JP5109620B2 - 発光装置、基板装置及び発光装置の製造方法 - Google Patents

発光装置、基板装置及び発光装置の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、LED素子を上面に搭載し下面に電極パターンが形成される基板装置、この基板装置を備えた発光装置、及び、この発光装置の製造方法に関する。
従来から、樹脂によりLED素子を封止する発光装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の発光装置は、複数の絶縁層を積層して成り、上面に発光素子を収容し搭載する凹部を有する略直方体状の絶縁基体に、凹部の底面から絶縁基体の下面にかけて発光素子の電極が電気的に接続される配線層が形成されている。そして、絶縁基体の下面の対角の角部に絶縁基体の下面と側面との間を平面視でL字形状に切り欠くように形成された段差部が設けられており、該段差部の側面に配線層が電気的に接続された側面導体が形成されている。
また、ガラスによりLED素子を封止する発光装置も提案されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2に記載の発光装置は、フリップチップ型のGaN系LED素子と、正方形状に形成されて上面にGaN系LED素子を搭載する多層構造の基板と、基板の上面および層内に形成される回路パターンと、GaN系LED素子と回路パターンとを電気的に接続するバンプと、GaN系LED素子を封止するとともに基板と接合されガラスからなる封止部と、基板の下面の四隅において層内の中間層から露出した底面回路パターンと、を有している。すなわち、基板の角部は他の部分よりも薄く形成され、基板の下面の四隅は段状に形成され、この段状部分に底面回路パターンが形成されている。
特開2004−207542号公報 国際公開第04/082036号パンフレット
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載の発光装置は、いずれも基板下面の角部に電極をなすパターンが形成されていることから、発光装置の製造時にダイシングにより基板を分割する際に、当該パターンを形成する金属のダレにより各パターン間で短絡するおそれがある。
本発明は上記事情により提案されたものであり、LED素子と、上面視にて四角形状に形成され、前記LED素子が搭載される上面と、相対する第1の2つの側面から下面にかけてそれぞれ形成される第1の2つの段状部と、相対する第2の2つの側面から下面にかけてそれぞれ形成される第2の2つの段状部と、を有する基板と、前記基板の上面に形成され、前記LED素子と電気的に接続される上面パターンと、前記LED素子及び前記上面パターンを封止する封止部と、前記基板の前記下面の各角部と離隔し、相互に接触しないようにして前記基板の前記第1の2つの段状部にそれぞれ形成される一対の電極パターンと、前記基板の内部にて該基板の厚さ方向へ延び、前記上面パターン及び前記電極パターンを接続するビアパターンと、前記基板の前記下面の各角部と隔離し、前記基板の前記第2の2つの段状部にかけて前記一対の電極パターンと接触しないようにして形成される放熱パターンと、を備えた発光装置を製造するにあたり、複数の前記基板が連結された連結基板を準備する基板準備工程と、前記連結基板に前記上面パターン、前記電極パターン、前記ビアパターン、及び前記放熱パターンを形成するパターン形成工程と、前記基板の上面にLED素子を搭載する素子搭載工程と、前記封止部を形成する封止部形成工程と、前記上面パターン、前記電極パターン、前記ビアパターン、及び前記放熱パターンが形成された前記連結基板をダイサーにより前記基板毎に前記第1及び第2の2つの段状部において分割するダイシング工程と、を含む発光装置の製造方法が提供される。

本発明によれば、基板に形成される一対の電極パターン間における短絡を防止し、歩留まりを向上させることができる。
図1から図6は本発明の一実施形態を示し、図1は発光装置の上面図である。尚、各図においては、説明のために、実際の装置の各部寸法と寸法を異にして図示している部分がある。
図1に示すように、発光装置1は、フリップチップ型のGaN系半導体材料からなるLED素子12と、LED素子12を上面に搭載するセラミック基板11と、セラミック基板11の上面に形成されLED素子12へ電力へ供給するための上面パターン14と、LED素子12及び上面パターン14をセラミック基板11上にて封止する封止部13と、を備えている。本実施形態においては、1つの発光装置1に、前後及び左右に3列ずつ並ぶ計9つのLED素子12が搭載される。各LED素子12は、上面パターン14により電気的に直列に接続されている。
LED素子12は、サファイア(Al)からなる成長基板の表面に、III族窒化物系半導体をエピタキシャル成長させることにより、バッファ層と、n型層と、MQW層と、p型層とがこの順で形成されている。このLED素子12は、700℃以上でエピタキシャル成長され、その耐熱温度は600℃以上であり、低融点の熱融着ガラスを用いた封止加工における加工温度に対して安定である。また、LED素子12は、p型層の表面に設けられるp側電極と、p側電極上に形成されるp側パッド電極と、を有するとともに、p型層からn型層にわたって一部をエッチングすることにより露出したn型層に形成されるn側電極を有する。p側パッド電極とn側電極には、それぞれバンプ18(図1中不図示)が形成される。本実施形態においては、LED素子12は、厚さ100μmで346μm角に形成される。
セラミック基板11は、アルミナ(Al)の多結晶焼結材料からなり、上面視四角形状に形成される。本実施形態においては、セラミック基板11は、厚さ方向(上下方向)寸法が0.15mm、一辺の寸法が3.15mmの上面視正方形状に形成される。
図2は図1のA−A断面図である。
図2に示すように、セラミック基板11は、厚さ寸法が0.15mmの一般部11aと、一般部11aよりも薄肉に形成された薄肉部11bと、を有し、上面が全面にわたって平坦に形成されている。本実施形態においては、各薄肉部11bは、セラミック基板11の所定方向(図2においては左右方向)の外縁側に形成される。一般部11aと各薄肉部11bは上面が面一に形成されており、セラミック基板11の下面における一般部11aと各薄肉部11bの境界部分に、上下に延びる垂直面を有する段状部11cが形成される。すなわち、各段状部11cは、セラミック基板11の相対する2つ側面の下部から下面にかけてそれぞれ形成される。各薄肉部11bの形成方法は任意であるが、例えばセラミック基板11を多層構造として中間の層を露出させることで形成することができる。
図1に示すように、上面パターン14は、LED素子12と電気的に接続され、セラミック基板11の厚さ方向へ延びるビアパターン15を介して一対の電極パターン16と電気的に接続される。上面パターン14は、セラミック基板11の上面の外縁と離隔して形成されている。電極パターン16は、セラミック基板11の下面に形成され、例えば外部の実装基板31と電気的に接続される。電極パターン16はセラミック基板11の所定方向両端に形成され、一方が正電極、他方が負電極をなす。また、セラミック基板11の下面における各電極パターン16の間には、放熱パターン17が形成される。
上面パターン14、ビアパターン15、電極パターン16及び放熱パターン17は、導電性の金属からなる。本実施形態においては、上面パターン14、電極パターン16及び放熱パターン17は、セラミック基板11の表面に形成されるW層と、W層の表面を覆う薄膜状のNiメッキ層と、Niメッキ層の表面を覆う薄膜状のAgメッキ層と、を含んでいる。また、ビアパターン15は、Wからなり、セラミック基板11を厚さ方向に貫通するビアホールに設けられる。
封止部13は、ZnO−B−SiO−Nb−NaO−LiO系の熱融着ガラスからなる。尚、ガラスの組成はこれに限定されるものではなく、例えば、熱融着ガラスは、LiOを含有していなくてもよいし、任意成分としてZrO、TiO等を含んでいてもよい。図2に示すように、封止部13は、セラミック基板11と全面的に接合されており、セラミック基板11上に直方体状に形成され、セラミック基板11の上面からの高さが0.5mmとなっている。封止部13の側面は、ホットプレス加工によってセラミック基板11と接着された板ガラスが、セラミック基板11とともにダイサー(dicer)でカットされることにより形成される。また、封止部13の上面は、ホットプレス加工によってセラミック基板11と接着された板ガラスの一面である。この熱融着ガラスは、ガラス転移温度(Tg)が490℃、屈伏点(At)が520℃、100℃〜300℃における熱膨張率(α)が6×10−6/℃、屈折率が1.7となっている。
また、封止部13には蛍光体13aが分散されている。蛍光体13aは、MQW層から発せられる青色光により励起されると、黄色領域にピーク波長を有する黄色光を発する黄色蛍光体である。本実施形態においては、蛍光体13aとしてYAG(Yttrium Aluminum Garnet)蛍光体が用いられる。尚、蛍光体13aは、珪酸塩蛍光体や、YAGと珪酸塩蛍光体を所定の割合で混合したもの等であってもよい。
図2に示すように、実装基板31は、金属からなる基板本体32と、基板本体32上に形成され樹脂からなる絶縁層33と、絶縁層33上に形成され金属からなる回路パターン34と、を有している。基板本体32は、例えば銅(熱伝導率:380W・m−1・K−1)からなり、各ガラス封止LED2の放熱パターン17とはんだ材36を介して接続される。絶縁層33は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等からなり、導電性を有する基板本体32と回路パターン34との絶縁を図る。回路パターン34は、例えば表面(上面)に薄膜状の金を有する銅からなり、各ガラス封止LED2の電極パターン16とはんだ材37を介して接続される。尚、図2には発光装置1が搭載される実装基板31の一例を図示しており、発光装置1が搭載される実装基板31は任意に変更可能である。例えば、実装基板31が、回路パターン34を被覆する白色のレジスト層35を備えたものであってもよいし、例えばアルミベース基板のように銅以外の金属をベースとした基板であってもよい。さらに、実装基板31を、ポリイミドや液晶ポリマーをベースとしたフレキシブル基板としてももよい。
図3は発光装置の下面図である。
図3に示すように、各電極パターン16及び放熱パターン17は、平面視にて矩形状に形成される。各電極パターン16は、セラミック基板11の別個の段状部11cにそれぞれ形成される。また、各電極パターン16は、セラミック基板11の下面の各角部と離隔し、当該下面の各辺部の中央側に形成されている。また、放熱パターン17は、各電極パターン16と間隔をおいて形成され、各電極パターン16が形成されていない対向する各辺部の外縁同士にわたって延びている。
以上のように構成された発光装置1では、実装基板31を通じて各電極パターン16に電圧が印加されると、各LED素子12から青色光が発せられる。そして、青色光の一部が蛍光体13aにより黄色に変換され、発光装置1からは青色光と黄色光の組合せにより白色光が発せられる。また、各LED素子12にて生じた熱は、放熱パターン17を介して基板本体32に伝達される。
ここで、封止部13をガラスでなく樹脂としてもよいが、樹脂封止ではLED素子12から発せられる光、熱によっても黄変等の劣化が生じるため、経時的に光量低下や色度変化が生じる。また、封止材の熱膨張率が大きい(例えば、シリコーンでは150〜200×10−6/℃)ことにより、温度変化による膨張収縮が生じるため、LED素子12の電気接続箇所にて断線が生じ易い。このため、本実施形態のようなガラス封止が好ましく、光や熱に対して劣化がなく、また熱膨張率がLED素子12と比較的近い値であるため、電気的断線が生じ難い。尚、ガラスは低融点のガラスに限定されず、例えば、アルコキシドを出発原料として形成されるゾルゲルガラスであってもよい。
この発光装置1の製造方法について、図4の工程説明図を参照して以下に説明する。
まず、ZnO−B−SiO−Nb−NaO−LiO系の熱融着ガラスを粉砕して、平均粒径が30μmのガラスの粉末体を生成する。これに、平均粒径が10μmのYAGからなる蛍光体13aを混合し、蛍光体13aがガラスの粉末内に均一に分散された混合粉末を生成する(混合工程)。
混合工程にて生成された混合粉末を荷重を加えながら溶融した後に、この混合粉末を固化して蛍光体分散ガラス43を生成する(ガラス生成工程)。生成された蛍光体分散ガラス43は、ガラス封止部13の厚さに対応するよう板状に加工される(板状加工工程)。
図5は、ダイサーにより各発光装置のセラミック基板を分割する前の状態を示す連結基板の下面図である。
図5に示すように、蛍光体分散ガラス43とは別個に、ビアホール及び段状部11cが形成され、複数の発光装置1のセラミック基板11が辺部にて互いに連結された状態の連結基板41を用意する。本実施形態においては、段状部11cがセラミック基板11の相対する辺部にそれぞれ形成されていることから、連結基板41において隣接するセラミック基板11の境界部分に2つの段状部11cが一体に形成されている。次いで、連結基板41に上面パターン14、ビアパターン15、電極パターン16及び放熱パターン17に応じてWペーストをスクリーン印刷する。この後、Wペーストを印刷された連結基板41を1000℃余で熱処理することによりWを連結基板41に焼き付け、さらに、W上にNiめっき、Auめっきを施すことで上面パターン14、ビアパターン15、電極パターン16及び放熱パターン17を形成する(パターン形成工程)。
次に、セラミック基板11の上面パターン14に複数のLED素子2を例えばAuからなるバンプ18によって電気的に接合する(素子実装工程)。本実施形態においては、p側1点、n側1点の合計2点のバンプ接合が施される。
図6はホットプレス加工の状態を示す模式説明図である。
次いで、各LED素子12を実装した連結基板41を下金型91、板状の蛍光体分散ガラス43を上金型92にセットする。下金型91及び上金型92にはそれぞれヒータが配置され、各金型91,92で独立して温度調整される。そして、図6に示すように、略平坦な連結基板41の上面に蛍光体分散ガラス43を重ねて、下金型91及び上金型92を加圧し、窒素雰囲気中でホットプレス加工を行う。これにより、LED素子12が搭載された連結基板41に蛍光体分散ガラス43が融着され、LED素子12は連結基板41上で蛍光体分散ガラス43により封止される(ガラス封止工程)。本実施形態においては、加圧圧力を20〜40kgf/cm程度として加工を行っている。ここで、ホットプレス加工は、各部材に対して不活性な雰囲気中で行えばよく、窒素雰囲気の他に例えば真空中で行うようにしてもよい。
これにより、蛍光体分散ガラス43は連結基板41とこれらに含まれる酸化物を介して接着される。ここで、ホットプレス加工での熱融着ガラスの粘度は10〜10ポアズとすることが好ましい。この粘度範囲とすることにより、粘度が低いことに起因するガラスの上金型92へ接合、ガラスの外部流出等を抑制して歩留まりを良好にすることができるとともに、粘度が高いことに起因するガラスの連結基板41への接合力低下、各バンプ18のつぶれ量の増大等を抑制することができる。
また、連結基板41は多結晶アルミナで表面が粗面状に形成されており、蛍光体分散ガラス43側の接合部の界面が連結基板41の表面に沿って粗面状に形成される。これは、例えば、ホットプレス加工時に圧力を加えるとともに、大気圧より低い減圧雰囲気で加工を行うことにより実現される。ここで、粗面化された多結晶アルミナの凹みにガラスが十分入り込む状態であれば、ホットプレス加工時の圧力条件や雰囲気の減圧条件は任意であり、例えば、ホットプレス時の加圧と雰囲気の減圧についていずれか一方だけ行って加工するようにしてもよいことは勿論である。この結果、封止部13とセラミック基板11との間に隙間のない状態となり、封止部13とセラミック基板11との接合強度を担保することができる。
ここで、ホットプレス加工のサイクルタイムを短縮するために、プレス前に予熱ステージを設けて蛍光体分散ガラス43を予め加熱したり、プレス後に徐冷ステージを設けて蛍光体分散ガラス43の冷却速度を制御するようにしてもよい。また、予熱ステージ及び徐冷ステージにおいてプレスすることも可能であり、ホットプレス加工時の工程は適宜に変更可能である。
以上の工程で、複数の発光装置1が横方向に連結された状態の図6に示すような中間体51が作製される。この後、蛍光体分散ガラス43と一体化された連結基板41をダイサー(dicer)にセットして、発光装置1の単位ごとに蛍光体分散ガラス43及び連結基板41を分割して発光装置1が完成する(ダイシング工程)。このとき、封止部13及びセラミック基板11がともにダイサーによりカットされることで、セラミック基板11及び封止部13の側面が面一となる。
ダイシング工程においては、中間体51を異なる2方向に分割して、上面視四角形状をなす複数の発光装置1を製造する。異なる2方向のうち一方向へのダイシングにより、セラミック基板11における電極パターン16が形成される2つの相対する辺部が形成され、他方向へのダイシングにより他の相対する辺部が形成される。
ここで、セラミック基板11には相対する辺部に別個に一対の電極パターン16が形成されている。従って、一方向に分割する際に電極パターン16を形成する金属のダレが生じたとしても、1つのセラミック基板11について異なる電極パターン16同士が短絡することはない。そして、各発光装置1の電極パターン16がセラミック基板11の角部から離隔して形成されているので、他方向に分割する際にダイサーが電極パターン16と接触することはない(図5参照)。これにより、他方向に分割する際に電極パターン16をなす金属のダレが生じることはなく、各電極パターン16の短絡を確実に防止することができる。
このように、本実施形態によれば、発光装置1の各電極パターン16間の短絡を確実に防止し、発光装置1の歩留まりを向上させることができる。
また、セラミック基板11の下面に段状の電極パターン16を形成したので、はんだ材37が電極パターン16の水平面に加えて垂直面にも接合され(図2参照)、実装基板31との接合強度を飛躍的に向上させることができる。従って、実装基板31からの発光装置1の脱落を抑制することができる。
また、上面パターン14がセラミック基板11の外縁から離隔して形成されているので、セラミック基板11は外周にわたって封止部13と酸化物を介した化学結合により接合される。これにより、上面パターン14がセラミック基板11の外縁の少なくとも一部に形成された場合のように、外部から過度の負荷が加わった際に、比較的接合力の小さい上面パターン14と封止部13の界面を起点として封止部13がセラミック基板11から剥がれることはない。また、セラミック基板11と封止部13の接合界面を通じて外部から気体、液体等が侵入することはなく、良好な耐候性を得ることができる。
さらに、封止部13を樹脂よりもセラミックに熱膨張率が近いガラスとすることにより、ホットプレス加工により高温で接着された後、常温あるいは低温状態としても剥離、クラック等の接着不良が生じにくい。ここで、ガラスは引っ張り応力にはクラックが生じ易いが、圧縮応力にはクラックは生じにくく、封止部13のガラスをセラミック基板11に対し熱膨張率が小さいものとすることが好ましい。
また、各LED素子12は、フリップ実装することによりワイヤを不要とできるので、高粘度状態のガラスによる封止加工に対しても電極の不具合を生じない。LED素子12の電極とセラミック基板11の上面パターン14をワイヤで電気的に接続するフェイスアップ型のLED素子を封止する場合、ガラス封止加工時にワイヤの潰れや変形を生じることがある。また、ワイヤのボンディングスペースが不要で、かつ、ガラスとセラミックの強固な接合によって、わずかなスペースでの接着でも界面剥離が生じないので、発光装置1を小型とすることができる。
さらにまた、アルミナからなるセラミック基板11を用いることで、部材コストの低減を図ることができる。また、アルミナの入手が容易であることから、量産性を向上して装置コストの低減を実現できる。また、アルミナが熱伝導性に優れているので、大光量化、高出力化に対して余裕のある構成とできる。さらにアルミナは光の吸収率が小さいので光学的にも有利である。
尚、前記実施形態においては、セラミック基板11の下面における電極パターン16が形成される外縁部分にのみ段状部11cを形成したものを示したが、例えば図7に示すように、放熱パターン17が形成される外縁部分に段状部111cを形成してもよいことは勿論である。図7の発光装置101のセラミック基板11は、前述の薄肉部11bに加えて、放熱パターン17に対応した薄肉部111bを有している。これにより、放熱パターン17に接続されるはんだ材36が放熱パターン17の水平面に加えて垂直面に接合され、実装基板との接合強度がさらに向上する。
また、前記実施形態においては、セラミック基板11が上面視にて正方形状に形成されたものを示したが、セラミック基板11は、例えば、短辺と長辺の長さが異なる長方形状に形成されていてもよいし、平行四辺形状に形成されていてもよい。また、セラミック基板11の上面が平坦なものを示したが、封止部13を収容する凹部が形成されたものであってもよい。さらに、上面パターン14がセラミック基板11の外縁から離隔して形成されたものを示したが、前記実施形態より封止部13とセラミック基板11との接合強度が劣るものの、上面パターン14がセラミック基板11の外縁にまで延びるものであってもよい。
また、前記実施形態においては、板状の蛍光体分散ガラス43がホットプレス加工により連結基板41と接合されるものを示したが、ガラスと蛍光体の混合粉末を減圧高温雰囲気にて連結基板41上で溶融固化することによりガラスを連結基板41に融着してもよい。
また、前記実施形態においては、LED素子12を実装して蛍光体分散ガラス43により封止した後に連結基板41をダイシングするものを示したが、連結基板41をダイシングした後にLED素子12の実装及び封止を行うようにしてもよい。すなわち、セラミック基板11と、上面パターン14と、電極パターン16と、ビアパターン15と、を備えた基板装置の形態であっても、電極パターン16の短絡を防止することができる。そして、素子実装工程及びガラス封止工程を省略して、パターン形成工程と、ダイシング工程と、を含んだ発光装置の製造方法であっても、電極パターン16の短絡を防止することができる。
また、前記実施形態においては、発光装置1から白色光が発せられるものを示したが、例えば、封止部13に蛍光体13aが含まれない構成として、発光装置1から青色光が発せられるようにしてもよい。また、LED素子12をフリップチップ型としたものを示したが、フェイスアップ型としてもよい。さらに、1つのセラミック基板11に搭載されるLED素子12の個数、LED素子12の配置状態は任意である。このように、発光装置1の細部構成、発光色等については適宜に変更が可能である。さらにまた、ガラスより信頼性等が劣るものの、封止部13を樹脂としてもよい。
また、前記実施形態においては、セラミック基板11がアルミナ(Al)からなるものを示したが、アルミナ以外のセラミックから構成するようにしてもよい。アルミナより熱伝導性に優れる高熱伝導性材料からなるセラミック基板として、例えば、BeO(熱膨張率α:7.6×10−6/℃、熱伝導率:250W/(m・k))を用いても良い。さらに、他の高熱伝導性基板として、例えばW−Cu基板を用いても良い。W−Cu基板としては、W90−Cu10基板(熱膨張率α:6.5×10−6/℃、熱伝導率:180W/(m・k))、W85−Cu15基板(熱膨張率α:7.2×10−6/℃、熱伝導率:190W/(m・k))を用いることにより、ガラス封止部との良好な接合強度を確保しながら高い熱伝導性を付与することができ、LEDの大光量化、高出力化に余裕をもって対応することが可能になる。さらには、基板としてセラミック以外の材料を用いることも可能であるし、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
本発明の一実施形態を示す発光装置の上面図である。 図1のA−A断面図である。 発光装置の下面図である。 発光装置の製造方法の工程説明図である。 ダイサーにより各発光装置のセラミック基板を分割する前の状態を示す連結基板の下面図である。 ホットプレス加工の状態を示す模式説明図である。 変形例を示す発光装置の下面図である。
符号の説明
1 発光装置
11 セラミック基板
11a 一般部
11b 薄肉部
11c 段状部
12 LED素子
13 封止部
13a 蛍光体
14 上面パターン
15 ビアパターン
16 電極パターン
17 放熱パターン
18 バンプ
31 実装基板
32 基板本体
33 絶縁層
34 回路パターン
35 レジスト層
36 はんだ材
37 はんだ材
41 連結基板
43 蛍光体分散ガラス
51 中間体
91 下金型
92 上金型
101 発光装置
111b 薄肉部

Claims (3)

  1. LED素子と、
    上面視にて四角形状に形成され、前記LED素子が搭載される上面と、相対する第1の2つの側面から下面にかけてそれぞれ形成される第1の2つの段状部と、
    相対する第2の2つの側面から下面にかけてそれぞれ形成される第2の2つの段状部と、を有する基板と、
    前記基板の上面に形成され、前記LED素子と電気的に接続される上面パターンと、
    前記LED素子及び前記上面パターンを封止する封止部と、
    前記基板の前記下面の各角部と離隔し、相互に接触しないようにして前記基板の前記第1の2つの段状部にそれぞれ形成される一対の電極パターンと、
    前記基板の内部にて該基板の厚さ方向へ延び、前記上面パターン及び前記電極パターンを接続するビアパターンと、
    前記基板の前記下面の各角部と隔離し、前記基板の前記第2の2つの段状部にかけて前記一対の電極パターンと接触しないようにして形成される放熱パターンと、を備えた発光装置を製造するにあたり、
    複数の前記基板が連結された連結基板を準備する基板準備工程と、
    前記連結基板に前記上面パターン、前記電極パターン、前記ビアパターン、及び前記放熱パターンを形成するパターン形成工程と、
    前記基板の上面にLED素子を搭載する素子搭載工程と、
    前記封止部を形成する封止部形成工程と、
    前記上面パターン、前記電極パターン、前記ビアパターン、及び前記放熱パターンが形成された前記連結基板をダイサーにより前記基板毎に前記第1及び第2の2つの段状部において分割するダイシング工程と、を含む発光装置の製造方法。
  2. 前記基板の前記上面は平坦に形成され、
    前記封止部は前記基板の前記上面と全面的に接合され、
    前記上面パターンは前記基板の前記上面の外縁と離隔して形成される請求項1に記載の発光装置の製造方法
  3. 前記基板はセラミックからなり、
    前記封止部はガラスからなる請求項2に記載の発光装置の製造方法
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