、マザー圧電基板１の分極方向を確実に確認することができる。

なお、上記切欠き２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂは、矩形の電極を形成した後に、エッチング等により形成してもよい。もっとも、好ましくは、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを覆うようにそれぞれマスクやレジストパターンを配置し、スパッタリング法や蒸着法等により第１電極２及び第２電極３を形成することが望ましい。それによって、切欠き２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂを第１電極２及び第２電極３と同時に形成することができる。

なお、上記実施形態では、第１電極２及び第２電極３は、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂにおいて周囲に矩形枠状の余白を残すように形成されていたが、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１電極２及び第２電極３を、矩形板状のマザー圧電基板１の外周縁に沿うように形成してもよい。図５（ａ）は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板１に電極を形成した状態でのマザー圧電基板１の模式的平面図であり、図５（ｂ）は、マザー圧電基板１を透視した際の第２電極３の模式的平面図である。マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂの全面を覆うように矩形の電極を形成した後に、該電極において、対角位置にあるコーナー部に切欠き２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂをエッチング等により設けてもよい。

また、上記実施形態では、上記切欠き２ａ，２ｂを設けたが、本発明において、第１電極及び第２電極に形成される切欠きの形状及び数は適宜変形し得る。図６は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。図７は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。図８は、本発明の第１の実施形態の第４の変形例に係る圧電素子の製造方法において、マザー圧電基板に電極を形成した状態でのマザー圧電基板の模式的平面図である。

例えば、図６に示すように、矩形形状の第１電極２の１つのコーナー部に切欠き２ａのみを設けてもよい。この場合、第２電極３もまた、マザー圧電基板１を透視した際に、第１電極２と同じ平面形状を有するように構成すればよい。この場合においても、マザー圧電基板１を分極処理後に誤って反転した場合には、第２の主面１ｂに設けられている第２電極３のコーナー部は、図５に示す位置とは異なり、左下のコーナー側部分に位置することになる。従って、上記実施形態と同様に、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを確実に区別することができる。

また、図７に示すように、矩形形状の第１電極２の１つのコーナー部において、略正方形もしくは矩形の部分を削除するように切欠き２ｃを形成してもよい。

また、図８に示すように、矩形形状の第１電極２において、短辺の一部に切欠き２ｄを設けてもよい。この場合、第２電極３においても、マザー圧電基板１を透視した際に、同じ位置に同じ形状の切欠きを形成すればよい。切欠き２ｄが、第１電極２の短辺の中央からずれて位置されている限り、マザー圧電基板１を分極処理後に誤って反転させた場合、第２電極３に設けられた切欠きは、図８の場合と異なる位置に現れることになる。すなわち、上記短辺において、短辺の長さ方向を中心として反対側の位置に現れることになる。従って、上記実施形態と同様に、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを識別することができる。

図６〜図８に示したように、本発明においては、マザー圧電基板１の第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを識別させる切欠きの形状については特に限定されるものではない。

また、上記切欠きが形成されている部分を除いては、第１電極２と第２電極３は同一形状であることが必要である。それによって、切欠きが設けられている部分以外の第１電極形成部分においては、第１電極２と第２電極３の形状が同一であるため、電界強度分布が一様な個々の圧電素子１Ａを得ることができる。

本発明に係る圧電素子の製造方法では、上記のように、第１電極と第２電極とがマザー圧電基板を介して重なり合っており、かつマザー圧電基板の第１の主面及び第２の主面を外観により識別し得るような切欠きが、第１電極及び第２電極に形成されているため、上記のように、分極方向を確実に確認することができる。なお、上記切欠きは、第１電極及び第２電極の少なくとも一方に設けられておればよく、必ずしも第１電極及び第２電極の双方に設けられている必要はない。

また、本発明の圧電素子の製造方法は、圧電アクチュエータに限らず、圧電共振子などの様々な圧電素子の製造に適用することができる。

また、マザー圧電基板１は、単層の圧電基板に限らず、複数の圧電層を積層した多層型の圧電基板であってもよい。

１…マザー圧電基板
１Ａ，１Ｂ…圧電素子
１Ｃ…圧電基板片
１ａ，１ｂ…第１，第２の主面
２…第１電極
２ａ〜２ｄ…切欠き
２Ａ…第１電極
３…第２電極
３ａ，３ｂ…切欠き
３Ａ…第２電極
４…ダイシングシート
５…ダイシングリング

Claims (8)

1. 第１の主面と、前記第１の主面と対向している第２の主面とを有するマザー圧電基板を用意する工程と、
   前記マザー圧電基板の第１の主面に、第１電極を形成する第１電極形成工程と、
   前記マザー圧電基板の第２の主面に、第２電極を形成する第２電極形成工程とを備え、
   前記マザー圧電基板が矩形板状の形状を有し、前記マザー圧電基板に第１電極を形成するにあたり第１電極に切欠きを形成し、前記第２電極形成に際し、第２電極に、前記マザー圧電基板を厚み方向に透視した際に、前記第１電極と第２電極の形状が一致するように前記第２電極に前記切欠きを形成し、
   前記マザー圧電基板を分極する工程と、
   前記切欠きを外部から観察し得るように前記マザー圧電基板を保持部材に保持する工程と、
   前記マザー圧電基板を前記保持部材に保持した状態で前記マザー圧電基板を個々の圧電素子に分割する分割工程とをさらに備える、圧電素子の製造方法。
2. 前記分割工程の後に、前記マザー圧電基板を保持部材に保持した状態で前記圧電素子をピックアップするピックアップ工程をさらに備える、請求項１に記載の圧電素子の製造方法。
3. 前記ピックアップ工程において、前記切欠きが形成されている圧電素子をピックアップせず、残りの圧電素子をピックアップする、請求項２に記載の圧電素子の製造方法。
4. 前記ピックアップ工程において、前記切欠きが形成されている圧電素子よりも、残りの圧電素子を先にピックアップし、次に切欠きが設けられている圧電素子をピックアップする、請求項２に記載の圧電素子の製造方法。
5. 前記ピックアップ工程において、前記切欠きが形成されている圧電素子を検出する、請求項２〜４のいずれか１項に記載の圧電素子の製造方法。
6. 前記マザー圧電基板の第１及び第２の主面を覆うようにそれぞれマスクを配置し、スパッタリング法により第１及び第２電極をそれぞれ形成する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電素子の製造方法。
7. 前記保持部材が、粘着性表面を有し、該粘着性表面に前記マザー圧電基板を粘着保持する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電素子の製造方法。
8. 第１の主面と、前記第１の主面と対向する第２の主面とを有するマザー圧電基板と、
   前記マザー圧電基板の第１の主面に設けられた第１電極と、前記マザー圧電基板の第２の主面に設けられた第２電極とを備え、
   前記マザー圧電基板が矩形板状の形状を有し、前記第１電極及び第２電極に前記マザー圧電基板を反転した際に第１の主面及び第２の主面を外観により区別し得るように前記第１電極及び第２電極が矩形の対角位置に存在する２つのコーナー部に切欠きを有する矩形形状を有し、前記マザー圧電基板を厚み方向に透視した際に、第１電極と第２電極とが一致する外形形状を有する、電極付きマザー圧電基板。

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