JP5467963B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、ガラス成分の酸化物粉末を1200℃に加熱し、溶融状態で撹拌する。そして、ガラスを固化した後、ガラス封止部6の厚さに対応するようスライスして封止前ガラス11を板状に加工する(板状加工工程)。この後、封止前ガラス11に、後述するように、各LED素子2に対応する凹部11aを形成する。
図3(a)に示すように、複数のLED素子2を縦及び横について等間隔で配線基板3に搭載する(搭載工程)。本実施形態においては、配線基板3の中央側が各LED素子2の搭載領域10をなしている。具体的には、配線基板3の回路パターン4の表面パターン41に複数のLED素子2を各Auバンプ28によって電気的に接合する。本実施形態においては、p側2点、n側1点の合計3点のバンプ接合が施される。また、配線基板3は、各LED素子2の搭載領域10の外側に形成される面積増大部としての溝部31を有している。本実施形態においては、搭載領域10の外側に溝部31が二重に形成されている。
図4B(a)に示す初期状態では、封止前ガラス11と上金型92との間の気体の流通が流出抑制部921によって遮断された状態となる。この状態から上金型92が配線基板3に向かって相対的に移動すると、封止前ガラス11と上金型92との間の気体が気体流出孔93を介して一端開口部93aから他端開口部93bに向かって流出し、外部に放出される。
2 LED素子
3 配線基板
3a ビアホール
4 回路パターン
4a W層
4b Ni層
4c Au層
4d Ag層
5 中空部
6 ガラス封止部
6a 上面
6b 側面
11 封止前ガラス
11a 凹部
12 中間体
20 成長基板
21 バッファ層
22 n型層
23 MQW層
24 p型層
25 p側電極
26 p側パッド電極
27 n側電極
27a Al層
27b Ni層
27c Au層
28 Auバンプ
41 表面パターン
42 裏面パターン
43 ビアパターン
44 外部接続端子
91 下金型
92 上金型
92a 平坦面
921 流出抑制部
922 流出抑制部
923 仕切部
924 流出抑制部
925 流出抑制部
93 気体流出孔
Claims (6)
- 搭載基板の搭載面における搭載領域に複数の発光素子を搭載する搭載工程と、
金型を前記搭載基板の前記搭載面と対向して配置し、前記搭載基板と前記金型の間に少なくとも前記搭載領域が覆われるようにガラス材を配置するプレス準備工程と、
前記搭載領域の外側に前記ガラス材の流出を抑制する流出抑制部を前記金型あるいは前記搭載基板に設けた状態で、加熱により軟化したガラス材を前記金型によりプレスして、前記各発光素子を前記ガラス材により一括して封止するプレス工程と、を含み、
前記プレス工程では、前記金型あるいは前記搭載基板の前記流出抑制部と
前記搭載基板あるいは前記金型との間に位置し、前記搭載領域の外側に対応する前記ガラス材の第1の領域を先行加圧しつつ高圧部を発生させ、前記高圧部で囲まれ、前記搭載領域に対応する前記ガラス材の第2の領域の圧力を均一化する発光素子の製造方法。 - 前記流出抑制部は、前記金型と前記搭載基板の少なくとも一方に設けられた突出部を有する請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 前記金型には、前記ガラス材との対向面に開口部を有し、前記ガラス材と前記金型との間の気体を流出させる気体流出孔が形成された請求項1又は2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記搭載基板は、前記搭載面における前記搭載領域の外側に、前記ガラス材との接触面積を増大させる面積増大部を有する請求項1から3のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記面積増大部は、前記搭載面における前記搭載領域の外側に形成される溝部を有する請求項4に記載の発光素子の製造方法。
- 前記プレス工程にて軟化した前記ガラス材が硬化した後、前記ガラス材及び前記搭載基板を分割する分割工程を含む請求項1から5のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
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